JPH0826483A - ユニット分離装置およびユニット分離方法 - Google Patents

ユニット分離装置およびユニット分離方法

Info

Publication number
JPH0826483A
JPH0826483A JP16964494A JP16964494A JPH0826483A JP H0826483 A JPH0826483 A JP H0826483A JP 16964494 A JP16964494 A JP 16964494A JP 16964494 A JP16964494 A JP 16964494A JP H0826483 A JPH0826483 A JP H0826483A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
ultrasonic
unit
oscillating means
unit block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16964494A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiko Uchiumi
和彦 内海
Yuji Miyasako
裕二 宮迫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP16964494A priority Critical patent/JPH0826483A/ja
Publication of JPH0826483A publication Critical patent/JPH0826483A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 設備のシンプル化、小型化による大幅なコス
トの削減が可能であり、かつ、セラミック板における割
れや欠けを発生することなく確実な分離を行うことがで
きるセラミック分離装置およびセラミック分離方法を提
供する。 【構成】 重なって接合し合った複数枚のユニットから
なるユニットブロックに横振動を発生させる横振動発振
手段と、前記ユニットブロックに縦振動を発生させる縦
振動発振手段とを有することを特徴とするユニット分離
装置。横振動発振手段と縦振動発振手段とは、ともに超
音波振動を利用して、ユニットブロックを略水平方向、
または略垂直方向に振動させ、個々のユニットに分離さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、重なって接合しあっ
た複数枚のユニットを互いに分離する際に用いられるユ
ニット分離装置およびユニット分離方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来より、重なって接合しあった複数枚
のユニットの分離方法としては湿式超音波振動方式とい
われるものがあり、この方法においては、セラミックブ
ロックを所定の溶液中に投入したうえ、この溶液を介し
てセラミックブロックに超音波振動を加えることによっ
て分離することが行われている。
【0003】また、図4に示すような乾式超音波振動方
式といわれる分離方法では、セラミック板1の一側面か
ら超音波振動を伝達する超音波ホーン3を当接させて、
当接しているセラミック板1とその直下に位置するセラ
ミック板2との界面に超音波振動を作用させ、その超音
波振動の作用により、当接しているセラミック板1を、
その直下に位置するセラミック板2から分離し、さらに
はシリング機構4による超音波ホーン3の前進動作に伴
ってセラミック板1を押し出す工程を順次行うことによ
って、すべてのセラミック板1、2、…が分離されるこ
とになる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような湿式超音
波振動方式といわれる分離方法を採用した場合には、溶
液中に浸漬されて濡れたセラミック板を乾燥させる設備
が必要となるばかりか、使用する溶液が有害物質である
場合には、廃液回収処理のための設備が別途必要となっ
て大幅なコストの増大を招くことになっていた。
【0005】さらに、図4に示すような乾式超音波振動
方式といわれる分離方法では、薄物基板やくっつきの強
い基板に対して超音波ホーンを押し付けると、基板の割
れや欠けが発生してしまったり、また完全に分離しない
場合もあった。
【0006】この発明の目的は、設備のシンプル化、小
型化による大幅なコストの削減が可能であり、かつ、セ
ラミック板における割れや欠けを発生することなく確実
な分離を行うことができるセラミック分離装置およびセ
ラミック分離方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な問題点を解決するためになされたもので、重なって接
合しあった複数枚のユニットからなるユニットブロック
に横振動を発生させる横振動発振手段と、前記ユニット
ブロックに縦振動を発生させる縦振動発振手段とを有す
ることを特徴とするものである。
【0008】また、この発明は、前記横振動発振手段と
前記縦振動発振手段との間に設置され、前記ユニットブ
ロックを搬送する搬送手段を有することを特徴とするも
のである。
【0009】また、この発明は、前記横振動発振手段
は、前記搬送手段の上流側に設置されるとともに、前記
縦振動発振手段は、前記搬送手段の下流側に設置されて
いることを特徴とするものである。
【0010】また、この発明は、前記横振動発振手段
は、所定の電気信号を出力する超音波発振器と、前記超
音波発振器が出力した電気信号により超音波振動する超
音波振動子と、超音波振動を伝播する超音波ホーンと、
前記ユニットブロックが載置されるとともに前記超音波
ホーンから伝播される超音波振動により振動する振動板
とを有することを特徴とするものである。
【0011】また、この発明は、前記縦振動発振手段
は、所定の電気信号を出力する超音波発振器と、前記超
音波発振器が出力した電気信号により超音波振動する超
音波振動子と、超音波振動を伝播する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンによって押し出されたユニットブロッ
クが受け止められる受け止め部とを有することを特徴と
するものである。
【0012】また、この発明は、重なって接合しあった
複数枚のユニットからなるユニットブロックに、横振動
発振手段により横振動を与える工程と、前記ユニットブ
ロックに縦振動発振手段により縦振動を与える工程とを
有することを特徴とするものである。
【0013】さらに、この発明は、前記ユニットブロッ
クに、前記横振動発振手段により横振動を与える工程
と、次に前記ユニットブロックを前記横振動発振手段か
ら前記縦振動発振手段へ移動させる工程と、次に前記ユ
ニットブロックに前記縦振動発振手段により縦振動を与
え、前記ユニットブロックを複数枚のユニットに分離さ
せる工程とを有することを特徴とするものである。
【0014】
【作用】この発明のユニット分離装置では、横振動発振
手段により、ユニットブロックを略水平方向に振動させ
ることができるとともに、縦振動発振手段により、ユニ
ットブロックを略垂直方向に振動させることができる。
【0015】また、横振動発振手段と縦振動発振手段と
の間に搬送手段が設置されていることにより、ユニット
ブロックは2つの発振手段の間を自動的に搬送される。
【0016】また、横振動発振手段が搬送手段の上流側
に設置され、縦振動発振手段が搬送手段の下流側に設置
される場合には、まず、搬送手段の上流側に位置する横
振動発振手段により、ユニットブロックを略水平方向に
振動させ、その後、搬送手段の下流側に位置する縦振動
発振手段により、ユニットブロックを略垂直方向に振動
させることができる。
【0017】また、横振動発振手段が、超音波発振器
と、超音波振動子と、超音波ホーンと、ユニットブロッ
クが載置される振動板とを有する場合には、超音波ホー
ンから出力された超音波振動は、振動板に伝播し、振動
板全面にわたって作用すると、振動板は略水平方向に振
動し、そこで、この振動板上に載置されたユニットブロ
ックは、振動板の振動に伴い、略水平方向に振動するこ
とができる。
【0018】また、縦振動発振手段が、超音波発振器
と、超音波振動子と、超音波ホーンと、超音波ホーンに
よって押し出されたユニットブロックが受け止められる
受け止め部とを有する場合には、超音波ホーンの先端面
がユニットブロックに接触し、超音波振動の作用によ
り、ユニットブロックは略垂直方向に振動する。そし
て、超音波ホーンの前進動作に伴って受け止め部の方向
へ押されることにより、ユニットブロックは位置ずれを
起こし、順次分離させられた上、分離したユニットのそ
れぞれを、受け止め部の受け止め面によって、受け止め
保持することができる。
【0019】次に、この発明のユニット分離方法では、
重なって接合し合った複数枚のユニットからなるユニッ
トブロックに、横振動発振手段により横振動を与える工
程と、ユニットブロックに縦振動発振手段により縦振動
を与える工程とを有するので、ユニットブロックに、横
振動発振手段により出力された略水平方向の横振動と、
さらに、縦振動発振手段により出力された略垂直方向の
縦振動を与えることができる。
【0020】さらに、ユニットブロックに横振動発振手
段により横振動を与える工程と、次にユニットブロック
を横振動発振手段から縦振動発振手段へ移動させる工程
と、次に、ユニットブロックに縦振動発振手段により縦
振動を与え、ユニットブロックを複数枚のユニットに分
離させる工程とを有する場合には、ユニットブロック
は、横振動発振手段により出力された略水平方向の横振
動を与えられ、次に、縦振動発振手段へ移動され、次
に、縦振動発振手段により出力された略垂直方向の縦振
動を与えられ、複数枚のユニットに分離することができ
る。
【0021】
【実施例】以下、図1を参照して、この発明の一実施例
であるユニット分離装置について説明する。このユニッ
ト分離装置は、重なって接合し合った複数枚のユニット
からなるユニットブロック10が搬送される搬送手段で
あるベルトコンベア11と、ユニットブロック10に横
振動を発生させる横振動発振手段20と、ユニットブロ
ック10に縦振動を発生させる2台の縦振動発振手段3
0、40と、これらを取り付け支持する取付支持台12
とを有している。なお、横振動発振手段20は、超音波
発振器21と、超音波振動子22と、超音波ホーン23
と、振動板24とを備えており、また、縦振動発振手段
30、40は、超音波発振器31、41(図示せず。)
と、超音波振動子32、42と、超音波ホーン33、4
3と、受け止め部34、44と、図示しないシリンダ機
構とを有している。
【0022】はじめに、横振動発振手段20について説
明する。超音波発振器21は、取付支持台12の内部に
設けられており、電気的信号を出力し、超音波振動子2
2に電気信号を送っている。
【0023】超音波振動子22は、超音波ホーン23の
後部に一体となって設けられており、超音波発振器21
から送られてきた電気的信号によって振動し、超音波ホ
ーン23へ超音波を伝播している。
【0024】超音波ホーン23は、略円柱状の形状をし
ており、取付部材13によって、取付支持台12と固定
されて、略垂直方向に配設されている。また、超音波ホ
ーン23は、取付支持台12の上部と内部とに設けられ
ており、上部の超音波ホーン23と内部の超音波ホーン
23(図示せず。)とは、略同一直線上に配置されてい
る。
【0025】振動板24は、略平板状の形状をしてお
り、取付支持台12上に略水平方向に設けられており、
振動可能に固定されている。
【0026】ここで、超音波ホーン23と振動板24と
は、直接接触しておらず、超音波振動子22から出力さ
れた超音波は、超音波ホーン23を通じて振動板24上
に伝播する。
【0027】人手取入部14は、ユニットブロック10
の形状に合わせた溝を有しており、取入口から振動板2
4へ投入する方向に向かって傾斜している。
【0028】プッシャー15は、略L字形の形状をして
おり、ユニットブロック10をチャックすることができ
るチャック部150を備えている。また、ベルトコンベ
ア11に向かって前進および後退動作させるための誘導
棒151が設けられている。
【0029】次に、縦振動発振手段30、40について
説明する。超音波発振器31、41(図示せず。)は、
21と同様に取付支持台12の内部に設けられており、
電気的信号を出力し、超音波振動子32、42に信号を
送っている。
【0030】超音波振動子32、42は、超音波ホーン
33、43の後部に一体となって設けられており、超音
波発振器31、41から送られてきた電気的信号によっ
て振動し、超音波ホーン33、43の方向へ超音波振動
を伝播している。
【0031】超音波ホーン33、43は、搬送されてき
たユニットブロック10が順次超音波ホーン33、43
と接触できるように、ベルトコンベア11を介して略水
平支持されて設置されている。また、ベルトコンベア1
1に向かって前進および後退のスライド動作が自在のシ
リンダ機構(図示せず。)を備えている。
【0032】ここで、図2、図3に示すように、超音波
ホーン33の先端面330は、ユニットブロック10を
構成してその最下側に位置するユニット100から順次
当接することになる傾斜形状を形成している。
【0033】さらに、受け止め部34が、ベルトコンベ
ア11を介して、超音波ホーン33と対向して配置され
ている。この受け止め部34は、ユニットブロック10
から順次分離したユニット100、101、102、…
の脱落を防止するためのものであり、受け止め面340
は、超音波ホーン33の先端面330と略同一方向に向
かう傾斜形状となっている。また、受け止め部34に
は、超音波ホーン33の押圧を和らげたり、間隔を調整
することのできる支持部341を備えている。
【0034】なお、縦振動発振手段30と40は、ほと
んど同一構成、同一形状からなっており、ベルトコンベ
ア11を介して超音波発振器、超音波振動子、超音波ホ
ーン、受け止め部がそれぞれ反対側の位置に設置されて
いる。そして、ベルトコンベア11の上流側に縦振動発
振手段30が配置されており、下流側に縦振動発振手段
40が配置されている。
【0035】次に、このユニット分離装置の動作につい
て説明する。まず、熱処理に伴って重なりあい、かつ、
互いに接合しあった複数枚のユニット100、101、
102、…からなるユニットブロック10を人手取入部
14に載置する。載置されたユニットブロック10は、
人手取入部14の溝に沿って振動板24に投入される。
ここで、振動板24は、超音波ホーン23によって伝播
された超音波振動により略水平方向に横振動をしてお
り、ユニットブロック10は、振動板24上で横振動を
受ける。
【0036】次に、横振動を受けたユニットブロック1
0は、プッシャー15のチャック部150で挟持され
て、ベルトコンベア11の方向へ押し出される。ベルト
コンベア11上に投入されたユニットブロック10は、
下流側の超音波ホーン33の前方まで搬送される。
【0037】このとき、ベルトコンベア11は、ユニッ
トブロック10に対し、縦振動発振手段30の作用が終
わるまで一時停止している。
【0038】次に、超音波ホーン33をスライドさせ
て、先端面330をユニットブロック10の下端部に当
接させる。すなわち、このとき、超音波ホーン33の先
端面330は、ユニットブロック10の最下側に位置す
るユニット100に当接していることになる。そこで、
この状態において超音波振動子32から超音波ホーン3
3を通じて出力された超音波振動は、この超音波ホーン
33の先端面330が当接しているユニット100に伝
わることになり、この最下側およびその直上に位置する
一対のユニット100、101相互の界面に作用する。
その結果、これらの両ユニット100、101は、超音
波振動の作用によって分離させられることになり、最下
側に位置していたユニット100はその直上に位置する
ユニット101から離れてしまうことになる。
【0039】さらに、この最下側に位置していて分離さ
せられたユニット100は、超音波ホーン33の前進動
作に伴ってユニットブロック10の他側面方向、つま
り、受け止め面340のある方向へと押されることにな
り、受け止め部34の受け止め面340によって受け止
め保持されるまで位置ずれさせられる。そして、この最
下側に位置していたユニット100が分離して位置ずれ
させられると、超音波ホーン33の先端面330は引き
続いて直上位置にあるユニット101の一側面に当接す
ることになり、再びそのユニット101およびその直上
に位置するユニット102の界面に超音波振動が作用す
ることになる。
【0040】以下、超音波ホーン33から出力された超
音波振動が上記同様の作用を繰り返す結果、このユニッ
トブロック10を構成していた複数枚のユニット10
0、101、102、…は順次分離させられることにな
り、分離させられたユニット100、101、102、
…のそれぞれは傾斜状態となった受け止め部34の受け
止め面340によって順番に受け止め保持される。
【0041】なお、受け止め面340で受け止められた
ユニット100、101、102、…が完全に分離して
いない場合には、さらに下流側に位置する縦振動発振手
段40によって、縦振動発振手段30と同様の動作を、
縦振動発振手段30とはベルトコンベア11を介して反
対側の位置で行う。反対側に縦振動発振手段を設けるこ
とによって、分離しかかっていたユニット100、10
1、102、…をより確実に分離することができる。
【0042】次に、このユニット分離方法について説明
する。このユニット分離方法は、ユニットブロック10
に対し、(1)横振動発振手段により横振動を与える工
程と、(2)横振動発振手段から縦振動発振手段へ搬送
する工程と、(3)縦振動発振手段により縦振動を与え
る工程とからなっている。以下に、(1)〜(3)の工
程について説明する。
【0043】(1)互いに重なって接合しあった複数枚
のユニット100、101、102、…からなるユニッ
トブロック10に対して、超音波発振器21を駆動させ
て超音波振動子22に電気信号を送り、超音波ホーン2
3を通じて超音波振動子22から出力された超音波振動
を与える。超音波振動は、超音波ホーン23に対して略
垂直方向に起こるので、超音波ホーン23と略90゜の
角度をなす振動板24は、略水平方向に振動する。よっ
て、振動板24の上に載置されたユニットブロック10
には、横振動が与えられる。横振動を与えることによっ
て、各ユニット間の吸着力を低減させる。
【0044】(2)横振動を与えられたユニットブロッ
ク10を、プッシャー15によってこれをベルトコンベ
ア11上に移動させる。ベルトコンベア11上に載置さ
れたユニットブロック10は、下流側の縦振動発振手段
30の前方まで搬送される。
【0045】(3)搬送されたユニットブロック10に
対し、超音波発振器31を駆動させて超音波振動子32
に電気信号を送り、超音波ホーン33を通じて超音波振
動子32から出力された超音波振動をユニット100に
与える。次に、超音波ホーン33の前進動作により、先
端面330をユニット100に当接させる。このとき、
先端面330の形状により、順次ユニット100に当接
することができ、複数枚のユニット100、101、1
02、…は順次分離させられる。なお、縦振動発振手段
30により完全に分離できなかった場合は、縦振動発振
手段40によりもう一度分離動作を行い、完全に分離さ
せる。
【0046】ところで、上記実施例のようなユニット分
離装置では、縦振動発振手段の超音波ホーンの先端面
は、受け止め部に向かって下向きに傾斜しており、最下
側に位置していたユニットから順次直上位置にあるユニ
ットを分離していくが、この発明はこれに限定されるも
のではなく、例えば、受け止め部に向かって上向きに傾
斜させて、最上側に位置していたユニットから順次直下
位置にあるユニットを分離してもよい。
【0047】また、上記実施例では、ベルトコンベア
は、ユニットブロックが縦振動発振手段の前方に搬送さ
れてきたときに、一時停止しているが、この発明はこれ
に限定されるものではなく、ユニットブロックに対し、
縦振動発振手段が作用する程度の搬送速度であれば、一
時停止しなくてもよい。
【0048】さらに、上記実施例では、横振動発振手段
と縦振動発振手段とが別々に設けられているが、この発
明はこれに限定されるものではなく、例えば、横振動発
振手段の振動板上で、ユニットブロックに横振動を作用
させた後、縦振動を作用させることが可能なユニット分
離装置を用いてもよい。
【0049】さらにまた、上記実施例では、(1)横振
動発振手段による横振動を与える工程と(3)縦振動発
振手段により縦振動を与える工程との間に、(2)横振
動発振手段から縦振動発振手段へ搬送する工程を有する
ユニット分離方法を用いているが、この発明はこれに限
定されるものではなく、(2)の工程を必要としないユ
ニット分離装置を用いてもよい。
【0050】この発明は、さらにその他の点において
も、上記実施例に限定されるものではなく、超音波振動
子または超音波ホーンの具体的形状、振動板の配置や具
体的形状、超音波ホーンの先端面または受け止め部の受
け止め面の具体的形状などに関し、この発明の要旨の範
囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。
【0051】
【発明の効果】この発明のユニット分離装置およびユニ
ット分離方法では、湿式超音波分離方式といわれる分離
方法に比べてシステムが単純、小型化でき、設備価格の
大幅な低減が可能である。
【0052】また、横振動発振手段による横振動をユニ
ットブロックに与えることによって、縦振動を与えるだ
けでは困難とされていた薄物ユニットや、強固なくっつ
き力を有するユニット焼成物でも、割れ欠け、くっつき
なく分離することが可能である。
【0053】また、横振動発振手段と縦振動発振手段と
の間に設置され、ユニットブロックを搬送する搬送手段
を有する場合には、そのユニットブロックが外形をくず
すことのないように自動的に搬送されることが可能であ
る。
【0054】また、横振動発振手段を搬送手段の上流側
に設置し、縦振動発振手段を搬送手段の下流側に設置す
る場合には、先に横振動発振手段によりユニットブロッ
クの吸着力を低減させた後に、最終的に縦振動発振手段
により分離することができ、より効果的である。
【0055】また、横振動発振手段が、超音波発振器
と、超音波振動子と、超音波ホーンと、ユニットブロッ
クが載置される振動板とを有する場合には、ユニットブ
ロックに対し、非接触で横振動を与えることができる。
【0056】また、縦振動発振手段が、超音波発振器
と、超音波振動子と、超音波ホーンと、超音波ホーンに
よって押し出されたユニットブロックが受け止められる
受け止め部とを有する場合には、弱い力で超音波ホーン
をユニットブロックに当接することができ、それによっ
て割れ欠けなく縦振動を与えることが可能である。
【0057】さらに、超音波ホーンで押し出すことによ
って1つずつ確実に分離し、受け止め部では分離したユ
ニットの脱落を防止することが可能である。
【0058】また、ユニットブロックに横振動発振手段
により横振動を与える工程と、次にユニットブロックを
横振動発振手段から縦振動発振手段へ移動させる工程
と、次に、ユニットブロックに縦振動発振手段により縦
振動を与え、ユニットブロックを複数枚のユニットに分
離させる工程とを有する場合には、横振動によってくっ
つき力を低減させ、そのユニットブロックが外形をくず
すことのないように搬送され、縦振動発振手段によって
個々のユニットに分離することができるので、縦振動を
与えるだけでは困難とされていた薄物ユニットや、強固
なくっつき力を有するユニット焼成物でも、割れ欠け、
くっつきなく分離することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す一部切欠斜視図。
【図2】この発明の一実施例を示す要部側面図。
【図3】この発明の一実施例を示す要部側面図。
【図4】従来のユニット分離装置を示す概略図。
【符号の説明】
10 ユニットブロック 11 ベルトコンベア 12 取付支持台 13 取付部材 14 人手取入部 15 プッシャー 150 チャック部 151 誘導棒 20 横振動発振手段 21 超音波発振器 22 超音波振動子 23 超音波ホーン 24 振動板 30、40 縦振動発振手段 31、41 超音波発振器 32、42 超音波振動子 33、43 超音波ホーン 330、430 先端面 34、44 受け止め部 340、440 受け止め面 341、441 支持部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 重なって接合しあった複数枚のユニット
    からなるユニットブロックに横振動を発生させる横振動
    発振手段と、前記ユニットブロックに縦振動を発生させ
    る縦振動発振手段とを有することを特徴とするユニット
    分離装置。
  2. 【請求項2】 前記横振動発振手段と前記縦振動発振手
    段との間に設置され、前記ユニットブロックを搬送する
    搬送手段を有することを特徴とする請求項1記載のユニ
    ット分離装置。
  3. 【請求項3】 前記横振動発振手段は、前記搬送手段の
    上流側に設置されるとともに、前記縦振動発振手段は、
    前記搬送手段の下流側に設置されていることを特徴とす
    る請求項1または2記載のユニット分離装置。
  4. 【請求項4】 前記横振動発振手段は、所定の電気信号
    を出力する超音波発振器と、前記超音波発振器が出力し
    た電気信号により超音波振動する超音波振動子と、超音
    波振動を伝播する超音波ホーンと、前記ユニットブロッ
    クが載置されるとともに前記超音波ホーンから伝播され
    る超音波振動により振動する振動板とを有することを特
    徴とする請求項1ないし3記載のユニット分離装置。
  5. 【請求項5】 前記縦振動発振手段は、所定の電気信号
    を出力する超音波発振器と、前記超音波発振器が出力し
    た電気信号により超音波振動する超音波振動子と、超音
    波振動を伝播する超音波ホーンと、前記超音波ホーンに
    よって押し出されたユニットブロックが受け止められる
    受け止め部とを有することを特徴とする請求項1ないし
    4記載のユニット分離装置。
  6. 【請求項6】 重なって接合し合った複数枚のユニット
    からなるユニットブロックに、横振動発振手段により横
    振動を与える工程と、前記ユニットブロックに縦振動発
    振手段により縦振動を与える工程とを有することを特徴
    とするユニット分離方法。
  7. 【請求項7】 前記ユニットブロックに、前記横振動発
    振手段により横振動を与える工程と、次に前記ユニット
    ブロックを前記横振動発振手段から前記縦振動発振手段
    へ移動させる工程と、次に前記ユニットブロックに前記
    縦振動発振手段により縦振動を与え、前記ユニットブロ
    ックを複数枚のユニットに分離させる工程とを有するこ
    とを特徴とする請求項6記載のユニット分離方法。
JP16964494A 1994-07-21 1994-07-21 ユニット分離装置およびユニット分離方法 Pending JPH0826483A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16964494A JPH0826483A (ja) 1994-07-21 1994-07-21 ユニット分離装置およびユニット分離方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16964494A JPH0826483A (ja) 1994-07-21 1994-07-21 ユニット分離装置およびユニット分離方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0826483A true JPH0826483A (ja) 1996-01-30

Family

ID=15890307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16964494A Pending JPH0826483A (ja) 1994-07-21 1994-07-21 ユニット分離装置およびユニット分離方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0826483A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10422052B2 (en) 2015-03-09 2019-09-24 Korea Institute Of Industrial Technology Method of manufacturing high strength synthetic fibers

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10422052B2 (en) 2015-03-09 2019-09-24 Korea Institute Of Industrial Technology Method of manufacturing high strength synthetic fibers

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100446206C (zh) 超声波安装方法及采用该方法的超声波安装设备
JP3343775B2 (ja) 超音波洗浄装置
CN100574958C (zh) 用于键合装置的换能器组件
JP2794438B2 (ja) キャビテーションを利用した洗浄方法
JPH0826483A (ja) ユニット分離装置およびユニット分離方法
JPH10217193A (ja) 切断装置
JPH09169427A (ja) 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置
JPH10216962A (ja) 超音波溶着装置及び超音波溶着方法
KR20010034570A (ko) 초음파로 체 프레임을 활성하기 위한 방법
JP3198626B2 (ja) セラミック板分離装置
JPH07100449A (ja) 超音波加振による付着物の除去方法及び装置
JP3505245B2 (ja) 振動分離装置
JP2601041B2 (ja) セラミック板分離装置
JP4429400B2 (ja) カートンブランク断面の粉塵除去方法及び装置
CA2151116A1 (en) Zig-Zag Electromagnetic Acoustic Transducer Scan
US6799465B2 (en) Shock wave vibration generator for measuring or testing or imaging purposes
JPH08248783A (ja) 長い導波体を有する共振器組立体
JPH09122612A (ja) 洗浄装置
JPH06308098A (ja) 卵殻のひび割検出装置
JP3309749B2 (ja) 超音波洗浄装置
JP4209167B2 (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
JPH0362612B2 (ja)
JPH08113300A (ja) 攪拌ノズル装置
Yamada et al. Powder transportation by unidirectional ultrasound radiated from a pair of phase-shifted bending vibrators
JPH01126178A (ja) 超音波モータとその駆動方法