JPH08251703A - 搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダウンフローの空気流を乱してしまうのを可
及的に抑制する。 【構成】 地上側に、移動体Ａを案内する案内レールＢ
と、その案内レールＢに沿って設置され且つ交流電流が
通電されて磁界を発生する給電線３とが設けられ、前記
移動体Ａに、前記給電線３にて形成された磁界により電
力を発生する受電用コイル４が設けられた搬送設備にお
いて、前記案内レールＢと、前記給電線３とが上下方向
に並ぶ状態で設置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、地上側に、移動体を案
内する案内レールと、その案内レールに沿って設置され
且つ交流電流が通電されて磁界を発生する給電線とが設
けられ、前記移動体に、前記給電線にて形成された磁界
により電力を発生する受電用コイルが設けられた搬送設
備に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる搬送設備は、案内レールに案内さ
れて移動する移動体が、例えば案内レールに沿って設置
されたステーション間において荷等を搬送するものであ
る。この移動体には、例えば走行駆動用のモータ類等の
電力を必要とする機器が搭載されている場合が多く、こ
れらの機器に何らかの形で電力を供給する必要がある。
このために、従来、案内レールの側方側箇所に交流電流
が通電されて磁界を発生する給電線を設置し、移動体の
荷載置部から延出する支持部材に受電用コイルを取り付
けて、この給電線の磁界により供給される電力を受電用
コイルで受け取る構成が考えらている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の搬
送設備は、例えばクリーンルームのように清浄さを要求
される場所で使用される場合が多いが、このような場所
では、空気の清浄さを維持するために、天井から床面に
向かうダウンフローの空気流を形成するのが一般的とな
っている。従って、上記従来構成のように、給電線が案
内レールの側方側箇所に設置されている場合は、案内レ
ール及び給電線全体として平面視による支配面積が大き
くなるので、上記のダウンフローの空気流を乱してしま
うことになり、空気の清浄さを十分に維持できない虞れ
があった。本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので
あって、その目的は、ダウンフローの空気流を乱してし
まうのを可及的に抑制する点にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の搬送設備は、地
上側に、移動体を案内する案内レールと、その案内レー
ルに沿って設置され且つ交流電流が通電されて磁界を発
生する給電線とが設けられ、前記移動体に、前記給電線
にて形成された磁界により電力を発生する受電用コイル
が設けられたものであって、その第１特徴構成は、前記
案内レールと、前記給電線とが上下方向に並ぶ状態で設
置されている点にある。

【０００５】第２特徴構成は、上記第１特徴構成におい
て、前記案内レールが、上壁に長手方向に沿うスリット
状の開口部を備える筒状に構成され、前記移動体が、前
記案内レール内に収納される本体部と、その上方に位置
する荷載置部と、それらを連結し且つ前記開口部を挿通
する棒状の連結部材とで構成され、前記給電線が、通電
経路の往路と復路を形成するべく、前記開口部を挟んで
左右一対に備えられ、前記受電用コイルが、前記左右一
対の給電線の間に位置するように、前記棒状の連結部材
に取り付けられている点にある。第３特徴構成は、上記
第２特徴構成において、前記移動体を走行駆動するリニ
アモータが設けられ、前記リニアモータの一次コイル
が、前記移動体の本体部の底部に取り付けられている点
にある。

【０００６】

【作用】本発明の第１特徴構成によれば、案内レールと
給電線とが上下方向に並ぶ状態で設置されているので、
案内レール及び給電線の平面視による支配面積を可及的
小さくできる。本発明の第２特徴構成によれば、移動体
は、案内レール内に収納される本体部と本体部の上方側
に位置する荷載置部とを連結部材にて連結して構成さ
れ、案内レールには、その連結部材を挿通するためのス
リット状の開口部が設けられている。一方、給電線は、
給電線に対する電力の供給源である交流電源に対してル
ープ状の通電径路を形成するように接続される。このよ
うに接続された給電線は、案内レールに対して上下方向
に並ぶ状態で、且つ、一方が通電径路の往路に他方が通
電径路の復路になるように案内レールの開口部を挟んで
左右一対に備えられる。そして、この給電線から電力の
供給を受ける受電用コイルは、前記左右一対の給電線の
間に位置するように連結部材の取り付けられている。従
って、案内レール及び給電線の平面視による支配面積を
小さくするのみならず、移動体を構成する本体部及び荷
載置部並びに移動体に備えられた受電用コイルを、全体
として平面視による支配面積を小さくするように合理的
に配置してある。本発明の第３特徴構成によれば、移動
体はリニアモータにて走行駆動されるように構成されて
おり、そのリニアモータの一次コイルは移動体の本体部
の底部に取り付けられている。従って、案内レールの上
方側に備えられている給電線と、移動体を走行駆動する
リニアモータの一次コイルとの間隔を可及的に広げるこ
とができる。

【０００７】

【発明の効果】上記第１特徴構成によれば、案内レール
及び給電線の平面視による支配面積を可及的小さくでき
るので、ダウンフローの空気流を乱してしまうのを可及
的に抑制でき、空気の清浄さを的確に維持できる。上記
第２特徴構成によれば、案内レール及び給電線の平面視
による支配面積を小さくするのみならず、移動体を構成
する本体部及び荷載置部並びに移動体に備えられた受電
用コイルを、全体として平面視による支配面積を小さく
するように合理的に配置してあるので、更に、ダウンフ
ローの空気流を乱してしまうのを抑制できる。上記第３
特徴構成によれば、上記第２特徴構成による効果に加
え、移動体を走行駆動するリニアモータの一次コイルと
の間隔を可及的に広げることができるので、給電線の磁
界とリニアモータの一次コイルの磁界との干渉を可及的
に抑制して、給電線からの電力供給及びリニアモータに
よる移動体の走行駆動を的確に行うことができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１に示すように、リニアモータＬＭにて駆動さ
れる移動体Ａと、その移動体Ａを案内する案内レールＢ
とが設けられ、リニアモータＬＭの一次コイル１が、移
動体Ａに装着され、一次コイル１との共働で推力を発生
させるためのリニア直流モータのマグネット２が、案内
レールＢに装着されている。尚、本実施例では、リニア
モータＬＭとしてリニア直流モータを採用している。案
内レールＢの上方側において、案内レールＢに沿って、
交流電流が通電されて磁界を発生する給電線３が配置さ
れ、移動体Ａに、給電線３にて形成された磁界により電
力を発生する受電用コイル４が設けられており、この受
電用コイル４から発生される電力により、後述の如く移
動体Ａが、走行並びに物品搬送のために駆動されるよう
になっている。

【０００９】以下各部について説明を加える。移動体Ａ
は、案内レールＢ内に収納された状態で案内レールＢに
載置状態に支持される本体部Ａ１と、案内レールＢの上
方に突出状態で位置して、主として物品の保持に関係す
る荷載置部Ａ２とからなる。本体部Ａ１と荷載置部Ａ２
とは、正面視において移動車横幅方向の中央部に位置す
る２本の縦姿勢の連結部材５にて接続されている。本体
部Ａ１は、図２及び図３に示すように、前側台車３０ａ
及び後側台車３０ｂの２台の台車３０と、２台の台車３
０を連結する連結アーム３２とから構成されている。連
結アーム３２は、前側台車３０ａ及び後側台車３０ｂの
夫々から上方に延びる状態で取り付けられている前側連
結部材５ａ及び後側連結部材５ｂの２つの連結部材５を
固定連結する状態で取り付けられている。前側台車３０
ａ及び後側台車３０ｂの夫々には、移動車横幅方向に沿
う軸芯周りで回転自在な左右一対の走行輪６と、上下方
向に沿う軸芯周りで回転自在な振れ止め用の４つの転輪
７とが装備され、走行輪６及び転輪７の取り付け部の下
方側箇所すなわち前側台車３０ａ及び後側台車３０ｂの
夫々の底部すなわち本体部Ａ１の底部にリニアモータＬ
Ｍの一次コイル１が固定的に取り付けられている。従っ
て、１次コイル１は、前側台車３０ａ及び後側台車３０
ｂ夫々の姿勢と連動して姿勢変化する。

【００１０】後側連結部材５ｂは、図１に示すように、
軸受け３３にて縦軸芯回りに回動自在に後側台車３０ｂ
に支持されており、後側連結部材５ｂの上端は、荷載置
部Ａ２に固定されており、前側連結部材５ａも後側連結
部材５ｂと同様の支持構成で支持されている。更に、後
側連結部材５ｂには受電用コイル４が回動自在に取り付
けられている。受電用コイル４は、図１に示すように、
縦断面形状がＥ字状の磁性材４ａと、その磁性材４ａの
中央の突起部分に巻回される一次コイル４ｂとからな
り、磁性材４ａが給電線３を覆う位置で且つ給電線３に
沿う姿勢に取り付けられている。受電用コイル４の下端
部は後側台車３０ｂとが接続アーム３４にて接続されて
いるので、図１０に例示するような案内レールＢの湾曲
部分を通過する際、走行輪６及び転輪７が案内レールＢ
の水平方向の移動車案内面ＨＧ及び垂直方向の移動車案
内面ＶＧとの接触によって後側台車３０ｂが案内されて
姿勢変化するのに連動して受電用コイル４も姿勢変化
し、受電用コイル４は上記の姿勢をほぼ維持する。

【００１１】荷載置部Ａ２には、荷載置台８と、その荷
載置台８に載置された搬送対象物品Ｃ（以下物品Ｃと略
称する）を把持する電動式の物品処理装置Ｄと、一次コ
イル１や物品処理装置Ｄの駆動を管理するコントローラ
Ｅと、前述の受電用コイル４とが装備されている。案内
レールＢは、図４に示すように、アルミニウム等の非磁
性体にて構成された左右一対のレール材１０を主要部と
して構成されており、板状の接続枠１１の両端部が左右
一対のレール材１０にボルト固定されて、左右一対のレ
ール材１０が一体状態に組み付けられ、左右一対のレー
ル材１０の間に、マグネット２が配置されている。案内
レールＢの底部には、レール長手方向に間隔を隔てて支
持枠１２が組み付けられ、この支持枠１２の両端部が、
吊り下げ枠１３にて天井部に対して支持されている。つ
まり、案内レールＢが、天井部に対して吊り下げ支持さ
れて、搬送設備全体としては、天井搬送形式となってい
る。

【００１２】案内レールＢには、上述のように、移動体
Ａの走行輪６が接触する水平方向の移動車案内面ＨＧ、
振れ止め用の転輪７が接触する垂直方向の移動車案内面
ＶＧが形成されている。また、案内レールＢの上部に
は、左右一対のカバー体１４がボルト固定されており、
それらカバー体１４の間に、前記移動体Ａの縦姿勢の連
結部材５が挿通するスリット状の開口部１５が形成さ
れ、そのスリット状の開口部１５は案内レールＢの長手
方向に沿う状態となっている。カバー体１４の取付箇所
の直上には、給電線３が支持部材３ａにて支持される状
態で上記スリット状の開口部１５を挟んで左右一対に設
けられている。給電線３は、図５に示すようにその両端
が交流の電源部１８に接続されて、ループ状になってい
る。受電用コイル４にて発生した電力は、電源回路２１
に供給される。この電源回路２１は、整流回路や電圧安
定化回路を備えるものであって、受電用コイル４からの
電力を整流並びに電圧調整して、一次コイル１を駆動す
る一次コイル駆動回路Ｋ１、物品処理装置Ｄを駆動する
物品処理装置用駆動回路Ｋ２及びコントローラＥに供給
するようになっている。

【００１３】コントローラＥは、物品移載用のステーシ
ョンＳＴに設けた通信装置２２と光通信にて通信する通
信装置２３や、例示はしないがステーションＳＴに対す
る位置を検出するセンサや先行する他の移動体Ａとの距
離を検出するセンサ等の、各種のセンサ類を備えるもの
であって、一次コイル１の駆動を管理する走行用の制御
手段１００及び物品処理装置Ｄの駆動を管理する物品用
の制御手段１０１として機能するようになっている。コ
ントローラＥの通信装置２３は、図７及び図９に示すよ
うに、移動体ＡがステーションＳＴに停止し、ステーシ
ョンＳＴの通信装置２３と互いに対向した状態で通信を
行う。コンローラＥの作動に説明を加えると、コントロ
ーラＥは、基本的には、現在停止しているステーション
ＳＴに設けた通信装置２２から指令される指令情報に基
づいて、次の目標ステーションＳＴに走行して停止する
ことを繰り返すことになる。そして、走行開始に先立
ち、物品Ｃが移動体Ａに搭載されているか否かが前述の
通信装置２２から指令され、物品Ｃが搭載された場合に
は、走行開始前に物品処理装置Ｄにて物品Ｃを把持する
ことになる。また、物品Ｃの搭載状態で目標ステーショ
ンＳＴに走行して停止した場合には、物品処理装置Ｄに
よる物品Ｃの把持を解除することになる。

【００１４】前記荷載置台８及びその荷載置台８に載置
された物品Ｃを把持する電動式の物品処理装置Ｄについ
て、物品Ｃが立方体状である場合を例に挙げて説明す
る。荷載置台８は、図６の平面図に示すように、前後に
間隔を隔てて設置される一対の基枠８Ａと、それら基枠
８Ａの夫々に左右一対設けられる平面視形状Ｌ字状の係
止体８Ｂとからなり、物品Ｃの底部の４個の角部を係止
体８Ｂにて係止保持した状態で物品Ｃを載置保持するよ
うになっている。ちなみに、ステーションＳＴには、図
７に示すように、昇降並びに移動車横幅方向に出退自在
な物品支持部２４を備えた移載装置が配置され、物品支
持部２４が一対の基枠８Ａの間に出退しながら、移動体
ＡとステーションＳＴとの間での物品Ｃの移載を行うよ
うになっている。

【００１５】電動式の物品処理装置Ｄは、図８に示すよ
うに、下端側を支点にして移動車前後方向に揺動する前
後一対の把持具２５と、それら把持具２５を起立した物
品把持作用姿勢及び倒伏した把持解除姿勢に切り換える
電動モータ２６とを主要部として備えている。そして、
電動モータ２６にて正逆に回転される回転体２７と、一
対の把持具２５とが連係ロッド２８にて連動連結されて
いる。また、一対の把持具２５の夫々は、左右一対のア
ーム２５ａと、それらアーム２５ａの先端部にわたって
配置され且つ図５に示すように平面視形状コの字状の線
材部２５ｂとからなり、そして、基本的には、アーム２
５ａが物品Ｃの前後動きを規制し、線材部２５ｂの両端
部が物品Ｃの横移動を規制し、さらには、アーム２５ａ
の先端鉤状部が、物品Ｃの上昇を規制するようになって
いる。

【００１６】〔別実施例〕以下、別実施例を列記する。 上記実施例では、給電線３が案内レールＢの上方側
に位置する場合を例示しているが、給電線が案内レール
Ｂの下方側に位置する構成として良い。この場合、移動
体Ａは、例えば、荷載置部Ａ２が、案内レールＢ内に収
納される本体部Ａ１から連結部材５によって吊り下げら
れる構成とすれば良い。 上記実施例では、移動体Ａが走行輪６及び転輪７に
て案内レールＢに接する状態で走行する構成を例示して
いるが、いわゆる磁気浮上式の構成として、移動体Ａが
案内レールＢと非接触で走行するようにしても良い。 上記実施例では、移動体Ａをリニア直流モータにて
走行駆動する構成を例示しているが、リニア誘導モータ
等の他の形式のリニアモータＬＭで走行駆動する構成又
は回転式のモータにて走行駆動する構成としても良い。 上記実施例では、移動体Ａの荷載置台８に載置され
た物品Ｃを電動式の物品処理装置Ｄにて把持する構成と
しているが、例えば、物品Ｃが半導体ウェハのキャリア
等の比較的小形軽量のものであれば、図１１に示すよう
に、荷載置台８に、ゆるやかな前上がりの傾斜面を備え
た凹部８ａを前後に２箇所形成し、その凹部８ａに物品
Ｃを載置することで、前後に２個の物品Ｃを支持する構
成としても良い。

【００１７】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構造に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した搬送設備の実施例にかかる部
分断面図

【図２】本発明の実施例にかかる側面視による要部拡大
図

【図３】本発明の実施例にかかる平面視による要部拡大
図

【図４】本発明の実施例にかかる要部拡大図

【図５】本発明の実施例にかかるブロック図

【図６】本発明の実施例にかかる要部平面図

【図７】本発明の実施例にかかる搬送対象物品の移載を
説明する図

【図８】本発明の実施例にかかる要部側面図

【図９】本発明の実施例にかかる概略平面図

【図１０】本発明の実施例にかかる作動説明図

【図１１】本発明の別実施例にかかる要部側面図

【符号の説明】

１ 一次コイル ３ 給電線 ４ 受電用コイル ５ 連結部材 １５ スリット状の開口部 Ａ 移動体 Ａ１ 本体部 Ａ２ 荷載置部 Ｂ 案内レール ＬＭ リニアモータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｊ 17/00 Ｂ６０Ｌ 13/02 Ａ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 地上側に、移動体（Ａ）を案内する案内
   レール（Ｂ）と、その案内レール（Ｂ）に沿って設置さ
   れ且つ交流電流が通電されて磁界を発生する給電線
   （３）とが設けられ、 前記移動体（Ａ）に、前記給電線（３）にて形成された
   磁界により電力を発生する受電用コイル（４）が設けら
   れた搬送設備であって、 前記案内レール（Ｂ）と、前記給電線（３）とが上下方
   向に並ぶ状態で設置されている搬送設備。
2. 【請求項２】 前記案内レール（Ｂ）が、上壁に長手方
   向に沿うスリット状の開口部（１５）を備える筒状に構
   成され、 前記移動体（Ａ）が、前記案内レール（Ｂ）内に収納さ
   れる本体部（Ａ１）と、その上方に位置する荷載置部
   （Ａ２）と、それらを連結し且つ前記開口部（１５）を
   挿通する棒状の連結部材（５）とで構成され、 前記給電線（３）が、通電経路の往路と復路を形成する
   べく、前記開口部（１５）を挟んで左右一対に備えら
   れ、 前記受電用コイル（４）が、前記左右一対の給電線
   （３）の間に位置するように、前記棒状の連結部材
   （５）に取り付けられている請求項１記載の搬送設備。
3. 【請求項３】 前記移動体（Ａ）を走行駆動するリニア
   モータ（ＬＭ）が設けられ、 前記リニアモータ（ＬＭ）の一次コイル（１）が、前記
   移動体（Ａ）の本体部（Ａ１）の底部に取り付けられて
   いる請求項２記載の搬送設備。