JPH08271752A - 光ファイバカプラ - Google Patents
光ファイバカプラInfo
- Publication number
- JPH08271752A JPH08271752A JP7138395A JP7138395A JPH08271752A JP H08271752 A JPH08271752 A JP H08271752A JP 7138395 A JP7138395 A JP 7138395A JP 7138395 A JP7138395 A JP 7138395A JP H08271752 A JPH08271752 A JP H08271752A
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- JP
- Japan
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- lens
- fiber
- light
- optical
- fibers
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- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 先球レンズファイバを使った光ファイバカプ
ラに関する。ファイバから出射した光を種々の光学素子
を介してファイバで受光するような光ファイバカプラに
おいて、出射用ファイバと受光用ファイバの先端を先球
化して先球レンズファイバを作製し、これら同士を突き
合わせるように配置するか、または光学素子を介して光
軸上で突き合わせるように配置し、有効に光結合できる
ようにする。 【効果】 本発明によれば、ファイバとレンズが一体で
あるために、光学素子を介しての光結合の点で調整が楽
であり、光結合が有効な為に損失が少なく、作製上も簡
単でありコンパクトなカプラが可能である。
ラに関する。ファイバから出射した光を種々の光学素子
を介してファイバで受光するような光ファイバカプラに
おいて、出射用ファイバと受光用ファイバの先端を先球
化して先球レンズファイバを作製し、これら同士を突き
合わせるように配置するか、または光学素子を介して光
軸上で突き合わせるように配置し、有効に光結合できる
ようにする。 【効果】 本発明によれば、ファイバとレンズが一体で
あるために、光学素子を介しての光結合の点で調整が楽
であり、光結合が有効な為に損失が少なく、作製上も簡
単でありコンパクトなカプラが可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、先球レンズファイバ間
に光学素子を挿入し、先球ファイバ同士が有効に光結合
できるように配置したことを特徴とする光ファイバカプ
ラに関するものである。
に光学素子を挿入し、先球ファイバ同士が有効に光結合
できるように配置したことを特徴とする光ファイバカプ
ラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ファイバから出射した光を光学素
子を介して異なったファイバで受光するようなファイバ
カプラにおいては、ファイバからの出射やファイバへの
受光は光学系のレンズにより集光したり、平行光線にす
る事により光学素子としての性能を上げ、ファイバから
の出射光を有効に受光用ファイバに光結合させている。
子を介して異なったファイバで受光するようなファイバ
カプラにおいては、ファイバからの出射やファイバへの
受光は光学系のレンズにより集光したり、平行光線にす
る事により光学素子としての性能を上げ、ファイバから
の出射光を有効に受光用ファイバに光結合させている。
【０００３】光学素子として干渉フィルタの場合は、光
ファイバから出射した光を非球面レンズで平行光線にし
て干渉フィルタに入れ、特定の波長を持った光を取り出
して、この光を凸レンズで受光用ファイバのコアに焦点
距離が合うようにセットして、損失がないような形で効
率よく受光用ファイバに入れる。他にも、たとえば光学
素子として色ガラスやハーフミラー、回折格子などがあ
げられる。これらも同じように出射用のファイバから光
学レンズにより平行光線や集光光線にして、これを光学
素子に入射させ、出射した光を集光させて受光用ファイ
バに入れている。
ファイバから出射した光を非球面レンズで平行光線にし
て干渉フィルタに入れ、特定の波長を持った光を取り出
して、この光を凸レンズで受光用ファイバのコアに焦点
距離が合うようにセットして、損失がないような形で効
率よく受光用ファイバに入れる。他にも、たとえば光学
素子として色ガラスやハーフミラー、回折格子などがあ
げられる。これらも同じように出射用のファイバから光
学レンズにより平行光線や集光光線にして、これを光学
素子に入射させ、出射した光を集光させて受光用ファイ
バに入れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この場合の問題とし
て、光軸を合わせなければならない。レンズや光学素子
には光学的な特性があり、光を与えたときに出てくる光
には、それぞれその光学素子あるいはレンズの光分布が
ある。一般的に光軸の中心が光強度が一番強いために、
光軸に合うようにレンズを合わせなければならない。こ
の作業が微妙であり時間が掛かる。レンズの枚数が多い
ほど、大変であり時間が掛かる。また、このような光フ
ァイバカプラは、出来る限り小さくコンパクトなものの
方が使いやすさ、製作のしやすさ、コスト等の面からも
有利であり、要求されている。
て、光軸を合わせなければならない。レンズや光学素子
には光学的な特性があり、光を与えたときに出てくる光
には、それぞれその光学素子あるいはレンズの光分布が
ある。一般的に光軸の中心が光強度が一番強いために、
光軸に合うようにレンズを合わせなければならない。こ
の作業が微妙であり時間が掛かる。レンズの枚数が多い
ほど、大変であり時間が掛かる。また、このような光フ
ァイバカプラは、出来る限り小さくコンパクトなものの
方が使いやすさ、製作のしやすさ、コスト等の面からも
有利であり、要求されている。
【０００５】このように、本発明においては光軸合わせ
などの調整が簡単に出来、しかもコンパクトに作製出来
る光ファイバカプラを提供しようとするものである。
などの調整が簡単に出来、しかもコンパクトに作製出来
る光ファイバカプラを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、光出射用の先
球レンズ付き光ファイバである先球レンズファイバ１と
受光用先球レンズファイバ２を固定溝１１に配置して先
球レンズ同士を突き合わせる。先球レンズファイバ１
は、出射後、平行光線が得られるような先球ファイバレ
ンズ（特許６−１２２２１１）を有するものである。ま
た受光用レンズファイバ２も同様に平行光線を先球に入
射させ、それがコアに集束するような先球レンズファイ
バである。この二つの先球レンズファイバの間に光学素
子５を入れる。従って、光学素子５を入れる前に、光出
射用先球レンズファイバ１と受光用先球レンズファイバ
２との光軸合わせ調整が容易に出来る構造である。また
先球の径がせいぜい太くても５００μｍ以下なので、光
ファイバカプラとしては、かなりコンパクトにする事が
出来る。先球レンズファイバとして平行光線が得られる
ものの他に、光学素子に焦点距離が来るような先球レン
ズファイバを作り配置してもよい。また光の損失が最小
になるように、二つの光ファイバの先球レンズの一方あ
るいは双方とも非球面レンズでもよい。
球レンズ付き光ファイバである先球レンズファイバ１と
受光用先球レンズファイバ２を固定溝１１に配置して先
球レンズ同士を突き合わせる。先球レンズファイバ１
は、出射後、平行光線が得られるような先球ファイバレ
ンズ（特許６−１２２２１１）を有するものである。ま
た受光用レンズファイバ２も同様に平行光線を先球に入
射させ、それがコアに集束するような先球レンズファイ
バである。この二つの先球レンズファイバの間に光学素
子５を入れる。従って、光学素子５を入れる前に、光出
射用先球レンズファイバ１と受光用先球レンズファイバ
２との光軸合わせ調整が容易に出来る構造である。また
先球の径がせいぜい太くても５００μｍ以下なので、光
ファイバカプラとしては、かなりコンパクトにする事が
出来る。先球レンズファイバとして平行光線が得られる
ものの他に、光学素子に焦点距離が来るような先球レン
ズファイバを作り配置してもよい。また光の損失が最小
になるように、二つの光ファイバの先球レンズの一方あ
るいは双方とも非球面レンズでもよい。
【０００７】光学素子として干渉フィルタを光出射用先
球レンズファイバと受光用先球レンズファイバの間に入
れて、出射用先球レンズファイバからの光を干渉フィル
タに有効に入射させ、その中のある波長範囲だけを出射
させ、出射した光を有効に受光用先球レンズファイバに
入射させる。尚、干渉フィルタを光学素子として用いた
場合は、出射光を平行とする方が良い。干渉フィルタの
他に色ガラスなども同様に有効に光を出し入れする事が
できる。また光学素子としてハーフミラーで光を２分割
したり、ハーフミラーを複数個入れて、多分割すること
もできる。これも光を損失を少なく有効に、分割した光
を取り出す事ができるために可能となる。これらの光学
素子は、出射光として平行光線でも焦点を持っていても
どちらでもよい。光学素子として回折格子などは先球フ
ァイバからの出射光が平行光線を使い回折格子に入射さ
せ、反射した回折光を有効に受光用先球レンズファイバ
で取り出す事ができる。又、回折格子としてホログラム
を用いてもよい。
球レンズファイバと受光用先球レンズファイバの間に入
れて、出射用先球レンズファイバからの光を干渉フィル
タに有効に入射させ、その中のある波長範囲だけを出射
させ、出射した光を有効に受光用先球レンズファイバに
入射させる。尚、干渉フィルタを光学素子として用いた
場合は、出射光を平行とする方が良い。干渉フィルタの
他に色ガラスなども同様に有効に光を出し入れする事が
できる。また光学素子としてハーフミラーで光を２分割
したり、ハーフミラーを複数個入れて、多分割すること
もできる。これも光を損失を少なく有効に、分割した光
を取り出す事ができるために可能となる。これらの光学
素子は、出射光として平行光線でも焦点を持っていても
どちらでもよい。光学素子として回折格子などは先球フ
ァイバからの出射光が平行光線を使い回折格子に入射さ
せ、反射した回折光を有効に受光用先球レンズファイバ
で取り出す事ができる。又、回折格子としてホログラム
を用いてもよい。
【０００８】
【作用】本発明は、光出射ファイバと光受光ファイバの
先端を先球化によりレンズ化した光先球レンズファイバ
を、先球レンズ同士を突き合わせる配置にする事によ
り、レンズの光軸を簡単に合わせる事が出来る。光学素
子を入れない状態でレンズファイバ同士のみで合わせれ
ば良く、光軸合わせに時間を要していた作業が非常に簡
単になる。それに伴い低コスト化にも有利である。この
先球レンズファイバは、平行光線にも出来るし、焦点を
持つようにある距離の箇所に集光させる事も出来るため
光学素子がどのような種類でも対応でき、カプラとして
の種類も多い。また先球の径が小さいためにコンパクト
にする事ができ、使いやすさや製作の上でも楽になる。
先端を先球化によりレンズ化した光先球レンズファイバ
を、先球レンズ同士を突き合わせる配置にする事によ
り、レンズの光軸を簡単に合わせる事が出来る。光学素
子を入れない状態でレンズファイバ同士のみで合わせれ
ば良く、光軸合わせに時間を要していた作業が非常に簡
単になる。それに伴い低コスト化にも有利である。この
先球レンズファイバは、平行光線にも出来るし、焦点を
持つようにある距離の箇所に集光させる事も出来るため
光学素子がどのような種類でも対応でき、カプラとして
の種類も多い。また先球の径が小さいためにコンパクト
にする事ができ、使いやすさや製作の上でも楽になる。
【０００９】
（実施例１）実施例について図面を参照して説明する
と、図１は光ファイバカプラの一例を示す。基板とし
て、シリコン基板、水晶基板などの異方性エッチングが
可能な単結晶基板があるが、ここでは一般的であるシリ
コン基板を使用した場合について述べる。シリコン基板
１０として＜１００＞の方向に異方性を持つ結晶異方性
シリコンを使用し、先球レンズファイバ１，２を固定す
るためのファイバ固定溝１１ａ、１１ｂをフォトリソグ
ラフィ技術でパターン化し、異方性エッチングで形成す
る。この時の深さは、４００μｍとする。カプラ溝３０
も同様に異方性エッチングによりファイバ固定溝より深
く作成する。
と、図１は光ファイバカプラの一例を示す。基板とし
て、シリコン基板、水晶基板などの異方性エッチングが
可能な単結晶基板があるが、ここでは一般的であるシリ
コン基板を使用した場合について述べる。シリコン基板
１０として＜１００＞の方向に異方性を持つ結晶異方性
シリコンを使用し、先球レンズファイバ１，２を固定す
るためのファイバ固定溝１１ａ、１１ｂをフォトリソグ
ラフィ技術でパターン化し、異方性エッチングで形成す
る。この時の深さは、４００μｍとする。カプラ溝３０
も同様に異方性エッチングによりファイバ固定溝より深
く作成する。
【００１０】光学素子固定溝２４は、高速度スライサ等
の機械加工で溝を形成する。カプラ溝３０も機械加工で
形成してもかまわない。光ファイバをある任意の長さで
切断し端面にコアレスファイバを接続し、溶融装置で溶
融して先球レンズファイバを作成する。このような先球
ファイバを２本用意し、ファイバ固定溝に先球の部分を
突き合わせるようにして図１のようにセットする。先球
と先球の間に、光学素子５を配置し、接着剤を用いて固
定する。水銀キセノンランプ光源から送られた光（波長
λ0：１００〜１０００ｎｍ）を用いて、カプラに導入
し、光出射用先球レンズ ファイバ１から出射させる。
この光は光学素子５で焦点を結ぶようにした。光学素子
５を通った光が受光先球レンズファイバ２に入るが、こ
の場合光学素子５として波長３６５ｎｍのバンドパス干
渉フィルタをセットする。その結果、受光レンズファイ
バに入った光を調べた結果、３６５ｎｍの光だけが出力
され、他の波長の光はカットされ、フィルタとしての機
能を十分果たした。尚、図１のように、カプラ溝３０内
に先球レンズの焦点が存在するときには、送受用の二つ
の先球レンズ間隔を焦点距離の２倍の位置にすると光カ
ップリング効率が良い。
の機械加工で溝を形成する。カプラ溝３０も機械加工で
形成してもかまわない。光ファイバをある任意の長さで
切断し端面にコアレスファイバを接続し、溶融装置で溶
融して先球レンズファイバを作成する。このような先球
ファイバを２本用意し、ファイバ固定溝に先球の部分を
突き合わせるようにして図１のようにセットする。先球
と先球の間に、光学素子５を配置し、接着剤を用いて固
定する。水銀キセノンランプ光源から送られた光（波長
λ0：１００〜１０００ｎｍ）を用いて、カプラに導入
し、光出射用先球レンズ ファイバ１から出射させる。
この光は光学素子５で焦点を結ぶようにした。光学素子
５を通った光が受光先球レンズファイバ２に入るが、こ
の場合光学素子５として波長３６５ｎｍのバンドパス干
渉フィルタをセットする。その結果、受光レンズファイ
バに入った光を調べた結果、３６５ｎｍの光だけが出力
され、他の波長の光はカットされ、フィルタとしての機
能を十分果たした。尚、図１のように、カプラ溝３０内
に先球レンズの焦点が存在するときには、送受用の二つ
の先球レンズ間隔を焦点距離の２倍の位置にすると光カ
ップリング効率が良い。
【００１１】（実施例２）図２は、先球レンズファイバ
１、２を固定する際に、実施例１よりも確実な方法を提
案している。実施例１では、ファイバの固定は、ファイ
バをＶ溝内に押さえつけて、すばやく接着剤を挿入し接
着剤の接着力により固定したが、ここではシリコン基板
１０にＶ溝の深さは実施例１よりも浅く９０μｍとして
作成する。このシリコン基板１０を２枚用意し、Ｖ溝を
突き合わせるようにして、先球レンズファイバ１，２を
固定する。つまりＶ溝を突き合わせて溝部分がひし形に
なるようにしてその穴にファイバをセットする。側面よ
り溝内に接着剤を流し込み固定した。作成が楽で固定も
強固であった。光出射用先球レンズファイバ１から出射
した光は、平行光線になるように先球のサイズを調整し
た。光学素子として色ガラスを挿入固定し、ここから出
射した光は受光用先球レンズファイバ２で受光した。
１、２を固定する際に、実施例１よりも確実な方法を提
案している。実施例１では、ファイバの固定は、ファイ
バをＶ溝内に押さえつけて、すばやく接着剤を挿入し接
着剤の接着力により固定したが、ここではシリコン基板
１０にＶ溝の深さは実施例１よりも浅く９０μｍとして
作成する。このシリコン基板１０を２枚用意し、Ｖ溝を
突き合わせるようにして、先球レンズファイバ１，２を
固定する。つまりＶ溝を突き合わせて溝部分がひし形に
なるようにしてその穴にファイバをセットする。側面よ
り溝内に接着剤を流し込み固定した。作成が楽で固定も
強固であった。光出射用先球レンズファイバ１から出射
した光は、平行光線になるように先球のサイズを調整し
た。光学素子として色ガラスを挿入固定し、ここから出
射した光は受光用先球レンズファイバ２で受光した。
【００１２】（実施例３）図３は、光学素子５としてビ
ームスプリッタ２３とした光ファイバカプラである。シ
リコン基板上に３本のＶ溝１１ａ，１１ｂ，１１ｃと中
央にカプラ溝３０をリソグラフィ技術により作製する。
カプラ溝３０はスライサのような機械で加工してもかま
わない。次にＶ溝に先球レンズファイバ１，２，３をそ
れぞれ接着固定する。又カプラ溝３０中に図３のように
ハーフミラー２２とミラー２６を配置する。先球レンズ
ファイバ１から出射した光は、ハーフミラー２２で反射
光と透過光に分けられ、反射光はミラー２６でもう一度
反射して先球レンズファイバ３で受光させ、透過光は先
球レンズファイバ２で受光する。この場合、先球ファイ
バ間の光を平行光線となるように先球ファイバを作製し
た。この結果、損失が少なく、アセンブリも簡単でコン
パクトになるビームスプリッタが得られた。
ームスプリッタ２３とした光ファイバカプラである。シ
リコン基板上に３本のＶ溝１１ａ，１１ｂ，１１ｃと中
央にカプラ溝３０をリソグラフィ技術により作製する。
カプラ溝３０はスライサのような機械で加工してもかま
わない。次にＶ溝に先球レンズファイバ１，２，３をそ
れぞれ接着固定する。又カプラ溝３０中に図３のように
ハーフミラー２２とミラー２６を配置する。先球レンズ
ファイバ１から出射した光は、ハーフミラー２２で反射
光と透過光に分けられ、反射光はミラー２６でもう一度
反射して先球レンズファイバ３で受光させ、透過光は先
球レンズファイバ２で受光する。この場合、先球ファイ
バ間の光を平行光線となるように先球ファイバを作製し
た。この結果、損失が少なく、アセンブリも簡単でコン
パクトになるビームスプリッタが得られた。
【００１３】（実施例４）図４は、光学素子５として回
折格子２５を使った光ファイバカプラである。
折格子２５を使った光ファイバカプラである。
【００１４】＜１００＞方向に異方性を持つ単結晶シリ
コン基板１０上に３本のＶ溝１１ａ，１１ｂ，１１ｃと
カプラ溝３０をリソグラフィ技術により作製する。カプ
ラ溝３０の中に回折格子２５を配置する。Ｖ溝１１ａ，
１１ｂ，１１ｃにはそれぞれ先球レンズファイバ１，
２，３を接着固定する。先球レンズファイバ１から出射
した異なる波長λ1，λ2の平行光線が回折格子２５で反
射回折し、これらの異なった２種類の波長λ1，λ2を取
り出し、それぞれ先球レンズファイバ２，３で受光して
波長分離を行う。もちろん多くの波長の異なる光を出射
させ、分離しても良い事は明かである。この結果、回折
光を有効に取り出せ、性能がよく作製しやすく、しかも
コンパクトに出来る、光ファイバカプラを得る事が出来
た。
コン基板１０上に３本のＶ溝１１ａ，１１ｂ，１１ｃと
カプラ溝３０をリソグラフィ技術により作製する。カプ
ラ溝３０の中に回折格子２５を配置する。Ｖ溝１１ａ，
１１ｂ，１１ｃにはそれぞれ先球レンズファイバ１，
２，３を接着固定する。先球レンズファイバ１から出射
した異なる波長λ1，λ2の平行光線が回折格子２５で反
射回折し、これらの異なった２種類の波長λ1，λ2を取
り出し、それぞれ先球レンズファイバ２，３で受光して
波長分離を行う。もちろん多くの波長の異なる光を出射
させ、分離しても良い事は明かである。この結果、回折
光を有効に取り出せ、性能がよく作製しやすく、しかも
コンパクトに出来る、光ファイバカプラを得る事が出来
た。
【００１５】
【効果】従来、光ファイバと光学素子の間に光学レンズ
を挿入し、光学的な位置調整が必要であったが、本発明
によればファイバの先端を先球化してレンズを備えた光
レンズファイバとし、これを出射用、受光用レンズファ
イバとして用いた結果、このような調整が不要となり、
しかも効率が良くなり、作製も簡単に出来、コンパクト
に出来るようになった。光学素子にはさまざまなものが
あるので利用範囲も広がる。
を挿入し、光学的な位置調整が必要であったが、本発明
によればファイバの先端を先球化してレンズを備えた光
レンズファイバとし、これを出射用、受光用レンズファ
イバとして用いた結果、このような調整が不要となり、
しかも効率が良くなり、作製も簡単に出来、コンパクト
に出来るようになった。光学素子にはさまざまなものが
あるので利用範囲も広がる。
【図１】光ファイバカプラの断面図である。１枚の溝に
ファイバを挿入する構造。
ファイバを挿入する構造。
【図２】光ファイバカプラの断面図である。２枚の張り
合わせ基板にファイバを挿入する構造。
合わせ基板にファイバを挿入する構造。
【図３】ビームスプリッタとしての光ファイバカプラの
平面図。
平面図。
【図４】回折格子としての光ファイバカプラの平面図。
１． 光出射用先球レンズファイバ ２． 光受光用先球レンズファイバ ３． 光受光用先球レンズファイバ ５． 光学素子 １０． 基板 １１ａ． 先球ファイバ固定溝 １１ｂ． 先球ファイバ固定溝 １１ｃ． 先球ファイバ固定溝 ２２． ハーフミラー ２３． ビームスプリッタ ２４． 光学素子固定溝 ２５． 回折格子 ２６． ミラー ３０． カプラ溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｂ 6/28 Ｓ (72)発明者 宮川 久行 宮城県柴田郡川崎町大字川内字北川原山 228 株式会社東北中谷内 (72)発明者 遠藤 浩司 宮城県柴田郡川崎町大字川内字北川原山 228 株式会社東北中谷内
Claims (7)
- 【請求項１】 二本の先球レンズファイバの一方を光出
射用先球レンズファイバ（１）、他方を受光用先球レン
ズファイバ（２）として、基板（１０）に形成した先球
レンズファイバ固定溝（１１）に先球レンズ同士を突き
合わせる様に配置し、光出射用先球レンズファイバ
（１）と受光用先球レンズファイバ（２）の間に光学素
子（５）を挿入し、該光学素子（５）を介して、前記光
出射用先球レンズファイバ（１）からの光が受光用先球
レンズファイバ（２）に有効に光結合できるように配置
したことを特徴とする光ファイバカプラ。 - 【請求項２】 光出射用先球レンズファイバ（１）から
出射する光を平行光線になるようにした請求項１記載の
光ファイバカプラ。 - 【請求項３】 二本の光ファイバの先球レンズの一方、
または、双方共非球面レンズとした請求項１記載または
請求項２記載の光ファイバカプラ。 - 【請求項４】 光学素子（５）として干渉フィルタ（２
０）を入れた請求項２記載の光ファイバカプラ。 - 【請求項５】 光学素子（５）として色ガラス（２１）
を入れた請求項１記載の光ファイバカプラ。 - 【請求項６】 光学素子（５）としてハーフミラー（２
２）を１個または、複数個入れてビームスプリッタ（２
３）とした請求項２または、請求項３記載の光ファイバ
カプラ。 - 【請求項７】 光学素子（５）として回折格子（２５）
を入れた請求項２または、請求項３記載の光ファイバカ
プラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7138395A JPH08271752A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 光ファイバカプラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7138395A JPH08271752A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 光ファイバカプラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271752A true JPH08271752A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=13458938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7138395A Pending JPH08271752A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 光ファイバカプラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08271752A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2853089A1 (fr) * | 2003-03-27 | 2004-10-01 | Japan Aviation Electron | Module de dispositif de controle optique |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP7138395A patent/JPH08271752A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2853089A1 (fr) * | 2003-03-27 | 2004-10-01 | Japan Aviation Electron | Module de dispositif de controle optique |
| US7111993B2 (en) | 2003-03-27 | 2006-09-26 | Japan Aviation Electronics Industry Limitedc | Optical monitor module |
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