JPH08264590A - Tab式半導体装置 - Google Patents

Tab式半導体装置

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JPH08264590A
JPH08264590A JP6775895A JP6775895A JPH08264590A JP H08264590 A JPH08264590 A JP H08264590A JP 6775895 A JP6775895 A JP 6775895A JP 6775895 A JP6775895 A JP 6775895A JP H08264590 A JPH08264590 A JP H08264590A
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JP
Japan
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inner lead
semiconductor device
tab
diameter
hole
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Pending
Application number
JP6775895A
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English (en)
Inventor
Masashi Naito
正志 内藤
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 TABテープを用いた半導体装置の電極間の
短絡などの電気的不良の発生を防止する。 【構成】 透孔1bを有する絶縁フイルム1に積層した
導電箔をエッチングして前記透孔1b内に延在するイン
ナリード6を含む導電パターン5を形成したTABテー
プの前記透孔1b内に半導体ペレット4を配置し、イン
ナリード6と半導体ペレット4の電極4aとを重合して
電気的に接合したTAB式半導体装置において、上記イ
ンナリード6の遊端部分を、その長手方向に異径としか
つ隣り合う部分の間隔をほぼ一定としたことを特徴とす
る。 【効果】 半導体ペレット上の電極間の短絡、耐電圧低
下などの不良発生を防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は透孔を有する絶縁フイル
ムに積層した導電箔をエッチングして前記透孔内に延在
するインナリードを含む導電パターンを形成しTABテ
ープの前記透孔内に半導体ペレットを配置し、インナリ
ードと半導体ペレットの電極とを重合して電気的に接合
したTAB式半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】TAB式半導体装置は、半導体ペレット
の電極を外部に引き出すリードが導電箔から形成される
ため、微細リードが可能で、例えば液晶表示装置の駆動
用半導体集積回路装置など電極数の多い電子部品に用い
られている。この一例を図7及び図8から説明する。図
において1は両側に沿って送り用の穴1aを等間隔で穿
設し、巾方向中間で長手方向に所定の間隔で矩形状の透
孔1bを穿設した絶縁フイルム、2は絶縁フイルム1に
積層した導電箔をエッチングして形成した導電パターン
で、透孔1b内に延在する多数本のインナリード2aを
含む。この絶縁フイルム1と導電パターン2とでTAB
テープ3を構成している。
【0003】4は表面の周縁の沿って多数の電極4aが
形成され、絶縁フイルム1の透孔1b内に配置されてイ
ンナリード2aの遊端部分と電極4aとが重合されて電
気的に接続された半導体ペレットを示す。このTAB式
半導体装置の半導体ペレット4とインナリード2aの接
続は、一般的に加熱したヒートツールにて電極4aと重
合したインナリード2aを加圧し接続する熱圧着法によ
り行われる。また、接続性を良好にするため、電極表面
には厚さ数百オングストロームの金めっき処理し、イン
ナリード2aには厚さ0.3μm程度の錫めっき処理し
ている。ところで、半導体装置の高機能化、高集積化を
半導体ペレットの寸法を大きくすることなく実現するに
は、電極巾、電極間隔ともに微細にする必要があり、そ
れに対応してインナリードの巾、間隔ともに狭小にする
必要がある。例えば、電極巾が60μm、電極長さ90
μm、電極の配列間隔が70μmの液晶表示装置駆動用
半導体集積回路装置では、インナリードの巾を60μ
m、配列間隔を70μmに設定している。
【0004】また、より多電極に対応するには、電極及
びインナリードの巾、間隔をともに狭小にし、電極を千
鳥状に配列している。ところで、上記寸法の電極、イン
ナリードでは、それぞれの間隔が5μmしかとれない。
この場合、半導体ペレットの電極は位置ずれの心配はな
いが、TABテープ3はリールへの巻き取り、繰出の際
の湾曲変形しインナリードが変形する虞があるため取扱
を慎重にして、インナリードの変形に基づく接続不良、
短絡や耐電圧低下などの電気的不良が生じないようにし
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このようにTABテー
プ3の取り扱いを慎重にしても、リード間の短絡、耐電
圧低下などの電気的不良を生じることがあった。これを
詳細に調べてみると、図9に示すように、電極4a上で
インナリード2aを熱圧着する際の熱でその表面に形成
した金属や合金のめっき材が溶融し、加圧によって、リ
ード2a表裏面のめっき材が側面に押し出されて、隣り
合う電極4a、4a間にはみ出し、このはみ出し部分A
が互いに近接あるいは橋絡していることが分かった。こ
れに対応するには、電極寸法、リード巾を狭小にして、
相互の間隔を開くようにすればよいが、電極の巾を狭め
るとリードとの重合位置合わせ、接続作業が困難とな
り、リード巾を狭めるとリードの強度が低下してTAB
テープの湾曲変形により曲りやすくなるため、直ちに適
用することができなかった。また、めっきの厚さに注目
し、電極4aについては300オングストローム程度の
めっき厚では問題にはならないことがわかったが、イン
ナリード2aのめっき厚は導電パターン2全体のめっき
厚と同じで、0.3μmより薄くするとめっき層にピン
ホールや厚さのむらを生じ部分的に導電パターン素地を
酸化させ、リードの外部接続の信頼性を低下させるた
め、めっき厚を薄くすることは限界があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、透孔を有する絶縁フイ
ルムに積層した導電箔をエッチングして前記透孔内に延
在するインナリードを含む導電パターンを形成したTA
Bテープの前記透孔内に半導体ペレットを配置し、電気
的に接合したTAB式半導体装置において、上記インナ
リードの遊端部分を、その長手方向に異径としかつ隣り
合う部分の間隔をほぼ一定としたことを特徴とするTA
B式半導体装置を提供する。このTAB式半導体装置
は、より具体的にはインナリードの遊端部の径をその中
間部の径に比し小径に設定することにより実現できる。
また、インナリードの遊端部の表裏面の径を異径とする
ことによっても実現できる。さらにはインナリードの遊
端部の径をその長手方向に異径とし、かつインナリード
をその径大部と径小部とを隣り合わせて配列することも
できる。
【0007】
【作用】上記手段により、隣り合うインナリードの間隔
が充分確保でき、リード表面に形成しためっき材が溶融
しても、隣接する電極間の短絡、耐電圧低下が防止でき
る。
【0008】
【実施例】以下に本発明の実施例を図1乃至図3から説
明する。図において図7と同一符号は同一物を示し重複
する説明を省略する。図中、図7に示すTAB式半導体
装置と相異するのは、絶縁フイルム1に積層形成した導
電パターン5のみで、そのうち透孔1b内に延在するイ
ンナリード6の基部乃至中間部の巾6aに対して遊端部
6bの巾を狭小にして異径としかつ隣り合う部分の間隔
をほぼ一定としたことを特徴とする。インナリード遊端
部の状態は図4に示すように、半導体ペレット4の電極
4aの巾をW、遊端部6bの巾をW1、インナリード6
の厚さをt、めっき材7の厚さをdとすると、インナリ
ード6の接続後にその表裏面のめっき材が両側に図示点
線状態に示すようにはみ出す。
【0009】そのため、はみ出しためっき材を含むイン
ナリードの巾は(W1+2・d+2・W1・d/t)と
なり、これが電極4aの巾Wと同じか、または小さくな
るようにW1は設定される。この結果溶融めっき材のは
み出しを考慮しない小径部の巾W1を(W−2・d)/
(1+2・d/t)とすることにより溶融めっき材のは
み出しを含む小径部の巾を電極4aの巾以内に納めるこ
とができる。具体的にW=60μm、d=0.3μmと
して、リード厚t=15μmとすると、小径部の巾W1
はおよそ57μmとなり、リード厚t=10μmではW
1=56μmとなる。溶融しためっき材はインナリード
6の長手方向に均等にはみ出すわけではなく、また加圧
によってリードが圧潰されその巾W1が押し拡げられる
ため、各部の寸法が上記寸法の場合、小径部の巾W1は
50μm程度に設定することが望ましい。
【0010】このように、電極4aに対してもインナリ
ード6の径を小径にすると、溶融してはみ出しためっき
材は電極4aの露呈表面にも拡がり電極4a、4a間へ
のはみ出しを防止でき、短絡事故や耐電圧低下などの発
生を防止できる。図5は本発明の他の実施例を示す。図
示例では電極4a上に位置するインナリード6の遊端部
にその長手方向に径大部6aと径小部6bとを設けると
ともに、隣り合うリード6、6の隣接部分に径大部6a
と径小部6bとを交互配置している。これにより、隣り
合う径大部6aと径小部6bとが交互配置されるため、
インナリードのめっき材が溶融して側方にはみ出しても
インナリード相互の間隔が充分離隔しているため、はみ
出した溶融金属が橋絡する虞はない。
【0011】この構造では電極4a上でインナリード6
の接続面積を充分確保でき、電極4aとインナリード6
の電気的接続を確実にできる。また、径大部6aと径小
部6bの接続部分をテーパ状に形成することにより、イ
ンナリード遊端部の側壁の縁面距離が長くなり、めっき
材の溶融金属がこの側壁にそって分散されるためはみ出
し量を最小限に抑えることができる。図6は本発明の他
の実施例を示す。図示例では電極4aに接続されるイン
ナリード6の遊端部の両側壁をテーパ面に形成し、断面
形状を略台形状に形成している。これにより、インナリ
ード遊端部の表裏面の径は異径となり、径大の面側から
径小の面側に向かってインナリード遊端部の間隔は拡が
る。そのため、径小面からのめっき材の溶融量が少な
く、テーパ側壁の面積が拡がるため、インナリードから
の溶融金属のはみ出し量を抑えることができ、インナリ
ードに被覆しためっき材の溶融に基づく不良の発生を防
止することができる。
【0012】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、半導体ペ
レット上の電極間の短絡、耐電圧低下などの不良発生を
防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示すTAB式半導体装置の
一例を示す斜視図
【図2】 図1半導体装置の要部拡大平面図
【図3】 図2B−B断面図
【図4】 図1半導体装置の電極とインナリードの接続
状態を示す要部拡大断面図
【図5】 本発明の他の実施例を示すTAB式半導体装
置の要部拡大平面図
【図6】 本発明の他の実施例を示すTAB式半導体装
置の要部拡大平面図
【図7】 TAB式半導体装置の一例を示す斜視図
【図8】 図7に示すTAB式半導体装置の側断面図
【図9】 図7半導体装置の課題を説明する要部拡大断
面図
【符号の説明】
1b 透孔 1 絶縁フイルム 6a インナリード 5 導電パターン 3 TABテープ 4 半導体ペレット 4a 電極 6a 径大部 6b 径小部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透孔を有する絶縁フイルムに積層した導電
    箔をエッチングして前記透孔内に延在するインナリード
    を含む導電パターンを形成したTABテープの前記透孔
    内に半導体ペレットを配置し、インナリードと半導体ペ
    レットの電極とを重合して電気的に接合したTAB式半
    導体装置において、 上記インナリードの遊端部分を、その長手方向に異径と
    しかつ隣り合う部分の間隔をほぼ一定としたことを特徴
    とするTAB式半導体装置。
  2. 【請求項2】インナリード遊端部の径がその中間部の径
    に比し小径に設定されたことを特徴とする請求項1に記
    載のTAB式半導体装置。
  3. 【請求項3】インナリードの遊端部の表裏面の径が異径
    であることを特徴とする請求項2に記載のTAB式半導
    体装置。
  4. 【請求項4】インナリードの遊端部の径をその長手方向
    に異径とし、かつインナリードをその径大部と径小部と
    を隣り合わせて配列したことを特徴とする請求項1に記
    載のTAB式半導体装置。
JP6775895A 1995-03-27 1995-03-27 Tab式半導体装置 Pending JPH08264590A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012152984A (ja) * 2011-01-25 2012-08-16 Canon Inc 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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