JPH08250057A - 走査電子顕微鏡の試料ホルダー - Google Patents
走査電子顕微鏡の試料ホルダーInfo
- Publication number
- JPH08250057A JPH08250057A JP4843395A JP4843395A JPH08250057A JP H08250057 A JPH08250057 A JP H08250057A JP 4843395 A JP4843395 A JP 4843395A JP 4843395 A JP4843395 A JP 4843395A JP H08250057 A JPH08250057 A JP H08250057A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- scanning electron
- electron microscope
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で試料を冷却して走査電子顕微鏡
観察を行うことができる走査電子顕微鏡の試料ホルダー
を実現する。 【構成】 外側ホルダー１の内側に内側ホルダー４を配
置し、内側ホルダー４の内部に冷却水５を入れ、更に試
料載せ台６上に試料７を載せる。その後、ホルダーを走
査電子顕微鏡の試料室内の試料ステージに取り付け、試
料室内を真空に排気する。この結果、試料室内の真空度
に応じて内側ホルダー４内の冷却水は気化し、この気化
熱により試料載せ台６上の試料７は冷却される。
観察を行うことができる走査電子顕微鏡の試料ホルダー
を実現する。 【構成】 外側ホルダー１の内側に内側ホルダー４を配
置し、内側ホルダー４の内部に冷却水５を入れ、更に試
料載せ台６上に試料７を載せる。その後、ホルダーを走
査電子顕微鏡の試料室内の試料ステージに取り付け、試
料室内を真空に排気する。この結果、試料室内の真空度
に応じて内側ホルダー４内の冷却水は気化し、この気化
熱により試料載せ台６上の試料７は冷却される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水分を含んだ試料の観
察に用いて最適な走査電子顕微鏡の試料ホルダーに関す
る。
察に用いて最適な走査電子顕微鏡の試料ホルダーに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】水分を含んだ試料を水分を含んだ生に近
い状態で走査電子顕微鏡で観察する場合、従来では主に
次の２つの方法が用いられていた。第１の方法は、単に
その水分を含んだ試料をそのまま走査電子顕微鏡の真空
に排気された試料室内に挿入する方法である。
い状態で走査電子顕微鏡で観察する場合、従来では主に
次の２つの方法が用いられていた。第１の方法は、単に
その水分を含んだ試料をそのまま走査電子顕微鏡の真空
に排気された試料室内に挿入する方法である。
【０００３】また、第２の方法は、液体窒素で試料を冷
却し試料を凍結乾燥させながら観察する方法である。こ
の場合、試料中の水分は気化するが、この気化する時間
が長くなり、水分を含んだ状態での試料の観察時間を長
くできる利点がある。なお、この第２の方法では長い時
間掛かって試料からの水分が気化するので、試料室内の
真空度が比較的低くなるため、低真空走査電子顕微鏡で
用いる必要がある。
却し試料を凍結乾燥させながら観察する方法である。こ
の場合、試料中の水分は気化するが、この気化する時間
が長くなり、水分を含んだ状態での試料の観察時間を長
くできる利点がある。なお、この第２の方法では長い時
間掛かって試料からの水分が気化するので、試料室内の
真空度が比較的低くなるため、低真空走査電子顕微鏡で
用いる必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した第１の方法で
は、水分を含んだ試料をそのまま真空中に挿入するの
で、急速に試料中の水分が蒸発し、試料が収縮してその
形状が変化し、水分を含んだ生に近い状態の観察が不可
能となる。また、試料温度が比較的高い（常温に近い）
ため電子ビームの照射によって試料表面が損傷し、試料
のダメージが大きくなる。
は、水分を含んだ試料をそのまま真空中に挿入するの
で、急速に試料中の水分が蒸発し、試料が収縮してその
形状が変化し、水分を含んだ生に近い状態の観察が不可
能となる。また、試料温度が比較的高い（常温に近い）
ため電子ビームの照射によって試料表面が損傷し、試料
のダメージが大きくなる。
【０００５】また、第２の方法では、試料を冷却するの
に液体窒素が常に必要となり、コストアップとなる。本
発明は、このような点に鑑みてなされたもので、その目
的は、簡単な構成で試料を冷却して走査電子顕微鏡観察
を行うことができる走査電子顕微鏡の試料ホルダーを実
現するにある。
に液体窒素が常に必要となり、コストアップとなる。本
発明は、このような点に鑑みてなされたもので、その目
的は、簡単な構成で試料を冷却して走査電子顕微鏡観察
を行うことができる走査電子顕微鏡の試料ホルダーを実
現するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、外側
ホルダーと、外側ホルダーに熱絶縁されて支持され、そ
の中に冷却水が入れられる内側ホルダーと、内側ホルダ
ー内に設けられた試料載せ台とを備えたことを特徴とし
ている。
ホルダーと、外側ホルダーに熱絶縁されて支持され、そ
の中に冷却水が入れられる内側ホルダーと、内側ホルダ
ー内に設けられた試料載せ台とを備えたことを特徴とし
ている。
【０００７】請求項１の発明は、試料載せ台は断面がＴ
字状とされていることを特徴としている。
字状とされていることを特徴としている。
【０００８】
【作用】試料ホルダー内部に冷却水を入れ、真空中にお
ける冷却水の気化熱により試料の冷却を行う。
ける冷却水の気化熱により試料の冷却を行う。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は、本発明に基づく走査電子顕微鏡の
試料ホルダーを示しており、図１（ａ）は図１（ｂ）の
ＡＡ断面図、図１（ｂ）は平面図である。１はカップ状
の外側ホルダーであり、走査電子顕微鏡の試料室に配置
された試料ステージ（図示せず）に取り付けるための固
定部材２が底部に設けられている。
に説明する。図１は、本発明に基づく走査電子顕微鏡の
試料ホルダーを示しており、図１（ａ）は図１（ｂ）の
ＡＡ断面図、図１（ｂ）は平面図である。１はカップ状
の外側ホルダーであり、走査電子顕微鏡の試料室に配置
された試料ステージ（図示せず）に取り付けるための固
定部材２が底部に設けられている。
【００１０】外側ホルダー１の内側には熱絶縁材料で形
成されたネジ３によって支持されたカップ状の内側ホル
ダー４が設けられている。このカップ状の内側ホルダー
４の内部には冷却水５が入れられる。また、内側ホルダ
ー４の中心部には、熱伝導の優れた材料で形成された試
料載せ台６が取り付けられている。この試料載せ台６の
上には、水分を含んだ試料７が載せられる。このような
構成の動作を次に説明する。
成されたネジ３によって支持されたカップ状の内側ホル
ダー４が設けられている。このカップ状の内側ホルダー
４の内部には冷却水５が入れられる。また、内側ホルダ
ー４の中心部には、熱伝導の優れた材料で形成された試
料載せ台６が取り付けられている。この試料載せ台６の
上には、水分を含んだ試料７が載せられる。このような
構成の動作を次に説明する。
【００１１】先ず、外側ホルダー１の内側に内側ホルダ
ー４を配置し、外側ホルダー１の外から４本のネジ３を
挿入し、このネジ３によって内側ホルダー４を４点支持
する。次に内側ホルダー４の内部に冷却水５を入れ、更
に試料載せ台６上に試料７を載せる。その後、ホルダー
を走査電子顕微鏡の試料室内の試料ステージに取り付
け、試料室内を真空に排気する。
ー４を配置し、外側ホルダー１の外から４本のネジ３を
挿入し、このネジ３によって内側ホルダー４を４点支持
する。次に内側ホルダー４の内部に冷却水５を入れ、更
に試料載せ台６上に試料７を載せる。その後、ホルダー
を走査電子顕微鏡の試料室内の試料ステージに取り付
け、試料室内を真空に排気する。
【００１２】この結果、試料室内の真空度に応じて内側
ホルダー４内の冷却水は気化し、この気化熱により試料
載せ台６上の試料７は冷却される。図２は冷却水の気化
による試料の温度変化を示したグラフであり、実線で示
すように、試料温度は短時間に０℃以下となり、その
後、徐々に温度が上昇する。なお、図中点線は従来の水
分を含んだ試料をそのまま試料室の中に入れた場合の試
料温度の変化を示したものである。従来では、試料中の
水分の気化により若干試料温度が低下する程度である。
ホルダー４内の冷却水は気化し、この気化熱により試料
載せ台６上の試料７は冷却される。図２は冷却水の気化
による試料の温度変化を示したグラフであり、実線で示
すように、試料温度は短時間に０℃以下となり、その
後、徐々に温度が上昇する。なお、図中点線は従来の水
分を含んだ試料をそのまま試料室の中に入れた場合の試
料温度の変化を示したものである。従来では、試料中の
水分の気化により若干試料温度が低下する程度である。
【００１３】上記したように、試料７は冷却されるた
め、試料中の水分の蒸発は抑えられる。従って、長い時
間試料の形状の変化は極めて少なく、走査電子顕微鏡像
の観察を長時間連続して行うことが可能となる。
め、試料中の水分の蒸発は抑えられる。従って、長い時
間試料の形状の変化は極めて少なく、走査電子顕微鏡像
の観察を長時間連続して行うことが可能となる。
【００１４】図３は本発明の他の実施例を示しており、
図１の実施例と同一ないしは類似の構成要素には同一番
号を付してその詳細な説明を省略する。この実施例と図
１の実施例と相違する点は、試料載せ台８をＴ字状の断
面としたことである。また、試料載せ台８は内側ホルダ
ー４の中心部分のネジ穴９にネジ止めされるように構成
されている。
図１の実施例と同一ないしは類似の構成要素には同一番
号を付してその詳細な説明を省略する。この実施例と図
１の実施例と相違する点は、試料載せ台８をＴ字状の断
面としたことである。また、試料載せ台８は内側ホルダ
ー４の中心部分のネジ穴９にネジ止めされるように構成
されている。
【００１５】このような構成とすることにより、ホルダ
ーを真空中にいれた際、内側ホルダー４内の冷却水が沸
騰することになるが、この沸騰によって冷却水５が周囲
に飛散することを防ぐ効果がある。すなわち、沸騰によ
り飛び散る冷却水５がＴ字状の載せ台８の内側に衝突
し、周囲に飛散しにくい。なお、内側ホルダー４の内部
の汚れを除去する場合には、試料載せ台８のネジ止め部
分を取り外して行うことになる。
ーを真空中にいれた際、内側ホルダー４内の冷却水が沸
騰することになるが、この沸騰によって冷却水５が周囲
に飛散することを防ぐ効果がある。すなわち、沸騰によ
り飛び散る冷却水５がＴ字状の載せ台８の内側に衝突
し、周囲に飛散しにくい。なお、内側ホルダー４の内部
の汚れを除去する場合には、試料載せ台８のネジ止め部
分を取り外して行うことになる。
【００１６】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、内側ホルダーの
支持の方式はネジ止め以外であっても良い。また、水分
を含んだ試料の観察のみならず、水分を含んでいない試
料等の他の試料を冷却して観察する場合にも本発明を適
用することができる。
はこの実施例に限定されない。例えば、内側ホルダーの
支持の方式はネジ止め以外であっても良い。また、水分
を含んだ試料の観察のみならず、水分を含んでいない試
料等の他の試料を冷却して観察する場合にも本発明を適
用することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
基づく走査電子顕微鏡の試料ホルダーは、外側ホルダー
と、外側ホルダーに熱絶縁されて支持され、その中に冷
却水が入れられる内側ホルダーと、内側ホルダー内に設
けられた試料載せ台とを備えるように構成した。その結
果、簡単な構成により、試料の冷却を効率良く行うこと
ができ、試料中の水分の蒸発は抑えられ、長い時間試料
の形状の変化は極めて少なく、走査電子顕微鏡像の観察
を長時間連続して行うことが可能となる。また、水分を
含んでいない試料の冷却観察を簡単な構成により行うこ
とができる。
基づく走査電子顕微鏡の試料ホルダーは、外側ホルダー
と、外側ホルダーに熱絶縁されて支持され、その中に冷
却水が入れられる内側ホルダーと、内側ホルダー内に設
けられた試料載せ台とを備えるように構成した。その結
果、簡単な構成により、試料の冷却を効率良く行うこと
ができ、試料中の水分の蒸発は抑えられ、長い時間試料
の形状の変化は極めて少なく、走査電子顕微鏡像の観察
を長時間連続して行うことが可能となる。また、水分を
含んでいない試料の冷却観察を簡単な構成により行うこ
とができる。
【００１８】請求項２の発明に基づく走査電子顕微鏡の
試料ホルダーは、試料載せ台の断面形状をＴ字状に構成
したので、沸騰によって冷却水が周囲に飛散することを
防ぐ効果がある。
試料ホルダーは、試料載せ台の断面形状をＴ字状に構成
したので、沸騰によって冷却水が周囲に飛散することを
防ぐ効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】試料の温度変化を示すグラフである。
【図３】本発明の他の実施例を示す図である。
１ 外側ホルダー ２ ネジ ４ 内側ホルダー ５ 冷却水 ６ 試料載せ台 ７ 試料
Claims (2)
- 【請求項１】 外側ホルダーと、外側ホルダーに熱絶縁
されて支持され、その中に冷却水が入れられる内側ホル
ダーと、内側ホルダー内に設けられた試料載せ台とを備
えた走査電子顕微鏡の試料ホルダー。 - 【請求項２】 試料載せ台は断面がＴ字状とされた請求
項１記載の走査電子顕微鏡の試料ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4843395A JPH08250057A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 走査電子顕微鏡の試料ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4843395A JPH08250057A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 走査電子顕微鏡の試料ホルダー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08250057A true JPH08250057A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=12803229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4843395A Withdrawn JPH08250057A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 走査電子顕微鏡の試料ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08250057A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009283461A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | E Hong Instruments Co Ltd | 電子顕微鏡の予冷型試料台 |
| WO2012120726A1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用試料ホルダーおよび試料観察方法 |
| WO2024100897A1 (ja) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビーム装置 |
-
1995
- 1995-03-08 JP JP4843395A patent/JPH08250057A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009283461A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | E Hong Instruments Co Ltd | 電子顕微鏡の予冷型試料台 |
| WO2012120726A1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用試料ホルダーおよび試料観察方法 |
| CN103348439A (zh) * | 2011-03-04 | 2013-10-09 | 株式会社日立高新技术 | 电子显微镜用试样支架及试样观察方法 |
| US20140014835A1 (en) * | 2011-03-04 | 2014-01-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope sample holder and sample observation method |
| JP5584819B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2014-09-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用ホルダー、電子顕微鏡及び試料観察方法 |
| US9159530B2 (en) | 2011-03-04 | 2015-10-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope sample holder and sample observation method |
| WO2024100897A1 (ja) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビーム装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4833330A (en) | Anticontaminator for transmission electron microscopes | |
| KR960014435B1 (ko) | 플라즈마 처리방법 및 장치 | |
| US4950901A (en) | Specimen cooling holder for side entry transmission electron microscopes | |
| Booy et al. | Cryo-crinkling: what happens to carbon films on copper grids at low temperature | |
| Pawley et al. | A chamber attached to the SEM for fracturing and coating frozen biological samples | |
| Petersen et al. | A fast-scanning, low-and variable-temperature scanning tunneling microscope | |
| US4931650A (en) | X-ray detectors | |
| JPH08250057A (ja) | 走査電子顕微鏡の試料ホルダー | |
| Homo et al. | Improved anticontaminator for cryo‐electron microscopy with a Philips EM 400 | |
| JP2022013294A (ja) | ステージ | |
| JP3926103B2 (ja) | 冷却ホルダ並びに走査電子顕微鏡 | |
| US3558878A (en) | Method of reducing specimen contamination in an electron probe by cooling the objective lens | |
| US3264746A (en) | Freeze-drying | |
| US3363098A (en) | Combined electron microscope and diffraction apparatus for the electronoptical inspection of the surfaces of objects | |
| US3171956A (en) | Variant temperature environment for specimen stage of scientific instrument | |
| JP3542884B2 (ja) | 試料観察装置用冷却装置 | |
| JPH0725665Y2 (ja) | 電子顕微鏡用試料の有機溶媒乾燥装置 | |
| Epstein et al. | A simplified method for freeze-drying electron microscope specimens | |
| JPH02144843A (ja) | 試料冷却型イオンビーム薄膜作製装置 | |
| JPH04135153U (ja) | 電子線応用装置の試料冷却ステージ | |
| JPH0621165Y2 (ja) | 電子顕微鏡用試料凍結乾燥装置 | |
| Dowell et al. | Design and operation of a LN2 cold stage for CB diffraction | |
| Valdrè et al. | A combined freeze chamber and low temperature stage for an electron microscope | |
| Meadows et al. | Electron cryomicroscopy of fibrillar collagens | |
| JPH05315129A (ja) | クライオスタット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020604 |