JPH08259727A - 光透過材の再生方法 - Google Patents
光透過材の再生方法Info
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- JPH08259727A JPH08259727A JP9011095A JP9011095A JPH08259727A JP H08259727 A JPH08259727 A JP H08259727A JP 9011095 A JP9011095 A JP 9011095A JP 9011095 A JP9011095 A JP 9011095A JP H08259727 A JPH08259727 A JP H08259727A
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- light
- transmitting material
- fluorine
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- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/62—Plastics recycling; Rubber recycling
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- Separation, Recovery Or Treatment Of Waste Materials Containing Plastics (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
の再生方法であって、白濁した上記光透過材をフッ素系
不活性溶媒中で煮沸し、または該溶媒蒸気中で加熱する
ことにより透明化することを特徴とする光透過材の再生
方法。 【効果】 フルオロオレフィン重合体からなる白化した
光透過材の曇りを消し、未使用状態の場合に近い透明度
まで回復することができる。しかも処理方法も簡便であ
り、実施し易い。
Description
合体を光透過材として用いた光反応装置などにおいて、
白濁した上記光透過材を透明化する光透過材の再生方法
に関する。
る光反応装置には、反応原料を入れる容器と光反応を行
うための光源が設けられている、光源の照射方法は容器
内部から光を照射する内部光源型と容器外部から光を照
射する外部光源型とがあり、また人工光源を用いずに太
陽光を利用するものもあるが、いずれの場合にも容器に
は光源の光を容器内部に透過させる光透過部分が形成さ
れている。この光透過部分に用いられる光透過材には、
光反応に使用する波長を透過する材質のものが用いら
れ、通常、石英を始めとして各種のガラスが使用されて
いる。
部分を大きく形成できず、光照射部分が限られ光反応の
効率が低くなる問題があり、また、衝撃等に対する信頼
性にも不安が残る。さらに反応原料や溶媒、生成物によ
ってフッ酸が存在すると、ガラス表面が腐食されて曇り
を生じ、透明度が著しく低下し、使用に耐えない状態に
なる。
めに、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ある
いはテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−パー
フルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)な
どのフッ素樹脂化合物を光透過部分のガラス表面にコー
テングする方法が知られている(特公平1−33157
号)。上記テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体
およびテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合体などは可視〜紫外領域において良好な光透
過性を有するので光透過材として用いることができ、し
かも耐薬品性および耐熱性に優れているので、フッ酸の
腐食に対する防止効果が期待されるが、実際には曇り防
止の効果は不十分であり、光反応が進につれて透明度が
急激に低下し使用不能になる。
よび芳香族アミンを入れ、外部から光を照射して光反応
により芳香族アミンをフッ素化する反応において、0〜
30℃の温度で80時間以上反応を継続すると、PFA
製チューブの内部に微細な亀裂や線状痕が発生し、白濁
を生じる。このためチューブが不明化し、効率的な光反
応を継続することができない。
として用いた場合に生じる上記問題を解決するものであ
って、白濁した光透過材を透明化する再生方法を提供す
ることを目的とする。
過材の再生方法が提供される。 (1) フルオロオレフィン重合体からなる光透過材の
再生方法であって、白濁した上記光透過材をフッ素系不
活性溶媒中で煮沸し、または該溶媒蒸気中で加熱するこ
とにより透明化することを特徴とする光透過材の再生方
法。 (2) 光透過材が、テトラフルオロエチレン−エチレ
ン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体、クロロトリフ
ルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリクロロトリフ
ルオロエチレン重合体、フッ化ビニリデン重合体、フッ
化ビニル重合体である上記(1) の再生方法。 (3) フッ素系不活性溶媒が、(a) 炭素数6〜20の
ペルフルオロアルカン、(b) 炭素数9〜20のペルフオ
ロアルキルアミン、(c) 炭素数2〜20のペルフルオロ
ポリエーテル、(d) 炭素数0〜5の置換基を有するペル
フルオロ単環もしくは縮合環化合物であって、150℃
以上の沸点を有する化合物である上記(1)または(2) の
再生方法。 (4) 光透過材を、フッ素系不活性溶媒中または該溶
媒蒸気中で、100〜250℃、0.5〜28時間、好
ましくは、150〜220℃、0.5〜18時間加熱す
る上記(1),(2) または(3) の再生方法。
テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ETF
E)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PF
A)、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体
(ECTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(P
CTFE)、フッ化ビニリデン重合体(PVDF)、フ
ッ化ビニル重合体(PVF)(本明細書において上記化
合物をフルオロオレフィン重合体と言う)からなる光透
過材の白濁を解消し、透明化する方法である。
一部に上記フルオロオレフィン重合体からなる透明板を
設けたものでもよく、また上記フルオロオレフィン重合
体によって反応容器全体を形成したものでもよい。一例
として、上記フルオロオレフィン重合体からなる筒状容
器を反応管として用いることができる。さらに、石英ガ
ラスなど各種のガラス材表面に上記フルオロオレフィン
重合体をコーティングした光透過材にも適用することが
できる。
性溶媒に浸漬して煮沸することにより、または該溶媒蒸
気中の加熱処理することにより白濁が消え、再び透明化
することができる。加熱温度は150℃以上が適当であ
り、フッ素系不活性溶媒としては沸点が150℃以上で
あって、オートクレーブ中(加圧下)で150℃以上で
も安定な以下のフッ素化合物を用いることができる。 (a) 炭素数6〜20のペルフルオロアルカン (b) 炭素数9〜20のペルフオロアルキルアミン (c) 炭素数2〜20のペルフルオロポリエーテル (d) 炭素数0〜5の置換基を有するペルフルオロ単環も
しくは縮合環化合物
以下の化合物が用いられる。炭素数6〜20のペルフル
オロアルカンとしてはペルフルオロヘキサン、ペルフル
オロヘプタン、ペルフルオロオクタン、ペルフルオロノ
ナンなどが挙げられる。炭素数9〜20のペルフオロア
ルキルアミンとしては、次の一般式で示されるペルフル
オロトリプロピルアミン、ペルフルオロトリブチルアミ
ン、ペルフルオロトリペンチルアミン、ペルフルオロト
リヘキシルアミンなどが挙げられる。 N(Cn F2n+1)(Ck F2k+1)(Cm F2m+1)
ルとしては、図1、図2の一般式で示される化合物が挙
げられる。また、炭素数0〜5の置換基を有するペルフ
ルオロ単環もしくは縮合環化合物としては、図1の一般
式で示される化合物、すなわちペルフルオロジシクロア
ルカン、ペルフルオロアダマンタン、ペルフルオロシク
ロエーテル、ペルフルオロジシクロエーテル、ペルフル
オロシクロアミン、ペルフルオロジシクロアミン、ペル
フルオロモルホリンおよびこれらの化合物が挙げられ
る。
当であり、加熱時間は0.5〜18時間が好ましい。1
00℃以下の加熱温度および0.5時間未満の加熱時間
では白濁解消の効果がない。
により光透過材の白濁が消滅し、再び透明になる。一例
として、後述の実施例に示すように、未使用の場合に波
長310mμの近紫外線に対して18%の透過率を有す
るPFA製チューブであって光照射によるフッ素化反応
の反応容器として使用した結果、チューブ内部に白濁を
生じて透過率が0.1〜4%に低下したものを上記再生
処理すると、白濁が消え透過率が15〜16%に回復す
る。白濁の原因および上記再生処理により白濁が解消す
る理由は必ずしも明らかではないが、上記光透過材の白
濁を生じる部分が反応原料に接触する側の表面に限らな
いこと、および上記フッ素系不活性溶媒はフッ化物の吸
収速度が極めて早く、また白化した光透過材を流動パラ
フィンなどの一般的な溶剤中で煮沸しても白濁は消えな
いことなどと関係あるものと思われる。
と共に示す。 実施例1 外径12mm、肉厚1mmのPFAチューブを反応管として
用い、チューブ内部にフッ酸90wt%、芳香族アミン6
wt%、精製水4wt%からなる反応原料液を供給する一
方、チューブ外周を純水によって冷却し、反応温度を2
0〜30℃に維持し、波長310mμの光を照射してフ
ッ素化反応を行わせた。反応開始前の該チューブの照射
波長に対する透過率は18%であったが、80時間連続
使用後にはチューブの外表面側部分に白濁が生じ、透過
率は0.1〜1%に低下した。この白濁したPFAチュ
ーブをペルフルオロトリブチルアミンに浸漬し、175
℃に加熱して4時間煮沸した。この再生処理によりPF
Aチューブの白濁が消え、上記透過率は12〜15%に
回復した。煮沸温度および時間を変えて同様に処理した
結果を表1に示した。また同様に、白化した上記PFA
チューブをペルフルオロトリブチルアミン蒸気中で上記
同一の加熱条件で加熱処理したところ、該溶媒中で煮沸
した場合と同様の結果が得られた。この結果を表1に併
せて示した。
オロトリブチルアミンに代えて表2に示すフッ素系不活
性溶媒を用いた他は実施例1と同様の再生処理を行っ
た。再生処理前と処理後の透明度(照射波長の透過率)
を表2に纏めて示した。いずれの試料においても再生処
理によって未使用状態に近い状態まで透明度が回復し
た。
TFE,PFAおよびPVDF製チューブを用い、また
フッ素系不活性溶媒の種類を代えて、実施例1と同様に
再生処理した。この結果を表3に示した。
浸漬し、215℃で4時間煮沸したところ、チューブの
白濁は消えず、処理後の透明度は処理前と変わらなかっ
た。流動パラフィンに代えてプロピレンカーボネイトを
用いて同様に煮沸処理した結果を表4に纏めて示した。
いずれの試料も白濁は消えず、透明度は回復しなかっ
た。
ロオレフィン重合体からなる白化した光透過材の曇りを
消し、未使用状態の場合に近い透明度まで回復すること
ができる。しかも処理方法も簡便であり、実施し易く、
反応管のように容器全体が光透過材によって形成されて
いるものでも、反応管全体に生じた曇りを容易に除去す
ることができる。
溶媒の一般式を示す説明図
溶媒の一般式を示す説明図
溶媒の一般式を示す説明図
溶媒の一般式を示す説明図 ─────────────────────────────────────────────────────
合体を光透過材として用いた光反応装置などにおいて、
白濁した上記光透過材を透明化する光透過材の再生方法
に関する。
る光反応装置には、反応原料を入れる容器と光反応を行
うための光源が設けられている、光源の照射方法は容器
内部から光を照射する内部光源型と容器外部から光を照
射する外部光源型とがあり、また人工光源を用いずに太
陽光を利用するものもあるが、いずれの場合にも容器に
は光源の光を容器内部に透過させる光透過部分が形成さ
れている。この光透過部分に用いられる光透過材には、
光反応に使用する波長を透過する材質のものが用いら
れ、通常、石英を始めとして各種のガラスが使用されて
いる。
部分を大きく形成できず、光照射部分が限られ光反応の
効率が低くなる問題があり、また、衝撃等に対する信頼
性にも不安が残る。さらに反応原料や溶媒、生成物によ
ってフッ酸が存在すると、ガラス表面が腐食されて曇り
を生じ、透明度が著しく低下し、使用に耐えない状態に
なる。
めに、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ある
いはテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−パー
フルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)な
どのフッ素樹脂化合物を光透過部分のガラス表面にコー
テングする方法が知られている(特公平1−33157
号)。上記テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体
およびテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合体などは可視〜紫外領域において良好な光透
過性を有するので光透過材として用いることができ、し
かも耐薬品性および耐熱性に優れているので、フッ酸の
腐食に対する防止効果が期待されるが、実際には曇り防
止の効果は不十分であり、光反応が進につれて透明度が
急激に低下し使用不能になる。
よび芳香族アミンを入れ、外部から光を照射して光反応
により芳香族アミンをフッ素化する反応において、0〜
30℃の温度で80時間以上反応を継続すると、PFA
製チューブの内部に微細な亀裂や線状痕が発生し、白濁
を生じる。このためチューブが不明化し、効率的な光反
応を継続することができない。
として用いた場合に生じる上記問題を解決するものであ
って、白濁した光透過材を透明化する再生方法を提供す
ることを目的とする。
過材の再生方法が提供される。 (1) フルオロオレフィン重合体からなる光透過材の
再生方法であって、白濁した上記光透過材をフッ素系不
活性溶媒中で煮沸し、または該溶媒蒸気中で加熱するこ
とにより透明化することを特徴とする光透過材の再生方
法。 (2) 光透過材が、テトラフルオロエチレン−エチレ
ン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体、クロロトリフ
ルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリクロロトリフ
ルオロエチレン重合体、フッ化ビニリデン重合体、フッ
化ビニル重合体である上記(1)の再生方法。 (3) フッ素系不活性溶媒が、(a)炭素数6〜20
のペルフルオロアルカン、(b)炭素数9〜20のペル
フオロアルキルアミン、(c)炭素数2〜20のペルフ
ルオロポリエーテル、(d)炭素数0〜5の置換基を有
するペルフルオロ単環もしくは縮合環化合物であって、
150℃以上の沸点を有する化合物である上記(1)ま
たは(2)の再生方法。 (4) 光透過材を、フッ素系不活性溶媒中または該溶
媒蒸気中で、100〜250℃、0.5〜28時間、好
ましくは、150〜220℃、0.5〜18時間加熱す
る上記(1),(2)または(3)の再生方法。
テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ETF
E)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PF
A)、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体
(ECTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(P
CTFE)、フッ化ビニリデン重合体(PVDF)、フ
ッ化ビニル重合体(PVF)(本明細書において上記化
合物をフルオロオレフィン重合体と言う)からなる光透
過材の白濁を解消し、透明化する方法である。
一部に上記フルオロオレフィン重合体からなる透明板を
設けたものでもよく、また上記フルオロオレフィン重合
体によって反応容器全体を形成したものでもよい。一例
として、上記フルオロオレフィン重合体からなる筒状容
器を反応管として用いることができる。さらに、石英ガ
ラスなど各種のガラス材表面に上記フルオロオレフィン
重合体をコーティングした光透過材にも適用することが
できる。
性溶媒に浸漬して煮沸することにより、または該溶媒蒸
気中の加熱処理することにより白濁が消え、再び透明化
することができる。加熱温度は150℃以上が適当であ
り、フッ素系不活性溶媒としては沸点が150℃以上で
あって、オートクレーブ中(加圧下)で150℃以上で
も安定な以下のフッ素化合物を用いることができる。 (a)炭素数6〜20のペルフルオロアルカン (b)炭素数9〜20のペルフオロアルキルアミン (c)炭素数2〜20のペルフルオロポリエーテル (d)炭素数0〜5の置換基を有するペルフルオロ単環
もしくは縮合環化合物
以下の化合物が用いられる。炭素数6〜20のペルフル
オロアルカンとしてはペルフルオロヘキサン、ペルフル
オロヘプタン、ペルフルオロオクタン、ペルフルオロノ
ナンなどが挙げられる。炭素数9〜20のペルフオロア
ルキルアミンとしては、次の一般式で示されるペルフル
オロトリプロピルアミン、ペルフルオロトリブチルアミ
ン、ペルフルオロトリペンチルアミン、ペルフルオロト
リヘキシルアミンなどが挙げられる。 N(CnF2n+1)(CkF2k+1)(CmF
2m+1) ここで、n,k,mは整数であり、n+k+m=9〜2
0
ルとしては、図1、図2の一般式で示される化合物が挙
げられる。また、炭素数0〜5の置換基を有するペルフ
ルオロ単環もしくは縮合環化合物としては、図1の一般
式で示される化合物、すなわちペルフルオロジシクロア
ルカン、ペルフルオロアダマンタン、ペルフルオロシク
ロエーテル、ペルフルオロジシクロエーテル、ペルフル
オロシクロアミン、ペルフルオロジシクロアミン、ペル
フルオロモルホリンおよびこれらの化合物が挙げられ
る。
当であり、加熱時間は0.5〜18時間が好ましい。1
00℃以下の加熱温度および0.5時間未満の加熱時間
では白濁解消の効果がない。
により光透過材の白濁が消滅し、再び透明になる。一例
として、後述の実施例に示すように、未使用の場合に波
長310mμの近紫外線に対して18%の透過率を有す
るPFA製チューブであって光照射によるフッ素化反応
の反応容器として使用した結果、チューブ内部に白濁を
生じて透過率が0.1〜4%に低下したものを上記再生
処理すると、白濁が消え透過率が15〜16%に回復す
る。白濁の原因および上記再生処理により白濁が解消す
る理由は必ずしも明らかではないが、上記光透過材の白
濁を生じる部分が反応原料に接触する側の表面に限らな
いこと、および上記フッ素系不活性溶媒はフッ化物の吸
収速度が極めて早く、また白化した光透過材を流動パラ
フィンなどの一般的な溶剤中で煮沸しても白濁は消えな
いことなどと関係あるものと思われる。
と共に示す。 実施例1 外径12mm、肉厚1mmのPFAチューブを反応管と
して用い、チューブ内部にフッ酸90wt%、芳香族ア
ミン6wt%、精製水4wt%からなる反応原料液を供
給する一方、チューブ外周を純水によって冷却し、反応
温度を20〜30℃に維持し、波長310mμの光を照
射してフッ素化反応を行わせた。反応開始前の該チュー
ブの照射波長に対する透過率は18%であったが、80
時間連続使用後にはチューブの外表面側部分に白濁が生
じ、透過率は0.1〜1%に低下した。この白濁したP
FAチューブをペルフルオロトリブチルアミンに浸漬
し、175℃に加熱して4時間煮沸した。この再生処理
によりPFAチューブの白濁が消え、上記透過率は12
〜15%に回復した。煮沸温度および時間を変えて同様
に処理した結果を表1に示した。また同様に、白化した
上記PFAチューブをペルフルオロトリブチルアミン蒸
気中で上記同一の加熱条件で加熱処理したところ、該溶
媒中で煮沸した場合と同様の結果が得られた。この結果
を表1に併せて示した。
オロトリブチルアミンに代えて表2に示すフッ素系不活
性溶媒を用いた他は実施例1と同様の再生処理を行っ
た。再生処理前と処理後の透明度(照射波長の透過率)
を表2に纏めて示した。いずれの試料においても再生処
理によって未使用状態に近い状態まで透明度が回復し
た。
TFE,PFAおよびPVDF製チューブを用い、また
フッ素系不活性溶媒の種類を代えて、実施例1と同様に
再生処理した。この結果を表3に示した。
浸漬し、215℃で4時間煮沸したところ、チューブの
白濁は消えず、処理後の透明度は処理前と変わらなかっ
た。流動パラフィンに代えてプロピレンカーボネイトを
用いて同様に煮沸処理した結果を表4に纏めて示した。
いずれの試料も白濁は消えず、透明度は回復しなかっ
た。
ロオレフィン重合体からなる白化した光透過材の曇りを
消し、未使用状態の場合に近い透明度まで回復すること
ができる。しかも処理方法も簡便であり、実施し易く、
反応管のように容器全体が光透過材によって形成されて
いるものでも、反応管全体に生じた曇りを容易に除去す
ることができる。
溶媒の一般式を示す説明図
溶媒の一般式を示す説明図
Claims (4)
- 【請求項1】 フルオロオレフィン重合体からなる光透
過材の再生方法であって、白濁した上記光透過材をフッ
素系不活性溶媒中で煮沸し、または該溶媒蒸気中で加熱
することにより透明化することを特徴とする光透過材の
再生方法。 - 【請求項2】 光透過材が、テトラフルオロエチレン−
エチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、クロロ
トリフルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリクロロ
トリフルオロエチレン重合体、フッ化ビニリデン重合
体、フッ化ビニル重合体である請求項1の再生方法。 - 【請求項3】 フッ素系不活性溶媒が、(a) 炭素数6〜
20のペルフルオロアルカン、(b) 炭素数9〜20のペ
ルフオロアルキルアミン、(c) 炭素数2〜20のペルフ
ルオロポリエーテル、(d) 炭素数0〜5の置換基を有す
るペルフルオロ単環もしくは縮合環化合物であって、1
50℃以上の沸点を有する化合物である請求項1または
2の再生方法。 - 【請求項4】 光透過材を、フッ素系不活性溶媒中また
は該溶媒蒸気中で、100〜250℃、0.5〜28時
間、好ましくは、150〜220℃、0.5〜18時間
加熱する請求項1、2または3の再生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9011095A JP3840581B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 光透過材の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9011095A JP3840581B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 光透過材の再生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08259727A true JPH08259727A (ja) | 1996-10-08 |
JP3840581B2 JP3840581B2 (ja) | 2006-11-01 |
Family
ID=13989388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9011095A Expired - Fee Related JP3840581B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 光透過材の再生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3840581B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002008325A1 (fr) * | 2000-07-24 | 2002-01-31 | Daikin Industries, Ltd. | Procede de fabrication de fluororesine regeneree, et article a base de cette resine |
-
1995
- 1995-03-24 JP JP9011095A patent/JP3840581B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002008325A1 (fr) * | 2000-07-24 | 2002-01-31 | Daikin Industries, Ltd. | Procede de fabrication de fluororesine regeneree, et article a base de cette resine |
JP2002036237A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-05 | Daikin Ind Ltd | 再生フッ素樹脂の製造方法及びフッ素樹脂再生品 |
US7223800B2 (en) | 2000-07-24 | 2007-05-29 | Daikin Industries, Ltd. | Method for producing regenerated fluororesin and regenerated fluororesin article |
KR100816224B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2008-03-21 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 재생 불소 수지의 제조 방법 및 불소 수지 재생품 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3840581B2 (ja) | 2006-11-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050426 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050623 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051115 |
|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060405 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060529 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120818 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120818 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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