JPH04342148A - テープキャリア - Google Patents
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- JPH04342148A JPH04342148A JP3114668A JP11466891A JPH04342148A JP H04342148 A JPH04342148 A JP H04342148A JP 3114668 A JP3114668 A JP 3114668A JP 11466891 A JP11466891 A JP 11466891A JP H04342148 A JPH04342148 A JP H04342148A
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- tape carrier
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- base film
- bending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
〔発明の目的〕
【0002】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品、とくに半導
体素子などを一括接合したテープキャリアに関する。
体素子などを一括接合したテープキャリアに関する。
【0003】
【従来の技術】近年、電子部品として、100ピンを越
える半導体素子たとえば超LSI、ゲートアレイ、LC
Dドライバが用いられている。これら半導体は、各種家
庭電化製品、産業用機器の分野への進出がなされ、液晶
ディスプレイなどは液晶テレビ、ワードプロセッサ、ラ
ップトップ型パーソナルコンピュータなどに用いられ、
薄形化、狭額縁化の要望が大きい。このような技術動向
の中、半導体の接続方法としてテープキャリアが注目さ
れ、様々な応用がなされている。
える半導体素子たとえば超LSI、ゲートアレイ、LC
Dドライバが用いられている。これら半導体は、各種家
庭電化製品、産業用機器の分野への進出がなされ、液晶
ディスプレイなどは液晶テレビ、ワードプロセッサ、ラ
ップトップ型パーソナルコンピュータなどに用いられ、
薄形化、狭額縁化の要望が大きい。このような技術動向
の中、半導体の接続方法としてテープキャリアが注目さ
れ、様々な応用がなされている。
【0004】そして、一般的にTAB(Tape Au
tomated Bonding)法といわれるテープ
キャリアを用いて一括に半導体を接続する方法が用いら
れている。このTAB法は、ワイヤーボンディングに比
べて、量産化、多品種化しやすく、高密度化、小形化が
図れるという長所を有している。
tomated Bonding)法といわれるテープ
キャリアを用いて一括に半導体を接続する方法が用いら
れている。このTAB法は、ワイヤーボンディングに比
べて、量産化、多品種化しやすく、高密度化、小形化が
図れるという長所を有している。
【0005】また、TAB用テープキャリアは、1層タ
イプ、2層タイプおよび3層タイプの3種類があり、一
般に液晶ディスプレイようのTABには、図5に示すよ
うに、ベースフィルム1上には、箔状の銅(Cu)のリ
ード2が接着剤で貼着された3層タイプを使用している
。そして、3層タイプのテープキャリアは、接着剤が塗
布されたポリイミドやポリエステルなどのプラスティッ
クフィルムのベースフィルム1に、送り用のパーフォレ
ーション3、半導体素子が取り付けられるデバイスホー
ル4、位置合わせ用の開口5、折曲部6に形成する折曲
用の開口7などの必要な開口を、金型などで打ち抜いて
形成する。
イプ、2層タイプおよび3層タイプの3種類があり、一
般に液晶ディスプレイようのTABには、図5に示すよ
うに、ベースフィルム1上には、箔状の銅(Cu)のリ
ード2が接着剤で貼着された3層タイプを使用している
。そして、3層タイプのテープキャリアは、接着剤が塗
布されたポリイミドやポリエステルなどのプラスティッ
クフィルムのベースフィルム1に、送り用のパーフォレ
ーション3、半導体素子が取り付けられるデバイスホー
ル4、位置合わせ用の開口5、折曲部6に形成する折曲
用の開口7などの必要な開口を、金型などで打ち抜いて
形成する。
【0006】そうして、図6に示すように、ベースフィ
ルム1上に、銅(Cu)箔を接着層8上に張り合わせて
フォトリソグラフィー法などで、リード2のパターンを
形成する。なお、このリード2上には、錫(Sn)や金
(Au)などの表面層9が形成されている。また、リー
ド2の表面の表面層9を形成しない部分には、ソルダー
レジスト10が形成されている。
ルム1上に、銅(Cu)箔を接着層8上に張り合わせて
フォトリソグラフィー法などで、リード2のパターンを
形成する。なお、このリード2上には、錫(Sn)や金
(Au)などの表面層9が形成されている。また、リー
ド2の表面の表面層9を形成しない部分には、ソルダー
レジスト10が形成されている。
【0007】次に、このTAB法による半導体素子であ
る集積回路12の接続を図8を参照して説明する。
る集積回路12の接続を図8を参照して説明する。
【0008】まず、ILB(Inner Lead B
onding)による接続を説明する。この集積回路1
2は、電極端子13上にチタン(Ti)、ニッケル(N
i)、パラジウム(Pd)、金(Au)が順次積層され
ている。そして、リード2の表面層9と、電極端子13
とを当接させ、450〜500℃に加熱し、200〜1
000kg/cm2 、すなわち100μm×100μ
mの1電極端子13当たり20〜100gの圧力を加え
て、金錫共晶により接合するものである。
onding)による接続を説明する。この集積回路1
2は、電極端子13上にチタン(Ti)、ニッケル(N
i)、パラジウム(Pd)、金(Au)が順次積層され
ている。そして、リード2の表面層9と、電極端子13
とを当接させ、450〜500℃に加熱し、200〜1
000kg/cm2 、すなわち100μm×100μ
mの1電極端子13当たり20〜100gの圧力を加え
て、金錫共晶により接合するものである。
【0009】次に、OLB(Outer Lead B
onding)による接続を説明する。このOLBは、
集積回路12を接合したテープキャリアを、液晶テレビ
などの電化製品や、各種機器の基板15に組み込むため
に適当な大きさに切断し、液晶の注入されたセルなどに
、異方性導電フィルム16を用いて接続する。すなわち
、50℃〜150℃に加熱し、1〜10kg/cm2
の圧力を加え、異方性導電フィルム16を仮圧着し、さ
らに、液晶セルとテープキャリアの電極端子の位置合わ
せをして、50〜200℃に加熱し、10〜30kg/
cm2 の圧力を15〜30秒間加えて圧着する。
onding)による接続を説明する。このOLBは、
集積回路12を接合したテープキャリアを、液晶テレビ
などの電化製品や、各種機器の基板15に組み込むため
に適当な大きさに切断し、液晶の注入されたセルなどに
、異方性導電フィルム16を用いて接続する。すなわち
、50℃〜150℃に加熱し、1〜10kg/cm2
の圧力を加え、異方性導電フィルム16を仮圧着し、さ
らに、液晶セルとテープキャリアの電極端子の位置合わ
せをして、50〜200℃に加熱し、10〜30kg/
cm2 の圧力を15〜30秒間加えて圧着する。
【0010】また、通常、回路基板は液晶セルより3〜
5cm程度大きいが、近年額縁を狭くするために、図7
および図8に示すように、テープキャリアを途中で折り
曲げて、より小さな回路基板に接続する、いわゆる折曲
げTAB法が用いられるようになってきている。このよ
うに、折曲げTAB法を用いれば、小形化、高密度化が
図れる。
5cm程度大きいが、近年額縁を狭くするために、図7
および図8に示すように、テープキャリアを途中で折り
曲げて、より小さな回路基板に接続する、いわゆる折曲
げTAB法が用いられるようになってきている。このよ
うに、折曲げTAB法を用いれば、小形化、高密度化が
図れる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記折
曲げTAB法の場合、図5に示すように折曲部6の折り
曲げ用の開口7を形成し、図8に示すようにリード2の
みで折り曲げるので、リード2には、開口7の両側部で
応力が集中して破損しやすく、一方、リード2は、はだ
かの状態にあるので、断線または短絡のおそれがある問
題を有している。
曲げTAB法の場合、図5に示すように折曲部6の折り
曲げ用の開口7を形成し、図8に示すようにリード2の
みで折り曲げるので、リード2には、開口7の両側部で
応力が集中して破損しやすく、一方、リード2は、はだ
かの状態にあるので、断線または短絡のおそれがある問
題を有している。
【0012】また、折曲部6のベースフィルム1にハー
フエッチング処理や研磨処理を施すことにより、折曲部
6のベースフィルム1の厚さを薄くして折り曲げ性を向
上させることも考えられるが、折曲部6全体を均一に薄
くすることは、非常に難しい。
フエッチング処理や研磨処理を施すことにより、折曲部
6のベースフィルム1の厚さを薄くして折り曲げ性を向
上させることも考えられるが、折曲部6全体を均一に薄
くすることは、非常に難しい。
【0013】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、断線、短絡を生じにくく高信頼性の、折曲げが容易
なテープキャリアを提供することを目的とする。
で、断線、短絡を生じにくく高信頼性の、折曲げが容易
なテープキャリアを提供することを目的とする。
【0014】
〔発明の構成〕
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、ベースフィル
ムと、このベースフィルム上に形成されたリードとを備
え、折曲部にて折り曲げられるテープキャリアにおいて
、前記折曲部に、前記リードが形成された以外の部分の
前記ベースフィルムに開口を形成したものである。
ムと、このベースフィルム上に形成されたリードとを備
え、折曲部にて折り曲げられるテープキャリアにおいて
、前記折曲部に、前記リードが形成された以外の部分の
前記ベースフィルムに開口を形成したものである。
【0016】
【作用】本発明は、折曲部にて折り曲げられるテープキ
ャリアの折曲部に、リードが形成されていない部分のベ
ースフィルムに開口を形成したため、ベースキャリアの
折り曲げは容易になり、また、リードはベースフィルム
によって補強された構造となっているため、断線しにく
いとともに、短絡しにくい。
ャリアの折曲部に、リードが形成されていない部分のベ
ースフィルムに開口を形成したため、ベースキャリアの
折り曲げは容易になり、また、リードはベースフィルム
によって補強された構造となっているため、断線しにく
いとともに、短絡しにくい。
【0017】
【実施例】以下、本発明のテープキャリアの一実施例を
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【0018】なお、従来例を示す図5ないし図8と同一
部分には、同一符号を付して説明する。
部分には、同一符号を付して説明する。
【0019】図1および図2に示すTAB用テープキャ
リアは接着層を有さない2層タイプで、ポリイミドやポ
リエステルなどのプラスティックフィルムのベースフィ
ルム1上には、錫(Sn)メッキされた箔状の銅(Cu
)のリード2のパターンが形成されている。また、この
ベースフィルム1には、送り用のパーフォレーション3
、半導体素子が取り付けられるデバイスホール4、位置
合わせ用の開口5、折曲部6に形成する折曲用の開口2
1などの必要な開口が形成されている。
リアは接着層を有さない2層タイプで、ポリイミドやポ
リエステルなどのプラスティックフィルムのベースフィ
ルム1上には、錫(Sn)メッキされた箔状の銅(Cu
)のリード2のパターンが形成されている。また、この
ベースフィルム1には、送り用のパーフォレーション3
、半導体素子が取り付けられるデバイスホール4、位置
合わせ用の開口5、折曲部6に形成する折曲用の開口2
1などの必要な開口が形成されている。
【0020】この折曲用の開口21は、折曲部6のリー
ド2の長手方向に沿って平行に、リード2が形成されて
いない部分にリード2を露出しないように、リード2の
両側にスリット状に形成されている。また、この開口2
1は、ウエットエッチングにより形成されているため、
図2に示すように、下面方向に30〜60°拡開された
テーパ状になっている。
ド2の長手方向に沿って平行に、リード2が形成されて
いない部分にリード2を露出しないように、リード2の
両側にスリット状に形成されている。また、この開口2
1は、ウエットエッチングにより形成されているため、
図2に示すように、下面方向に30〜60°拡開された
テーパ状になっている。
【0021】なお、ベースフィルム1の厚さは50〜7
5μm、リード2の厚さは18〜35μm、リード2の
幅は100μm、リード2の間隔は100μmで形成さ
れている。また、開口21の幅は60μm、長さ4mm
、ピッチが200μmで形成されている。
5μm、リード2の厚さは18〜35μm、リード2の
幅は100μm、リード2の間隔は100μmで形成さ
れている。また、開口21の幅は60μm、長さ4mm
、ピッチが200μmで形成されている。
【0022】上述のように、開口21を形成することに
よりテープキャリアは容易に折り曲げれる。リード2を
内面側に位置させてベースフィルム1を折り曲げると、
また、開口21は、リード2を露出させず、表面にリー
ド2が露出されず、リードの断線、短絡を防止でき、加
えて、リード2はベースフィルム1のいわゆる裏打ちが
ある状態なので、リード2はベースフィルム1によって
補強され、リード2の断線、短絡を防止することができ
る。さらに、開口21は、ウエットエッチングにより下
方に向けて拡開しているので、ベースフィルム1にハー
フエッチングを施した場合と同様に、より折り曲げやす
くすることができる。
よりテープキャリアは容易に折り曲げれる。リード2を
内面側に位置させてベースフィルム1を折り曲げると、
また、開口21は、リード2を露出させず、表面にリー
ド2が露出されず、リードの断線、短絡を防止でき、加
えて、リード2はベースフィルム1のいわゆる裏打ちが
ある状態なので、リード2はベースフィルム1によって
補強され、リード2の断線、短絡を防止することができ
る。さらに、開口21は、ウエットエッチングにより下
方に向けて拡開しているので、ベースフィルム1にハー
フエッチングを施した場合と同様に、より折り曲げやす
くすることができる。
【0023】また、図3および図4は、他の実施例で、
図1および図2に示すスリット状の開口21に代えて、
円形の開口22を折曲部6のリード2の周囲に多数形成
したものである。
図1および図2に示すスリット状の開口21に代えて、
円形の開口22を折曲部6のリード2の周囲に多数形成
したものである。
【0024】この円形の開口22もエッチング処理によ
り形成されたものであり、図4に示すように、下面に向
けて拡開されている。また、この円形の開口22は、径
大の部分はリード2の間隙より広く形成されているが、
テーパにより径小の部分はリード2の間隙より狭く形成
されているので、リード2は露出されない。
り形成されたものであり、図4に示すように、下面に向
けて拡開されている。また、この円形の開口22は、径
大の部分はリード2の間隙より広く形成されているが、
テーパにより径小の部分はリード2の間隙より狭く形成
されているので、リード2は露出されない。
【0025】なお、開口22は、径大の部分の直径は1
10μm、ピッチは200μmに形成されている。
10μm、ピッチは200μmに形成されている。
【0026】この図3および図4に示すテープキャリア
も、図1および図2に示すテープキャリアと同様な効果
が得られ、また、開口22の形状は、円形に限らずたと
えば8角形などの多角形でもよい。
も、図1および図2に示すテープキャリアと同様な効果
が得られ、また、開口22の形状は、円形に限らずたと
えば8角形などの多角形でもよい。
【0027】
【発明の効果】本発明のテープキャリアによれば、折曲
部にて折り曲げられるテープキャリアの折曲部に、リー
ドが形成されていない部分のベースフィルムに開口を形
成したので、テープキャリアの折り曲げを容易にするこ
とができ、また、折曲部のリードはベースフィルムによ
って補強されているので、リードは、断線および短絡を
生じにくくすることができるので、折曲げが容易で、か
つ、高信頼性にすることができる。
部にて折り曲げられるテープキャリアの折曲部に、リー
ドが形成されていない部分のベースフィルムに開口を形
成したので、テープキャリアの折り曲げを容易にするこ
とができ、また、折曲部のリードはベースフィルムによ
って補強されているので、リードは、断線および短絡を
生じにくくすることができるので、折曲げが容易で、か
つ、高信頼性にすることができる。
【図1】本発明のテープキャリアの一実施例を示す平面
図である。
図である。
【図2】同上図1に示すII−II断面図である。
【図3】同上他の実施例を示す平面図である。
【図4】同上図3に示すIV−IV断面図である。
【図5】従来例のテープキャリアを示す平面図である。
【図6】同上一部を示す断面図である。
【図7】同上一部を示す平面図である。
【図8】同上一部を示す断面図である。
2 リード
6 折曲部
21 開口
Claims (1)
- 【請求項1】 ベースフィルムと、このベースフィル
ム上に形成されたリードとを備え、折曲部にて折り曲げ
られるテープキャリアにおいて、前記折曲部に、前記リ
ードが形成された以外の部分の前記ベースフィルムに開
口を形成したことを特徴とするテープキャリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3114668A JPH04342148A (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | テープキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3114668A JPH04342148A (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | テープキャリア |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH04342148A true JPH04342148A (ja) | 1992-11-27 |
Family
ID=14643610
Family Applications (1)
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JP3114668A Pending JPH04342148A (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | テープキャリア |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH04342148A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08139132A (ja) * | 1994-11-07 | 1996-05-31 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | キャリアテープ |
US6633002B2 (en) | 1999-05-20 | 2003-10-14 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Tape carrier having high flexibility with high density wiring patterns |
WO2007001995A1 (en) * | 2005-06-22 | 2007-01-04 | 3M Innovative Properties Company | Dielectric substrate with holes and method of manufacture |
JP2007053331A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-03-01 | Samsung Electronics Co Ltd | テープ配線基板と、それを用いたテープパッケージ及び平板表示装置 |
EP2076104A2 (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-01 | LG Electronics Inc. | Flexible film and display device comprising the same |
-
1991
- 1991-05-20 JP JP3114668A patent/JPH04342148A/ja active Pending
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