JPH08244234A

JPH08244234A - インクジェット記録ヘッド、及び同表面処理方法

Info

Publication number: JPH08244234A
Application number: JP5574795A
Authority: JP
Inventors: Motoaki Sato; 元昭佐藤; Hideaki Mashio; 英明真塩; Shigeo Togano; 滋雄戸叶
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-03-15
Filing date: 1995-03-15
Publication date: 1996-09-24

Abstract

(57)【要約】【目的】半永久的な撥液処理性をオリフィス周辺部に
有するインクジェット記録ヘッド。【構成】ポリマー鎖末端にシランカップリング剤を導
入したパーフルオロヘテロ環構造を持つ非晶質熱可塑性
樹脂でオリフィス面のインク吐出口１４周縁部あるいは
該部分とその外側の前面プレート部に撥液処理層２０を
形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、一般にインクと呼ばれ
る記録液を吐出口から小滴として吐出、飛翔させ、この
小滴の被記録面への付着により記録を行うインクジェッ
ト記録装置の記録ヘッド及び同表面処理方法に関し、特
にインク吐出口が設けられているインク吐出口面の表面
処理に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、記録ヘッドのオリフィス（吐
出口）から記録液（インク）を吐出することにより情報
記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高速記
録等の点で優れた記録装置として知られている。

【０００３】図２は、マルチ型式のインクジェット記録
ヘッドの構成を示す斜視図であり、図３は同インクジェ
ット記録ヘッドの模式的説明図である。

【０００４】この記録ヘッドにおいてはガラスやセラミ
ックス等で形成された基板１１の上に、吐出圧発生素子
１２が設置され、感光性樹脂硬化膜１３をフォトリソグ
ラフィー法でパターニングすることにより吐出圧発生素
子１２に対応する液流路１５及びオリフィス１４、さら
には液室１６が形成されている。そして、感光性樹脂硬
化膜１３の上には、例えばガラス、セラミックス或は金
属で形成された天板１７が、接着剤１９により積層固着
されている。また、天板１７には記録液供給孔１８が形
成されている。

【０００５】上記のような構成の記録ヘッドにおいて、
オリフィス１４を囲む基板１１、感光性樹脂硬化膜１３
及び天板１７の表面の物理的性質（物理特性）は、オリ
フィス１４から記録液を常時安定して吐出させるために
極めて重要である。即ち、オリフィス１４の外回り表面
部（オリフィス周縁部）に記録液が回り込んで、その一
部にでも液溜りが生じると、流路１５の記録液がオリフ
ィス１４から吐出される際に、その飛翔方向が正規の所
定方向から離脱するようになり、さらには、液溜り状態
の不安定さから、吐出されるごとにその飛翔方向が乱れ
るという不都合が生じ、そのため安定した液吐出が行え
ず良好な記録が行えなくなる。

【０００６】また更に、オリフィス１４の外回り表面全
体が記録液の膜で覆われると、いわゆるスプラッシュ現
象が生じて記録液の散乱が起こり、安定した記録が行え
なくなる。また、オリフィスの外回り表面部を覆う液溜
りが大きくなると、記録ヘッドの液吐出が不能状態に陥
ることすらある。

【０００７】また、図２に示したような通常の記録ヘッ
ドでは、シリコン（基板１１）、ガラス（天板１７）、
樹脂（感光性樹脂硬化膜１３）のように異なる材料が使
用されることが多い。そして記録液、オリフィス周縁部
において、それら三種の中で最も漏れやすい材質の部分
から漏れる。通常のインク（記録液）に対しては、上記
の三種の材料のうちガラスが一番インクとの界面張力が
低いので、その部分からインクは漏れる。そのガラス部
分は、ヘッドの製造上の性能が好ましいので通常使用さ
れている材料で有り、インク漏れを防ぐ目的で別の材料
を使用することは製造上、性能上、コスト上望ましくな
い。

【０００８】以上説明したように、従来の記録ヘッドに
おいては、オリフィスの周縁部に記録液の液溜りが生じ
ると、安定な吐出が行えなくなる。しかも、この傾向は
ノズル密度を上げて、高詳細な記録を行う場合や、高周
波数で駆動する、すなわち高速記録をねらう場合に、非
常に顕著に現れるので、記録ヘッドの性能向上させる上
で大きな問題となっている。

【０００９】そこで、図２に示すように、少なくともオ
リフィス１４の周縁部にいわゆる撥液処理を施すことに
より、インクをはじく撥液処理層２０を形成し、上述の
問題を解決せんとする提案が、従来より数多く公開され
ている。

【００１０】これらの問題を解決する方法の１つとし
て、従来から吐出口を囲む外表面をシリコーンオイル等
で処理して撥水または撥油性（撥液性）にする方法が実
公昭４８−３６１８８号公報等に記載されている。

【００１１】しかし、これらの方法は記録ヘッドを形成
するガラス、金属、樹脂等の基材との密着性が悪いため
に耐久性がなく、効果は不十分なものに過ぎなかった。
また撥液性も十分ではなく、例えばシリコーン系の物質
では水系のインクに対して撥液性を示しても、アルコー
ル系、ケトン系、エステル系等の有機溶剤系インクに対
しては、ほとんど撥液性を示さなかった。

【００１２】さらにフルオロアルキルアルコキシシラン
等でインクジェット記録ヘッドの吐出口周縁部を処理し
て撥液性にした例（特開昭５６−８９５６６９号公報）
もあるが、処理を完全にするには高温（１５０℃以上）
で長時間加熱するか、高ｐｈの溶液（例えばアミン溶
液）中で加熱する等、吐出口を形成する材料を破壊する
恐れが有る処理が必要であった。また、従来から知られ
ている撥液処理を施したインクジェット記録ヘッドでは
オリフィス材料と撥水樹脂との密着性が十分でなく、オ
リフィス材料の表面を化学改質したり、シランカップリ
ング剤処理層をオリフィス材料、撥水樹脂間に設けなけ
ればならなかったりして非常に処理が煩雑であった。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】インクジェット記録ヘ
ッドに形成する撥液処理層２０は、単に撥水性のみが良
好で有るだけでなく、通常のインクジェット記録装置で
記録を行う際における撥液処理層の耐久性の点について
も十分でなければ実用的ではない。以下、その耐久性に
ついて説明する。

【００１４】インクジェット記録法を実施する場合に
は、たとえオリフィス周縁部に撥液処理が施されていて
も、オリフィス周縁部は常に記録液と接しているので、
ポリウレタンフォーム等の吸収体でオリフィス面を拭
き、付着したインクを吸い取るという回復操作がなされ
るのが通常である。したがって、撥液処理層は、吸収体
によりこすられても剥離しない程度の密着性や層が破壊
しない程度の耐摩耗性が必要とされる。これらの耐久性
が不十分で有ると、初期はともかく、ヘッドを使用して
いるうちに撥液処理層が徐々に剥離したり、抜け落ちた
りして撥液効果を示さなくなり、安定した吐出印字がで
きなくなってしまう。

【００１５】このようなインクジェット記録ヘッドに必
要とされる耐久性において、従来の撥液処理剤にて形成
した撥液処理層では十分ではない場合が有った。

【００１６】さらには、図２に示したインクジェット記
録ヘッドのように、オリフィスを取り囲む部材が複数の
異なる材質からなっている場合には、そのどの材質とも
密着性が良い撥液処理剤にて形成した撥液処理層を形成
しなければならない。従来の撥液処理剤にて形成した撥
水処理層は、特に、この点について不十分な場合が有っ
た。

【００１７】本出願人は、そのような課題を解決する撥
液処理剤を先に出願した。その出願明細書には、非晶性
熱可塑性フッ素樹脂撥液処理層を樹脂上にシランカップ
リング剤あるいは有機チタネート化合物を介して被覆し
たインクジェット記録ヘッドが記載されている。

【００１８】例えば前記ヘッド（基板１１がシリコン、
天板１７がガラス、樹脂硬化膜１３）の撥液処理層を上
記の組成物により形成すれば、従来の撥液水処理剤を用
いたよりも撥液持続性および耐摩耗性が向上した撥液処
理層が得られる。

【００１９】しかしながら、上記の組成物は、撥液持続
性、ブレード拭きに対する耐久性は十分であるが、オリ
フィスプレートに対する前処理工程が多く品質管理及び
コスト等の面で改善が必要であり、より簡単で効果的な
撥水方法が求められた。

【００２０】本発明では、そのような課題を解決するた
めになされたもので有り、その目的は、複数のオリフィ
ス材料と撥液処理層の間に特別な処理層あるいはオリフ
ィス面に表面処理を施すことなく半永久的な撥液処理層
をオリフィス周縁部に形成することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】このため、本発明は、ポ
リマー鎖末端にシランカップリング剤を導入したパーフ
ルオロヘテロ環構造を持つ非晶質熱可塑性樹脂でオリフ
ィス面のインク吐出口周縁部あるいは該部分とその外側
の前面プレート部が被覆されていることを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッドの構成によって、前記の目的を
達成しようとするものである。

【００２２】また、前記の樹脂の被覆方法として、キャ
スト法、あるいはディップ法あるいは転写法によってイ
ンクジェット記録ヘッドオリフィス面のインク吐出口周
辺部あるいは該部分とその外側の前面プレート部に被覆
することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの表面
処理方法によって、更に、前記のパーフルオロヘテロ環
構造を持つ非晶質熱可塑性樹脂をインクジェット記録ヘ
ッドオリフィス面に塗布後、前記樹脂のガラス転移点プ
ラス２０〜８０℃かつ基材の熱変形温度以下で熱乾燥
し、撥液処理剤中の溶媒を蒸発させると共にシランカッ
プリング剤の熱処理を同時に行い、基材との密着性を向
上させ半永久的撥液処理層を形成したことを特徴とする
インクジェット記録ヘッドの表面処理方法によって、前
記の目的を達成しようとするものである。

【００２３】

【作用】上記の構成・方法により、インクジェット記録
ヘッドのオリフィス面の表面処理はオリフィス基材と親
和性のあるシランカップリング剤を末端に含んだパーフ
ルオロヘテロ環構造非晶質熱可塑性樹脂を用いているた
めインクジェット基材を表面改質したり、基材上に密着
力向上層を設けることなく、オリフィス基材上に半永久
的撥液処理層が形成できる。

【００２４】

【実施例】本発明の実施例は、ポリマー鎖末端にシラン
カップリング剤を導入したパーフルオロヘテロ環構造を
持つ非晶質熱可塑性樹脂、例えばＣＴＬ−８０７Ｍ（旭
硝子（株）社製）をインクジェット記録ヘッドオリフィ
ス面に塗布し、熱乾燥することで溶媒を蒸発させると共
に、末端のシランカップリング剤部分の熱処理も同時に
行え、インクジェット記録ヘッドオリフィス面に、半永
久的撥液処理層を容易に設けることが可能となる。

【００２５】本発明実施例では、少なくとも吐出オリフ
ィス付近に問題の解決が絞られるもので有るから、以降
においては記録ヘッドの吐出オリフィスを含む部分のみ
を抽出して詳述するが、本発明の趣旨に添うもので有れ
ば、例えば図２に示した如き記録ヘッドに限定されるこ
とはなく、いかなるタイプの記録ヘッドでも、吐出オリ
フィスより液体を吐出させるもので有れば本実施例に適
用されるもので有る。

【００２６】そして、実施例では、表面処理はオリフィ
ス基材と親和性のあるシランカップリング剤を末端に含
んだパーフルオロヘテロ環構造非晶質熱可塑性樹脂を用
いているためインクジェット基材を表面改質したり、基
材上に密着力向上層を設けることなく、オリフィス基材
上に半永久的撥液処理層を形成できる。以下、実施例を
詳細に説明する。

【００２７】（実施例１）図１は、実施例１のオリフィ
ス面の撥液処理説明図であり、１はオリフィス面、２は
インク供給口、３は溝付天板、４は吐出口、５はベース
プレートを示す。

【００２８】実施例１では、吸収体のベルイーター（カ
ネボウ製）を所定の大きさにカットし、その吸収体を撥
水剤に浸漬し、引き上げたものを溝付天板のオリフィス
面に押しつけながら移動させることにより塗布を行なっ
た。

【００２９】撥液処理剤としては、サイトップＣＴＬ−
８０７Ｍ（旭硝子製）の７％溶液をＣＴ−ｓｏｌｖ．１
００（沸点１００℃、旭硝子製）で０．５％まで希釈し
たものを使用した。撥液処理剤の塗布範囲（図１に示す
Ｌ×Ｍ）は吸収体の幅と移動距離で決定される。この時
吸収体の幅は必要な撥液処理剤の幅（図１のＬ）よりも
０．２mm短い寸法で切断した。これは、塗布時に撥液処
理剤自身の広がり（両方向約０．１mm図示）が存在する
ためである。移動距離は吸収体により塗布しない部分
（図１のｃ）を残した寸法（図１のＭ）となる。

【００３０】ここで、塗布範囲がオリフィス面全面では
なく、ある塗布範囲を指定したのは塗布時、及び熱乾燥
時に裏回りするのを防ぐためである。図１に示すＡ、
Ｂ、Ｃとも０．５mmで行なった。しかし、裏回りの心配
がなければＡ、Ｂ、Ｃとも０であってもよい。

【００３１】塗布が完了した溝付天板をトレーに入れ、
１５０℃のオーブン中に２時間半投入し、熱乾燥させ
た。この時投入後３０分間は溝付天板及びトレーの温度
が所定の１５０度に上昇するのに使われるので、実際の
熱乾燥時間は２時間である。

【００３２】２時間半後徐冷し、８０度以下になったと
ころでオーブンより取り出した。撥液処理が終了した溝
付天板に対し、エキシマレーザー等により、吐出オリフ
ィス４を形成し、吐出圧発生素子を有する基板と貼り合
せを行なった。

【００３３】上記の工程により、前記の効果を有する実
施例を得ることができる。

【００３４】（実施例２）実施例２では、実施例１と同
じ吸収体を用い、同じ方法で溝付天板に塗布を行なっ
た。撥液処理剤としては、サイトップＣＴＸ−８０５Ａ
（旭硝子製）の５ｗｔ％溶液をＣＴ−ｓｏｌｖ．１８０
（沸点１８０℃、旭硝子製）で０．５ｗｔ％まで希釈し
たものを使用した。

【００３５】この溶媒は沸点１８０℃であるが、溝付天
板の材料であるポリサルフォン等は耐熱温度が１７３℃
付近のため熱乾燥温度は１５０℃に、時間は２時間半に
設定した。

【００３６】２時間半後、徐冷し、８０度以下になった
ところでオーブンより取り出した。撥液処理が終了した
溝付天板に対し、エキシマレーザー等により吐出オリフ
ィスを形成し、吐出圧発生素子を有する基板と貼り合せ
を行なった。

【００３７】（実施例３）実施例３は、実施例１と同じ
吸収体を用い、同じ方法で溝付天板に塗布を行なった。
撥液処理剤としては、ＡＦ１６００（テフロンＡＦ、商
品名デュポン社製）をフロリナートＦＣ−７５（商品
名３Ｍ社製）で０．５ｗｔ％に希釈したものを使用し
た。ＡＦ１６００のガラス転移点は１６０℃なので乾燥
条件は、１６５℃、２時間半で行なった。

【００３８】２時間半後、徐冷し、８０度以下になった
ところでオーブンより取り出した。撥液処理が終了した
溝付天板に対し、エキシマレーザー等により吐出オリフ
ィスを形成し、吐出圧発生素子を有する基板と貼り合せ
を行なった。

【００３９】撥液処理剤として上記ＡＦ１６００の代わ
りに、硝子転移点の更に高いＡＦ２４００（テフロンＡ
Ｆ、商品名デュポン社製）をフロリナートＦＣ−７５
で希釈したものを使用しても同じ性能を得ることができ
る。熱乾燥条件も上記と同様である。

【００４０】（実施例４）実施例１〜３と異なり吐出オ
リフィスが先に形成されているものに撥液する実施例４
について以下説明する。

【００４１】撥液処理剤としては、サイトップＣＴＬ−
８０５Ｍ（商品名旭硝子製）を、ＣＴ−Ｓｏｌｖ．１
００（旭硝子製）とＣＴ−Ｓｏｌｖ．１８０（旭硝子
製）とを１：１〜２：１で混合した液で０．５ｗｔ％に
希釈した液を使用した。そして、スピンナー上にシリコ
ンゴムを載せ、この液を２ｃｃシリコンゴムに滴下す
る。滴下後スピンナー上で回転させ均一な膜を作る。回
転数は１ｓｔ：５００ｒｐｍ，５秒、２ｎｄ：３０００
ｒｐｍ，１５秒に設定した。

【００４２】このシリコンゴム上に上記マルチノズルヘ
ッドのオリフィス面を押しつけながら転写を行なった。
回数は３回、押しつけ圧は２Ｋｇ／ヘッドで行なった。
転写終了後にヘッドを、１５０℃のオーブン中に２時間
半投入し熱乾燥させた。撥液処理剤としてＣＴＸ−８０
５Ａ（商品名旭硝子社製）とＫＰ＝８０１Ｍ（商品名
信越化学社製）を重量比１：１〜５：３に混合しＣＴ
−Ｓｏｌｖ．１００（旭硝子社製）で０．５ｗｔ％に希
釈したものについても同様な条件で転写可能であった。

【００４３】（比較例１）実施例１と同じ溝付天板を成
形後ＵＶ／Ｏ₃ 処理１０分したのちアミン系シランカッ
プリング剤、あるいはエポキシ系シランカプリング剤、
好ましくはアミン系シランカップリング剤を水／エタノ
ール水溶液５〜０．０５ｗｔ％に希釈した溶液中に１分
間浸漬後、大容量の純水中で２回洗浄した。その後風燥
し、その後実施例１と同様に、同じ吸収体を用い、同じ
方法で溝付天板に塗布した。撥液処理剤としては、サイ
トップＣＴＸ−８０５Ａ（旭硝子製）またはＣＴＬ−８
０５Ｍ（旭硝子製）をＣＴ−ｓｏｌｖ．１００（沸点１
００℃ 旭硝子製）で０．５ｗｔ％に希釈したものを使
用した。塗布が完了した溝付天板をトレーに入れ、１５
０℃のオーブン中に２時間半投入し、熱乾燥させた。

【００４４】この時投入後３０分間は溝付天板及びトレ
ーの温度が所定の１５０℃に上昇するのに使われるの
で、実際の熱乾燥時間は２時間である。２時間半後徐冷
し、８０度以下になったところでオーブンより取り出し
た。撥水処理が終了した溝付天板に対し、エキシマレー
ザー等により、吐出オリフィスを形成し、吐出圧発生素
子を有する基板と貼り合せを行なった。

【００４５】次に本発明の特定のポリマーで処理したイ
ンクジェット記録ヘッドの撥液性の性能を調べるため
に、基材への塗布性、初期特性、撥液持続性等の評価を
行なった。その内容を以下に示す。

【００４６】［評価内容］（１）基材への塗布性能塗布性→塗布ムラの有無基材との密着性→溶剤クラック、剥れ（溝天、あるいは吐出エレメント６０℃インク中に保存
しチェックプレッシャークッカーテスト２０時間後チェック）（２）初期特性初期接触角→接触角（前進及び後退）（３）撥液持続性撥液持続性→試験前後の接触角の変化（６０℃インク浸漬）耐摩耗性 →試験前後の接触角の変化（こすり耐久試験機を使用、１５００００回）ＰＣＴ →試験前後の接触角の変化（インク浸漬のまま１２０℃、２ａｔｍ、２０時間後チ
ェック）上記による評価結果を以下に示す。

【００４７】

【表１】

【００４８】

【表２】

【００４９】

【表３】

【００５０】

【表４】

【００５１】

【表５】

【００５２】表１に示すように、実施例４では塗布時に
転写特有の干渉縞状のムラが生じる。しかし耐久性に関
して問題は無い。また実施例２では６０℃インク浸漬１
か月後にわずかにエッジ部に剥れが生じた。更にＰＣＴ
２０時間後では天板全体に剥れが生じてしまった。実施
例１、３、比較例については初期とほとんど変化が無か
った。

【００５３】次に表２の初期特性の接触角の測定結果を
乗せたが、ここでの接触角の測定方法に関して説明す
る。通常カタログ等に記載されている接触角は前進接触
角といわれるものである。測定は図４ののようにイン
クを滴下させた後、ステージを下げ、離れた液滴の角度
を読む。

【００５４】これに対し、インクジェットの撥水性評価
では、後退接触角を用いた。これは図４の、の様
に、１度インクを滴下し、漏らした後にインクを吸い取
り、その時残った液滴の角度を測定するものである。こ
こで初めに出すインクの量により後退接触角θ_R1と後退
接触角θ_R2に分けて測定を行なった。従来の接触角はθ
_R1で示すものである。θ_R1とθ_R2とを比較した場合、当
然θ_R2の方が厳しい条件となるため、撥水性の差は出や
すくなり評価には有効である。

【００５５】表２を見るかぎりでは、初期撥液性能に関
しては各実施例、比較例ともほとんど差がない。またイ
ンクジェットヘッドオリフィス表面のθ_R2≧７０度とい
う一様の基準もクリヤーしている表３では６０℃インク
浸漬試験前後の接触角の変化を示してある。浸漬１週間
まではどの例もθ_R2の低下は少なかった。しかし１か月
後では実施例２では７０度を切る程度に低下した。他の
例はいずれもθ_R2は８０度以上の値となった。

【００５６】表４は擦り試験前後の接触角の変化を示し
ているが、ここでも実施例２以外はθ_R2≧７０度を満足
している。

【００５７】表５はＰＣＴ前後の接触角変化を示してい
るが試験条件が一番厳しいために２０時間後の接触角の
低下は一番大きい。実施例１と比較例はθ_R2≧７０度を
維持できたがそれ以外はだめであった。

【００５８】以上まとめると、実施例１と比較例が最も
撥液持続性と機械的耐久性が優れていることがわかっ
た。また実施例３、４についてもやや劣るながらも実用
使用レベルにはある。実施例１については比較例に比べ
工程数も簡略化され実用に最も優れている。実施例２は
インクが介在した時の密着性に期待がもてる。

【００５９】以上のように優れた性能を持つ、本発明実
施例の撥液処理を施したインクジェット記録ヘッドの吐
出観察印字試験を行なったところ、吐出信号印加周波数
２〜１０ＫＨｚ全ノズル同時駆動でも、常に所定の方向
に安定した吐出が行なえた。また印字物も縦線のヨレや
ベタ印字のしろ抜け等の問題も発生することなく良好で
あった。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
非晶質熱可塑性樹脂の化合物はオリフィス表面に半永久
的撥液処理層を従来よりも遥かに容易な処理で形成で
き、また常時所定の方向に実質的に均一液体量を持って
安定した吐出が行なえ、高速記録に十分使用され得るイ
ンクジェット記録ヘッドの形成ができ、記録性能が長期
間安定して優れているインクジェット記録ヘッドを提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例の撥液処理の説明図である。

【図２】マルチ型式のインクジェット記録ヘッドの外
観斜視図である。

【図３】インクジェット記録ヘッドの例を示す模式的
説明図である。

【図４】接触角の測定方法を説明する工程図である。

【符号の説明】

１オリフィス面２インク供給口３溝付天板４吐出口５ベースプレート１１基板１２吐出圧発生素子１３感光性樹脂硬化膜１４オリフィス１５流路１６液室１７天板１９接着剤２０撥液処理層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ポリマー鎖末端にシランカップリング剤
を導入したパーフルオロヘテロ環構造を持つ非晶質熱可
塑性樹脂でオリフィス面のインク吐出口周縁部あるいは
該部分とその外側の前面プレート部が被覆されているこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】請求項１記載の樹脂の被覆方法として、
キャスト法、あるいはディップ法あるいは転写法によっ
てインクジェット記録ヘッドオリフィス面のインク吐出
口周辺部あるいは該部分とその外側の前面プレート部に
被覆することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
表面処理方法。
【請求項３】請求項１記載のパーフルオロヘテロ環構
造を持つ非晶質熱可塑性樹脂をインクジェット記録ヘッ
ドオリフィス面に塗布後、前記樹脂のガラス転移点プラ
ス２０〜８０℃かつ基材の熱変形温度以下で熱乾燥し、
撥液処理剤中の溶媒を蒸発させると共にシランカップリ
ング剤の熱処理を同時に行い、基材との密着性を向上さ
せ半永久的撥液処理層を形成したことを特徴とするイン
クジェット記録ヘッドの表面処理方法。