JPH08254410A - 部品の外観検査方法 - Google Patents

部品の外観検査方法

Info

Publication number
JPH08254410A
JPH08254410A JP5880795A JP5880795A JPH08254410A JP H08254410 A JPH08254410 A JP H08254410A JP 5880795 A JP5880795 A JP 5880795A JP 5880795 A JP5880795 A JP 5880795A JP H08254410 A JPH08254410 A JP H08254410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
zoom lens
image
component
appearance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP5880795A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuyasu Oshima
信康 大島
Koji Yagio
幸二 柳尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP5880795A priority Critical patent/JPH08254410A/ja
Publication of JPH08254410A publication Critical patent/JPH08254410A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査部品を外観検査するに当たって余分な
設備投資を不要とし、しかも歩留りを低下させずに短時
間で外観を検査できる外観検査方法を提供する。 【構成】 カメラ1でサンプル部品を撮像し、重心測定
を行ない、撮像する際の最大寸法の測定を行なう。基準
寸法L1 と被検査部品の撮像寸法L2 の差を演算し、こ
の差がなくなるように電動ズームレンズ2を制御する。
1 =L2 となった後、被検査部品を撮像する。撮像デ
ータと電動ズームレンズ2の倍率とから被検査部品外面
の検査を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電動ズームレンズ付き
の撮像装置で被検査部品を撮像して該被検査部品の外観
を検査する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】部品外観の欠陥の有無を検査する場合、
部品をCCDカメラ等で撮像し、各画素の出力のバラツ
キから欠陥の存在を見つけ出すと共に、この欠陥の大き
さを求めるようにしている。例えば、出力が閾値を超え
る画素の集合体の大きさから部品の外面の欠陥の大きさ
を測定できる。
【0003】この場合、部品の大きさが常に一定であれ
ば、撮像データから直ちに欠陥の大きさを演算できる。
【0004】部品の大きさが日時あるいはロット毎に異
なる場合には、部品大きさの変動に応じ撮像倍率を変え
るか、あるいはその大きさの部品を検査するラインに回
すことにより外観検査を行なう。
【0005】例えば、小型の電子部品の場合などにあっ
ては、外観検査の基準になるサンプル部品に相似する形
状の被検査部品の外観を検査するに当たって、サンプル
部品の寸法と被検査部品の寸法との差が微小なときは、
検査ツールに許容範囲を設定して外観検査をしている。
また、両者間の寸法差が大きいときは被検査部品の寸法
に合う検査ツールを設け、被検査部品の寸法に応じて1
ラインで検査ツールを切り替えて検査したり、寸法が異
なる被検査部品毎に別途にラインを設置して外観検査を
行っている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】検査ツールに許容範囲
をもたせて外観検査をする外観検査方法では、サンプル
部品と被検査部品との寸法差が許容範囲を超えると高精
度で検査できない。
【0007】被検査部品の寸法に合う検査ツールを設け
る外観検査方法では、複数のツールを設置するため、設
備投資額が嵩む。複数の検査ラインを設ける方法にあっ
ては、ライン切り替え時間が増加するという問題や、余
分な設備投資を必要とするという問題がある。
【0008】本発明は、上記事情に鑑み、サンプル部品
との寸法差が大きい被検査部品を外観検査するに当たっ
て余分な設備投資を不要とし、短時間で外観を高精度に
検査できる部品の外観検査方法を提供することを目的と
する。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の部品の外観検査
方法は、被検査部品を電動ズームレンズ付きの撮像装置
で撮像して画像を得、この画像から被検査部品の寸法を
求め、この撮像寸法が予め設定された基準寸法と等しく
なるように前記電動ズームレンズを制御すると共に、こ
の制御量から該ズームレンズの倍率を演算し、撮像寸法
と基準寸法とが等しいときに撮像された画像データと前
記倍率とに基づいて前記被検査部品の外観を検査するこ
とを特徴とするものである。
【0010】
【作用】本発明の部品の外観検査方法にあっては、被検
査部品を撮像して画像に表された寸法を測定し、基準寸
法と比較し、両者が等しくなるまで電動ズームレンズの
倍率を調整する。撮像寸法と基準寸法とが等しくなった
状態での撮像データとそのときの電動ズームレンズ倍率
とに基づいて被検査部品の外観を検査する。この結果、
基準寸法と同じ撮像寸法となるように被検査部品を撮像
することとなるため、被検査部品の外観の欠陥の大きさ
を高精度に求めることができる。
【0011】また、被検査部品の大きさに応じて電動ズ
ームレンズの倍率が自動的に調整されるため、1基の電
動ズームレンズによって多種類の被検査部品に対応でき
る。従って、余分な設備投資を不要とし、しかも歩留り
を低下させずに短時間で被検査部品の外観を検査でき
る。
【0012】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の部品の外観検
査方法の一実施例を説明する。図1は外観検査装置の概
略構成を示すブロック図、図2は外観検査方法を示すフ
ロー図である。
【0013】まず、図1を参照して外観検査方法を実施
するための外観検査装置を説明する。外観検査装置は、
ステップモータを内蔵した電動ズームレンズ2を有する
カメラ1(CCDカメラ)を備えている。このカメラ1
から出力された撮像信号を処理して基準寸法と被検査部
品3の寸法との差を演算する演算部4と、この演算によ
り得られた差に基づいてこの差がなくなるように電動ズ
ームレンズ2を動かす信号を出力する出力部5と、カメ
ラ1で撮像して得られた画像を画像処理する画像処理部
6とが備えられている。この演算部4には、被検査部品
3の基準寸法が予め入力されている。なお、この被検査
部品3はコンベヤによって連続的に搬送されている。
【0014】次に、図2を参照してこの外観検査装置に
より被検査部品3を外観検査する手順を説明する。
【0015】被検査部品3がカメラ1で撮像され(1
0)、この結果に基づいて位置決めのための重心測定が
行なわれ(11)、撮像する際の最大寸法の測定が行な
われる(12)。次に、演算部4で、基準寸法L1 と画
像に表された被検査部品3の寸法L2 との差が演算さ
れ、L1 ≠L2 であるときには、両者の差がなくなるよ
うに出力部5から電動ズームレンズ2にパルス信号が出
力される(14〜16)。電動ズームレンズ2は、入力
されたパルス数だけステップモータを回転させ、ズーム
調整する。次いで、再びカメラ1で被検査部品3が撮像
され(10)、重心測定が行なわれ(11)、最大寸法
の測定が行なわれ(12)、演算部4で上記差が演算さ
れ、出力部5から電動ズームレンズ2にパルス信号が出
力され(16)、電動ズームレンズ2がL1 とL2 との
差をなくすように動く。この手順を繰り返すことによ
り、カメラ1による被検査部品3の撮像寸法を基準寸法
と合致させる。L1 =L2 となった後、出力部から電動
ズームレンズ2に出力されたパルス数の総和より撮像倍
率を演算する(17)。次いで、被検査部品3の画像処
理を開始し(18)、被検査部品3の外観検査を行な
う。これにより、1種類の外観検査ツールを用い、種々
の大きさの被検査部品を1つのラインで外観検査するこ
とができる。
【0016】上記の外観検査方法による検査結果の具体
例を説明する。
【0017】被検査部品として直径2.0mmから3.
0mmまでの円筒セラミックス部品を用いた。この被検
査部品を画像上のピクセル数約360のCCDカメラで
撮像し、予め入力された基準寸法L1 と撮像寸法L2
が等しくなった倍率で各被検査部品を撮像した。この結
果、倍率0.8〜1.5の間で電動ズームレンズ2が自
動的に制御され、被検査部品を高精度にて効率良く検査
することができた。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明の部品の外観
検査方法によれば、撮像寸法が基準寸法になる撮像倍率
で被検査部品を撮像して画像を得るため、1つの外観検
査ラインにおいて高精度にて短時間で被検査部品の外観
を検査できる。従って、外観検査のための設備コストを
大幅に低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の外観検査装置の概略構成を
示すブロック図である。
【図2】図1に示された外観検査装置を用いた外観検査
方法を示すフロー図である。
【符号の説明】
1 カメラ 2 電動ズームレンズ 3 被検査部品 4 演算部 5 出力部 6 画像処理部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査部品を電動ズームレンズ付きの撮
    像装置で撮像して画像を得、この画像から被検査部品の
    寸法を求め、この撮像寸法が予め設定された基準寸法と
    等しくなるように前記電動ズームレンズを制御すると共
    に、この制御量から該ズームレンズの倍率を演算し、 撮像寸法と基準寸法とが等しいときに撮像された画像デ
    ータと前記倍率とに基づいて前記被検査部品の外観を検
    査することを特徴とする部品の外観検査方法。
JP5880795A 1995-03-17 1995-03-17 部品の外観検査方法 Withdrawn JPH08254410A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5880795A JPH08254410A (ja) 1995-03-17 1995-03-17 部品の外観検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5880795A JPH08254410A (ja) 1995-03-17 1995-03-17 部品の外観検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08254410A true JPH08254410A (ja) 1996-10-01

Family

ID=13094880

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5880795A Withdrawn JPH08254410A (ja) 1995-03-17 1995-03-17 部品の外観検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08254410A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004348132A (ja) * 2003-05-23 2004-12-09 Barco Nv 大画面有機発光ダイオードディスプレイに画像を表示する方法と該方法で使用するディスプレイ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004348132A (ja) * 2003-05-23 2004-12-09 Barco Nv 大画面有機発光ダイオードディスプレイに画像を表示する方法と該方法で使用するディスプレイ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5040228A (en) Method and apparatus for automatically focusing an image-acquisition device
CN108482956B (zh) 输送物检查系统和输送装置
CN101382502B (zh) 表面污点检测系统及其检测方法
JP2015035715A (ja) 画像撮像方法及び画像撮像装置
JPH06222012A (ja) 画像処理装置及び画像処理方法及び半導体パッケージ外観検査装置
JPH08254410A (ja) 部品の外観検査方法
US5818958A (en) Wire bend inspection method and apparatus
KR100293698B1 (ko) 플라즈마디스플레이패널의패턴검사기및그검사방법
JP2004201284A (ja) 映像処理システム及び映像処理方法
JP2020187016A (ja) 位置ずれ検出方法
JP2020035052A (ja) 撮影装置の制御方法、撮影装置、および部品の製造方法
JP3132932B2 (ja) 画像フィルタリング方法
JPH08122726A (ja) 液晶パネル検査装置
JP3184640B2 (ja) ボンディングワイヤ検査装置
JPH0735703A (ja) 画像処理方法
JPH08122016A (ja) 物体の位置変動検出装置及び位置変動検出記録装置
KR100227422B1 (ko) 프린트 기판의 미삽 검사 데이터 베이스 생성장치 및 그 방법
JPS616978A (ja) デジタル画像処理装置
KR0148983B1 (ko) 조정부품 자동위치 검출장치 및 그 제어방법
JPH07270138A (ja) 外観検査方法
JPH1063856A (ja) 外観検査方法および外観検査装置
KR970017719A (ko) 모터용 페라이트코어 검사장치
KR100272242B1 (ko) 규칙적인 미세패턴을 갖는 화상디바이스 검사를 위한 이미지 개선방법
JPH07196130A (ja) 画像処理による物品の検査装置および方法
CN116337892A (zh) 工业电子雷管表面缺陷检测用灰度变化视觉检测方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20020604