JPH08243379A - 区画領域内部監視用筒 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】被覆用部位６１には、回転対称的なパターンを
具備させ、その回転対称軸と可視光透過部位２１の回転
対称軸を一致させ、区画物２０の可視光透過部位２１の
部分のうちの被覆用部位６１に覆われた部分は、区画目
的領域３０方面で生じる浮遊物に起因する汚染を免れ
る。他方、被覆用部位６１に覆われない部分は、浮遊物
が付着して汚染される。汚染後に区画目的領域３０方面
の監視を行うため、区画物２０を取り外し、可視光透過
部位２１を回転対称軸に対して被覆用部位６１のパター
ンに適した角度を回転させ、可視光透過部位２１の汚染
面が被覆用部位６１に覆われる様に配置し、その後、再
度、区画物２０を取り付ける。 【効果】汚染した可視光透過部位を掃除する手間を軽減
でき、区画を解除する手間を軽減できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空容器及び真空容器内
部を覗く窓に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の区画領域内部監視筒の代表的な一
例を図２，図３により説明する。

【０００３】図２で、３０は区画目的領域、１０は区画
目的領域３０と同じ容積の内容積を具備する第一の区画
物、２０は可視光透過部位２１（例えば、透明ガラス）
を具備した第二の区画物である。第一の区画物１０と第
二の区画物２０の相対位置関係は位置関係保持機構５０
により決まる。位置関係保持機構５０の代表的な一例と
して、ねじ溝５１，ねじ５２から成るものを示してあ
る。

【０００４】また、気密保持機構４０の代表的な一例と
して窪み４１，ゴムリング４２から成るものを示してあ
り、これにより区画目的領域３０の気密が保持される。
第二の区画物２０を、区画目的領域３０の境界とするこ
とにより、区画目的領域３０内部を、気密を保持したま
まで監視することができる。しかし時間が経過すると、
区画目的領域３０で生じた浮遊物（例えば、粉塵，ミス
ト）が付着していき、可視光透過部位２１が汚染され
る。やがて可視光透過性が損なわれ、区画領域内部を監
視できなくなる。汚染後に監視を続けるためには、第二
の区画物２０を取り外し、可視光透過部位２１の汚染面
を掃除し、可視光透過性を回復させる必要がある。その
ためには、区画を解除（例えば図２では、ねじ５２をは
ずす）しなければならない。区画解除後、第二の区画物
２０を手に取って拭う等により、可視光透過部位２１の
汚染面を掃除し、再度、第二の区画物２０を取り付け
る。

【０００５】また図３に、従来の区画領域内部監視筒の
代表的な使用例を示す。これは、別の区画容器８０（例
えば真空容器）と接合（例えば溶接）して使用し、区画
目的領域３０内部だけでなく、共有した区画目的領域３
１の一部をも監視する一例を明示するものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】レーザ同位体分離や半
導体加工等の様に、気密し区画した領域で装置運転等の
作業を行わせることがある。この様な作業の際には、区
画領域の様子を把握することが必要であり、区画領域内
部をより長い時間にわたって監視することが望まれる。

【０００７】しかし従来技術では、可視光透過部位が汚
染された後に監視を続けるためには、可視光透過部位の
汚染面を掃除する必要があった。また、区画を解除しな
ければならず、区画目的領域で行っている作業が区画
（例えば気密）を要する場合には作業の中断が余儀な
く、作業効率が低下してしまう。

【０００８】本発明の目的は、第一に、浮遊物に起因す
る可視光透過性の妨害を阻止して、第二の区画物の可視
光透過部位を掃除する手間を軽減した気密容器内部監視
筒を提供することにある。

【０００９】第二に、可視光透過部位の回転対称性を活
かし、区画解除の頻度を低減させ、作業効率の低下を軽
減することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記第一の目的を達成す
る発明は、区画目的となる領域と同じ容積の内容積を具
備した第一の区画物と、回転対称的な可視光透過部位を
具備した第二の区画物と、区画物間の位置関係保持機構
とを有する区画領域内部監視筒で、第二の区画物の可視
光透過部位を部分的に被覆する面を有し、かつ、前記被
覆面が、第二の区画物が具備する可視光透過部位の回転
対称軸に関し回転対称性を有することを特徴とする。

【００１１】上記第二の目的を達成する発明は、第一の
区画物または第二の区画物に回転駆動機構を有すること
を特徴とする。

【００１２】

【作用】第一の発明が技術的に成立する根拠を図４ない
し図６を用いて説明する。

【００１３】図４中の６１に示すように、第二の区画物
２０の可視光透過部位２１に隣接して被覆用部位を設け
る。その構造の一例を図５に示す。図５（ａ)，(ｂ）に
示す例の様な構造を具備させることにより、隣接させた
物を被覆できる。さらに被覆用部位６１には、図６
（ａ）ないし（ｄ）に示す例の様な回転対称的なパター
ンを具備させ、その回転対称軸と第二の区画物２０の可
視光透過部位２１の回転対称軸が一致するように被覆用
部位６１と可視光透過部位２１の位置関係を定める。

【００１４】次は、第二の発明が技術的に成立する根拠
を図７を用いて説明する。

【００１５】図７に示すように、外部支持５３と内部支
持５４とから成る位置関係保持機構５０により、第一の
区画物１０と第二の区画物２０の位置関係を定める。つ
まみ９２とつまみ９２により回転駆動する回転駆動部９
３と内部回転支持９４と外部回転支持９５とから成る回
転駆動機構９０を設ける。回転駆動する回転駆動部９３
と内部回転支持９４、及び、内部回転支持９４と外部回
転支持９５は歯車で噛み合う。これにより、つまみ９２
に与えた回転が第二の区画物２０に伝わり可視光透過部
位２１が９１の方向に回転する。外部支持５３の位置を
予め調整し、その回転軸を被覆用部位６１と一致させ
る。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１，図８により説
明する。

【００１７】図１は本発明の第一実施例の区画領域内部
監視筒の構成を示すものである。

【００１８】図１に示すように、第二の区画物２０の可
視光透過部位２１に隣接して被覆用部位６１を設ける。
この被覆性の技術的根拠については、発明の作用の項で
記述したので、ここでは省略する。さらに被覆用部位６
１には、回転対称的なパターンを具備させ、その回転対
称軸と可視光透過部位２１の回転対称軸を一致させる。

【００１９】この被覆用部位６１を設けることにより、
第二の区画物２０の可視光透過部位２１の部分のうちの
被覆用部位６１に覆われた部分は、区画目的領域３０方
面で生じる浮遊物に起因する汚染を免れる。他方、被覆
用部位６１に覆われない部分は、時間の経過とともに区
画目的領域３０方面で生じる浮遊物に起因して汚染さ
れ、可視光透過性が損なわれ、区画目的領域３０方面を
監視することが困難になる。

【００２０】汚染後に監視を行うためには、第二の区画
物２０を取り外し、可視光透過部位２１を回転対称軸に
対して被覆用部位６１のパターンに適した角度（例えば
図６（ａ)，(ｃ)，(ｂ)，(ｄ）に示すパターンの時は１
８０度、図６（ｃ)，(ｄ）に示すパターンの時は１２０
度）を回転させ、可視光透過部位２１の汚染面が被覆用
部位６１に覆われる様に配置する。その後、再度第二の
区画物２０を取り付ければよい。

【００２１】図８は本発明の第二実施例の区画領域内部
監視筒の構成を示すものである。

【００２２】図８と図１の違いは、第二の区画物を回転
させる駆動機構が存在することである。回転駆動機構の
技術的根拠については、発明の作用の項で記述したの
で、ここでは省略する。すなわち、本実施例と第一実施
例の違いは、回転駆動機構９０を設けることにより、区
画目的領域３０方面を監視することが困難になった後
に、再度監視可能な状態に至るまでの方法が異なること
である。以下では、この異なる部分について説明する。

【００２３】回転駆動機構９０を第二の区画物２０の回
転軸が可視光透過部位２１の回転対称軸と一致させる。
そして可視光透過部位２１の汚染により区画目的領域３
０方面を監視することが困難になった後、つまみ９２を
回し、可視光透過部位２１を被覆用部位６１のパターン
に適した角度を回転させ、可視光透過部位２１の汚染面
が被覆用部位６１に覆われる様に配置する。可視光透過
部位２１の汚染面が被覆用部位６１に覆われる様に配置
できるのは、予め回転駆動機構９０をその回転軸が可視
光透過部位２１の回転対称軸と一致させているからであ
り、その技術的根拠については、発明の作用の項で記述
したので、ここでは省略する。

【００２４】

【発明の効果】第一の発明によれば、汚染した可視光透
過部位を掃除する手間を軽減できる。第二の発明によれ
ば、区画を解除する手間を軽減できる。区画領域の作業
に関し、それが区画保持を要するのであれば、その作業
効率を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例の区画領域内部監視筒の断
面図。

【図２】従来の典型的な区画領域内部監視筒の断面図。

【図３】従来の区画領域内部監視筒の代表的な使用例の
説明図。

【図４】本発明の区画領域内部監視筒を示す断面図。

【図５】本発明の区画領域内部監視筒の被覆部位の位置
及び全体構成を示す説明図。

【図６】本発明の区画領域内部監視筒の被覆部位の回転
対称的なパターンの典型例を示す説明図。

【図７】本発明の区画領域内部監視筒を示す断面図。

【図８】本発明の第二実施例の区画領域内部監視筒を示
す断面図。

【符号の説明】

１０…第一の区画物、２０…第二の区画物、２１…可視
光透過部位、３０…区画目的領域、４０…気密保持機
構、４１…窪み、４２…ゴムリング、５０…位置関係保
持機構、５２…ねじ、５３…外部支持。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】区画目的となる領域と同じ容積の内容積を
   具備した第一の区画物と、回転対称的な可視光透過部位
   を具備した第二の区画物と、 前記第一の区画物と前記第二の区画物間の位置関係保持
   機構とを有する区画領域内部監視筒において、 前記第二の区画物の可視光透過部位を部分的に被覆する
   面を有し、前記被覆面が、前記第二の区画物が具備する
   可視光透過部位の回転対称軸に関し回転対称性を有する
   ことを特徴とする区画領域内部監視筒。
2. 【請求項２】請求項１において、前記第一の区画物また
   は前記第二の区画物に回転駆動機構を有する区画領域内
   部監視筒。