JPH08266890A - 放電化学反応器 - Google Patents
放電化学反応器Info
- Publication number
- JPH08266890A JPH08266890A JP7072798A JP7279895A JPH08266890A JP H08266890 A JPH08266890 A JP H08266890A JP 7072798 A JP7072798 A JP 7072798A JP 7279895 A JP7279895 A JP 7279895A JP H08266890 A JPH08266890 A JP H08266890A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- chemical reactor
- discharge chemical
- electrode
- electric discharge
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- Pending
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- Plasma Technology (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 均等な電界を確保し、放電面積が広く、化学
反応効率が高い放電化学反応器を提供する。 【構成】 ガスを封入した放電化学反応器１０内に二対
のグラスライニング電極４が配置されている。グラスラ
イニング電極４は略五角形断面であり、隣接する各電極
が対面する部分には平行部５が存在しており、すべての
角部には丸み部６が形成されている。
反応効率が高い放電化学反応器を提供する。 【構成】 ガスを封入した放電化学反応器１０内に二対
のグラスライニング電極４が配置されている。グラスラ
イニング電極４は略五角形断面であり、隣接する各電極
が対面する部分には平行部５が存在しており、すべての
角部には丸み部６が形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は放電化学反応器に関し、
特に大気中の有害なＮＯX やＳＯX や揮発性有機化合物
ならびに悪臭物質を放電プラズマ現象により分解除去す
る装置として、また空気や酸素から放電プラズマ現象に
よりオゾンを発生する装置として、さらに希ガス中での
放電プラズマ現象により各種単波長の紫外線を発生する
装置として、そして固体の表面に放電プラズマ現象によ
り親水性処理や疎水性処理を施す装置として好適な放電
化学反応器に関するものである。
特に大気中の有害なＮＯX やＳＯX や揮発性有機化合物
ならびに悪臭物質を放電プラズマ現象により分解除去す
る装置として、また空気や酸素から放電プラズマ現象に
よりオゾンを発生する装置として、さらに希ガス中での
放電プラズマ現象により各種単波長の紫外線を発生する
装置として、そして固体の表面に放電プラズマ現象によ
り親水性処理や疎水性処理を施す装置として好適な放電
化学反応器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】放電
化学反応器に用いる電極として、図６に示すような多角
形断面の電極３１や、図７に示すような円形断面の電極
３２が知られている。しかし、図６に示す電極３１は、
角部が尖っているので、角部への電界集中により放電現
象Ｄ0 は集中的に角部に発生しやすい。また、図７に示
す電極３２においても、対面する電極の中心部に電界集
中が生じやすく、局部的にしか放電現象Ｄ0 が見られな
い。
化学反応器に用いる電極として、図６に示すような多角
形断面の電極３１や、図７に示すような円形断面の電極
３２が知られている。しかし、図６に示す電極３１は、
角部が尖っているので、角部への電界集中により放電現
象Ｄ0 は集中的に角部に発生しやすい。また、図７に示
す電極３２においても、対面する電極の中心部に電界集
中が生じやすく、局部的にしか放電現象Ｄ0 が見られな
い。
【０００３】このように、従来知られている電極形状の
ものは電極全体に均等な電界が得られないので、放電面
積が狭く、化学反応効率が低い。
ものは電極全体に均等な電界が得られないので、放電面
積が狭く、化学反応効率が低い。
【０００４】本発明は従来の技術の有するこのような問
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、均等
な電界を確保し、放電面積が広く、化学反応効率が高い
放電化学反応器を提供することにある。
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、均等
な電界を確保し、放電面積が広く、化学反応効率が高い
放電化学反応器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の要旨は、ガスを封入した容器内に配置した少
なくとも一対のグラスライニング電極の間に放電を起こ
すことにより気体をプラズマ状態として放電化学反応を
生じさせる放電化学反応器において、隣接する各電極が
対面する部分には平行部とその両端部に丸み部が形成さ
れていることを特徴とする放電化学反応器にある。
に本発明の要旨は、ガスを封入した容器内に配置した少
なくとも一対のグラスライニング電極の間に放電を起こ
すことにより気体をプラズマ状態として放電化学反応を
生じさせる放電化学反応器において、隣接する各電極が
対面する部分には平行部とその両端部に丸み部が形成さ
れていることを特徴とする放電化学反応器にある。
【０００６】本発明における放電には、無声放電、コロ
ナ放電およびグロー放電が含まれる。封入ガスとして
は、空気、酸素、Ｎ2 、Ｈ2 、Ｄ2 （重水素）、Ｈｅ、
Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｆ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、ＨＣ
ｌ、ＳＦ6 等の単独のものまたは複数を混合したものを
使用することができる。
ナ放電およびグロー放電が含まれる。封入ガスとして
は、空気、酸素、Ｎ2 、Ｈ2 、Ｄ2 （重水素）、Ｈｅ、
Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｆ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、ＨＣ
ｌ、ＳＦ6 等の単独のものまたは複数を混合したものを
使用することができる。
【０００７】
【作用】容器内にある種のガスを封入し、容器内に配置
した少なくとも一対のグラスライニング電極間に所定の
電圧を印加すると、隣接する各電極が対面する部分には
平行部とその両端部に丸み部が形成されているので局部
的な電界集中が生じることなく全体にわたってほぼ均等
な電界が生じ、広い範囲で放電が起こる。かくして、か
かるプラズマ化学反応により速やかに所定のガスが発生
する。
した少なくとも一対のグラスライニング電極間に所定の
電圧を印加すると、隣接する各電極が対面する部分には
平行部とその両端部に丸み部が形成されているので局部
的な電界集中が生じることなく全体にわたってほぼ均等
な電界が生じ、広い範囲で放電が起こる。かくして、か
かるプラズマ化学反応により速やかに所定のガスが発生
する。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１〜３において、同一符号は同じものを示
す。図１において、１はステンレス鋼製の円筒であり、
２は円筒１の側面に平行に配置したステンレス棒で、該
ステンレス棒２の両端を除く全面にはグラスライニング
３が施されてグラスライニング電極４が形成される。こ
のグラスライニング電極４は断面が略五角形で円筒内に
２対配置されており、隣接する各電極４が対面する部分
には平行部５が存在するように配置されており、そのす
べての角部には丸み部６が形成されている。そして、電
気絶縁材料である塩化ビニル樹脂で作製した、封入ガス
通入口７を有する蓋８ａと封入ガス排出口９を有する蓋
８ｂとにより円筒１の両端面を密封して放電化学反応器
１０を得た。１１は交流電源であり、絶縁被覆電線１２
を経てステンレス棒２に接続されている。
説明する。図１〜３において、同一符号は同じものを示
す。図１において、１はステンレス鋼製の円筒であり、
２は円筒１の側面に平行に配置したステンレス棒で、該
ステンレス棒２の両端を除く全面にはグラスライニング
３が施されてグラスライニング電極４が形成される。こ
のグラスライニング電極４は断面が略五角形で円筒内に
２対配置されており、隣接する各電極４が対面する部分
には平行部５が存在するように配置されており、そのす
べての角部には丸み部６が形成されている。そして、電
気絶縁材料である塩化ビニル樹脂で作製した、封入ガス
通入口７を有する蓋８ａと封入ガス排出口９を有する蓋
８ｂとにより円筒１の両端面を密封して放電化学反応器
１０を得た。１１は交流電源であり、絶縁被覆電線１２
を経てステンレス棒２に接続されている。
【０００９】次に、封入ガス通入口７から純酸素を放電
化学反応器１０内に通入し、交流電源１１により電極
４、４間に１０ｋＶの電圧を印加したところ、放電空間
１３には広い範囲に亘って放電Ｄ1 （図４参照）が生
じ、排出口９から取り出した酸素中にはオゾン濃度１０
０ｐｐｍのオゾンが生成したのが認められた。
化学反応器１０内に通入し、交流電源１１により電極
４、４間に１０ｋＶの電圧を印加したところ、放電空間
１３には広い範囲に亘って放電Ｄ1 （図４参照）が生
じ、排出口９から取り出した酸素中にはオゾン濃度１０
０ｐｐｍのオゾンが生成したのが認められた。
【００１０】図２は本発明の別の実施例を示す図であ
る。この放電化学反応器は図１のステンレス鋼製の円筒
１に代えて石英ガラス製の円筒１４とし、円筒１４の側
面に平行に配置したステンレス棒１５の全面にグラスラ
イニング１６を施してグラスライニング電極１７を形成
したものである。このグラスライニング電極１７も断面
が略五角形であり、隣接する各電極１７が対面する部分
には平行部５が存在しており、そのすべての角部には丸
み部６が形成されている。
る。この放電化学反応器は図１のステンレス鋼製の円筒
１に代えて石英ガラス製の円筒１４とし、円筒１４の側
面に平行に配置したステンレス棒１５の全面にグラスラ
イニング１６を施してグラスライニング電極１７を形成
したものである。このグラスライニング電極１７も断面
が略五角形であり、隣接する各電極１７が対面する部分
には平行部５が存在しており、そのすべての角部には丸
み部６が形成されている。
【００１１】次に、このように構成される放電化学反応
器１８の封入ガス通入口７からＸｅガスを容器内に通入
し、交流電源１１により電極１７、１７間に５ｋＶの高
電圧を印加したところ、放電空間１３内には広い範囲に
亘って放電Ｄ1 （図４参照）が生じ、Ｘｅガスのエキシ
マが生成するともに速やかに分解して１７２ｎｍの単一
波長の紫外線が発生した。この紫外線は石英ガラス製の
円筒１４を透過して外部に向けて照射され、プラスチッ
クフィルムの表面改質に利用した。
器１８の封入ガス通入口７からＸｅガスを容器内に通入
し、交流電源１１により電極１７、１７間に５ｋＶの高
電圧を印加したところ、放電空間１３内には広い範囲に
亘って放電Ｄ1 （図４参照）が生じ、Ｘｅガスのエキシ
マが生成するともに速やかに分解して１７２ｎｍの単一
波長の紫外線が発生した。この紫外線は石英ガラス製の
円筒１４を透過して外部に向けて照射され、プラスチッ
クフィルムの表面改質に利用した。
【００１２】図３は本発明のさらに別の実施例を示す図
であり、この放電化学反応器は図１の断面略五角形のグ
ラスライニング電極４に代えて断面コの字状の金属１９
にグラスライニング２０を施してグラスライニング電極
２１を形成したものである。
であり、この放電化学反応器は図１の断面略五角形のグ
ラスライニング電極４に代えて断面コの字状の金属１９
にグラスライニング２０を施してグラスライニング電極
２１を形成したものである。
【００１３】このグラスライニング電極２１は円筒内に
一対配置されており、電極が対面する部分には平行部５
が存在し、角部には丸み部６が形成されている。
一対配置されており、電極が対面する部分には平行部５
が存在し、角部には丸み部６が形成されている。
【００１４】次に、このように構成される放電化学反応
器２２の封入ガス通入口７から純酸素を容器内に通入
し、交流電源１１により電極２１、２１間に１０ｋＶの
電圧を印加したところ、放電空間２３には広い範囲に亘
って放電Ｄ2 （図５参照）が生じ、排出口９から取り出
した酸素中にはオゾン濃度１００ｐｐｍのオゾンが生成
したのが認められた。
器２２の封入ガス通入口７から純酸素を容器内に通入
し、交流電源１１により電極２１、２１間に１０ｋＶの
電圧を印加したところ、放電空間２３には広い範囲に亘
って放電Ｄ2 （図５参照）が生じ、排出口９から取り出
した酸素中にはオゾン濃度１００ｐｐｍのオゾンが生成
したのが認められた。
【００１５】
【発明の効果】本発明は上記のとおり構成されているの
で、均等な電界を確保し、放電面積が広く、化学反応効
率が高い放電化学反応器を提供することができる。
で、均等な電界を確保し、放電面積が広く、化学反応効
率が高い放電化学反応器を提供することができる。
【図１】図１（ａ）は本発明の放電化学反応器の一実施
例の縦断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断
面図である。
例の縦断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断
面図である。
【図２】図２（ａ）は本発明の放電化学反応器の別の実
施例の縦断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視
断面図である。
施例の縦断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視
断面図である。
【図３】図３（ａ）は本発明の放電化学反応器のさらに
別の実施例の縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−
Ｃ矢視断面図である。
別の実施例の縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−
Ｃ矢視断面図である。
【図４】本発明の放電化学反応器の電極の放電状態の一
実施例を示す図である。
実施例を示す図である。
【図５】本発明の放電化学反応器の電極の放電状態の別
の実施例を示す図である
の実施例を示す図である
【図６】従来の放電化学反応器の電極の放電状態の一実
施例を示す図である。
施例を示す図である。
【図７】従来の放電化学反応器の電極の放電状態の別の
実施例を示す図である。
実施例を示す図である。
１、１４…円筒 ２、１５…ステンレス棒 ３、１６、２０…グラスライニング ４、１７、２１…グラスライニング電極 ５…平行部 ６…丸み部 １０、１８、２２…放電化学反応器 １３、２３…放電空間 １９…金属
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｔ 19/00 Ｂ０１Ｄ 53/34 １２９Ｃ Ｈ０５Ｈ 1/24
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスを封入した容器内に配置した少なく
とも一対のグラスライニング電極の間に放電を起こすこ
とにより気体をプラズマ状態として放電化学反応を生じ
させる放電化学反応器において、隣接する各電極が対面
する部分には平行部とその両端部に丸み部が形成されて
いることを特徴とする放電化学反応器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7072798A JPH08266890A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 放電化学反応器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7072798A JPH08266890A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 放電化学反応器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08266890A true JPH08266890A (ja) | 1996-10-15 |
Family
ID=13499781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7072798A Pending JPH08266890A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 放電化学反応器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08266890A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080688A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置の電極構造 |
-
1995
- 1995-03-30 JP JP7072798A patent/JPH08266890A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080688A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置の電極構造 |
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