JPH08254607A - 位相格子 - Google Patents
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- JPH08254607A JPH08254607A JP8006651A JP665196A JPH08254607A JP H08254607 A JPH08254607 A JP H08254607A JP 8006651 A JP8006651 A JP 8006651A JP 665196 A JP665196 A JP 665196A JP H08254607 A JPH08254607 A JP H08254607A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
- G02B5/1871—Transmissive phase gratings
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単に作製でき、問題となる擾乱媒体に対し
て周知の難点を有していない、汚れに鈍感な位相格子を
提供する。 【解決手段】 起伏構造体２を周囲の媒体４に対して保
護されていない光電位置測定装置の位相格子、特に透過
型位相格子にあって、周囲の媒体４のタイプに無関係
に、起伏構造体２と周囲の媒体４との間の屈折率の相違
が必ず得られるように、周囲の媒体４の屈折率ｎU とは
異なる屈折率ｎを起伏構造体２の材料が有する。
て周知の難点を有していない、汚れに鈍感な位相格子を
提供する。 【解決手段】 起伏構造体２を周囲の媒体４に対して保
護されていない光電位置測定装置の位相格子、特に透過
型位相格子にあって、周囲の媒体４のタイプに無関係
に、起伏構造体２と周囲の媒体４との間の屈折率の相違
が必ず得られるように、周囲の媒体４の屈折率ｎU とは
異なる屈折率ｎを起伏構造体２の材料が有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、起伏構造体を周
囲の媒体に対して保護されていない光電位置測定装置の
位相格子、特に透過型位相格子に関する。
囲の媒体に対して保護されていない光電位置測定装置の
位相格子、特に透過型位相格子に関する。
【０００２】
【従来の技術】ジェルギ・ウイルヘルム（Joerg Whillh
elm)の学位論文「三重格子ステップ変換器」(Dreigitte
rschrittgeber)で第 17 頁以降に位相格子が記載されて
いる。第 19 頁には、この種の位相格子の汚れ感度が詳
しく論じてある。ここでは以下のことが記載されてい
る。つまり、「位相格子は汚れに敏感である。透過型位
相格子の溝に同じ屈折率ｎの液体が詰まると、この格子
は最早機能しない。反射型位相格子は汚れに幾分強い。
何故なら、ここでは、格子の機能を無くするためには液
体が屈折率ｎ＝２を有する必要があるからである。この
ため、保護された反射型位相格子には初めから「浸液」
が満たしてある。そうすると、格子の表面の汚れは格子
の回折作用の度合いに関して影響を与えない。透過型位
相格子は、問題のある使用例の場合、ガラス窓で気密封
止して被覆されている」。
elm)の学位論文「三重格子ステップ変換器」(Dreigitte
rschrittgeber)で第 17 頁以降に位相格子が記載されて
いる。第 19 頁には、この種の位相格子の汚れ感度が詳
しく論じてある。ここでは以下のことが記載されてい
る。つまり、「位相格子は汚れに敏感である。透過型位
相格子の溝に同じ屈折率ｎの液体が詰まると、この格子
は最早機能しない。反射型位相格子は汚れに幾分強い。
何故なら、ここでは、格子の機能を無くするためには液
体が屈折率ｎ＝２を有する必要があるからである。この
ため、保護された反射型位相格子には初めから「浸液」
が満たしてある。そうすると、格子の表面の汚れは格子
の回折作用の度合いに関して影響を与えない。透過型位
相格子は、問題のある使用例の場合、ガラス窓で気密封
止して被覆されている」。
【０００３】この種の被覆された位相格子の製造を容易
にするため、ドイツ特許第 34 12 958 A1 号明細書によ
れば、保護された透過型位相格子が開示されている。こ
の記載によれば、ガラス製の透明な基板の上にフォトリ
ソグラフィーで誘電材料から成る階段状の格子が付けて
ある。この階段状の格子を外部から保護するため、透明
な被覆層として全面に付けた光学接着層が階段状の格子
の上に配置されている。階段状の格子の表面と透明基板
の格子のない表面は光学接着層で完全に被覆されている
ので、汚れ用のこれ等の表面に外から処理できない。
にするため、ドイツ特許第 34 12 958 A1 号明細書によ
れば、保護された透過型位相格子が開示されている。こ
の記載によれば、ガラス製の透明な基板の上にフォトリ
ソグラフィーで誘電材料から成る階段状の格子が付けて
ある。この階段状の格子を外部から保護するため、透明
な被覆層として全面に付けた光学接着層が階段状の格子
の上に配置されている。階段状の格子の表面と透明基板
の格子のない表面は光学接着層で完全に被覆されている
ので、汚れ用のこれ等の表面に外から処理できない。
【０００４】それにも係わらず、この種の被覆された位
相格子は相当な製造経費を必要とする。汚れに鈍感とな
るように位相格子を形成するのに行われている解決策
は、問題となる部分を中実体で形成することにある。そ
れ故、そのような保護格子の製造法はコストがかかり、
高価格になるか、あるいは微細な格子に対して全く使用
できない。
相格子は相当な製造経費を必要とする。汚れに鈍感とな
るように位相格子を形成するのに行われている解決策
は、問題となる部分を中実体で形成することにある。そ
れ故、そのような保護格子の製造法はコストがかかり、
高価格になるか、あるいは微細な格子に対して全く使用
できない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、簡
単に作製でき、問題となる擾乱媒体に対して周知の難点
を有していない、汚れに鈍感な位相格子を提供すること
にある。
単に作製でき、問題となる擾乱媒体に対して周知の難点
を有していない、汚れに鈍感な位相格子を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、起伏構造体２を周囲の媒体４に対して保護され
ていない光電位置測定装置の位相格子、特に透過型位相
格子にあって、周囲の媒体４のタイプに無関係に、起伏
構造体２と周囲の媒体４との間の屈折率の相違が必ず得
られるように、起伏構造体２の材料が周囲の媒体４の屈
折率ｎU とは異なる屈折率ｎを有することによって解決
されている。
により、起伏構造体２を周囲の媒体４に対して保護され
ていない光電位置測定装置の位相格子、特に透過型位相
格子にあって、周囲の媒体４のタイプに無関係に、起伏
構造体２と周囲の媒体４との間の屈折率の相違が必ず得
られるように、起伏構造体２の材料が周囲の媒体４の屈
折率ｎU とは異なる屈折率ｎを有することによって解決
されている。
【０００７】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００８】
【０００９】
【実施例】以下、この発明の好適実施例を図面に基づき
より詳しく説明する。図１に示す位相格子１は基板３の
上に付けた起伏構造体２で構成されている。この起伏構
造体２は高屈折率材料で作製されている。この材料は、
主として二酸化チタン（TiO2),五酸化タンタル（Ta2O5)
あるいは酸化アルミニウム（Al2O3)のような誘電材料で
ある。基板３の材料は、主としてガラス、石英等の通常
の材料である。
より詳しく説明する。図１に示す位相格子１は基板３の
上に付けた起伏構造体２で構成されている。この起伏構
造体２は高屈折率材料で作製されている。この材料は、
主として二酸化チタン（TiO2),五酸化タンタル（Ta2O5)
あるいは酸化アルミニウム（Al2O3)のような誘電材料で
ある。基板３の材料は、主としてガラス、石英等の通常
の材料である。
【００１０】位相格子１に接する媒体は、単に理論で屈
折率ｎU ＝ 1の空気である。図２と図３に示す例のよう
に位置測定装置の位相格子１をこの発明により保護しな
いで使用するため、実際には、既に説明したように、
水、溶剤、油等のような媒体により位相格子１，特にそ
の起伏構造体２が汚れる。この媒体の屈折率の範囲はｎ
U ≒ 1.3〜 1.6である。従って、ほぼｎS ≒ 1.5となっ
ている基板３の屈折率ｎS に近い。この場合、保護され
ていないと言うことは、製造時に起伏構造体２の溝が目
的通りに充填されているのでなく、使用期間中、周囲の
媒体に直接曝されていることを意味する。
折率ｎU ＝ 1の空気である。図２と図３に示す例のよう
に位置測定装置の位相格子１をこの発明により保護しな
いで使用するため、実際には、既に説明したように、
水、溶剤、油等のような媒体により位相格子１，特にそ
の起伏構造体２が汚れる。この媒体の屈折率の範囲はｎ
U ≒ 1.3〜 1.6である。従って、ほぼｎS ≒ 1.5となっ
ている基板３の屈折率ｎS に近い。この場合、保護され
ていないと言うことは、製造時に起伏構造体２の溝が目
的通りに充填されているのでなく、使用期間中、周囲の
媒体に直接曝されていることを意味する。
【００１１】屈折率ｎU と起伏構造体２の屈折率ｎが似
ているか、あるいは完全い一致している場合には、格子
１の回折作用が極度に低減されるか、無くなる。しか
し、起伏構造体２を形成するため、先に述べた Ta2O5,
TiO2あるいは Al2O3のような高屈折率の材料（ｎ＞ 1.
8）を使用すると、実際上必ず十分な屈折率の相違が存
在し、位相格子１の回折作用が得られる。
ているか、あるいは完全い一致している場合には、格子
１の回折作用が極度に低減されるか、無くなる。しか
し、起伏構造体２を形成するため、先に述べた Ta2O5,
TiO2あるいは Al2O3のような高屈折率の材料（ｎ＞ 1.
8）を使用すると、実際上必ず十分な屈折率の相違が存
在し、位相格子１の回折作用が得られる。
【００１２】このような高屈折率の材料を使用すると必
ず難点が現れる。何故なら、起伏構造体２の境界面での
反射がかなり大きくなるからである。これは格子表面
（起伏構造体２）での反射損失を与える。それ故、望ま
しくない散乱光が生じる。これ等の難点は起伏構造体２
の材料の屈折率ｎを適当に組み合わせ、それ等の幾何学
配置により防止される。
ず難点が現れる。何故なら、起伏構造体２の境界面での
反射がかなり大きくなるからである。これは格子表面
（起伏構造体２）での反射損失を与える。それ故、望ま
しくない散乱光が生じる。これ等の難点は起伏構造体２
の材料の屈折率ｎを適当に組み合わせ、それ等の幾何学
配置により防止される。
【００１３】この種の積層位相格子の回折特性には、ウ
ェブの幅Ｂの外に、光学的に有効な位相の深さΘが重要
である。この位相の深さΘは起伏構造体２のウェブの高
さｈと、起伏構造体２の屈折率ｎと周囲の媒体４の屈折
率ｎU との屈折率の差に依存する。光学的に有効な位相
の深さΘは、公式
ェブの幅Ｂの外に、光学的に有効な位相の深さΘが重要
である。この位相の深さΘは起伏構造体２のウェブの高
さｈと、起伏構造体２の屈折率ｎと周囲の媒体４の屈折
率ｎU との屈折率の差に依存する。光学的に有効な位相
の深さΘは、公式
【００１４】
【外１】 により計算される。ここで、Θは位相の深さ、ｎは起伏
構造体２の材料の屈折率、λは光の波長、ｈは起伏構造
体２のウェブの高さ、およびｎU は周囲の媒体４の屈折
率である。即ち、同じ回折特性の位相格子１は屈折率ｎ
とウェブの高さｈの無限に多くの組み合わせにより作製
されることを意味する。位相格子１の設計はｎU ＝１と
して行われる。
構造体２の材料の屈折率、λは光の波長、ｈは起伏構造
体２のウェブの高さ、およびｎU は周囲の媒体４の屈折
率である。即ち、同じ回折特性の位相格子１は屈折率ｎ
とウェブの高さｈの無限に多くの組み合わせにより作製
されることを意味する。位相格子１の設計はｎU ＝１と
して行われる。
【００１５】反射を考える場合、二回の反射が生じる、
つまり周囲の媒体４から起伏構造体２に移行する場合
と、起伏構造体２から周囲の媒体４に移行する場合に生
じることに配慮する必要がある。ウェブの高さｈを適当
に選ぶと、二つの反射のビーム束が相互に破壊的に干渉
する。つまり相互に溶け合ってしまうようにできる。垂
直入射を仮定すると、これは、
つまり周囲の媒体４から起伏構造体２に移行する場合
と、起伏構造体２から周囲の媒体４に移行する場合に生
じることに配慮する必要がある。ウェブの高さｈを適当
に選ぶと、二つの反射のビーム束が相互に破壊的に干渉
する。つまり相互に溶け合ってしまうようにできる。垂
直入射を仮定すると、これは、
【００１６】
【外２】 となると、このような場合となる。斜め入射の場合に
は、
は、
【００１７】
【外３】 となる。ここでαは空気中での光の入射角である。この
ような位相格子を製造する時、条件 (II) あるいは (I
I')を必ず守るように注意する必要がある。以下のこと
が具体的に分かる。
ような位相格子を製造する時、条件 (II) あるいは (I
I')を必ず守るように注意する必要がある。以下のこと
が具体的に分かる。
【００１８】(II，II')をｈにより分解し、(I) に代入
すると、
すると、
【００１９】
【外４】 あるいは、
【００２０】
【外５】 となる。Θは格子の望ましい回折特性により与えられ
る。例えばΘ＝πである。これから、Ｎ＝２とＭ＝０で
ｎとなる。つまり、格子１の起伏構造体２を高さｈと２
に近い屈折率ｎを有するウェブで構成する。その時、必
要なウェブの高さｈが公式 (I)から導ける。これ等の考
察は起伏構造体２からそして基板３の側からも位相格子
１を照明する場合に当てはまる。
る。例えばΘ＝πである。これから、Ｎ＝２とＭ＝０で
ｎとなる。つまり、格子１の起伏構造体２を高さｈと２
に近い屈折率ｎを有するウェブで構成する。その時、必
要なウェブの高さｈが公式 (I)から導ける。これ等の考
察は起伏構造体２からそして基板３の側からも位相格子
１を照明する場合に当てはまる。
【００２１】この発明による位相格子の典型的な応用例
を示すため、図２と図３に基づき位置測定装置を説明す
る。干渉計５の光学構造が、図２に極端に単純化し、展
開光路にして示してある。照明装置は光源Ｑ，集光レン
ズＫおよび光電素子Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 で構成されている。光
源Ｑと集光レンズＫにより発生する平面波および回折波
は波面に対する法線で示してある。波長λの平面波を前
提として、この平面波が走査格子Ｇに垂直に入射する。
を示すため、図２と図３に基づき位置測定装置を説明す
る。干渉計５の光学構造が、図２に極端に単純化し、展
開光路にして示してある。照明装置は光源Ｑ，集光レン
ズＫおよび光電素子Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 で構成されている。光
源Ｑと集光レンズＫにより発生する平面波および回折波
は波面に対する法線で示してある。波長λの平面波を前
提として、この平面波が走査格子Ｇに垂直に入射する。
【００２２】動作原理は、移動する格子目盛板Ｍで回折
した部分ビーム束が光の周波数の位相で格子の運動によ
り変調されることに基づいている。これは、格子目盛板
Ｍが一格子周期ほど移動する間に、二つの１次の回折部
分ビーム束の位相がそれぞれ 360°移動することを意味
する。この場合、＋１次と−１次の位相は逆向きに移動
する。±１次のビーム束が再び干渉すると、二重の移動
周波数で変調された光ビーム束が生じる。
した部分ビーム束が光の周波数の位相で格子の運動によ
り変調されることに基づいている。これは、格子目盛板
Ｍが一格子周期ほど移動する間に、二つの１次の回折部
分ビーム束の位相がそれぞれ 360°移動することを意味
する。この場合、＋１次と−１次の位相は逆向きに移動
する。±１次のビーム束が再び干渉すると、二重の移動
周波数で変調された光ビーム束が生じる。
【００２３】これは、振幅格子目盛板でも、位相格子目
盛板でも当てはまる。しかし、位相格子は０次のビーム
が消滅し、二つの１次ビームに入射されたエネルギの大
部分が利用されるように設計される。光源（赤外線放射
器Ｑ）から出たビームは集光レンズＫにより平行にさ
れ、走査位相格子Ｇを照明する。
盛板でも当てはまる。しかし、位相格子は０次のビーム
が消滅し、二つの１次ビームに入射されたエネルギの大
部分が利用されるように設計される。光源（赤外線放射
器Ｑ）から出たビームは集光レンズＫにより平行にさ
れ、走査位相格子Ｇを照明する。
【００２４】図２に示すように、この格子Ｇに入射した
光ビーム束Ｌは一部が回折するか通過する。この場合に
生じた部分ビーム束Ａ',Ｂ−ＣとＤ' は反射位相格子の
目盛板Ｍで回折し、走査位相格子ＧあるいはＧ' に再入
射して互いに干渉する。集光レンズＫは平行な部分ビー
ム束Ａ'''/Ｂ' ，Ａ''/ Ｂ''あるいはＣ''/ Ｄ''および
Ｄ'''/Ｃ' を付属する光検出器Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 に集束させ
る。
光ビーム束Ｌは一部が回折するか通過する。この場合に
生じた部分ビーム束Ａ',Ｂ−ＣとＤ' は反射位相格子の
目盛板Ｍで回折し、走査位相格子ＧあるいはＧ' に再入
射して互いに干渉する。集光レンズＫは平行な部分ビー
ム束Ａ'''/Ｂ' ，Ａ''/ Ｂ''あるいはＣ''/ Ｄ''および
Ｄ'''/Ｃ' を付属する光検出器Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 に集束させ
る。
【００２５】目盛板Ｍが移動すると、３つの光検出器Ｐ
1,Ｐ2,Ｐ3 はそれぞれ一信号周期の1/3ほど位相のずれ
た信号（信号周期＝目盛板の位相格子の周期の半分）を
出力する。この位相の移動は、既に欧州特許第 0 163 3
62 B1 号明細書により周知であるように、走査格子Ｇあ
るいはＧ' の構成（溝の幅と溝の深さ）により決まる。
1,Ｐ2,Ｐ3 はそれぞれ一信号周期の1/3ほど位相のずれ
た信号（信号周期＝目盛板の位相格子の周期の半分）を
出力する。この位相の移動は、既に欧州特許第 0 163 3
62 B1 号明細書により周知であるように、走査格子Ｇあ
るいはＧ' の構成（溝の幅と溝の深さ）により決まる。
【００２６】次に、図示する部品の作用を説明する。入
射波はインデックス格子（走査格子）Ｇを通過すると実
質上３つの方向−１，０，＋１に回折される。その場
合、インデックス格子Ｇは、０次のビームが±１次のビ
ームに比べて位相を値Φほど遅れるように構成される。
ビームが目盛板Ｍに入射すると、それぞれ±１次の方向
に回折する。目盛板Ｍは０回折次数が生じないように構
成される。
射波はインデックス格子（走査格子）Ｇを通過すると実
質上３つの方向−１，０，＋１に回折される。その場
合、インデックス格子Ｇは、０次のビームが±１次のビ
ームに比べて位相を値Φほど遅れるように構成される。
ビームが目盛板Ｍに入射すると、それぞれ±１次の方向
に回折する。目盛板Ｍは０回折次数が生じないように構
成される。
【００２７】目盛板Ｍがインデックス格子あるいは走査
格子ＧとＧ' （部材としは両者は同一）に対して移動す
ると、目盛板Ｍで回折した＋１次（ｎ＝＋１）のビーム
は移動量ｘに比例する位相変化を値Ωほど、また目盛板
Ｍで回折した−１次（ｎ＝−１）のビームは移動量ｘに
比例する位相変化を値−Ωほど行う。この場合、
格子ＧとＧ' （部材としは両者は同一）に対して移動す
ると、目盛板Ｍで回折した＋１次（ｎ＝＋１）のビーム
は移動量ｘに比例する位相変化を値Ωほど、また目盛板
Ｍで回折した−１次（ｎ＝−１）のビームは移動量ｘに
比例する位相変化を値−Ωほど行う。この場合、
【００２８】
【外６】 である。インデックス格子あるいは走査格子Ｇまたは
Ｇ' を通過すると、再び回折と位相のずれが生じる。同
じ方向と同じ光路長を有する波が互いに干渉する。この
場合、干渉する部分波の位相は、格子を通過した時に個
々の部分ビームが受ける位相変化の和から与えられる。
単色化されていない空間的に非干渉性の光源を用いた照
明では、方向＋１，０，−１を向く干渉した波のみが信
号発生に寄与する。
Ｇ' を通過すると、再び回折と位相のずれが生じる。同
じ方向と同じ光路長を有する波が互いに干渉する。この
場合、干渉する部分波の位相は、格子を通過した時に個
々の部分ビームが受ける位相変化の和から与えられる。
単色化されていない空間的に非干渉性の光源を用いた照
明では、方向＋１，０，−１を向く干渉した波のみが信
号発生に寄与する。
【００２９】格子系の出口では、＋１を付けた方向で位
相−Ωの波と位相 2Φ＋Ωの波と干渉する。格子目盛
Ｇ，Ｇ' およびＭとして、好ましくは位相格子が使用さ
れ、これ等の格子は、図１に示すように、この発明によ
る透過型位相格子として構成されている。
相−Ωの波と位相 2Φ＋Ωの波と干渉する。格子目盛
Ｇ，Ｇ' およびＭとして、好ましくは位相格子が使用さ
れ、これ等の格子は、図１に示すように、この発明によ
る透過型位相格子として構成されている。
【００３０】表面に刻みを付けた通常の位相格子を有す
る測長装置あるいは測角装置とは異なり、この発明によ
る位相格子Ｇ，Ｇ' では、周囲の媒体が乱れを与えな
い。この発明による透過型位相格子は、起伏構造体２が
屈折率ｎを有するウェブから成り、その間にある溝が透
明であって、測定ビーム束（部分ビーム束）が通過する
ことを意味する。
る測長装置あるいは測角装置とは異なり、この発明によ
る位相格子Ｇ，Ｇ' では、周囲の媒体が乱れを与えな
い。この発明による透過型位相格子は、起伏構造体２が
屈折率ｎを有するウェブから成り、その間にある溝が透
明であって、測定ビーム束（部分ビーム束）が通過する
ことを意味する。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明の利点
は、ここに提案する位相格子が、簡単に作製でき、問題
となる擾乱媒体に対して周知の難点を有していなく、し
かも汚れに鈍感である点にある。
は、ここに提案する位相格子が、簡単に作製でき、問題
となる擾乱媒体に対して周知の難点を有していなく、し
かも汚れに鈍感である点にある。
【図１】 この発明による位相格子の断面図、
【図２】 干渉動作する測長装置の光学機能原理を示す
模式光線図、
模式光線図、
【図３】 図２の一部（III の領域) の拡大図面。
１ 位相格子 ２ 起伏構造体 ３ 基板 ４ 溝 ５ 測長装置 Ｑ 光源 Ｋ 集光レンズ Ｇ，Ｇ' インデックス格子あるいは走査格子 Ｍ 目盛板 Ｐ1 〜Ｐ3 光検出器 Ｂ 起伏構造体のウェブの幅 ｈ 起伏構造体のウェブの高さ ｎU 周囲の媒体の屈折率 ｎS 基板の屈折率 ｎ ウェブの屈折率
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アンドレアス・フランツ ドイツ連邦共和国、83308 トロストバー、 ヘルツオーク−ルートウイッヒ−ストラー セ、31 (72)発明者 ヴアルター・フーバー ドイツ連邦共和国、83278 トラウンシユ タイン、ヴアルトベルクフエルトストラー セ、20
Claims (4)
- 【請求項１】 起伏構造体（２）を周囲の媒体（４）に
対して保護されていない光電位置測定装置の位相格子、
特に透過型位相格子において、周囲の媒体（４）のタイ
プに無関係に、起伏構造体（２）と周囲の媒体（４）と
の間の屈折率の相違が必ず得られるように、起伏構造体
（２）の材料が周囲の媒体（４）の屈折率（ｎU ）とは
異なる屈折率（ｎ）を有することを特徴とする位相格
子。 - 【請求項２】 起伏構造体（２）の屈折率（ｎ）は周囲
の媒体（４）の屈折率（ｎU ）より大きいことを特徴と
する請求項１に記載の位相格子。 - 【請求項３】 起伏構造体（２）は基板（３）の上に付
けてあることを特徴とする請求項１に記載の位相格子。 - 【請求項４】 起伏構造体（２）のウェブの幾何学的な
高さ（ｈ）とその材料の屈折率（ｎ）は、周囲の媒体
（４）から起伏構造体（２）へ、および起伏構造体
（２）から周囲の媒体（４）へ移行する時に生じる反射
が破壊的な干渉により大幅に消失するように、相互に調
整されていることを特徴とする請求項１に記載の位相格
子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19502727:2 | 1995-01-28 | ||
| DE19502727A DE19502727A1 (de) | 1995-01-28 | 1995-01-28 | Phasengitter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08254607A true JPH08254607A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3032712B2 JP3032712B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=7752576
Family Applications (1)
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