JPH08255696A - プラズマ診断装置 - Google Patents
プラズマ診断装置Info
- Publication number
- JPH08255696A JPH08255696A JP7058682A JP5868295A JPH08255696A JP H08255696 A JPH08255696 A JP H08255696A JP 7058682 A JP7058682 A JP 7058682A JP 5868295 A JP5868295 A JP 5868295A JP H08255696 A JPH08255696 A JP H08255696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- frequency
- electromagnetic wave
- reflected
- electron density
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】プラズマ状態に外乱を与えることなく、プラズ
マ反応容器内部が汚れるような状態におけるプラズマ中
の電子密度計測を計測時間（継続時間）の制約なしに行
なうことを可能にする。 【構成】成膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行
なうためにプラズマ反応容器１内に発生されたプラズマ
１ｃの電子密度を測定し、プラズマの状態を診断するプ
ラズマ診断装置において、プラズマ１ｃ中に電磁波を入
射させる送信機３及び送信アンテナ５と、送信アンテナ
５から入射され、プラズマ１ｃ中を通過した電磁波を吸
収する受信アンテナ６及び無反射終端器７と、送信アン
テナ５から入射されプラズマ１ｃにより反射された電磁
波を検出し、その反射波の周波数に基づいて電子密度を
算出し、その結果を表示する演算表示器８を具備して構
成する。
マ反応容器内部が汚れるような状態におけるプラズマ中
の電子密度計測を計測時間（継続時間）の制約なしに行
なうことを可能にする。 【構成】成膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行
なうためにプラズマ反応容器１内に発生されたプラズマ
１ｃの電子密度を測定し、プラズマの状態を診断するプ
ラズマ診断装置において、プラズマ１ｃ中に電磁波を入
射させる送信機３及び送信アンテナ５と、送信アンテナ
５から入射され、プラズマ１ｃ中を通過した電磁波を吸
収する受信アンテナ６及び無反射終端器７と、送信アン
テナ５から入射されプラズマ１ｃにより反射された電磁
波を検出し、その反射波の周波数に基づいて電子密度を
算出し、その結果を表示する演算表示器８を具備して構
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマを利用して成
膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行なう装置の
プラズマ中の電子密度を測定し、そのプラズマの状態を
診断するプラズマ診断装置に関する。
膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行なう装置の
プラズマ中の電子密度を測定し、そのプラズマの状態を
診断するプラズマ診断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プラズマを利用して成膜やガスの
分解、合成、及び表面処理等を行なう装置のプラズマ中
の電子密度を測定するプラズマ診断装置に用いられる方
式としては、プローブ挿入や接触方式、あるいはレーザ
等を利用した光学的方式があった。
分解、合成、及び表面処理等を行なう装置のプラズマ中
の電子密度を測定するプラズマ診断装置に用いられる方
式としては、プローブ挿入や接触方式、あるいはレーザ
等を利用した光学的方式があった。
【０００３】しかし、プラズマＣＤＶ等のプラズマ反応
容器内部に膜が形成される状態（観測窓が汚れる場合）
においては、プラズマの状態に外乱を与えることなく、
プラズマ中の電子密度を測定することができなかった。
容器内部に膜が形成される状態（観測窓が汚れる場合）
においては、プラズマの状態に外乱を与えることなく、
プラズマ中の電子密度を測定することができなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のプラ
ズマ診断装置において、プローブ挿入や接触方式を用い
る場合、プラズマ場を乱してしまうという問題があっ
た。また、光学的方式（例えばレーザ利用による分光
法）を用いて電子密度を測定する場合、プラズマＣＶＤ
等、成膜を行なう際には観測窓にも成膜されるため、そ
の観測窓の光透過性が著しく損なわれることにより計測
時間（継続時間）の制約となってしまう問題があった。
ズマ診断装置において、プローブ挿入や接触方式を用い
る場合、プラズマ場を乱してしまうという問題があっ
た。また、光学的方式（例えばレーザ利用による分光
法）を用いて電子密度を測定する場合、プラズマＣＶＤ
等、成膜を行なう際には観測窓にも成膜されるため、そ
の観測窓の光透過性が著しく損なわれることにより計測
時間（継続時間）の制約となってしまう問題があった。
【０００５】本発明は前記のような事情を考慮してなさ
れたもので、プラズマ状態に外乱を与えることなく、プ
ラズマ反応容器内部が汚れるような状態におけるプラズ
マ中の電子密度計測を計測時間（継続時間）の制約なし
に行なうことが可能なプラズマ診断装置を提供すること
を目的とする。
れたもので、プラズマ状態に外乱を与えることなく、プ
ラズマ反応容器内部が汚れるような状態におけるプラズ
マ中の電子密度計測を計測時間（継続時間）の制約なし
に行なうことが可能なプラズマ診断装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、成膜やガスの
分解、合成、及び表面処理等を行なうためにプラズマ反
応容器内に発生されたプラズマの電子密度を測定し、プ
ラズマの状態を診断するプラズマ診断装置において、プ
ラズマ中に電磁波を入射させる電磁波入射手段と、前記
電磁波入射手段によって入射され、プラズマ中を通過し
た電磁波を吸収する電磁波吸収手段と、前記電磁波入射
手段によって入射されプラズマにより反射された電磁波
を検出し、その反射波の周波数に基づいて電子密度を算
出する演算手段とを具備したことを特徴とする。
分解、合成、及び表面処理等を行なうためにプラズマ反
応容器内に発生されたプラズマの電子密度を測定し、プ
ラズマの状態を診断するプラズマ診断装置において、プ
ラズマ中に電磁波を入射させる電磁波入射手段と、前記
電磁波入射手段によって入射され、プラズマ中を通過し
た電磁波を吸収する電磁波吸収手段と、前記電磁波入射
手段によって入射されプラズマにより反射された電磁波
を検出し、その反射波の周波数に基づいて電子密度を算
出する演算手段とを具備したことを特徴とする。
【０００７】
【作用】このような構成によれば、電磁波入射手段（例
えば送信機と送信アンテナ）により、例えばグロー放電
プラズマ中に、周波数が数１００ＭHZ〜数１００００Ｍ
HZ、好ましくは周波数９００ＭHZ〜２８４６０ＭHZの電
磁波を入射すると、電子プラズマ共振周波数と一致した
周波数の電磁波が反射され、それ以外の周波数の電磁波
がプラズマ中を通過し、電磁波吸収手段、例えば受信ア
ンテナに共振して無反射終端器に吸収される。
えば送信機と送信アンテナ）により、例えばグロー放電
プラズマ中に、周波数が数１００ＭHZ〜数１００００Ｍ
HZ、好ましくは周波数９００ＭHZ〜２８４６０ＭHZの電
磁波を入射すると、電子プラズマ共振周波数と一致した
周波数の電磁波が反射され、それ以外の周波数の電磁波
がプラズマ中を通過し、電磁波吸収手段、例えば受信ア
ンテナに共振して無反射終端器に吸収される。
【０００８】これにより、送信機と送信アンテナとの間
の伝送線路上には、上記プラズマによる反射波（電磁
波）が生ずる。従って、演算手段により、反射波が最大
となる周波数を送信機の発振周波数、及び電力計の反射
電力比（反射波電力／進行波電力）より求めると、その
反射電力比最大の周波数は電子プラズマ共振周波数ｆe
［ｋHZ］に等しく、次式により電子密度が求められる。
の伝送線路上には、上記プラズマによる反射波（電磁
波）が生ずる。従って、演算手段により、反射波が最大
となる周波数を送信機の発振周波数、及び電力計の反射
電力比（反射波電力／進行波電力）より求めると、その
反射電力比最大の周波数は電子プラズマ共振周波数ｆe
［ｋHZ］に等しく、次式により電子密度が求められる。
【０００９】Ｎ［個／cm3 ］＝ｆe 2 ／８１ 本発明では電磁波を使用しているので、プラズマ反応容
器内部が汚れていても測定に支障が無く、また電磁波を
送信する送信アンテナをプラズマ発生部から外れた位置
に設置できるのでプラズマに外乱を与えず、さらには受
信アンテナ及び無反射終端器が測定に不要な電磁波を吸
収しＳ／Ｎ比を向上させる、といった作用がある。
器内部が汚れていても測定に支障が無く、また電磁波を
送信する送信アンテナをプラズマ発生部から外れた位置
に設置できるのでプラズマに外乱を与えず、さらには受
信アンテナ及び無反射終端器が測定に不要な電磁波を吸
収しＳ／Ｎ比を向上させる、といった作用がある。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図１は本実施例に係わるプラズマを利用して成
膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行なう装置、
及びプラズマ診断装置の構成を示すブロック図である。
図１に示すように、プラズマ診断の対象とするプラズマ
反応容器１内には、電極１ａ，１ｂが設けられている。
電極１ａ，１ｂ間には、プラズマ発生用電源２によりプ
ラズマが発生される。
明する。図１は本実施例に係わるプラズマを利用して成
膜やガスの分解、合成、及び表面処理等を行なう装置、
及びプラズマ診断装置の構成を示すブロック図である。
図１に示すように、プラズマ診断の対象とするプラズマ
反応容器１内には、電極１ａ，１ｂが設けられている。
電極１ａ，１ｂ間には、プラズマ発生用電源２によりプ
ラズマが発生される。
【００１１】プラズマ診断装置は、図１に示すように、
送信機３、電力計４、送信アンテナ５、受信アンテナ
６、無反射終端器７、及び演算表示器８によって構成さ
れている。
送信機３、電力計４、送信アンテナ５、受信アンテナ
６、無反射終端器７、及び演算表示器８によって構成さ
れている。
【００１２】プラズマ診断装置には、プラズマ中に電磁
波（周波数：数１００ＭHZ〜数１００００ＭHZ）を入射
させる第１の機能と、プラズマ中を通過する電磁波を吸
収する第２の機能と、プラズマにより反射される電磁波
を検出し、その反射波の周波数よりプラズマ中の電子密
度を算出し、その結果を通知する第３の機能が設けられ
ている。
波（周波数：数１００ＭHZ〜数１００００ＭHZ）を入射
させる第１の機能と、プラズマ中を通過する電磁波を吸
収する第２の機能と、プラズマにより反射される電磁波
を検出し、その反射波の周波数よりプラズマ中の電子密
度を算出し、その結果を通知する第３の機能が設けられ
ている。
【００１３】第１の機能は、送信機３及び送信アンテナ
５によって実現される。送信機３は、周波数数１００Ｍ
HZ〜数１００００ＭHZの範囲で発振するもので、好まし
くは周波数９００ＭHZ〜２８４６０ＭHZの範囲で発振す
る。
５によって実現される。送信機３は、周波数数１００Ｍ
HZ〜数１００００ＭHZの範囲で発振するもので、好まし
くは周波数９００ＭHZ〜２８４６０ＭHZの範囲で発振す
る。
【００１４】送信アンテナ５は、プラズマ反応容器１内
部のプラズマ発生部から外れた位置に設置され、送信機
３の発振に応じた電磁波を発射する。第２の機能は、受
信アンテナ６と無反射終端器７によって実現される。
部のプラズマ発生部から外れた位置に設置され、送信機
３の発振に応じた電磁波を発射する。第２の機能は、受
信アンテナ６と無反射終端器７によって実現される。
【００１５】受信アンテナ６は、プラズマ反応容器１内
部のプラズマ発生部から外れた位置で、かつ送信アンテ
ナ５と対称位置でプラズマ発生部（測定対象部）をはさ
む位置に設置され、送信アンテナ５から発射されプラズ
マ発生部を通過した電磁波に共振する。
部のプラズマ発生部から外れた位置で、かつ送信アンテ
ナ５と対称位置でプラズマ発生部（測定対象部）をはさ
む位置に設置され、送信アンテナ５から発射されプラズ
マ発生部を通過した電磁波に共振する。
【００１６】無反射終端器７は、受信アンテナ６り出力
端に接続され、受信アンテナ６に共振した電磁波、すな
わち測定に不要な電磁はを吸収する。受信アンテナ６及
び無反射終端器７により電磁波を吸収することによって
Ｓ／Ｎ比が向上される。
端に接続され、受信アンテナ６に共振した電磁波、すな
わち測定に不要な電磁はを吸収する。受信アンテナ６及
び無反射終端器７により電磁波を吸収することによって
Ｓ／Ｎ比が向上される。
【００１７】第３の機能は、電力計４及び演算表示器８
によって実現される。電力計４は、送信機３と送信アン
テナ５との間に配設され、例えばＣＭ型によって構成さ
れ、送信電力（進行波電力及び反射波電力）を検出す
る。
によって実現される。電力計４は、送信機３と送信アン
テナ５との間に配設され、例えばＣＭ型によって構成さ
れ、送信電力（進行波電力及び反射波電力）を検出す
る。
【００１８】演算表示器８は、送信機３及び電力計４に
接続され、送信周波数と送信電力（反射電力比）よりプ
ラズマの電子密度を計算し、その計算結果を表示するこ
とにより通知する。なお、演算表示器８における計算結
果（プラズマ診断結果）の通知は、紙媒体への印刷や音
（音声等）を利用したものでも良い。
接続され、送信周波数と送信電力（反射電力比）よりプ
ラズマの電子密度を計算し、その計算結果を表示するこ
とにより通知する。なお、演算表示器８における計算結
果（プラズマ診断結果）の通知は、紙媒体への印刷や音
（音声等）を利用したものでも良い。
【００１９】次に、本実施例の動作、及び作用効果につ
いて説明する。ここでは、グロー放電プラズマ中の電子
密度の計測を行なう場合を例にして説明する。プラズマ
反応容器１の内部に設置された電極１ａ，１ｂにプラズ
マ発生用電源２から、例えば直流電圧が印加されると、
両電極１ａ，１ｂ間にはグロー放電プラズマ１ｃが発生
する。
いて説明する。ここでは、グロー放電プラズマ中の電子
密度の計測を行なう場合を例にして説明する。プラズマ
反応容器１の内部に設置された電極１ａ，１ｂにプラズ
マ発生用電源２から、例えば直流電圧が印加されると、
両電極１ａ，１ｂ間にはグロー放電プラズマ１ｃが発生
する。
【００２０】そこで、送信機３を作動させ、任意の周波
数（例えば９００ＭHZ〜２８４６０ＭHZの範囲）で発振
させ、例えば数マイクロワット〜数１００マイクロワッ
トの電力で、電力計４を介して送信アンテナ５に電力供
給し、受信アンテナ６に向けて電磁波を発射する。
数（例えば９００ＭHZ〜２８４６０ＭHZの範囲）で発振
させ、例えば数マイクロワット〜数１００マイクロワッ
トの電力で、電力計４を介して送信アンテナ５に電力供
給し、受信アンテナ６に向けて電磁波を発射する。
【００２１】このとき、電力計４を作動させて進行波電
力Ｐf 、及び反射電力Ｐr を測定し、反射電力比（Ｐr
／Ｐf ）を求める。次に、送信機３の発振周波数を変化
させて、前述と同様にして再度、反射電力比（Ｐr ´／
Ｐf ´）を求める。
力Ｐf 、及び反射電力Ｐr を測定し、反射電力比（Ｐr
／Ｐf ）を求める。次に、送信機３の発振周波数を変化
させて、前述と同様にして再度、反射電力比（Ｐr ´／
Ｐf ´）を求める。
【００２２】このようにして、送信周波数を適宜、変化
させて、各々の周波数における反射電力比を計測し、反
射電力比最大の周波数ｆe ［ｋHZ］を求める。周波数ｆ
e は電子プラズマ共振周波数に等しく、これにより電子
密度Ｎ［個／cm3 ］が計測できる。
させて、各々の周波数における反射電力比を計測し、反
射電力比最大の周波数ｆe ［ｋHZ］を求める。周波数ｆ
e は電子プラズマ共振周波数に等しく、これにより電子
密度Ｎ［個／cm3 ］が計測できる。
【００２３】Ｎ＝ｆe 2 ／８１ …（１） 各々の周波数で、演算表示器８に送信機３の周波数、及
び電力計４の進行波電力と反射波電力のそれぞれの値を
入力していき、反射電力比（Ｐr ／Ｐf ）最大の周波数
ｆe ［ｋHZ］を判定し、前記（１）式の演算を行なえば
電子密度が求まり、その結果を演算表示器８で表示す
る。
び電力計４の進行波電力と反射波電力のそれぞれの値を
入力していき、反射電力比（Ｐr ／Ｐf ）最大の周波数
ｆe ［ｋHZ］を判定し、前記（１）式の演算を行なえば
電子密度が求まり、その結果を演算表示器８で表示す
る。
【００２４】本実施例では送信周波数９００ＭHZ〜２８
４６０ＭHZの場合を例にして説明しているが、前記
（１）式によると、この周波数範囲は電子密度１０10〜
１０13［個／cm3 ］に相当し、グロー放電（１０10個／
cm3 ）に至る範囲までのプラズマ状態の診断に適用でき
ることになる。
４６０ＭHZの場合を例にして説明しているが、前記
（１）式によると、この周波数範囲は電子密度１０10〜
１０13［個／cm3 ］に相当し、グロー放電（１０10個／
cm3 ）に至る範囲までのプラズマ状態の診断に適用でき
ることになる。
【００２５】図２には周波数ｆe と反射電力比（Ｐr ´
／Ｐf ´）の関係を示している。現実には周波数をスイ
ープさせなくても、予め電子プラズマ共振周波数が、ほ
ぼ判っているので、その周辺の数点の周波数で電磁波を
発振して測定しても良い。
／Ｐf ´）の関係を示している。現実には周波数をスイ
ープさせなくても、予め電子プラズマ共振周波数が、ほ
ぼ判っているので、その周辺の数点の周波数で電磁波を
発振して測定しても良い。
【００２６】また、無反射終端器７は、プラズマ反応容
器１内壁による乱反射を防止して計測精度を高める役割
を果たしている。なお、本発明のプラズマ診断装置にお
ける測定原理は、送信する電磁波の周波数と、電子プラ
ズマ共振周波数が等しくなると、電磁波がプラズマにほ
ぼ完全に反射され、それにより送信側の反射波が増大す
る性質を利用したものである。
器１内壁による乱反射を防止して計測精度を高める役割
を果たしている。なお、本発明のプラズマ診断装置にお
ける測定原理は、送信する電磁波の周波数と、電子プラ
ズマ共振周波数が等しくなると、電磁波がプラズマにほ
ぼ完全に反射され、それにより送信側の反射波が増大す
る性質を利用したものである。
【００２７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、プ
ラズマ状態に外乱を与えることなく、プラズマ反応容器
内部が汚れるような状態におけるプラズマ中の電子密度
計測を計測時間（継続時間）の制約なしに行なうことが
可能となるものである。従って、適用範囲が広く、プラ
ズマ診断装置としての産業上の価値を著しく向上させる
ことができる。
ラズマ状態に外乱を与えることなく、プラズマ反応容器
内部が汚れるような状態におけるプラズマ中の電子密度
計測を計測時間（継続時間）の制約なしに行なうことが
可能となるものである。従って、適用範囲が広く、プラ
ズマ診断装置としての産業上の価値を著しく向上させる
ことができる。
【図１】本発明の一実施例に係わるプラズマ診断装置の
構成を示すブロック図。
構成を示すブロック図。
【図２】本実施例における周波数ｆe と反射電力比（Ｐ
r ´／Ｐf ´）の関係を示すグラフ。
r ´／Ｐf ´）の関係を示すグラフ。
１ プラズマ反応容器 １ａ，１ｂ 電極 ２ プラズマ発生用電源 ３ 送信機 ４ 電力計 ５ 送信アンテナ ６ 受信アンテナ ７ 無反射終端器 ８ 演算表示器
Claims (1)
- 【請求項１】 成膜やガスの分解、合成、及び表面処理
等を行なうためにプラズマ反応容器内に発生されたプラ
ズマの電子密度を測定し、プラズマの状態を診断するプ
ラズマ診断装置において、 プラズマ中に電磁波を入射させる電磁波入射手段と、 前記電磁波入射手段によって入射され、プラズマ中を通
過した電磁波を吸収する電磁波吸収手段と、 前記電磁波入射手段によって入射されプラズマにより反
射された電磁波を検出し、その反射波の周波数に基づい
て電子密度を算出する演算手段とを具備したことを特徴
とするプラズマ診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7058682A JPH08255696A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | プラズマ診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7058682A JPH08255696A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | プラズマ診断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08255696A true JPH08255696A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13091335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7058682A Withdrawn JPH08255696A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | プラズマ診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08255696A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000011784A (ko) * | 1998-07-23 | 2000-02-25 | 나고야 다이가쿠쵸 | 플라즈마밀도정보측정방법,측정에쓰이는프로브및플라즈마밀도정보측정장치 |
| KR100702974B1 (ko) * | 1998-07-23 | 2007-04-04 | 나고야 다이가쿠쵸 | 플라즈마 생성용 고주파파워의 제어방법 및 플라즈마 발생장치 |
| KR100792303B1 (ko) * | 1999-07-20 | 2008-01-07 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 플라즈마를 수용하는 개방형 공진기에 고정된 마이크로파발진기를 사용하는 전자밀도측정과 플라즈마 공정제어시스템 |
| KR100792302B1 (ko) * | 1999-07-21 | 2008-01-07 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 플라즈마를 수용하는 개방형 공진기의 공진주파수에서의 변화를 이용하는 플라즈마 전자밀도 측정시스템 및 플라즈마 전자밀도 측정방법 |
| JP2012047548A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Chube Univ | プラズマ電子密度測定プローブ及び測定装置 |
| KR101142308B1 (ko) * | 2009-09-10 | 2012-05-17 | 한국표준과학연구원 | 플라즈마 모니터링 장치, 플라즈마 모니터링 방법, 및 플라즈마 장치 |
| KR20200095022A (ko) * | 2019-01-31 | 2020-08-10 | 한국표준과학연구원 | 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| CN114173463A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-03-11 | 广州市微生物研究所有限公司 | 一种空气净化器等离子体密度测试方法及装置 |
| CN114205983A (zh) * | 2021-11-09 | 2022-03-18 | 中国人民解放军军事科学院国防工程研究院工程防护研究所 | 一种诊断等离子体电子密度的测量系统和方法 |
| JP2022127550A (ja) * | 2021-02-19 | 2022-08-31 | コリア リサーチ インスティテュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | プラズマイオン密度測定装置とこれを利用したプラズマ診断装置 |
| CN114205983B (zh) * | 2021-11-09 | 2024-05-14 | 中国人民解放军军事科学院国防工程研究院工程防护研究所 | 一种诊断等离子体电子密度的测量系统和方法 |
-
1995
- 1995-03-17 JP JP7058682A patent/JPH08255696A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000011784A (ko) * | 1998-07-23 | 2000-02-25 | 나고야 다이가쿠쵸 | 플라즈마밀도정보측정방법,측정에쓰이는프로브및플라즈마밀도정보측정장치 |
| KR100702974B1 (ko) * | 1998-07-23 | 2007-04-04 | 나고야 다이가쿠쵸 | 플라즈마 생성용 고주파파워의 제어방법 및 플라즈마 발생장치 |
| KR100792303B1 (ko) * | 1999-07-20 | 2008-01-07 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 플라즈마를 수용하는 개방형 공진기에 고정된 마이크로파발진기를 사용하는 전자밀도측정과 플라즈마 공정제어시스템 |
| KR100792302B1 (ko) * | 1999-07-21 | 2008-01-07 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 플라즈마를 수용하는 개방형 공진기의 공진주파수에서의 변화를 이용하는 플라즈마 전자밀도 측정시스템 및 플라즈마 전자밀도 측정방법 |
| KR101142308B1 (ko) * | 2009-09-10 | 2012-05-17 | 한국표준과학연구원 | 플라즈마 모니터링 장치, 플라즈마 모니터링 방법, 및 플라즈마 장치 |
| JP2012047548A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Chube Univ | プラズマ電子密度測定プローブ及び測定装置 |
| KR20200095022A (ko) * | 2019-01-31 | 2020-08-10 | 한국표준과학연구원 | 평면형 플라즈마 진단 장치 |
| JP2022127550A (ja) * | 2021-02-19 | 2022-08-31 | コリア リサーチ インスティテュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | プラズマイオン密度測定装置とこれを利用したプラズマ診断装置 |
| CN114205983A (zh) * | 2021-11-09 | 2022-03-18 | 中国人民解放军军事科学院国防工程研究院工程防护研究所 | 一种诊断等离子体电子密度的测量系统和方法 |
| CN114205983B (zh) * | 2021-11-09 | 2024-05-14 | 中国人民解放军军事科学院国防工程研究院工程防护研究所 | 一种诊断等离子体电子密度的测量系统和方法 |
| CN114173463A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-03-11 | 广州市微生物研究所有限公司 | 一种空气净化器等离子体密度测试方法及装置 |
| CN114173463B (zh) * | 2021-11-24 | 2024-03-22 | 广州市微生物研究所集团股份有限公司 | 一种空气净化器等离子体密度测试方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3104956B2 (ja) | 混合ガスの音響分析装置と方法 | |
| Miklós et al. | Application of acoustic resonators in photoacoustic trace gas analysis and metrology | |
| US7114390B2 (en) | Ultrasonic liquid level monitor | |
| WO2018188429A1 (zh) | 基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置及方法 | |
| JPH08255696A (ja) | プラズマ診断装置 | |
| US20100162818A1 (en) | Method and device for detecting water in a cellular structure | |
| US8963090B2 (en) | Terahertz-wave generating apparatus and measuring unit equipped with the same | |
| JP2911884B2 (ja) | 管内を流れるガス状媒体の体積流を時間的に高分解能で測定する装置 | |
| US5442592A (en) | Ultrasonic distance meter | |
| JP2604181B2 (ja) | 超音波による非接触温度／圧力検知方法 | |
| JPH09126854A (ja) | 流量計の駆動電源装置 | |
| JP2004226264A (ja) | アンテナ及び物体検出装置 | |
| JPS62255802A (ja) | 運動物体を監視する方法とそのレ−ザ監視システム | |
| US6490909B1 (en) | Method and apparatus for calculating carbon content of fly ash | |
| Mohanty | Acoustic waves in pulsed microwave discharge | |
| JPS5826283A (ja) | 自己診断機能を持つ超音波測定装置 | |
| KR100928534B1 (ko) | 광섬유 센서를 이용한 변압기 열화진단 장치 및 방법 | |
| US6647780B1 (en) | Slow wave structure sensor with zero-based frequency output | |
| JPH03272136A (ja) | ドライエッチング装置 | |
| Kushibiki et al. | Multimode interference mechanism in V (z) curves obtained by acoustic line-focus beam | |
| Eklund | Acoustooptical method of measuring sound velocity in solids | |
| JPH0257667B2 (ja) | ||
| JPH09311125A (ja) | 音響インピーダンス測定装置 | |
| US6574252B1 (en) | Radio frequency excited slab waveguide laser comprising detector and method of stabilizing the laser power and frequency using optogalvanic effect | |
| JP2000051212A (ja) | 骨密度測定方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020604 |