JPH08262350A - 走査光学系調整装置および走査光学系調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転多面鏡を回転させた状態での走査光学系
の調整ができる走査光学系調整装置および方法を提供す
る。 【構成】 走査タイミング検出部１０５，ビーム径検出
部１０６からなるビーム検出部を、ビーム検出部移動機
構１０７により、走査光学系１００の光軸方向，この光
軸方向に直交する副走査方向，光軸廻りの回転方向に移
動可能に支持する。走査タイミング検出部１０５の出力
に応じて制御部１１０は、ビーム検出部移動機構１０７
を光軸方向に移動し、ピント調整等の基準位置にビーム
検出部を固定する。この基準位置で、ビーム径検出部１
０６の出力に応じて制御部１１０により、ビーム検出部
移動機構１０７を介してビーム検出部を副走査方向，光
軸廻りの回転方向へ移動させ、走査ビーム直線性の測
定，調整を行い、走査光学系１００のフォーカスレンズ
を移動させてピント位置を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームプリンタ
等の走査光学系の組み立て，調整に用いられる走査光学
系調整装置および走査光学系調整方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、レーザビームを走査して、例えば
記録媒体である感光体ドラム面上をレーザビームで光走
査して、画像の記録を行うレーザビームプリンタ（ＬＢ
Ｐ）等の画像記録装置が広く使用されている。

【０００３】図８はこの種の画像記録装置に用いられる
走査光学系の要部概略図である。同図において、半導体
レーザ等からなる光源８１から放射されたレーザビーム
はコリメーターレンズ８２により平行なレーザビームと
され、副走査方向に所定の屈折力を有するシリンドリカ
ルレンズ８３により集光した後、回転多面鏡（ポリゴン
ミラー）より成る光偏向器８４の反射面（偏向面）８４
ａに入射している。そして回転多面鏡８４の反射面８４
ａで反射偏向したレーザビームはｆ−θ特性を有する結
像レンズ（ｆθレンズ）８５を介して被走査面である、
感光体ドラム８６面上に導光している。

【０００４】そして回転多面鏡８４を図中矢印Ａ方向に
一定速度で回転させることによって被走査面上を矢印Ｂ
方向（主走査方向）に等速に光走査している。

【０００５】この走査光学系の調整装置では、ビームの
走査開始位置，中間位置，走査終り位置等数箇所での走
査タイミングを測定し走査範囲の倍率を算出し、また前
記数箇所でのビーム径，副走査方向位置を測定して光学
系の調整を行っている。従来、この調整を行う装置で
は、同一の測定位置で走査長さ評価とビーム径，副走査
方向位置の評価を行う必要があり、またビーム径測定，
ピント調整は、回転多面鏡を静止させた状態で行われて
いて、回転多面鏡を回動させてビーム検出部の視野内に
ビームを追い込みながら行われている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
走査光学系の調整は、いずれも難作業であり、また回転
多面鏡を回転させた状態での走査光学系の調整が行われ
ていない、すなわち使用状態での調整が行われていない
という問題がある。

【０００７】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、回転多面鏡の回転状態での調整ができる走査光
学系調整装置および走査光学系調整方法を提供すること
を目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、走査光学系調整装置を次の（１）〜
（７）のとおりに、走査光学系調整方法を次の（８）の
とおりに構成する。

【０００９】（１）光ビームが回転多面鏡により走査さ
れる光学系を、前記回転多面鏡の回転状態で調整する走
査光学系調整装置であって、前記光ビームの光軸方向と
直交する主走査方向に複数の光センサを配置したビーム
検出部と、このビーム検出部を前記光軸方向および前記
主走査方向と直交する副走査方向および前記光軸廻りの
回転方向に移動するビーム検出部移動機構と、前記光学
系の光学部品をその調整方向に移動する光学部品移動機
構と、前記光センサの出力に応じて前記ビーム検出部移
動機構と前記光学部品移動機構を制御する制御手段とを
備えた走査光学系調整装置。

【００１０】（２）ビーム検出部は、複数の、光センサ
を含む走査タイミング検出手段を備え、制御手段は、前
記光センサの出力に応じて、前記走査タイミング検出手
段２個間の走査時間が目標走査時間となるように、ビー
ム検出部移動機構により前記ビーム検出部を光軸方向に
移動させる前記（１）記載の走査光学系調整装置。

【００１１】（３）走査タイミング検出手段の光センサ
の出力により回転多面鏡の回転数を検出し、この回転数
に応じて目標走査時間を補正する補正手段を備えた前記
（２）記載の走査光学系調整装置。

【００１２】（４）ビーム検出部は、主走査方向に配置
された複数の開口部と複数の２次元光センサとを備え、
前記開口部は副走査方向に幅が変化するスリットとこの
スリットの後に配置された光センサとを備え、制御手段
は、前記開口部の光センサの出力に応じて光ビームの前
記スリット通過時間を算出し、その通過時間に応じてビ
ーム検出部移動機構を副走査方向または光軸廻りの回転
方向へ移動させて光ビームを前記２次元光センサの視野
内に追い込み、前記２次元光センサの出力により光ビー
ムの副走査方向の位置を検出し、その位置に応じて光学
部品移動機構を移動させ光ビームの直線性を補正するも
のである前記（１）記載の走査光学系調整装置。

【００１３】（５）ビーム検出部は、主走査方向に配置
された複数の２次元光センサを備え、制御手段は、光学
部品移動機構によって光学系のフォーカスレンズを移動
させ、前記フォーカスレンズのそれぞれの位置でのビー
ム径を前記複数の２次元光センサの出力により算出し、
前記複数の２次元光センサ位置において所定のビーム径
以下になるように前記フォーカスレンズの位置を設定す
るものである前記（１）記載の走査光学系調整装置。

【００１４】（６）回転多面鏡の面数の整数倍を２次元
光センサの垂直同期の周期とし、前記回転多面鏡の特定
の１面を選択して調整を行う前記（５）記載の走査光学
系調整装置。

【００１５】（７）ビーム検出部の複数の２次元光セン
サに電子シャッタを用いる前記（５）記載の走査光学系
調整装置。

【００１６】（８）光ビームが回転多面鏡により走査さ
れる光学系を、前記回転多面鏡の回転状態で調整する走
査光学系調整方法でああって、パルス点灯された光ビー
ムを受光しビーム径を測定するビーム径検出手段を備
え、光学系のフォーカスレンズを移動させながら複数の
位置における前記ビーム径検出手段において測定された
ピント深度位置から、前記フォーカスレンズの最終的調
整位置を求める際に、前記複数の位置のうちまず最初の
位置で所定のビーム径以下となるピント深度位置の範囲
を求め、次ぎ以降の位置における前記所定のビーム径以
下となるピント深度位置の範囲測定では、それまでに求
めたピント深度位置の範囲内に限定して前記フォーカス
レンズの移動を行って前記所定のビーム径以下となる共
通のピント深度位置の範囲を求めて、最後の位置での前
記所定のビーム径以下となる共通ピント深度位置の範囲
の中心を前記フォーカスレンズの最終的な調整位置とす
る走査光学系調整方法。

【００１７】

【作用】前記（１）〜（７）の構成により、ビーム検出
部の光センサの出力に応じて、ビーム検出部が光ビーム
の光軸方向，副走査方向，光軸廻りの回転方向に移動さ
れ、また光学系の光学部品が移動されて調整が行われ
る。

【００１８】更に、前記（２）の構成では、光センサの
出力に応じて、走査タイミング検出手段２個間の走査時
間が目標走査時間となるように、ビーム検出部が光軸方
向に移動される。前記（３）の構成では、回転多面鏡の
回転数に応じて目標走査時間が補正される。前記（４）
の構成では、光ビームのスリット通過時間に応じて、ビ
ーム検出部を副走査方向または光軸廻りの回転方向に移
動させて、光ビームを２次元光センサの視野内に追い込
み、２次元光センサの出力により光ビームの副走査方向
の位置を検出し、その位置に応じて光学部品が移動され
光ビームの直線性が補正される。前記（５）の構成で
は、光学系のフォーカスレンズを移動させ、そのそれぞ
れの位置でのビーム径を複数の２次元光センサの出力に
より算出し、前記複数の２次元光センサ位置において所
定のビーム径以下になるようフォーカスレンズの位置が
設定される。前記（６）の構成では、回転多面鏡の特定
の１面が選択されて調整が行われる。前記（７）の構成
では、ビーム検出部の複数の２次元光センサは電子シャ
ッタにより外乱光の影響を受けることがない。

【００１９】前記（８）の構成により、複数の位置で所
定のビーム径以下となるピント深度位置を求める際、最
初の位置での所定のビーム径以下となるピント深度位置
の範囲から次第にピント深度位置の範囲が限定され、最
後の位置での所定のビーム径以下となるピント深度位置
の範囲の中心にフォーカスレンズの最終的調整位置が設
定される。

【００２０】

【実施例】以下本発明を実施例により詳しく説明する。
図１は実施例である“走査光学系調整装置”の構成を示
す図である。図１において、１００は調整対象となる走
査光学系で、回転多面鏡１０１の回転によって光源１０
３から出射される光ビーム（以下ビームという）１０４
を矢印１１４の方向（主走査方向）に走査する。１０５
は走査タイミング検出部であり、また１０６はビーム径
検出部で、ビーム発光タイミング検出部１１３と、２次
元センサ１１１複数と、ビーム径や２次元センサ視野内
のビーム位置を測定検出するための画像処理装置等を含
むビーム径検出部制御部１１２からなり、これらはビー
ム検出部移動機構１０７上に配置されている。これら１
０５，１０６でビーム検出部を構成し走査ビームを受け
て測定し、ピント調整等の基準位置の調整および光学部
品１０２の位置を調整するための情報を得る。１１０は
制御部で、走査タイミング検出部１０５，ビーム径検出
部１０６からの情報を基に光学部品駆動部１０９を介し
光学部品１０２の位置を調整し、またビーム検出部駆動
部１０８を介してビーム検出部移動機構１０７を適切な
位置に駆動する。

【００２１】図２はビーム検出部の説明図で、図示のよ
うに、ビーム１０４を受ける、走査タイミング検出部１
０５とビーム径検出部１０６は光学的に等価な位置に配
され、適当な光路変更機構２００でビーム１０４が各光
検出部に導かれる。走査タイミング検出部１０５とビー
ム径検出部１０６は一体となってビーム検出部移動機構
１０７によって走査光学系１００に対し相対的に光軸方
向２０２，副走査方向２０３，光軸廻り回転方向２０４
と移動可能になっている。

【００２２】図３は走査タイミング検出部１０５とビー
ム径検出部１０６を光ビーム出射側から見た図で、ここ
では両検出部を走査有効幅の範囲内で中央と適当な間隔
で走査前後に配された２箇所の計３箇所として説明す
る。１０５−１は走査タイミング検出部１０５の受光部
で、スリット状の窓３００〜３０２が開けられ光軸方向
後ろに光電センサ等の検出機が置かれる。３０３〜３０
８はビーム径検出部１０６の受光部の配置を示し、３０
３〜３０５は副走査方向に走査幅が変化する開口を持つ
受光部で光軸方向後ろに光電センサ等の検出機が置か
れ、３０６〜３０８は２次元センサ１１１への結像レン
ズである。この結像レンズを含む２次元センサの系を左
から順にビーム径検出手段１０６ａ，１０６ｂ，１０６
ｃという。

【００２３】次に本実施例の動作について説明する。

【００２４】（ピント調整等の基準位置の調整）図４は
走査タイミング検出部１０５の動作を説明する図で、回
転多面鏡１０１が回転することによってビームは矢印１
１４方向に走査される。４０１，４０２は走査タイミン
グ検出部１０５を模式化して示すもので、光軸方向２０
２に移動可能となっている。矢印２０２方向の適当な位
置にある走査タイミング検出部１０５は、４０１の位置
ではスリット４０７，４０８で４０３から４０４まで走
査されたビームを検出しその時間差を測定する。この時
間差が所定の時間になるように２０２方向に走査タイミ
ング検出部１０５を含むビーム検出部１０５，１０６を
ビーム検出部移動機構１０７で移動させる。この移動さ
れた位置が図８での感光体ドラムの受光位置に相当する
ことになり、後述するピント調整の基準位置となる。ま
たこのとき、回転多面鏡１０１の回転数に所定の回転数
からの差を持ってしまう様な場合、例えば所定の回転数
ならば所定の通過時間で４０３から４０４まで走査され
る４０１の位置に調整されるべきであるのに、回転数が
遅い場合所定の通過時間に走査されるビームは４０５か
ら４０６までとなってしまい、走査タイミング検出部１
０５は４０２の位置に調整されてしまう。

【００２５】そのために回転多面鏡１０１の回転数を例
えばスリット４０９に入るビームの時間周期を計ること
によって回転数を測定し、今所定の回転時間１周期を
（Ｓ）、目標走査時間を（Ｔ）、回転多面鏡の面数を
（Ｎ）、測定されたビーム時間間隔を（Ｍ）としたと
き、補正目標走査時間（Ｔ´）を、 Ｔ´＝Ｔ＊Ｍ＊Ｎ／Ｓ とすることによって、回転多面鏡１０１の回転数の微変
動にかかわらずビーム検出部（１０５，１０６）を正し
い位置に調整することができる。

【００２６】（走査ビーム直線性の測定，調整）次に図
５で走査ビーム直線性測定調整動作を説明する。５００
は、ビーム径検出部１０６のビーム発光タイミング検出
部１１３をレーザビーム出射側から見たときの、副走査
方向に走査幅が変化するような開口であり、その光軸方
向後ろ側に光センサが配されている。５０１は２次元光
センサ（２次元センサともいう）の有効視野で、走査し
ながらパルス発光させたビームを視野内に追い込み、複
数あるそれぞれの有効視野５０１で副走査方向のビーム
位置を測定することによって、ビームの直線性を計測
し、制御部１１０を介して、光学部品駆動部１０９によ
り直線性調整のための光学部品１０２を移動させる。こ
のとき初期の走査位置は２次元センサの有効視野５０１
から外れている場合があり、５０２の様な走査になる。
そこでビーム発光タイミング検出部１１３に設けた複数
の開口５００の夫々におけるビームの通過時間を計り、
予め校正しておいた目標通過時間になるように、ビーム
検出部移動機構１０７を副走査方向２０３、また光軸廻
りの回転方向２０４に移動すなわち回動させて走査ビー
ムを複数の２次元センサの有効視野５０１内に追い込み
５０３の位置にする。こうして複数の２次元センサそれ
ぞれに走査ビームが通過しパルス発光させ視野５０１内
において副走査方向のビーム位置を測定し、予め校正し
ておいた基準位置からのずれを求めて直線性を求める。
もし直線性が規格から外れている場合は、前述の様に光
学部品１０２を移動させ、２次元センサ有効視野５０１
内の所要の位置に走査ビームを追い込む動作をさせ２次
元センサにおいて直線性を求めることを繰り返す。

【００２７】（ピント調整）次にピント調整の動作を説
明する。ピント調整とは走査光学系の光学部品１０２の
位置を調整し、図８の感光ドラム８６の位置においてビ
ーム径を規格以下に調整することを言い、有効走査範囲
における全ての位置でのビーム径を規格以下にする必要
がある。ここで図６でピント調整動作を説明する。前述
の様に予め光軸方向位置，走査直線性が調整された状態
で、走査光学系１００のフォーカスレンズ（１０２に含
まれる）を所定位置から変化させながら、それぞれのレ
ンズ位置でのビーム径を計測する。これを複数のビーム
径検出手段１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃで行い、所定
のビーム径６０２以下になるような位置を探索し、所定
のビーム径以下となる共通のピント深度位置の範囲の中
心６１１にフォーカスレンズを調整する。

【００２８】まず前述の複数のビーム径検出手段１０６
ａ，１０６ｂ，１０６ｃのうちの１つ例えばビーム径検
出手段１０６ａでの所定のビーム径以下になるピント深
度位置を求める。図６の縦軸６００はビーム径、横軸６
０１はフォーカスレンズ位置で、ビーム径検出手段１０
６ａの位置でのピント特性曲線はフォーカスレンズを初
期位置６０６より移動させることによって６０３のよう
なカーブを描きフォーカスレンズ移動（図６中、右方向
へ移動）によって大きなビーム径から所定のビーム径６
０２以下になり、また６０２以上になった６０７の位置
でフォーカスレンズ移動を終了させる。これによりビー
ム径検出手段１０６ａの位置での所定のビーム径以下と
なるピント深度位置は６０８から６０７の範囲であるこ
とがわかる。

【００２９】次にビーム径検出手段１０６ｂにおけるピ
ント深度位置を求める際には、ビーム径検出手段１０６
ａでのピント深度位置６０８から６０７の範囲を移動さ
せてピント深度位置を求める。このときの曲線は６０４
になるが６０８位置で既に所定のビーム径以下の状態か
ら始まり、ビーム径が小さくなり終了位置である６０７
へ移動させる以前の６０９の位置で所定のビーム径を越
えるためこの点でフォーカスレンズの移動を終了させ
る。これによりビーム径検出手段１０６ａ，１０６ｂの
位置における所定のビーム径以下となる共通のピント深
度位置は６０８から６０９の範囲であることがわかる。

【００３０】次にビーム径検出手段１０６ｃでのフォー
カスレンズの移動範囲はａ，ｂで求めた共通のピント深
度位置の範囲内である６０８から６０９までとなる。こ
のときのピント特性曲線は６０５になるが、６０８位置
からフォーカスレンズを移動させて６１０のとき所定の
ビーム径以下になり６０９までの間所定のビーム径以下
である。よって３個のビーム径検出手段１０６ａ〜１０
６ｃにおいて所定のビーム径以下となる共通のピント深
度位置が６１０から６０９の範囲であることがわかる。
最終的な調整位置として６１０と６０９の中心位置であ
る６１１にフォーカスレンズ位置を合わせ調整終了とす
る。以上の、所定のビーム径以下となる共通のピント深
度位置を求める際に、フォーカスレンズの移動を１方向
ではなく往復動作として共通のピント深度位置を求めて
もよい。

【００３１】（回転多面鏡の回転状態での調整のための
タイミング）次に回転多面鏡を回転状態にして前述のよ
うに２次元視野内においてパルス点灯させ、ビームの径
を測定することによってダイナミックな調整が可能とす
るための動作を説明する。図７において、７０１はビー
ム径検出部１０６におけるタイミング検出部であるビー
ム発光タイミング検出部１１３が回転中の回転多面鏡が
走査するビームを検出した信号で、７０５は、光センサ
がビームを検出したタイミングで７０６は走査周期時間
となる。このビーム検出信号を１／ｎ分周してビーム径
検出手段１０６ａ〜１０６ｃの２次元センサの同期信号
とし（７０２）２次元センサに入力する。７０７は２次
元センサの垂直同期の周期で１画面の像を生成する周期
である。７０３は光源１０３の発光を制御する信号でビ
ーム検出タイミング７０５から適当な時間経過後に少な
くとも２次元センサの有効視野５０１幅以上消灯（７１
０）し、２次元センサに余計な光が入らないようにす
る。この消灯期間中で、２次元センサの１垂直周期のう
ち一回だけ、光源をパルス点灯させる（７０８）。

【００３２】こうすることによって回転多面鏡１０１が
回転中に２次元センサ１画面形成中に走査しているビー
ムを静止時に近い形状で計測することができる。このと
き周期７０６の、回転多面鏡１０１の面数の整数倍を２
次元センサの垂直同期の周期７０７とすることによっ
て、回転多面鏡１０１の多数ある面のうちの特定の１面
を選択して走査光学系の調整することができる。これに
より回転多面鏡１０１の各面の相対的形状寸法差に左右
されずに走査光学系の調整ができる。また７０４にある
ように７０２で与える垂直同期期間のうち７０９の期間
のみ受光を可能とする様な２次元センサの電子シャッタ
動作中にパルス発光することによって、より外乱に強い
測定をすることができる。走査タイミング検出部１０５
とビーム径検出部１０６は図２に示すように折り返しミ
ラー２００によって光路切替を行っており、１０５，１
０６の受光位置を等価的に同一平面状に配置する。

【００３３】以上説明したように、本実施例によれば、
回転多面鏡の回転状態で、走査光学系の調整ができる。

【００３４】（変形）前述の実施例では複数のビーム径
検出手段を用いているが、この複数のビーム径検出手段
の代りに、ビーム径検出手段を１個とし、これを主走査
方向への移動機構により移動する形で実施することもで
きる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回転多面鏡の回転状態で、走査光学系の調整できる。更
に、請求項６記載の発明では、回転多面鏡の各面の相対
的な形状寸法差に左右されずに走査光学系の調整がで
き、請求項７記載の発明では、外乱に左右されずに走査
光学系の調整ができ、請求項８記載の発明では効率的に
ピント調整ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例の構成を示す図

【図２】 ビーム検出部の説明図

【図３】 走査時間測定の説明図

【図４】 走査タイミング検出部の動作説明図

【図５】 走査ビーム直線性測定調整の説明図

【図６】 ピント調整動作の説明図

【図７】 回転多面鏡回転中のタイミングチャート

【図８】 走査光学系の要部概要図

【符号の説明】

１００ 走査光学系 １０１ 回転多面鏡 １０２ 光学部品 １０５ 走査タイミング検出部 １０６ ビーム径検出部 １０７ ビーム検出部移動機構 １１０ 制御部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビームが回転多面鏡により走査される
   光学系を、前記回転多面鏡の回転状態で調整する走査光
   学系調整装置であって、前記光ビームの光軸方向と直交
   する主走査方向に複数の光センサを配置したビーム検出
   部と、このビーム検出部を前記光軸方向および前記主走
   査方向と直交する副走査方向および前記光軸廻りの回転
   方向に移動するビーム検出部移動機構と、前記光学系の
   光学部品をその調整方向に移動する光学部品移動機構
   と、前記光センサの出力に応じて前記ビーム検出部移動
   機構と前記光学部品移動機構を制御する制御手段とを備
   えたことを特徴とする走査光学系調整装置。
2. 【請求項２】 ビーム検出部は、複数の、光センサを含
   む走査タイミング検出手段を備え、制御手段は、前記光
   センサの出力に応じて、前記走査タイミング検出手段２
   個間の走査時間が目標走査時間となるように、ビーム検
   出部移動機構により前記ビーム検出部を光軸方向に移動
   させることを特徴とする請求項１記載の走査光学系調整
   装置。
3. 【請求項３】 走査タイミング検出手段の光センサの出
   力により回転多面鏡の回転数を検出し、この回転数に応
   じて目標走査時間を補正する補正手段を備えたことを特
   徴とする請求項２記載の走査光学系調整装置。
4. 【請求項４】 ビーム検出部は、主走査方向に配置され
   た複数の開口部と複数の２次元光センサとを備え、前記
   開口部は副走査方向に幅が変化するスリットとこのスリ
   ットの後に配置された光センサとを備え、制御手段は、
   前記開口部の光センサの出力に応じて光ビームの前記ス
   リット通過時間を算出し、その通過時間に応じてビーム
   検出部移動機構を副走査方向または光軸廻りの回転方向
   へ移動させて光ビームを前記２次元光センサの視野内に
   追い込み、前記２次元光センサの出力により光ビームの
   副走査方向の位置を検出し、その位置に応じて光学部品
   移動機構を移動させ光ビームの直線性を補正するもので
   あることを特徴とする請求項１記載の走査光学系調整装
   置。
5. 【請求項５】 ビーム検出部は、主走査方向に配置され
   た複数の２次元光センサを備え、制御手段は、光学部品
   移動機構によって光学系のフォーカスレンズを移動さ
   せ、前記フォーカスレンズのそれぞれの位置でのビーム
   径を前記複数の２次元光センサの出力により算出し、前
   記複数の２次元光センサ位置において所定のビーム径以
   下になるように前記フォーカスレンズの位置を設定する
   ものであることを特徴とする請求項１記載の走査光学系
   調整装置。
6. 【請求項６】 回転多面鏡の面数の整数倍を２次元光セ
   ンサの垂直同期の周期とし、前記回転多面鏡の特定の１
   面を選択して調整を行うことを特徴とする請求項５記載
   の走査光学系調整装置。
7. 【請求項７】 ビーム検出部の複数の２次元光センサに
   電子シャッタを用いることを特徴とする請求項５記載の
   走査光学系調整装置。
8. 【請求項８】 光ビームが回転多面鏡により走査される
   光学系を、前記回転多面鏡の回転状態で調整する走査光
   学系調整方法でああって、パルス点灯された光ビームを
   受光しビーム径を測定するビーム径検出手段を備え、光
   学系のフォーカスレンズを移動させながら複数の位置に
   おける前記ビーム径検出手段において測定されたピント
   深度位置から、前記フォーカスレンズの最終的調整位置
   を求める際に、前記複数の位置のうちまず最初の位置で
   所定のビーム径以下となるピント深度位置の範囲を求
   め、次ぎ以降の位置における前記所定のビーム径以下と
   なるピント深度位置の範囲測定では、それまでに求めた
   ピント深度位置の範囲内に限定して前記フォーカスレン
   ズの移動を行って前記所定のビーム径以下となる共通の
   ピント深度位置の範囲を求めて、最後の位置での前記所
   定のビーム径以下となる共通ピント深度位置の範囲の中
   心を前記フォーカスレンズの最終的な調整位置とするこ
   とを特徴とする走査光学系調整方法。