JPH08252414A - ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ - Google Patents
ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタInfo
- Publication number
- JPH08252414A JPH08252414A JP7058614A JP5861495A JPH08252414A JP H08252414 A JPH08252414 A JP H08252414A JP 7058614 A JP7058614 A JP 7058614A JP 5861495 A JP5861495 A JP 5861495A JP H08252414 A JPH08252414 A JP H08252414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- filter paper
- paper
- boron
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Paper (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産性が低下せず、粒子を捕集でき且つホウ
素濃度を安定して１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えることがで
きるろ紙及びこれを利用したエアーフィルタを提供する
こと。 【構成】 この発明のろ紙は、硫酸、Ｌ−酒石酸、硝
酸、クエン酸より選択された酸にてｐＨを３．０〜３．
５にした水溶液に繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊
維を分散させて湿式抄紙し、この抄紙したものにＬ−酒
石酸を添着して成る。また、この発明のエアーフィルタ
は、上記構成のろ紙を構成部材として成る。
素濃度を安定して１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えることがで
きるろ紙及びこれを利用したエアーフィルタを提供する
こと。 【構成】 この発明のろ紙は、硫酸、Ｌ−酒石酸、硝
酸、クエン酸より選択された酸にてｐＨを３．０〜３．
５にした水溶液に繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊
維を分散させて湿式抄紙し、この抄紙したものにＬ−酒
石酸を添着して成る。また、この発明のエアーフィルタ
は、上記構成のろ紙を構成部材として成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、気体中の粒子及びガ
ス状ホウ素の捕集に利用されるろ紙及びこれを使用した
エアーフィルタに関するものである。
ス状ホウ素の捕集に利用されるろ紙及びこれを使用した
エアーフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のろ紙としては、例えば、ホウ珪酸
ガラス繊維を湿式抄紙したものにバインダー及び撥水剤
のエマルジョンを添加し、これを１３０℃程度のスチー
ムドライヤーで乾燥して構成させたものがある。
ガラス繊維を湿式抄紙したものにバインダー及び撥水剤
のエマルジョンを添加し、これを１３０℃程度のスチー
ムドライヤーで乾燥して構成させたものがある。
【０００３】上記ろ紙を使用したエアーフィルタは塵埃
粒子を高い効率で捕集（０．３μｍ粒子を９９．９７％
以上）することができることから、現在、ＬＳＩ等電子
デバイス製造用クリーンルームの空気清浄化用として広
く使用されている。
粒子を高い効率で捕集（０．３μｍ粒子を９９．９７％
以上）することができることから、現在、ＬＳＩ等電子
デバイス製造用クリーンルームの空気清浄化用として広
く使用されている。
【０００４】しかしながら、電子デバイスの集積度の向
上に伴い、電子デバイスのクリーンルーム内の空気への
暴露時間が長くなるにつれ、電子デバイスの特性が劣化
する現象が知られるようになってきた。この劣化の原因
の一つとして、エアーフィルタに使用されているホウ珪
酸ガラス繊維からのホウ素の放出がある。即ち、クリー
ンルーム内の空気は大部分が再循環されており、これが
製造途中の電子デバイスに付着しその特性を劣化させて
いるのである。
上に伴い、電子デバイスのクリーンルーム内の空気への
暴露時間が長くなるにつれ、電子デバイスの特性が劣化
する現象が知られるようになってきた。この劣化の原因
の一つとして、エアーフィルタに使用されているホウ珪
酸ガラス繊維からのホウ素の放出がある。即ち、クリー
ンルーム内の空気は大部分が再循環されており、これが
製造途中の電子デバイスに付着しその特性を劣化させて
いるのである。
【０００５】そこで、わが社では、１ＧのＬＳＩをも製
造できるクリーンルームを提供できるろ紙、即ち、クリ
ーンルーム内のホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑え
ることができるろ紙を研究開発し、出願（特願平６−２
８３１８１号）した。このろ紙は、ガラス繊維のろ材に
多価アルコール系の薬品を添着し、１１５℃以下のスチ
ームドライヤー（従来は１３０℃〜１５０℃）で乾燥さ
せたものである。しかしながら、このろ紙は製造時の乾
燥温度が低いためその時間を長くする必要があり、この
ため生産性が低いという問題があった。
造できるクリーンルームを提供できるろ紙、即ち、クリ
ーンルーム内のホウ素濃度を１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑え
ることができるろ紙を研究開発し、出願（特願平６−２
８３１８１号）した。このろ紙は、ガラス繊維のろ材に
多価アルコール系の薬品を添着し、１１５℃以下のスチ
ームドライヤー（従来は１３０℃〜１５０℃）で乾燥さ
せたものである。しかしながら、このろ紙は製造時の乾
燥温度が低いためその時間を長くする必要があり、この
ため生産性が低いという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、生産性が低下せず、粒子を捕集でき且つホウ素濃度
を安定して１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えることができるろ
紙及びこれを利用したエアーフィルタを提供することを
課題とする。
は、生産性が低下せず、粒子を捕集でき且つホウ素濃度
を安定して１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えることができるろ
紙及びこれを利用したエアーフィルタを提供することを
課題とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】この発明のろ紙は、硫酸、
Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸より選択された酸にてｐＨ
を３．０〜３．５にした水溶液に繊維径が０．２〜１２
μｍのガラス繊維を分散させて湿式抄紙し、この抄紙し
たものにＬ−酒石酸を添着して成る。
Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸より選択された酸にてｐＨ
を３．０〜３．５にした水溶液に繊維径が０．２〜１２
μｍのガラス繊維を分散させて湿式抄紙し、この抄紙し
たものにＬ−酒石酸を添着して成る。
【０００８】また、この発明のエアーフィルタは、上記
構成のろ紙を構成部材として成る。
構成のろ紙を構成部材として成る。
【０００９】
【作用】この発明は次のように作用する。 抄紙したものにＬ−酒石酸を添着してあるから、Ｌ−
酒石酸とホウ素が化学的に結合することになり、その結
果、粒子を捕集することはむろんのこと、ガス状ホウ素
も捕集できる。 硫酸、Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸より選択された酸
にてｐＨを３．０〜３．５にした水溶液にガラス繊維を
分散して湿式抄紙したものであるから、ガラス繊維の劣
化度合いが低く、このためホウ素の放出は低いものとな
る。 ガラス繊維を分散させる水溶液のｐＨ調整を硫酸、Ｌ
−酒石酸、硝酸、クエン酸により行っているから揮発性
の低い比較的安定な塩が生成されることとなり、スチー
ムドライヤーによる乾燥温度を下げることなくろ紙を製
造することができる。
酒石酸とホウ素が化学的に結合することになり、その結
果、粒子を捕集することはむろんのこと、ガス状ホウ素
も捕集できる。 硫酸、Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸より選択された酸
にてｐＨを３．０〜３．５にした水溶液にガラス繊維を
分散して湿式抄紙したものであるから、ガラス繊維の劣
化度合いが低く、このためホウ素の放出は低いものとな
る。 ガラス繊維を分散させる水溶液のｐＨ調整を硫酸、Ｌ
−酒石酸、硝酸、クエン酸により行っているから揮発性
の低い比較的安定な塩が生成されることとなり、スチー
ムドライヤーによる乾燥温度を下げることなくろ紙を製
造することができる。
【００１０】以下、具体的に説明する。 〔実験１／ホウ素捕集試験〕ホウ珪酸繊維のろ紙に、Ｌ
−酒石酸をろ紙重量当たり７％添着しホウ素捕集率を測
定した。
−酒石酸をろ紙重量当たり７％添着しホウ素捕集率を測
定した。
【００１１】図１に示す装置（図１中、符号１０ａ，１
０ｂは流量計、符号１１はメンブレンフィルタ、符号１
２はホウ酸水溶液、符号１３はメンブレンフィルタ、符
号１４は供試ろ紙、符号１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５
ｄは純水、符号１６ａ，１６ｂは流量計を示す）によ
り、ろ紙１ｃｍ2 当たり３．５×１０3 ｎｇのホウ素
（クリーンルーム内の使用時間２．５×１０4 時間に相
当する）を負荷し、ろ紙の捕集率の測定を行った。ま
た、ろ紙の圧力損失についても測定を行った（通風速度
５．３ｃｍ／ｓ）。結果を表１に示す。この表１より、
Ｌ−酒石酸の添着により優れたホウ素捕集率となること
が明らかである。
０ｂは流量計、符号１１はメンブレンフィルタ、符号１
２はホウ酸水溶液、符号１３はメンブレンフィルタ、符
号１４は供試ろ紙、符号１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５
ｄは純水、符号１６ａ，１６ｂは流量計を示す）によ
り、ろ紙１ｃｍ2 当たり３．５×１０3 ｎｇのホウ素
（クリーンルーム内の使用時間２．５×１０4 時間に相
当する）を負荷し、ろ紙の捕集率の測定を行った。ま
た、ろ紙の圧力損失についても測定を行った（通風速度
５．３ｃｍ／ｓ）。結果を表１に示す。この表１より、
Ｌ−酒石酸の添着により優れたホウ素捕集率となること
が明らかである。
【００１２】
【表１】
【００１３】〔実験２／ガラス繊維の分散方法とホウ素
発生量との関係を調べる試験〕ガラス繊維を硫酸水溶液
にて分散させ抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ酒石酸）のエマルジョンを含浸させた後、１
３０℃に加熱したスチームドライヤーでろ紙を乾燥させ
た。このときの分散のｐＨを変えてろ紙からのホウ素発
生量を図２の装置（符号２０は供試ろ紙、符号２１ａ，
２１ｂは純水入りバブラ、符号２２は流量計、符号２３
はエアーポンプを示す）にてホウ素発生量の試験（条
件：２２〜２４℃、湿度３５〜４０％ＲＨ）を行った。
その結果を図３に示す。硫酸のかわりにＬ−酒石酸も同
様に測定を行った。
発生量との関係を調べる試験〕ガラス繊維を硫酸水溶液
にて分散させ抄造後のろ紙に、（バインダー）＋（撥水
剤）＋（Ｌ酒石酸）のエマルジョンを含浸させた後、１
３０℃に加熱したスチームドライヤーでろ紙を乾燥させ
た。このときの分散のｐＨを変えてろ紙からのホウ素発
生量を図２の装置（符号２０は供試ろ紙、符号２１ａ，
２１ｂは純水入りバブラ、符号２２は流量計、符号２３
はエアーポンプを示す）にてホウ素発生量の試験（条
件：２２〜２４℃、湿度３５〜４０％ＲＨ）を行った。
その結果を図３に示す。硫酸のかわりにＬ−酒石酸も同
様に測定を行った。
【００１４】図３よりｐＨが高い方が好ましいことがわ
かる。よって、ホウ素発生量を安定して低く（５ｎｇ／
ｍ3 以下）するためにはｐＨを３．０以上にすることが
好ましいことが判る。さらに、ガラス繊維を均一に分散
させるｐＨは３．５以下であることより、分散させるｐ
Ｈは３．０〜３．５に限定される。
かる。よって、ホウ素発生量を安定して低く（５ｎｇ／
ｍ3 以下）するためにはｐＨを３．０以上にすることが
好ましいことが判る。さらに、ガラス繊維を均一に分散
させるｐＨは３．５以下であることより、分散させるｐ
Ｈは３．０〜３．５に限定される。
【００１５】次に、ガラス繊維を均一に分散させる薬品
をかえて同様にホウ素発生量を測定した。その結果を表
２に示す。この表２よりガラス繊維を分散させる水溶液
のｐＨ調整に用いられる薬品は硫酸、Ｌ−酒石酸、硝
酸、クエン酸が好ましいことが判る。
をかえて同様にホウ素発生量を測定した。その結果を表
２に示す。この表２よりガラス繊維を分散させる水溶液
のｐＨ調整に用いられる薬品は硫酸、Ｌ−酒石酸、硝
酸、クエン酸が好ましいことが判る。
【００１６】
【表２】
【００１７】
【実施例】この発明の実施例について説明する。
【００１８】この実施例のエアーフィルタは、アルミニ
ウム型材の枠に断面ジグザグ状に折り曲げられたろ紙を
外周気密状態に取り付けたものであり、前記ろ紙は、基
礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊
維径分布０．２〜２．６５μｍ、平均径０．８５μｍ）
と、前記細径繊維相互を補強するための少量の太径繊維
（Ｅガラス繊維：繊維径分布８〜２４μｍ）と、これら
に添着された紙重量の７％のＬ−酒石酸とから構成され
ている。
ウム型材の枠に断面ジグザグ状に折り曲げられたろ紙を
外周気密状態に取り付けたものであり、前記ろ紙は、基
礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊
維径分布０．２〜２．６５μｍ、平均径０．８５μｍ）
と、前記細径繊維相互を補強するための少量の太径繊維
（Ｅガラス繊維：繊維径分布８〜２４μｍ）と、これら
に添着された紙重量の７％のＬ−酒石酸とから構成され
ている。
【００１９】このエアーフィルタは、以下の〜の作
業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維からなる細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μｍ、平均径０．
８５μｍ）と、前記細径繊維相互を補強するための少量
の太径繊維（Ｅガラス繊維：繊維径分布８〜２４μｍ）
を硫酸溶液にてｐＨ３．２にした水中に分散させ抄造す
る。 前記抄造後、バインダーとして溶液重量当たり２％の
アクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当たり０．３％の
フッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のＬ−酒石酸を添
加したエマルジョンに浸漬し、シート状にして１３０℃
のスチームドライヤーで乾燥させてろ紙を製造する。 そして、蒸気ろ紙を断面ジグザグ状に折り、ウレタン
系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取り付ける
と、上記エアーフィルタは製作できる。
業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維からなる細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μｍ、平均径０．
８５μｍ）と、前記細径繊維相互を補強するための少量
の太径繊維（Ｅガラス繊維：繊維径分布８〜２４μｍ）
を硫酸溶液にてｐＨ３．２にした水中に分散させ抄造す
る。 前記抄造後、バインダーとして溶液重量当たり２％の
アクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当たり０．３％の
フッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のＬ−酒石酸を添
加したエマルジョンに浸漬し、シート状にして１３０℃
のスチームドライヤーで乾燥させてろ紙を製造する。 そして、蒸気ろ紙を断面ジグザグ状に折り、ウレタン
系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取り付ける
と、上記エアーフィルタは製作できる。
【００２０】ここで、このエアーフィルタをクリーンル
ームに取り付けホウ素濃度を測定したところ、クリーン
ルーム内のホウ素濃度は４ｎｇ／ｍ3 であった。
ームに取り付けホウ素濃度を測定したところ、クリーン
ルーム内のホウ素濃度は４ｎｇ／ｍ3 であった。
【００２１】なお、上記実施例では、１３０℃のスチー
ムドライヤーで乾燥させて製造したろ紙を使用してエア
ーフィルタを構成させたが、これにかえて１００℃のス
チームドライヤーで乾燥させて製造したろ紙をエアーフ
ィルター枠に取り付けたものとしてもよい。このエアー
フィルタを使用した場合、クリーンルーム内のホウ素濃
度は２ｎｇ／ｍ3 であった。
ムドライヤーで乾燥させて製造したろ紙を使用してエア
ーフィルタを構成させたが、これにかえて１００℃のス
チームドライヤーで乾燥させて製造したろ紙をエアーフ
ィルター枠に取り付けたものとしてもよい。このエアー
フィルタを使用した場合、クリーンルーム内のホウ素濃
度は２ｎｇ／ｍ3 であった。
【００２２】また、上記実施例では、ガラス繊維を分散
させる水溶液のｐＨ調整液として硫酸溶液を採用した
が、これにかえて、Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸の溶液
が採用できる。この場合のクリーンルーム内のホウ素濃
度は表２に示した値であると予想できる。
させる水溶液のｐＨ調整液として硫酸溶液を採用した
が、これにかえて、Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸の溶液
が採用できる。この場合のクリーンルーム内のホウ素濃
度は表２に示した値であると予想できる。
【００２３】更に、上記実施例ではガラス繊維を分散さ
せるための水溶液のｐＨを３．２としているが、前記水
溶液のｐＨを３．０〜３．５とすることもできる。つま
り、前記ｐＨの範囲であれば図３に示すように、ホウ素
発生量は１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えられる。Ｌ−酒石
酸、硝酸、クエン酸を使用して水溶液のｐＨ調整した場
合も同様である。
せるための水溶液のｐＨを３．２としているが、前記水
溶液のｐＨを３．０〜３．５とすることもできる。つま
り、前記ｐＨの範囲であれば図３に示すように、ホウ素
発生量は１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えられる。Ｌ−酒石
酸、硝酸、クエン酸を使用して水溶液のｐＨ調整した場
合も同様である。
【００２４】
【発明の効果】作用に記載した〜の内容から、生産
性が低下せず、粒子を捕集でき且つホウ素濃度を安定し
て１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えることができるろ紙及びこ
れを利用したエアーフィルタを提供できた。
性が低下せず、粒子を捕集でき且つホウ素濃度を安定し
て１０ｎｇ／ｍ3 以下に抑えることができるろ紙及びこ
れを利用したエアーフィルタを提供できた。
【図１】ホウ素捕集評価に使用した装置の概念図。
【図２】供試フィルタからのホウ素発生量評価に使用し
た装置の概念図。
た装置の概念図。
【図３】ガラス繊維を分散させるための水溶液について
ｐＨをかえて抄紙した場合のホウ素発生量を示すグラ
フ。
ｐＨをかえて抄紙した場合のホウ素発生量を示すグラ
フ。
１０ａ 流量計 １０ｂ 流量計 １１ メンブレンフィルタ １２ ホウ酸水溶液 １３ メンブレンフィルタ １５ａ 純水 １５ｂ 純水 １５ｃ 純水 １５ｄ 純水 １６ａ 流量計 １６Ｂ 流量計 ２０ 供試ろ紙 ２１ａ 純水バブラ ２１ｂ 純水バブラ ２２ 流量計 ２３ エアーポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】 硫酸、Ｌ−酒石酸、硝酸、クエン酸より
選択された酸にてｐＨを３．０〜３．５にした水溶液に
繊維径が０．２〜１２μｍのガラス繊維を分散させて湿
式抄紙し、この抄紙したものにＬ−酒石酸を添着して成
ることを特徴とするろ紙。 - 【請求項２】 請求項１に記載のろ紙を構成部材として
成るエアーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05861495A JP3516222B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05861495A JP3516222B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08252414A true JPH08252414A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3516222B2 JP3516222B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=13089433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05861495A Expired - Fee Related JP3516222B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3516222B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102330387A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的成品裁切方法 |
| CN102330376A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的打浆方法 |
| CN102330379A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的配浆方法 |
| CN102330389A (zh) * | 2011-07-13 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 高性能真空绝热板芯材制作方法 |
| CN102330388A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的成型方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101644012B (zh) * | 2009-08-10 | 2011-05-11 | 重庆再升科技发展有限公司 | Ulpa超高效空气过滤材料的制备方法 |
-
1995
- 1995-03-17 JP JP05861495A patent/JP3516222B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102330387A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的成品裁切方法 |
| CN102330376A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的打浆方法 |
| CN102330379A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的配浆方法 |
| CN102330388A (zh) * | 2011-06-22 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 一种玻璃棉芯材的成型方法 |
| CN102330389A (zh) * | 2011-07-13 | 2012-01-25 | 苏州维艾普新材料有限公司 | 高性能真空绝热板芯材制作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3516222B2 (ja) | 2004-04-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhang et al. | High-performance particulate matter including nanoscale particle removal by a self-powered air filter | |
| Choi et al. | Al-coated conductive fiber filters for high-efficiency electrostatic filtration: effects of electrical and fiber structural properties | |
| CN106076283A (zh) | 一种纳米纤维素/聚多巴胺水凝胶吸附剂及其制备方法与应用 | |
| JP3516222B2 (ja) | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ | |
| CN106587101B (zh) | 一种适用于VOCs吸附的纳米沸石分子筛的合成方法 | |
| JP2005046791A (ja) | ケミカルフィルタ及びその製造方法 | |
| Amiri et al. | Thermally stable carbon nanofibers functionalized with poly (dimethylsiloxane) for solid-phase microextraction of polycyclic aromatic hydrocarbons prior to GC analysis | |
| Song et al. | Highly efficient, dual-functional self-assembled electrospun nanofiber filters for simultaneous PM removal and on-site eye-readable formaldehyde sensing | |
| KR20050084846A (ko) | 유체류로부터 수은을 제거하기 위한 장치 및 방법 | |
| JPH10156116A (ja) | エアフィルタ用濾材およびその製造方法 | |
| Tsai et al. | Evaluation of environmental filtration control of engineered nanoparticles using the Harvard Versatile Engineered Nanomaterial Generation System (VENGES) | |
| JPH07194911A (ja) | ろ紙及びこれを利用したエアーフィルタ | |
| JP2695450B2 (ja) | フィルター用濾紙 | |
| RU2188693C2 (ru) | Фильтрующий материал | |
| CN111501347B (zh) | 一种催化纳米纤维的制备方法 | |
| Ucar et al. | Improvement of SO2 adsorption capacity of fiber web surface produced from continous graphene oxide fiber | |
| JP2001205029A (ja) | ケミカルフィルタ | |
| Tsai et al. | Assessment of exhaust emissions from carbon nanotube production and particle collection by sampling filters | |
| JP2936388B2 (ja) | ウエットプロセス用クリーンルーム | |
| JP2002028427A (ja) | エアフィルタ | |
| JPH1190138A (ja) | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター | |
| JP2841151B2 (ja) | エアーフィルタ及び濾過システム | |
| JPH11128632A (ja) | フィルターおよび空気清浄装置 | |
| JPH10277364A (ja) | 気体清浄化方法および気体清浄化装置 | |
| CN114113241B (zh) | 一种抗HMDSO中毒的双层结构SnO2基甲烷传感器及其制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040109 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080130 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090130 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100130 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100130 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110130 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |