JP2936388B2 - ウエットプロセス用クリーンルーム - Google Patents
ウエットプロセス用クリーンルームInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＬＳＩ電子デバ
イス製造プロセスにて使用されるウエットプロセス用ク
リーンルームに関するものである。
イス製造プロセスにて使用されるウエットプロセス用ク
リーンルームに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハの洗浄用ウエットプロセスではフ
ッ酸水溶液が用いられており、このためフッ酸蒸気がク
リーンルーム内を循環している。したがって、従来のホ
ウ珪酸ガラス繊維から成るフィルタが使用されている場
合には組成中の酸化ホウ素とフッ酸が反応して三フッ化
ホウ素が生成され、ガス状の三フッ化ホウ素がウエハを
汚染していた。
ッ酸水溶液が用いられており、このためフッ酸蒸気がク
リーンルーム内を循環している。したがって、従来のホ
ウ珪酸ガラス繊維から成るフィルタが使用されている場
合には組成中の酸化ホウ素とフッ酸が反応して三フッ化
ホウ素が生成され、ガス状の三フッ化ホウ素がウエハを
汚染していた。
【０００３】従来の洗浄プロセスのクリーンルームで
は、天井用のフィルタ及びクリーンベンチ用のフィルタ
としてホウ珪酸ガラス繊維から成るものを使用していた
が、クリーンベンチ用のフィルタは高濃度のフッ酸蒸気
にさらされるため、近年では耐フッ酸フィルタとして、
エレクトレットフィルタ（ポリプロピレン）やメンブレ
ンフィルタ（ポリテロラフルオロエチレン）が推奨され
ている。
は、天井用のフィルタ及びクリーンベンチ用のフィルタ
としてホウ珪酸ガラス繊維から成るものを使用していた
が、クリーンベンチ用のフィルタは高濃度のフッ酸蒸気
にさらされるため、近年では耐フッ酸フィルタとして、
エレクトレットフィルタ（ポリプロピレン）やメンブレ
ンフィルタ（ポリテロラフルオロエチレン）が推奨され
ている。
【０００４】上記したエレクトレットフィルタ等をクリ
ーンベンチ用に使用した場合、クリーンベンチからの三
フッ化ホウ素の発生がなくなるからウエハの汚染は緩和
されるが、低濃度ではあるが天井用フィルタも循環エア
ー中でフッ酸蒸気にさらされることから天井用フィルタ
から三フッ化ホウ素が発生しエレクトレットフィルタ等
ではこれを吸着捕集できない。その結果、ウエハは汚染
されてしまう。
ーンベンチ用に使用した場合、クリーンベンチからの三
フッ化ホウ素の発生がなくなるからウエハの汚染は緩和
されるが、低濃度ではあるが天井用フィルタも循環エア
ー中でフッ酸蒸気にさらされることから天井用フィルタ
から三フッ化ホウ素が発生しエレクトレットフィルタ等
ではこれを吸着捕集できない。その結果、ウエハは汚染
されてしまう。
【０００５】このため、クリーンベンチ用及び天井用フ
ィルタをエレクトレットフィルタ又はメンブレンフィル
タにすることが考えられるが、これらフィルタは樹脂で
構成されていることから難燃性に劣り、炎によって孔が
あいてしまう危険性がある。したがって、ルームとして
の難燃性を確保するためには、上記種類のフィルタを天
井用として使用することは好ましくない。
ィルタをエレクトレットフィルタ又はメンブレンフィル
タにすることが考えられるが、これらフィルタは樹脂で
構成されていることから難燃性に劣り、炎によって孔が
あいてしまう危険性がある。したがって、ルームとして
の難燃性を確保するためには、上記種類のフィルタを天
井用として使用することは好ましくない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、クリーンルームとしての難燃性が確保でき且つホウ
素によるウエハの汚染を低く抑えることができるウエッ
トプロセス用クリーンルームを提供することを課題とす
る。
は、クリーンルームとしての難燃性が確保でき且つホウ
素によるウエハの汚染を低く抑えることができるウエッ
トプロセス用クリーンルームを提供することを課題とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明のウエットプロ
セス用クリーンルームは、天井を構成するフィルタのろ
紙がガラス繊維から成り、Ｌ−酒石酸を添着したろ紙か
ら成るエアーフィルタを使用しているクリーンベンチが
室内に設置されている。
セス用クリーンルームは、天井を構成するフィルタのろ
紙がガラス繊維から成り、Ｌ−酒石酸を添着したろ紙か
ら成るエアーフィルタを使用しているクリーンベンチが
室内に設置されている。
【０００８】クリーンベンチに使用されているエアーフ
ィルタのろ紙にはＬ−酒石酸を添着してあるから、この
Ｌ−酒石酸と三フッ化ホウ素が化学的に結合し、雰囲気
中にある三フッ化ホウ素を吸着捕集する。そして、フッ
酸蒸気雰囲気中ではＬ−酒石酸によるろ紙表面のコーテ
ィング効果を有すると共に三フッ化ホウ素とＬ−酒石酸
が安定して結合していることから、ホウ素の発生は低い
ものとなる。
ィルタのろ紙にはＬ−酒石酸を添着してあるから、この
Ｌ−酒石酸と三フッ化ホウ素が化学的に結合し、雰囲気
中にある三フッ化ホウ素を吸着捕集する。そして、フッ
酸蒸気雰囲気中ではＬ−酒石酸によるろ紙表面のコーテ
ィング効果を有すると共に三フッ化ホウ素とＬ−酒石酸
が安定して結合していることから、ホウ素の発生は低い
ものとなる。
【０００９】他方、天井を構成するフィルタのろ紙はガ
ラス繊維から構成されているから、ルーム全体としての
難燃性は確保される。
ラス繊維から構成されているから、ルーム全体としての
難燃性は確保される。
【００１０】よって、この発明のウエットプロセス用ク
リーンルームは、ルーム全体として難燃性が確保でき且
つホウ素によるウエハの汚染を低く抑えることができ
る。
リーンルームは、ルーム全体として難燃性が確保でき且
つホウ素によるウエハの汚染を低く抑えることができ
る。
【００１１】以下、具体的に説明する。 〔実験１／フッ酸蒸気負荷によるクリーンベンチ内のホ
ウ素濃度測定試験〕図２に示す装置により、フッ酸蒸気
を負荷し、フィルタ下流のホウ素濃度測定を行った。な
お、上記図２中、符号４０はフッ酸蒸気発生装置、符号
４１はファン、符号４２はフィルタ、符号４３は純水バ
ブリング、４４はポンプを示す。
ウ素濃度測定試験〕図２に示す装置により、フッ酸蒸気
を負荷し、フィルタ下流のホウ素濃度測定を行った。な
お、上記図２中、符号４０はフッ酸蒸気発生装置、符号
４１はファン、符号４２はフィルタ、符号４３は純水バ
ブリング、４４はポンプを示す。
【００１２】図３はこの実験１の結果を示したものであ
るが、これよりフッ酸蒸気を負荷すると従来のＵＬＰＡ
フィルタ（ホウ珪酸繊維ろ紙を使用）ではフッ酸蒸気濃
度が高い程ホウ素濃度が高くなるが、Ｌ−酒石酸を添着
したろ紙を使用しているフィルタの下流でのホウ素濃度
はフッ酸蒸気の濃度を高くしても増加しないことが判
る。つまり、この実験ではホウ素濃度は１８ｎｇ／ｍ3
と一定である。 〔実験２／三フッ化ホウ素負荷試験〕図４に示す装置に
より、従来のＵＬＰＡフィルタの下流ＡとＬ−酒石酸を
添着したろ紙を使用したフィルタの下流Ｂにてホウ素濃
度を測定した。図４中、符号５０はフッ酸蒸気発生装
置、符号５１は従来のＵＬＰＡフィルタ、符号５２はフ
ァン、符号５３はＬ−酒石酸を添着したろ材を使用して
いるフィルタ、符号５４，５５は純水バブリング、符号
５６，５７はポンプを示す。
るが、これよりフッ酸蒸気を負荷すると従来のＵＬＰＡ
フィルタ（ホウ珪酸繊維ろ紙を使用）ではフッ酸蒸気濃
度が高い程ホウ素濃度が高くなるが、Ｌ−酒石酸を添着
したろ紙を使用しているフィルタの下流でのホウ素濃度
はフッ酸蒸気の濃度を高くしても増加しないことが判
る。つまり、この実験ではホウ素濃度は１８ｎｇ／ｍ3
と一定である。 〔実験２／三フッ化ホウ素負荷試験〕図４に示す装置に
より、従来のＵＬＰＡフィルタの下流ＡとＬ−酒石酸を
添着したろ紙を使用したフィルタの下流Ｂにてホウ素濃
度を測定した。図４中、符号５０はフッ酸蒸気発生装
置、符号５１は従来のＵＬＰＡフィルタ、符号５２はフ
ァン、符号５３はＬ−酒石酸を添着したろ材を使用して
いるフィルタ、符号５４，５５は純水バブリング、符号
５６，５７はポンプを示す。
【００１３】図５はこの実験２の結果を示したものであ
るが、これよりフィルタ５３の下流Ｂでのホウ素濃度は
従来のＵＬＰＡフィルタ５１の下流Ａでのホウ素発生量
が増加しても全く変化せず一定であることが判る。
るが、これよりフィルタ５３の下流Ｂでのホウ素濃度は
従来のＵＬＰＡフィルタ５１の下流Ａでのホウ素発生量
が増加しても全く変化せず一定であることが判る。
【００１４】これら実験１、２から上記したように、こ
の発明の構成を採用した場合、ホウ素によるウエハの汚
染を低く抑え得ることが明らかである。
の発明の構成を採用した場合、ホウ素によるウエハの汚
染を低く抑え得ることが明らかである。
【００１５】上記と同様に、天井を構成するフィルタが
ガラス繊維にＬ−酒石酸を添着したろ紙から成る場合、
前記フィルタからのホウ素発生量は低く抑えられるた
め、クリーンベンチ用フィルタとして、エレクトレット
フィルタ、メンブレンフィルタ又はＬ−酒石酸を添着し
たろ紙から成るフィルタのいずれを採用してもウエハの
汚染を低く抑えることができることが明らかである。
ガラス繊維にＬ−酒石酸を添着したろ紙から成る場合、
前記フィルタからのホウ素発生量は低く抑えられるた
め、クリーンベンチ用フィルタとして、エレクトレット
フィルタ、メンブレンフィルタ又はＬ−酒石酸を添着し
たろ紙から成るフィルタのいずれを採用してもウエハの
汚染を低く抑えることができることが明らかである。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に従って説明する。
面に従って説明する。
【００１７】このウエットプロセス用クリーンルーム
は、図１に示すように、天井用フィルタ１０にＵＬＰＡ
フィルタを使用し、床板１１に多孔板を使用し、送風機
１３によって空気を、天井用フィルタ１０の上方の空間
Ｋ１→室内Ｒ→床板１１の下方の空間Ｋ２→循環用空気
路ＡＲの経路で循環するようにしたものである。そして
このクリーンルームでは、図１に示すように、Ｌ−酒石
酸を添着したろ紙から成るフィルタ２０を有したクリー
ンベンチ２をルーム内のウエハ洗浄装置３上に設置させ
てある。
は、図１に示すように、天井用フィルタ１０にＵＬＰＡ
フィルタを使用し、床板１１に多孔板を使用し、送風機
１３によって空気を、天井用フィルタ１０の上方の空間
Ｋ１→室内Ｒ→床板１１の下方の空間Ｋ２→循環用空気
路ＡＲの経路で循環するようにしたものである。そして
このクリーンルームでは、図１に示すように、Ｌ−酒石
酸を添着したろ紙から成るフィルタ２０を有したクリー
ンベンチ２をルーム内のウエハ洗浄装置３上に設置させ
てある。
【００１８】図１中、符号１２はブランクパネル、符号
１３は送風機、符号２１は送風機、多数の矢印は空気の
流れを示している。
１３は送風機、符号２１は送風機、多数の矢印は空気の
流れを示している。
【００１９】天井用フィルタ１０は、そのろ紙をホウ珪
酸ガラス繊維から構成したもので、これを多数個使用す
ることによりルームの天井が形成される。なお、この実
施例では一般的に使用されるホウ珪酸ガラス繊維が採用
されているが、他の種類のガラス繊維でもよい。
酸ガラス繊維から構成したもので、これを多数個使用す
ることによりルームの天井が形成される。なお、この実
施例では一般的に使用されるホウ珪酸ガラス繊維が採用
されているが、他の種類のガラス繊維でもよい。
【００２０】フィルタ２０は、アルミニウム型材の枠に
断面ジグザグ状に折り曲げられたろ紙を外周気密状態に
取り付けたものであり、前記ろ紙は、基礎材料としてホ
ウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊維径分布０．２
〜２．６５μｍ、平均径０．８５μｍ）と、前記細径繊
維相互を補強するための少量の太径繊維（Ｅガラス繊
維：繊維径分布８〜２４μｍ）と、これら添着された紙
重量の７％のＬ−酒石酸とから構成されている。このフ
ィルタ２０は、以下の〜の作業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維から成る細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μｍ、平均径０．
８５μｍ）と、前記細径繊維相互を補強するための少量
の太径ガラス繊維（Ｅガラス繊維：繊維径分布８〜２４
μｍ）を硫酸溶液にてｐＨ３．２にした水中に分散させ
て抄造する。 前記抄造後、バインダーとして溶液重量当たり２％の
アクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当たり０．３％の
フッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のＬ−酒石酸を添
加したエマルジョンに浸漬し、シート状にして１３０℃
のスチームドライヤーで乾燥させてろ紙を製造する。 そして、上記ろ紙を断面ジグザグ状に折り、ウレタン
系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取り付ける
と、上記エアーフィルタは製作できる。
断面ジグザグ状に折り曲げられたろ紙を外周気密状態に
取り付けたものであり、前記ろ紙は、基礎材料としてホ
ウ珪酸ガラス繊維から成る細径繊維（繊維径分布０．２
〜２．６５μｍ、平均径０．８５μｍ）と、前記細径繊
維相互を補強するための少量の太径繊維（Ｅガラス繊
維：繊維径分布８〜２４μｍ）と、これら添着された紙
重量の７％のＬ−酒石酸とから構成されている。このフ
ィルタ２０は、以下の〜の作業により製作できる。 先ず、基礎材料としてホウ珪酸ガラス繊維から成る細
径繊維（繊維径分布０．２〜２．６５μｍ、平均径０．
８５μｍ）と、前記細径繊維相互を補強するための少量
の太径ガラス繊維（Ｅガラス繊維：繊維径分布８〜２４
μｍ）を硫酸溶液にてｐＨ３．２にした水中に分散させ
て抄造する。 前記抄造後、バインダーとして溶液重量当たり２％の
アクリル樹脂、撥水剤として溶液重量当たり０．３％の
フッ素樹脂、及び溶液重量当たり１％のＬ−酒石酸を添
加したエマルジョンに浸漬し、シート状にして１３０℃
のスチームドライヤーで乾燥させてろ紙を製造する。 そして、上記ろ紙を断面ジグザグ状に折り、ウレタン
系樹脂にてアルミニウム型材の枠に密封して取り付ける
と、上記エアーフィルタは製作できる。
【００２１】ここで、このウエットプロセス用クリーン
ルームにおけるホウ素濃度を測定してみると、クリーン
ルーム内のホウ素濃度は３００ｎｇ／ｍ3 であったが、
クリーンベンチ２内の濃度は１０ｎｇ／ｍ3 であった。
ルームにおけるホウ素濃度を測定してみると、クリーン
ルーム内のホウ素濃度は３００ｎｇ／ｍ3 であったが、
クリーンベンチ２内の濃度は１０ｎｇ／ｍ3 であった。
【００２２】上記実施例と同様に、天井を構成するフィ
ルタがガラス繊維にＬ−酒石酸を添着したろ紙から成る
場合、前記フィルタからのホウ素発生量は低く抑えられ
るため、クリーンベンチ用フィルタとして、エレクトレ
ットフィルタ、メンブレンフィルタ又はＬ−酒石酸を添
着したろ紙から成るフィルタのいずれを採用してもウエ
ハの汚染を低く抑えることができる。
ルタがガラス繊維にＬ−酒石酸を添着したろ紙から成る
場合、前記フィルタからのホウ素発生量は低く抑えられ
るため、クリーンベンチ用フィルタとして、エレクトレ
ットフィルタ、メンブレンフィルタ又はＬ−酒石酸を添
着したろ紙から成るフィルタのいずれを採用してもウエ
ハの汚染を低く抑えることができる。
【００２３】
【発明の効果】この発明は上記のような構成であるか
ら、次の効果を有する。
ら、次の効果を有する。
【００２４】課題を解決するための手段の欄の後段に記
載した作用からクリーンルームとしての難燃性が確保で
き且つホウ素によるウエハの汚染を低く抑えることがで
きるウエットプロセス用クリーンルームを提供できた。
載した作用からクリーンルームとしての難燃性が確保で
き且つホウ素によるウエハの汚染を低く抑えることがで
きるウエットプロセス用クリーンルームを提供できた。
【図１】この発明の実施例のウエットプロセス用クリー
ンルームの概念図。
ンルームの概念図。
【図２】実験１に使用された装置の概念図。
【図３】図２に示した装置により測定した空気中のフッ
酸蒸気濃度とホウ素濃度の関係をグラフ化した図。
酸蒸気濃度とホウ素濃度の関係をグラフ化した図。
【図４】実験２に使用された装置の概念図。
【図５】図４に示した装置により測定した空気中のフッ
酸蒸気濃度とホウ素濃度の関係をグラフ化した図。
酸蒸気濃度とホウ素濃度の関係をグラフ化した図。
２ クリーンベンチ １０ 天井用フィルタ １１ 床板 １２ ブランクパネル １３ 送風機 ２０ フィルタ
Claims (3)
- 【請求項１】 天井を構成するフィルタのろ紙がガラス
繊維から成り、Ｌ−酒石酸を添着したろ紙から成るエア
ーフィルタを使用しているクリーンベンチが室内に設置
されていることを特徴とするウエットプロセス用クリー
ンルーム。 - 【請求項２】 天井を構成するフィルタがガラス繊維に
Ｌ−酒石酸を添着したろ紙から成り、エレクトレットフ
ィルタまたはメンブレンフィルタを使用しているクリー
ンベンチが室内に設置されていることを特徴とするウエ
ットプロセス用クリーンルーム。 - 【請求項３】 天井を構成するフィルタがガラス繊維に
Ｌ−酒石酸を添着したろ紙から成り、Ｌ−酒石酸を添着
したろ紙から成るフィルタを使用しているクリーンベン
チが室内に設置されていることを特徴とするウエットプ
ロセス用クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22066295A JP2936388B2 (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | ウエットプロセス用クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22066295A JP2936388B2 (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | ウエットプロセス用クリーンルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963913A JPH0963913A (ja) | 1997-03-07 |
| JP2936388B2 true JP2936388B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=16754494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22066295A Expired - Fee Related JP2936388B2 (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | ウエットプロセス用クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2936388B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6302744B2 (ja) * | 2014-05-28 | 2018-03-28 | ダイダン株式会社 | コンタミネーション防止可能な安全キャビネット |
-
1995
- 1995-08-29 JP JP22066295A patent/JP2936388B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0963913A (ja) | 1997-03-07 |
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