JPH08271726A - Production of color filter and device therefor - Google Patents
Production of color filter and device thereforInfo
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- JPH08271726A JPH08271726A JP7690395A JP7690395A JPH08271726A JP H08271726 A JPH08271726 A JP H08271726A JP 7690395 A JP7690395 A JP 7690395A JP 7690395 A JP7690395 A JP 7690395A JP H08271726 A JPH08271726 A JP H08271726A
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- cooling
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子（ＬＣ
Ｄ）等に利用されるカラーフィルタの製造方法およびそ
の装置に関し、さらに詳しくは、カラーフィルターに塗
布するペーストを硬化する工程、ペーストを仮硬化する
工程、ガラス基板を洗浄する工程等で加熱されたガラス
基板を冷却するための方法およびその装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a liquid crystal display device (LC
More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing a color filter and an apparatus therefor, which are heated in a step of curing a paste applied to the color filter, a step of temporarily curing the paste, a step of cleaning a glass substrate, and the like. A method for cooling a glass substrate and an apparatus thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、カラーフィルターの製造工程中等
でガラス基板を加熱する方法としては、加熱板を裏面か
ら接触させてガラス基板を加熱する方法が知られている
（例えば、特開平３−２６４９０２号公報、特開平３−
２６４９０３号公報、特開平４−３５５７０１号公報参
照）。同様に、加熱後にガラス基板を冷却する方法とし
て、冷却板を裏面から接触させ、真空吸着した状態でガ
ラス基板を冷却する方法も知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of heating a glass substrate during a color filter manufacturing process, a method of heating a glass substrate by bringing a heating plate into contact with the back surface is known (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-264902). Japanese Laid-Open Patent Publication No. HEI 3-
264903, and JP-A-4-355701). Similarly, as a method of cooling the glass substrate after heating, a method of contacting a cooling plate from the back surface and cooling the glass substrate in a state of vacuum suction is also known.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、カラーフィ
ルタの大型化、カラーフィルタの多面取りなどに伴なっ
てガラス基板のサイズが大型化した場合、冷却中にガラ
ス基板が割れるという問題が顕在化した。ガラス基板の
割れの原因は図４に示すとおりである。ガラス基板４０
は冷却板１の真空チャック部５により固定され、冷却板
１により冷却される。ガラス基板４０は冷却されるため
熱収縮しようとするが、冷却板１の真空チャックにより
ガラス基板４０の裏面が拘束されているため、ガラス基
板４０に熱応力が生じ、ガラス基板４０が割れるのであ
る。However, when the size of the glass substrate is increased due to the increase in the size of the color filter, the multiple cutouts of the color filter, etc., the problem that the glass substrate breaks during cooling has become apparent. . The cause of cracking of the glass substrate is as shown in FIG. Glass substrate 40
Is fixed by the vacuum chuck portion 5 of the cooling plate 1 and cooled by the cooling plate 1. Since the glass substrate 40 is cooled, it tries to thermally contract, but since the back surface of the glass substrate 40 is constrained by the vacuum chuck of the cooling plate 1, thermal stress is generated in the glass substrate 40 and the glass substrate 40 is cracked. .
【０００４】[0004]
【発明の目的】本発明の目的は、大型ガラス基板であっ
ても冷却中の割れが生じないカラーフィルタ製造方法お
よびその装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a color filter manufacturing method and an apparatus therefor in which cracks do not occur during cooling even on a large glass substrate.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】請求項１のカラーフィル
タ製造方法は、ガラス基板上に塗膜を形成することによ
りカラーフィルタを製造する方法であって、ガラス基板
を加熱する工程と、次の処理工程との間において、ガラ
ス基板をいったん冷却板に真空吸着した後に真空吸着を
解除してガラス基板を裏面から冷却する方法である。A method for producing a color filter according to claim 1 is a method for producing a color filter by forming a coating film on a glass substrate, which comprises a step of heating the glass substrate, and a step of: This is a method in which the glass substrate is once vacuum-adsorbed on the cooling plate between the processing step and then the vacuum adsorption is released to cool the glass substrate from the back surface.
【０００６】請求項２のカラーフィルタ製造方法は、ガ
ラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当って、
ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸着した
後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷却する
方法である。請求項３のカラーフィルタ製造方法は、ガ
ラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフィルタ
を製造する方法であって、ガラス基板を加熱する工程
と、次の処理工程との間において、ガラス基板を冷却板
により冷却するに当って、ガラス基板の厚みを２ｍｍ以
下に設定するとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板
温度と冷却板との温度差を６０℃以下に設定する方法で
ある。In the method of manufacturing a color filter according to a second aspect of the present invention, when the glass substrate is sequentially cooled by a plurality of cooling plates,
This is a method in which the glass substrate is once vacuum-adsorbed on the first cooling plate and then the vacuum adsorption is released to cool the glass substrate from the back surface. The color filter manufacturing method according to claim 3 is a method for manufacturing a color filter by forming a coating film on a glass substrate, wherein the glass substrate is heated between the step of heating the glass substrate and the subsequent processing step. When the glass is cooled by the cooling plate, the thickness of the glass substrate is set to 2 mm or less, and the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the cooling plate is set to 60 ° C. or less.
【０００７】請求項４のカラーフィルタ製造方法は、冷
却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に搬入前
のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差が６０
℃以下に設定される方法である。請求項５のカラーフィ
ルタ製造装置は、ガラス基板上に塗膜を形成することに
よりカラーフィルタを製造するに当って、ガラス基板を
加熱する工程と、次の処理工程との間に、ガラス基板を
裏面から冷却する冷却板と、冷却板温度をコントロール
する温調部と、ガラス基板を吸着する吸着部と、ガラス
基板を移載する移載部とを設けてなるカラーフィルタ製
造装置であって、冷却板では、いったんガラス基板を真
空吸着した後、吸着を解除して冷却するものである。In the color filter manufacturing method of the fourth aspect, a plurality of cooling plates are provided, and the temperature difference between the temperature of the glass substrate before being carried into the cooling device and the first cooling plate is 60.
This is a method of setting the temperature below ℃. The color filter manufacturing apparatus according to claim 5 manufactures a color filter by forming a coating film on a glass substrate, and when the glass substrate is heated between the step of heating the glass substrate and the next processing step, A color filter manufacturing apparatus comprising: a cooling plate for cooling from the back surface; a temperature control unit for controlling the cooling plate temperature; an adsorption unit for adsorbing a glass substrate; and a transfer unit for transferring the glass substrate, In the cooling plate, the glass substrate is once vacuum-adsorbed, and then the adsorption is released to cool the glass substrate.
【０００８】請求項６のカラーフィルタ製造装置は、ガ
ラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当って、
ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸着した
後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷却する
ものである。請求項７のカラーフィルタ製造装置は、ガ
ラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフィルタ
を製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程と、次
の処理工程との間に、ガラス基板を裏面から冷却する冷
却板と、冷却板温度をコントロールする温調部と、ガラ
ス基板を吸着する吸着部と、ガラス基板を移載する移載
部とを設けてなるカラーフィルタ製造装置であって、ガ
ラス基板の厚みが２ｍｍ以下に設定されてあるととも
に、冷却装置に搬入前のガラス基板温度と冷却板との温
度差を６０℃以下に設定する温度制御器を有している。In the color filter manufacturing apparatus of the sixth aspect, when the glass substrate is sequentially cooled by the plurality of cooling plates,
The glass substrate is once vacuum-adsorbed on the first cooling plate and then the vacuum adsorption is released to cool the glass substrate from the back surface. The color filter manufacturing apparatus according to claim 7, wherein when the color filter is manufactured by forming a coating film on the glass substrate, the glass substrate is placed between the step of heating the glass substrate and the next processing step. A color filter manufacturing apparatus comprising: a cooling plate for cooling from the back surface; a temperature control unit for controlling the cooling plate temperature; an adsorption unit for adsorbing a glass substrate; and a transfer unit for transferring the glass substrate, The thickness of the glass substrate is set to 2 mm or less, and a temperature controller for setting the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the cooling plate to 60 ° C. or less is provided.
【０００９】請求項８のカラーフィルタ製造装置は、冷
却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に搬入前
のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差が６０
℃以下に設定されたものである。In the color filter manufacturing apparatus of claim 8, a plurality of cooling plates are provided, and the temperature difference between the temperature of the glass substrate before being carried into the cooling device and the first cooling plate is 60.
It is set to be below ℃.
【００１０】[0010]
【作用】請求項１のカラーフィルタ製造方法であれば、
ガラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフィル
タを製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程と、
次の処理工程との間において、ガラス基板をいったん冷
却板に真空吸着した後に真空吸着を解除してガラス基板
を裏面から冷却するのであるから、真空吸着によりガラ
ス基板の全範囲を冷却板に良好に密着させることがで
き、次いで、真空吸着を解除するので、ガラス基板に対
する拘束力を解消させることができる。したがって、ガ
ラス基板と冷却板との間の熱伝導が均一かつ良好にな
り、ガラス基板の冷却を効率よく達成することができ、
しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮が発生しても、
拘束力が解消されているので、ガラス基板に割れが発生
することを未然に防止することができる。According to the color filter manufacturing method of claim 1,
In manufacturing a color filter by forming a coating film on a glass substrate, a step of heating the glass substrate,
Between the next processing step, the glass substrate is once vacuum-adsorbed on the cooling plate, and then the vacuum adsorption is released to cool the glass substrate from the back surface. Since the vacuum suction is released, the binding force to the glass substrate can be eliminated. Therefore, the heat conduction between the glass substrate and the cooling plate becomes uniform and good, and the cooling of the glass substrate can be efficiently achieved,
Moreover, even if the glass substrate shrinks as it cools,
Since the binding force is eliminated, it is possible to prevent the glass substrate from cracking.
【００１１】請求項２のカラーフィルタ製造方法であれ
ば、ガラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当
って、ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸
着した後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷
却するのであるから、温度が最も高いガラス基板を冷却
する第１番目の冷却板に対して、いったん真空吸着する
ことにより良好な密着性を達成した後に、真空吸着を解
除してガラス基板に対する拘束力を解消させ、この結
果、ガラス基板と第１番目の冷却板との間の熱伝導が均
一かつ良好になり、ガラス基板の冷却を効率よく達成す
ることができ、しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮
が発生しても、拘束力が解消されているので、ガラス基
板に割れが発生することを未然に防止することができ
る。According to the color filter manufacturing method of the second aspect, when the glass substrate is sequentially cooled by the plurality of cooling plates, the glass substrate is once vacuum-sucked to the first cooling plate and then the vacuum suction is released. Since the glass substrate is cooled from the backside with the first cooling plate that cools the glass substrate with the highest temperature, vacuum adsorption is once performed to achieve good adhesion, and then vacuum adsorption is released. The binding force on the glass substrate is eliminated, and as a result, the heat conduction between the glass substrate and the first cooling plate becomes uniform and good, and the cooling of the glass substrate can be efficiently achieved. Even if the glass substrate contracts due to cooling, the restraining force is eliminated, so that the glass substrate can be prevented from cracking.
【００１２】請求項３のカラーフィルタ製造方法であれ
ば、ガラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフ
ィルタを製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程
と、次の処理工程との間において、ガラス基板を冷却板
により冷却する場合に、ガラス基板の厚みを２ｍｍ以下
に設定するとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板温
度と冷却板との温度差を６０℃以下に設定するのである
から、ガラス基板に収縮が発生し、かつガラス基板が真
空吸着などにより拘束されていても、ガラス基板に割れ
を生じさせるような熱応力は発生しない。即ち、ガラス
基板に割れを生じさせることなく良好な冷却を達成する
ことができる。According to the color filter manufacturing method of the third aspect, in manufacturing the color filter by forming the coating film on the glass substrate, the step of heating the glass substrate and the subsequent processing step are performed. In the case of cooling the glass substrate with the cooling plate, the thickness of the glass substrate is set to 2 mm or less and the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the cooling plate is set to 60 ° C. or less. Therefore, even if the glass substrate contracts and the glass substrate is constrained by vacuum adsorption or the like, thermal stress that causes the glass substrate to crack does not occur. That is, good cooling can be achieved without causing cracks in the glass substrate.
【００１３】請求項４のカラーフィルタ製造方法であれ
ば、冷却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に
搬入前のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差
が６０℃以下に設定されるのであるから、温度が最も高
いガラス基板を第１番目の冷却板で冷却する場合に、ガ
ラス基板に割れが生じることを確実に防止できる。請求
項５のカラーフィルタ製造装置であれば、ガラス基板上
に塗膜を形成することによりカラーフィルタを製造する
に当って、ガラス基板を加熱する工程と、次の処理工程
との間に、ガラス基板を裏面から冷却する冷却板と、冷
却板温度をコントロールする温調部と、ガラス基板を吸
着する吸着部と、ガラス基板を移載する移載部とを設け
てなり、冷却板では、いったんガラス基板を真空吸着し
た後、吸着を解除して冷却するのであるから、真空吸着
によりガラス基板の全範囲を冷却板に良好に密着させる
ことができ、次いで、真空吸着を解除するので、ガラス
基板に対する拘束力を解消させることができる。したが
って、ガラス基板と冷却板との間の熱伝導が均一かつ良
好になり、ガラス基板の冷却を効率よく達成することが
でき、しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮が発生し
ても、拘束力が解消されているので、ガラス基板に割れ
が発生することを未然に防止することができる。According to the color filter manufacturing method of the fourth aspect, a plurality of cooling plates are provided, and the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the first cooling plate is 60 ° C. or less. Since it is set, when the glass substrate having the highest temperature is cooled by the first cooling plate, it is possible to reliably prevent the glass substrate from cracking. According to the color filter manufacturing apparatus of claim 5, in manufacturing the color filter by forming a coating film on the glass substrate, the glass is heated between the step of heating the glass substrate and the next processing step. A cooling plate that cools the substrate from the back side, a temperature control unit that controls the temperature of the cooling plate, an adsorption unit that adsorbs the glass substrate, and a transfer unit that transfers the glass substrate are provided. Since the glass substrate is vacuum-adsorbed and then released and cooled, the entire area of the glass substrate can be brought into good contact with the cooling plate by vacuum adsorption, and then the vacuum adsorption is released. The binding force against can be eliminated. Therefore, the heat conduction between the glass substrate and the cooling plate becomes uniform and good, the cooling of the glass substrate can be efficiently achieved, and even if the glass substrate contracts due to the cooling, it is restrained. Since the force is eliminated, it is possible to prevent the glass substrate from cracking.
【００１４】請求項６のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、ガラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当
って、ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸
着した後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷
却するのであるから、温度が最も高いガラス基板を冷却
する第１番目の冷却板に対して、いったん真空吸着する
ことにより良好な密着性を達成した後に、真空吸着を解
除してガラス基板に対する拘束力を解消させ、この結
果、ガラス基板と第１番目の冷却板との間の熱伝導が均
一かつ良好になり、ガラス基板の冷却を効率よく達成す
ることができ、しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮
が発生しても、拘束力が解消されているので、ガラス基
板に割れが発生することを未然に防止することができ
る。According to the color filter manufacturing apparatus of claim 6, when the glass substrate is sequentially cooled by the plurality of cooling plates, the glass substrate is once vacuum-adsorbed on the first cooling plate and then the vacuum adsorption is released. Since the glass substrate is cooled from the backside with the first cooling plate that cools the glass substrate with the highest temperature, vacuum adsorption is once performed to achieve good adhesion, and then vacuum adsorption is released. The binding force on the glass substrate is eliminated, and as a result, the heat conduction between the glass substrate and the first cooling plate becomes uniform and good, and the cooling of the glass substrate can be efficiently achieved. Even if the glass substrate contracts due to cooling, the restraining force is eliminated, so that the glass substrate can be prevented from cracking.
【００１５】請求項７のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、ガラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフ
ィルタを製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程
と、次の処理工程との間に、ガラス基板を裏面から冷却
する冷却板と、冷却板温度をコントロールする温調部
と、ガラス基板を吸着する吸着部と、ガラス基板を移載
する移載部とを設けてなり、ガラス基板の厚みが２ｍｍ
以下に設定されてあるとともに、冷却装置に搬入前のガ
ラス基板温度と冷却板との温度差を６０℃以下に設定す
る温度制御器を有しているのであるから、ガラス基板に
収縮が発生し、かつガラス基板が真空吸着などにより拘
束されていても、ガラス基板に割れを生じさせるような
熱応力は発生しない。即ち、ガラス基板に割れを生じさ
せることなく良好な冷却を達成することができる。According to the color filter manufacturing apparatus of claim 7, in manufacturing the color filter by forming the coating film on the glass substrate, the step of heating the glass substrate and the next processing step are performed. In addition, a cooling plate for cooling the glass substrate from the back surface, a temperature control unit for controlling the temperature of the cooling plate, an adsorption unit for adsorbing the glass substrate, and a transfer unit for transferring the glass substrate are provided. Thickness is 2mm
Since it has the temperature controller that is set below and sets the temperature difference between the glass plate temperature before being carried into the cooling device and the cooling plate to 60 ° C. or less, the glass substrate shrinks. Moreover, even if the glass substrate is constrained by vacuum adsorption or the like, thermal stress that causes cracks in the glass substrate does not occur. That is, good cooling can be achieved without causing cracks in the glass substrate.
【００１６】請求項８のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、冷却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に
搬入前のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差
が６０℃以下に設定されているのであるから、温度が最
も高いガラス基板を第１番目の冷却板で冷却する場合
に、ガラス基板に割れが生じることを確実に防止でき
る。According to another aspect of the color filter manufacturing apparatus of the present invention, a plurality of cooling plates are provided, and the temperature difference between the temperature of the glass substrate before being carried into the cooling device and the first cooling plate is 60 ° C. or less. Since it is set, it is possible to reliably prevent the glass substrate from cracking when the glass substrate having the highest temperature is cooled by the first cooling plate.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明を、図を参照して具体的に説明
する。図３はカラーフィルタ製造工程を示す概略ブロッ
ク図である。カラーフィルタ製造工程は、ガラス基板上
にブラックマトリクスを形成する工程、ガラス基板を洗
浄する工程、ガラス基板にペーストを塗布する工程、ペ
ーストを仮硬化させる工程、露光する工程、現像する工
程、ペーストを硬化させる工程、ＩＴＯ（酸化インジウ
ム、酸化すず）成膜工程をこの順に含んでいる。ただ
し、ガラス基板にペーストを塗布する工程からペースト
を硬化させる工程までは、３原色のそれぞれに対してペ
ーストを変更して反復される。The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 3 is a schematic block diagram showing a color filter manufacturing process. The color filter manufacturing process includes a step of forming a black matrix on a glass substrate, a step of cleaning the glass substrate, a step of applying a paste to the glass substrate, a step of temporarily curing the paste, an step of exposing, a step of developing, and a paste. A hardening process and an ITO (indium oxide, tin oxide) film forming process are included in this order. However, from the step of applying the paste to the glass substrate to the step of curing the paste, the paste is changed for each of the three primary colors and repeated.
【００１８】また、このカラーフィルタ製造工程におい
て、ガラス基板を洗浄する工程（特に、洗浄後の乾燥工
程）、ペーストを仮硬化させる工程、ペーストを硬化さ
せる工程は、それぞれの処理の性質上、ガラス基板に対
する加熱処理が必須である。したがって、これらの工程
の処理が終了した後、次の工程が開始されるまでの間に
ガラス基板を十分に冷却しなければならず、この目的を
達成するために、該当する工程間にガラス基板を冷却す
る工程が介在される。ただし、ガラス基板の冷却工程
は、カラーフィルタ製造における本質的な工程ではな
く、付加的工程であるから、一般的には、図４の概略ブ
ロック図には図示されない。In the color filter manufacturing process, the process of cleaning the glass substrate (particularly, the process of drying after cleaning), the process of temporarily curing the paste, and the process of curing the paste are different in the nature of each treatment. Heat treatment of the substrate is essential. Therefore, after the processing of these steps is completed, the glass substrate must be sufficiently cooled by the time when the next step is started. And a step of cooling is intervened. However, the cooling process of the glass substrate is not an essential process in the manufacture of the color filter but an additional process, and thus is not generally shown in the schematic block diagram of FIG. 4.
【００１９】図１は本発明のガラス基板冷却装置の一実
施例を示す概略図である。１は第１冷却板、２は第２冷
却板であり、冷却板が２個の場合である。ガラス基板４
０は赤外線加熱オーブン（以下、ＩＲオーブンと略称す
る）１５により赤外加熱され、シャトルコンベア（図示
はしていない）により第１冷却板１に移載される。な
お、このＩＲオーブン１５は、前工程におけるガラス基
板４０の加熱のために用いられるものであり、ガラス基
板冷却装置の一部を構成するものではない。ガラス基板
４０は真空チャック部５により第１冷却板１に密着さ
れ、この状態でガラス基板４０は冷却される。第１冷却
板１での冷却後、ガラス基板４０はシャトルコンベア
（図示はしていない）により第２冷却板２に移載され、
ガラス基板４０は同様に冷却される。冷却後、ガラス基
板４０は次工程に搬送される。図２に冷却板の詳細の一
例を示す。冷却板１の温度制御は、ヒーター２３、温度
計２４、冷却水配管２５、バルブ２２、および制御部３
０で行う。即ち、温度計２４で冷却板の温度を測定し、
ヒータ−２３のＯＮ／ＯＦＦと冷却水配管用のバルブ２
２の開閉により冷却板１の温度を制御する。バルブ２２
の開閉、ヒータ−２３のＯＮ／ＯＦＦのコントロールは
制御部３０により行う。なお、複数の冷却板で冷却する
理由は冷却処理長を伸ばして、タクトタイムを短縮させ
るためである。FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the glass substrate cooling device of the present invention. Reference numeral 1 is a first cooling plate, 2 is a second cooling plate, and is a case where there are two cooling plates. Glass substrate 4
0 is infrared-heated by an infrared heating oven (hereinafter abbreviated as IR oven) 15 and is transferred to the first cooling plate 1 by a shuttle conveyor (not shown). The IR oven 15 is used for heating the glass substrate 40 in the previous step and does not constitute a part of the glass substrate cooling device. The glass substrate 40 is brought into close contact with the first cooling plate 1 by the vacuum chuck portion 5, and the glass substrate 40 is cooled in this state. After cooling with the first cooling plate 1, the glass substrate 40 is transferred to the second cooling plate 2 by a shuttle conveyor (not shown),
The glass substrate 40 is similarly cooled. After cooling, the glass substrate 40 is transported to the next step. FIG. 2 shows an example of details of the cooling plate. The temperature of the cooling plate 1 is controlled by the heater 23, the thermometer 24, the cooling water pipe 25, the valve 22, and the control unit 3.
Perform at 0. That is, the temperature of the cooling plate is measured by the thermometer 24,
ON / OFF of heater-23 and valve 2 for cooling water piping
The temperature of the cooling plate 1 is controlled by opening and closing 2. Valve 22
The control unit 30 controls the opening and closing of and the ON / OFF control of the heater-23. The reason for cooling with a plurality of cooling plates is to extend the cooling treatment length and shorten the takt time.
【００２０】通常、ガラス基板４０を冷却板１で冷却す
る際は、図２に示すバルブ２１ａを開にし、真空チャッ
ク５を真空源（真空ポンプ２６）に通じさせておき、ガ
ラス基板４０を真空吸着状態で保持させておくが、本発
明ではガラス基板４０を真空吸着した後、吸着を解除す
る。具体的には、例えば、次の（１）から（４）の何れ
かの処理が行われる。 （１）まず、真空源（真空ポンプ２６）に接続するバル
ブ２１ａを開とし、いったんガラス基板４０を真空チャ
ック５により真空吸着した後、バルブ２１ａを閉として
吸着を解除する。（２）まず、真空源（真空ポンプ２
６）に接続するバルブ２１ａを開とし、いったんガラス
基板４０を真空チャック５により真空吸着した後、バル
ブ２１ａを閉とし、次に圧空源（コンプレッサー２７）
に接続するバルブ２１ｂを所定時間開として積極的に吸
着を解除する（この場合、圧空源に通じずに大気圧に開
放することも好ましい）。（３）まず、真空源（真空ポ
ンプ２６）に接続するバルブ２１ａを開とし、いったん
ガラス基板４０を真空チャック５により真空吸着した
後、バルブ２１ａを閉とし、弱い真空源（低真空ポンプ
２８）に接続するバルブ２１ｃを開とし吸着を解除す
る。（４）まず、真空源（真空ポンプ２６）に接続する
バルブ２１ａを開とし、いったんガラス基板４０を真空
チャック５により真空吸着した後、バルブ２１ａを閉と
し、弱い真空源（低真空ポンプ２８）に接続するバルブ
２１ｃを開とし、いったんガラス基板４０を弱い真空源
で吸着した後、バルブ２１ｃを閉として吸着を解除す
る。Normally, when the glass substrate 40 is cooled by the cooling plate 1, the valve 21a shown in FIG. 2 is opened and the vacuum chuck 5 is communicated with the vacuum source (vacuum pump 26) to vacuum the glass substrate 40. Although the glass substrate 40 is held in the suctioned state, in the present invention, the suction is released after the glass substrate 40 is vacuum-sucked. Specifically, for example, any one of the following processes (1) to (4) is performed. (1) First, the valve 21a connected to the vacuum source (vacuum pump 26) is opened, the glass substrate 40 is once vacuum-sucked by the vacuum chuck 5, and then the valve 21a is closed to release the suction. (2) First, the vacuum source (vacuum pump 2
The valve 21a connected to 6) is opened, the glass substrate 40 is once vacuum-sucked by the vacuum chuck 5, and then the valve 21a is closed, and then the compressed air source (compressor 27).
The valve 21b connected to is opened for a predetermined time to actively release the adsorption (in this case, it is also preferable to open to the atmospheric pressure without communicating with the compressed air source). (3) First, the valve 21a connected to the vacuum source (vacuum pump 26) is opened, the glass substrate 40 is once vacuum-sucked by the vacuum chuck 5, and then the valve 21a is closed, and the weak vacuum source (low vacuum pump 28) is closed. The valve 21c connected to is opened to release the adsorption. (4) First, the valve 21a connected to the vacuum source (vacuum pump 26) is opened, the glass substrate 40 is once vacuum-sucked by the vacuum chuck 5, and then the valve 21a is closed, and the weak vacuum source (low vacuum pump 28) is closed. The valve 21c connected to is opened to once adsorb the glass substrate 40 with a weak vacuum source, and then the valve 21c is closed to release the adsorption.
【００２１】本発明で使用するガラス基板は、特に限定
されないが、例えば、ソーダライムガラス、ホウケイ酸
系無アルカリガラス等が好ましく用いられる。本発明で
使用する冷却板の材質は、特に限定されないが、アルミ
合金、ステンレス等が好ましく用いられる。上述したよ
うに、冷却板の割れの原因は次のとおりである。ガラス
基板は冷却板により熱収縮しようとするが、真空吸着に
よりガラス基板の裏面は拘束されており、熱応力が発生
するからである。The glass substrate used in the present invention is not particularly limited, but for example, soda lime glass, borosilicate alkali-free glass, etc. are preferably used. The material of the cooling plate used in the present invention is not particularly limited, but aluminum alloy, stainless steel or the like is preferably used. As described above, the causes of cracking of the cooling plate are as follows. This is because the glass substrate tends to be thermally contracted by the cooling plate, but the back surface of the glass substrate is constrained by vacuum adsorption and thermal stress is generated.
【００２２】この解決手段として、冷却板でのガラス基
板吸着を行わない手段が考えられる。しかし、真空吸着
を行わずにガラス基板を冷却板上に移載すると、ガラス
基板と冷却板間の空気が逃げないため、冷却板に対する
ガラス基板の位置がずれて、ガラス基板に温度ムラが生
じたり、または、次の搬送で搬送位置がずれて最悪の場
合、ガラス基板が破損するという新たな問題が生じる。
また、別の解決手段として、冷却板に直接接触させるの
ではなく、複数のピンでガラス基板を支持することによ
り、ガラス基板と冷却板間の空気を逃がして冷却する手
段も考えられるが、この場合は冷却効率が悪化するとい
う新たな問題が生じる。As a means for solving this, means for not adsorbing the glass substrate on the cooling plate can be considered. However, if the glass substrate is transferred onto the cooling plate without performing vacuum adsorption, the air between the glass substrate and the cooling plate does not escape, so the position of the glass substrate with respect to the cooling plate shifts and temperature unevenness occurs on the glass substrate. Or, in the worst case, the transfer position shifts in the next transfer, which causes a new problem that the glass substrate is damaged.
Further, as another solution, it is conceivable that the glass substrate is supported by a plurality of pins instead of being brought into direct contact with the cooling plate to allow the air between the glass substrate and the cooling plate to escape and cool. In that case, a new problem arises that the cooling efficiency deteriorates.
【００２３】本発明のカラーフィルタ製造方法およびそ
の装置によれば、いったんガラス基板を真空吸着した
後、吸着を解除して冷却するように設定されている。こ
のため、ガラス基板を冷却板上に移載する際に、基板の
位置がずれることがなく、また、冷却時にはガラス基板
の裏面を真空チャックにより拘束しないため、ガラス基
板はフリーの状態となり、ガラス基板の割れは生じな
い。According to the color filter manufacturing method and the apparatus therefor of the present invention, it is set that the glass substrate is once vacuum-adsorbed, and then the adsorption is released and cooled. Therefore, when the glass substrate is transferred onto the cooling plate, the position of the substrate does not shift, and the back surface of the glass substrate is not constrained by the vacuum chuck during cooling, so that the glass substrate is in a free state. No substrate cracking occurs.
【００２４】また、本発明のカラーフィルタ製造方法お
よびその装置によれば、冷却板が複数の場合、いったん
ガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除することを第
１冷却板だけで行うため、より均一にガラス基板を冷却
することが可能である。いったんガラス基板の真空吸着
を解除すると、冷却板とガラス基板の接触状態が均一に
ならずに、ガラス基板に温度ムラが生じる可能性がある
ため、いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解
除して冷却するように設定することは、ガラス基板と冷
却板の温度差が激しい第１冷却板だけで行い、第２冷却
板以降では真空吸着を解除せずに冷却することが好まし
いのである。Further, according to the color filter manufacturing method and the apparatus therefor of the present invention, when a plurality of cooling plates are used, the glass substrate is once vacuum-sucked and then the suction is released only by the first cooling plate. It is possible to cool the glass substrate more uniformly. Once the vacuum suction of the glass substrate is released, the contact state between the cooling plate and the glass substrate may not be uniform, and the glass substrate may have temperature unevenness. It is preferable that the cooling is performed only by the first cooling plate where the temperature difference between the glass substrate and the cooling plate is large, and after the second cooling plate, cooling is performed without releasing the vacuum adsorption.
【００２５】また、ガラス基板の割れは、冷却装置に搬
入前のガラス基板と第１冷却板との温度差が大きいから
である。温度差を少なくすれば、ガラス基板の割れは生
じなくなる。しかし、温度差が少なければ冷却効率が悪
くなり、冷却板の個数を増やさなければならない。この
点に関して、鋭意検討した結果、例えば室温まで冷却す
る場合、ガラス基板の厚みを２ｍｍ以下に設定し、冷却
装置に搬入前のガラス基板温度と第１冷却板との温度差
を４０〜６０℃に設定することにより、ガラス基板に割
れが生じずに、また、冷却板の個数を増やさずにガラス
基板を冷却できることを見いだした。このため、冷却装
置に搬入前のガラス基板と第１冷却板との温度差は４０
〜６０℃に設定することが好ましい。Further, the glass substrate is cracked because the temperature difference between the glass substrate and the first cooling plate before being carried into the cooling device is large. If the temperature difference is reduced, the glass substrate will not crack. However, if the temperature difference is small, the cooling efficiency becomes poor, and the number of cooling plates must be increased. Regarding this point, as a result of diligent study, for example, when cooling to room temperature, the thickness of the glass substrate is set to 2 mm or less, and the temperature difference between the glass substrate temperature before loading into the cooling device and the first cooling plate is 40 to 60 ° C. It was found that the glass substrate can be cooled without cracking in the glass substrate and the number of cooling plates is not increased by setting to. Therefore, the temperature difference between the glass substrate and the first cooling plate before being carried into the cooling device is 40.
It is preferable to set the temperature to -60 ° C.
【００２６】本発明のカラーフィルタ製造方法およびそ
の装置によれば、ガラス基板の厚みが２ｍｍ以下に設定
されているとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板温
度と第１冷却板との温度差が６０℃以下に設定されてい
る。このため、ガラス基板の割れが生じない。この場
合、真空吸着を解除しないで冷却板で冷却を行うことも
好ましく用いられる。According to the color filter manufacturing method and the apparatus therefor of the present invention, the thickness of the glass substrate is set to 2 mm or less, and the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the first cooling plate is small. It is set to 60 ° C or lower. Therefore, the glass substrate does not crack. In this case, cooling with a cooling plate without releasing vacuum suction is also preferably used.
【００２７】また、本発明で用いられる冷却板の個数は
複数が好ましく、タクトタイムを短縮できる。 具体例１ 図１に示すような構成の装置によりガラス基板の冷却を
行った。ガラス基板は、サイズ：３６０×４６５ｍｍ、
厚み：１．１ｍｍの無アルカリガラス基板（コーニング
社製７０５９）を用いた。まず、ＩＲオーブン１５でガ
ラス基板４０を１００℃に加熱した後、シャトルコンベ
ア（図示はしていない）で第１冷却板１に移載した。第
１冷却板１では真空チャック部５によりガラス基板４０
をいったん真空吸着して固定した後、吸着を解除して冷
却を行った。第１冷却板１で６０秒間冷却後、ガラス基
板４０をシャトルコンベアで第２冷却板２に移載した。
第２冷却板２では、真空吸着しながら、冷却を行い、６
０秒に次工程に搬送した。なお、第１冷却板１，第２冷
却板２の温度設定は２５℃とした。Further, the number of cooling plates used in the present invention is preferably plural, and the tact time can be shortened. Concrete Example 1 A glass substrate was cooled by an apparatus having a configuration as shown in FIG. The glass substrate has a size of 360 x 465 mm,
A non-alkali glass substrate (7059, manufactured by Corning) having a thickness of 1.1 mm was used. First, after heating the glass substrate 40 to 100 ° C. in the IR oven 15, it was transferred onto the first cooling plate 1 by a shuttle conveyor (not shown). In the first cooling plate 1, the glass substrate 40 is
Was once vacuum-adsorbed and fixed, then the adsorption was released and cooling was performed. After cooling with the first cooling plate 1 for 60 seconds, the glass substrate 40 was transferred onto the second cooling plate 2 by the shuttle conveyor.
In the second cooling plate 2, cooling is performed while vacuum suction is performed.
It was conveyed to the next step at 0 seconds. The temperature of the first cooling plate 1 and the second cooling plate 2 was set to 25 ° C.
【００２８】この結果、ガラス基板の割れを生じずに、
ガラス基板をムラなく冷却することができた。 比較例１ 第１冷却板で真空吸着解除を行わないこと以外は具体例
１と同様にガラス基板の冷却を行った。As a result, the glass substrate is not cracked,
The glass substrate could be cooled evenly. Comparative Example 1 The glass substrate was cooled in the same manner as in Example 1 except that the vacuum adsorption was not released on the first cooling plate.
【００２９】この結果、ガラス基板の中央部に割れが生
じ、良好に冷却することはできなかった。 具体例２ 図１に示すような構成の装置によりガラス基板の冷却を
行った。ガラス基板は、サイズ：３６０×４６５ｍｍ、
厚み：１．１ｍｍの無アルカリガラス基板（コーニング
社製７０５９）を用いた。まず、ＩＲオーブン１５でガ
ラス基板４０を１００℃に加熱した後、シャトルコンベ
ア（図示はしていない）で第１冷却板１に移載した。第
１冷却板１で真空吸着しながら冷却を行い、６０秒、ガ
ラス基板４０をシャトルコンベアで第２冷却板２に移載
した。第２冷却板２でも同様に冷却を行い、６０秒に次
工程に搬送した。なお、第１冷却板の温度設定は５０℃
とし、冷却装置の搬入前のガラス基板温度と第１冷却板
との温度差を５０℃とした。第２冷却板の温度設定は２
５℃とした。As a result, the central part of the glass substrate was cracked and it was not possible to cool it satisfactorily. Specific Example 2 A glass substrate was cooled by an apparatus configured as shown in FIG. The glass substrate has a size of 360 x 465 mm,
A non-alkali glass substrate (7059, manufactured by Corning) having a thickness of 1.1 mm was used. First, after heating the glass substrate 40 to 100 ° C. in the IR oven 15, it was transferred onto the first cooling plate 1 by a shuttle conveyor (not shown). The first cooling plate 1 was cooled while vacuum adsorbing, and the glass substrate 40 was transferred onto the second cooling plate 2 by the shuttle conveyor for 60 seconds. The second cooling plate 2 was also cooled in the same manner and conveyed to the next step in 60 seconds. The temperature setting of the first cooling plate is 50 ° C.
Then, the temperature difference between the glass substrate temperature before the cooling device was carried in and the first cooling plate was set to 50 ° C. The temperature setting of the second cooling plate is 2
It was set to 5 ° C.
【００３０】この結果、ガラス基板の割れを生じずに、
ガラス基板を充分に冷却することができた。 比較例２ 第１冷却板の温度設定を２５℃に設定すること以外は具
体例２と同様にガラス基板の冷却を行った。As a result, the glass substrate is not cracked,
The glass substrate could be cooled sufficiently. Comparative Example 2 The glass substrate was cooled in the same manner as in Example 2 except that the temperature setting of the first cooling plate was set to 25 ° C.
【００３１】この結果、ガラス基板の中央部に割れが生
じ、良好に冷却することはできなかった。As a result, the glass substrate was cracked at the central portion and could not be cooled well.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明
は、いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除
して冷却するように設定されているため、ガラス基板を
冷却板上に移載する際にガラス基板と冷却板間の空気が
逃げず、基板の位置がずれることがなく、また、冷却時
にはガラス基板の裏面を真空チャックにより拘束しない
ため、ガラス基板の割れを生じずに、ガラス基板を冷却
することができるという特有の効果を奏する。As described above, according to the first aspect of the present invention, since the glass substrate is once vacuum-sucked, the suction is released and the glass substrate is cooled, so that the glass substrate is transferred onto the cooling plate. The air between the glass substrate and the cooling plate does not escape when mounted, the position of the substrate does not shift, and because the back surface of the glass substrate is not constrained by the vacuum chuck during cooling, cracking of the glass substrate does not occur, There is a unique effect that the glass substrate can be cooled.
【００３３】請求項２の発明は、冷却板が複数の場合、
いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除して
冷却することを第１冷却板だけで行うため、より均一に
ガラス基板を冷却することができるという特有の効果を
奏する。請求項３の発明は、冷却装置に搬入前のガラス
基板温度と第１冷却板との温度差を６０℃以下に設定す
ることにより、ガラス基板の割れ生じずに、ガラス基板
を冷却することができるという特有の効果を奏する。According to a second aspect of the invention, when there are a plurality of cooling plates,
Once the glass substrate is vacuum-sucked, the suction is released and the cooling is performed only by the first cooling plate, so that the glass substrate can be cooled more uniformly. According to the invention of claim 3, by setting the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the first cooling plate to 60 ° C. or less, the glass substrate can be cooled without cracking of the glass substrate. It has the unique effect of being able to do it.
【００３４】請求項４の発明は、冷却板の個数が複数で
あるため、冷却処理長が伸び、タクトタイムを短縮する
ことができるという特有の効果を奏する。請求項５の発
明は、いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解
除して冷却するように設定されているため、ガラス基板
を冷却板上に移載する際にガラス基板と冷却板間の空気
が逃げず、基板の位置がずれることなく、また冷却時に
はガラス基板の裏面を真空チャックにより拘束しないた
め、ガラス基板の割れを生じずに、ガラス基板を冷却す
ることができるという特有の効果を奏する。According to the invention of claim 4, since the number of cooling plates is plural, the cooling processing length can be extended and the takt time can be shortened. Since the invention of claim 5 is set so that the glass substrate is once vacuum-sucked, and then the suction is released to cool the glass substrate, the glass substrate and the cooling plate are placed between the glass substrate and the cooling plate when the glass substrate is transferred onto the cooling plate. Air does not escape, the position of the substrate does not shift, and the back side of the glass substrate is not constrained by a vacuum chuck during cooling, so the glass substrate can be cooled without cracking. Play.
【００３５】請求項６の発明は、冷却板が複数の場合、
いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除して
冷却することを第１冷却板だけで行うため、より均一に
ガラス基板を冷却することが可能であるという特有の効
果を奏する。請求項７の発明は、冷却装置に搬入前のガ
ラス基板温度と第１冷却板との温度差を６０℃以下に設
定することにより、ガラス基板の割れが生じずに、ガラ
ス基板を冷却することができるという特有の効果を奏す
る。According to a sixth aspect of the invention, when there are a plurality of cooling plates,
Since the glass substrate is vacuum-sucked once and then the suction is released and the cooling is performed only by the first cooling plate, the glass substrate can be cooled more uniformly. According to a seventh aspect of the invention, the glass substrate is cooled without cracking by setting the temperature difference between the glass substrate temperature before being carried into the cooling device and the first cooling plate to 60 ° C. or less. There is a unique effect that can be.
【００３６】請求項８の発明は、冷却板の個数が複数で
あるため、冷却処理長が伸び、タクトタイムを短縮する
ことができるという特有の効果を奏する。According to the invention of claim 8, since the number of cooling plates is plural, the cooling processing length can be extended and the tact time can be shortened.
【図１】本発明のガラス基板冷却装置の一実施態様例を
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a glass substrate cooling device of the present invention.
【図２】冷却板の詳細を示す一実施態様例である。FIG. 2 is an exemplary embodiment showing details of a cooling plate.
【図３】カラーフィルタ製造工程を示す概略ブロック図
である。FIG. 3 is a schematic block diagram showing a color filter manufacturing process.
【図４】ガラス基板の割れを説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating cracking of a glass substrate.
１ 第１冷却板 ２ 第２冷却板 ５ 真空チャック部 ２２ バルブ ２３ ヒータ ３０ 制御部 ４０ ガラス基板 1 1st cooling plate 2 2nd cooling plate 5 Vacuum chuck part 22 Valve 23 Heater 30 Control part 40 Glass substrate
Claims (8)
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、ガ
ラス基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との
間において、ガラス基板（４０）をいったん冷却板
（１）に真空吸着した後に真空吸着を解除してガラス基
板（４０）を裏面から冷却することを特徴とするカラー
フィルタ製造方法。1. A method of manufacturing a color filter by forming a coating film on a glass substrate (40), comprising the steps of heating a glass substrate (40) and a subsequent treatment step. A method of manufacturing a color filter, characterized in that the substrate (40) is once vacuum-adsorbed on the cooling plate (1) and then the vacuum adsorption is released to cool the glass substrate (40) from the back surface.
（１）（２）により順次冷却するに当って、ガラス基板
（４０）をいったん第１番目の冷却板（１）に真空吸着
した後に真空吸着を解除してガラス基板（４０）を裏面
から冷却する請求項１に記載のカラーフィルタ製造方
法。2. When the glass substrate (40) is sequentially cooled by a plurality of cooling plates (1) and (2), the glass substrate (40) is once vacuum-adsorbed to the first cooling plate (1). The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein the vacuum adsorption is released to cool the glass substrate (40) from the back surface.
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、ガ
ラス基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との
間において、ガラス基板（４０）を冷却板（１）により
冷却するに当って、ガラス基板（４０）の厚みを２ｍｍ
以下に設定するとともに、冷却装置に搬入前のガラス基
板（４０）と冷却板（１）との温度差を６０℃以下に設
定することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。3. A method for producing a color filter by forming a coating film on a glass substrate (40), comprising the steps of heating the glass substrate (40) and the subsequent treatment step. In cooling the substrate (40) with the cooling plate (1), the thickness of the glass substrate (40) is set to 2 mm.
A method for manufacturing a color filter, which is set as follows and a temperature difference between the glass substrate (40) and the cooling plate (1) before being carried into the cooling device is set to 60 ° C. or less.
るとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板（４０）と
第１番目の冷却板（１）との温度差が６０℃以下に設定
されてある請求項３記載のカラーフィルタ製造方法。4. A plurality of cooling plates (1) and (2) are provided, and the temperature difference between the glass substrate (40) and the first cooling plate (1) before being carried into the cooling device is 60 ° C. or less. The method of manufacturing a color filter according to claim 3, wherein
ことによりカラーフィルタを製造するに当って、ガラス
基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との間
に、ガラス基板（４０）を裏面から冷却する冷却板
（１）と、冷却板温度をコントロールする温調部（２
２）（２３）（３０）と、ガラス基板（４０）を吸着す
る吸着部（５）と、ガラス基板（４０）を移載する移載
部とを設けてなるカラーフィルタ製造装置であって、冷
却板（１）では、いったんガラス基板（４０）を真空吸
着した後、吸着を解除して冷却することを特徴とするカ
ラーフィルタ製造装置。5. When manufacturing a color filter by forming a coating film on a glass substrate (40), a glass substrate is provided between the step of heating the glass substrate (40) and the next treatment step. A cooling plate (1) that cools (40) from the back side, and a temperature control unit (2 that controls the cooling plate temperature
2) A color filter manufacturing apparatus comprising: (23) and (30); a suction unit (5) that sucks a glass substrate (40); and a transfer unit that transfers the glass substrate (40). In the cooling plate (1), the glass substrate (40) is once vacuum-adsorbed, and then the adsorption is released to cool the glass substrate (40).
（１）（２）により順次冷却するに当って、ガラス基板
（４０）をいったん第１番目の冷却板（１）に真空吸着
した後に真空吸着を解除してガラス基板（４０）を裏面
から冷却する請求項５に記載のカラーフィルタ製造装
置。6. When the glass substrate (40) is sequentially cooled by a plurality of cooling plates (1) and (2), the glass substrate (40) is once vacuum-adsorbed on the first cooling plate (1). The color filter manufacturing apparatus according to claim 5, wherein the vacuum suction is released to cool the glass substrate (40) from the back surface.
ことによりカラーフィルタを製造するに当って、ガラス
基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との間
に、ガラス基板（４０）を裏面から冷却する冷却板
（１）と、冷却板温度をコントロールする温調部（２
２）（２３）（３０）と、ガラス基板（４０）を吸着す
る吸着部（５）と、ガラス基板（４０）を移載する移載
部とを設けてなるカラーフィルタ製造装置であって、ガ
ラス基板の厚みが２ｍｍ以下に設定されてあるととも
に、冷却装置に搬入前のガラス基板（４０）と冷却板
（１）との温度差を６０℃以下に設定する温度制御器
（３０）を有することを特徴とするカラーフィルタ製造
装置。7. The method for producing a color filter by forming a coating film on a glass substrate (40), wherein a glass substrate is provided between the step of heating the glass substrate (40) and the next treatment step. A cooling plate (1) that cools (40) from the back side, and a temperature control unit (2 that controls the cooling plate temperature
2) A color filter manufacturing apparatus comprising: (23) and (30); a suction unit (5) that sucks a glass substrate (40); and a transfer unit that transfers the glass substrate (40). The thickness of the glass substrate is set to 2 mm or less, and a temperature controller (30) that sets the temperature difference between the glass substrate (40) and the cooling plate (1) before being carried into the cooling device to 60 ° C. or less is provided. A color filter manufacturing apparatus characterized by the above.
るとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板（４０）と
第１番目の冷却板（１）との温度差が６０℃以下に設定
されてある請求項７記載のカラーフィルタ製造装置。8. A plurality of cooling plates (1) and (2) are provided, and the temperature difference between the glass substrate (40) and the first cooling plate (1) before being carried into the cooling device is 60 ° C. or less. The color filter manufacturing apparatus according to claim 7, wherein the color filter manufacturing apparatus is set to.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7690395A JP3324327B2 (en) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | Method and apparatus for manufacturing color filter |
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|---|---|---|---|
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271726A true JPH08271726A (en) | 1996-10-18 |
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Family
ID=13618633
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP7690395A Expired - Fee Related JP3324327B2 (en) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | Method and apparatus for manufacturing color filter |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3324327B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980060813A (en) * | 1996-12-31 | 1998-10-07 | 손욱 | Film Carrier for Substrate |
| JP2001252610A (en) * | 2000-03-09 | 2001-09-18 | Toray Ind Inc | Coating method, coating device, and method and device for manufacturing color filter |
| JP2006284667A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | Method of heating and cooling color filter substrate |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP7690395A patent/JP3324327B2/en not_active Expired - Fee Related
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| KR19980060813A (en) * | 1996-12-31 | 1998-10-07 | 손욱 | Film Carrier for Substrate |
| JP2001252610A (en) * | 2000-03-09 | 2001-09-18 | Toray Ind Inc | Coating method, coating device, and method and device for manufacturing color filter |
| JP2006284667A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | Method of heating and cooling color filter substrate |
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| JP3324327B2 (en) | 2002-09-17 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |