JPH08240480A - 赤外線等の電磁波の検出装置 - Google Patents
赤外線等の電磁波の検出装置Info
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- JPH08240480A JPH08240480A JP7339019A JP33901995A JPH08240480A JP H08240480 A JPH08240480 A JP H08240480A JP 7339019 A JP7339019 A JP 7339019A JP 33901995 A JP33901995 A JP 33901995A JP H08240480 A JPH08240480 A JP H08240480A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/024—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
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- F25D19/00—Arrangement or mounting of refrigeration units with respect to devices or objects to be refrigerated, e.g. infrared detectors
- F25D19/006—Thermal coupling structure or interface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来から、使用される検出器の幾何形状とは
独立にコネクタの寸法を規格化することが要望されてい
た。 【解決手段】 クライオスタットと、冷却板２と、検出
回路本体４および読出解析回路３を備える検出ユニット
とを具備し、検出ユニットは、接続回路７上に固定され
ており、接続回路７は、電気信号出力をクライオスタッ
トから電気導体を引き出すためのコネクタ８、１９にお
ける内部接続システムへと伝達するようにした赤外線等
の電磁波の検出装置において、冷却板２には、凹所１６
が設けられ、凹所１６は、リレー接続部材１３を収容
し、リレー接続部材１３は、コネクタ８、１９に対して
電気的に接続されているとともに、接続回路７に対して
電気的に接続されている。
独立にコネクタの寸法を規格化することが要望されてい
た。 【解決手段】 クライオスタットと、冷却板２と、検出
回路本体４および読出解析回路３を備える検出ユニット
とを具備し、検出ユニットは、接続回路７上に固定され
ており、接続回路７は、電気信号出力をクライオスタッ
トから電気導体を引き出すためのコネクタ８、１９にお
ける内部接続システムへと伝達するようにした赤外線等
の電磁波の検出装置において、冷却板２には、凹所１６
が設けられ、凹所１６は、リレー接続部材１３を収容
し、リレー接続部材１３は、コネクタ８、１９に対して
電気的に接続されているとともに、接続回路７に対して
電気的に接続されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波の検出装
置、さらに詳細には、赤外線の検出装置に関するもので
ある。
置、さらに詳細には、赤外線の検出装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、赤外線検出器は、たいて
いの場合、低温で作動する。つまり、典型的には、５０
ないし２００ケルビンの温度範囲で作動する。実際、検
出器本体は、通常、クライオスタット（低温維持容器）
に接続される。クライオスタットは、低温発生装置から
液体ヘリウム、液体空気、液体窒素、あるいは他の均等
物のいずれかが供給されている低温フィンガーにより、
検出器の作動温度に応じて検出器を冷却し得るものであ
る。
いの場合、低温で作動する。つまり、典型的には、５０
ないし２００ケルビンの温度範囲で作動する。実際、検
出器本体は、通常、クライオスタット（低温維持容器）
に接続される。クライオスタットは、低温発生装置から
液体ヘリウム、液体空気、液体窒素、あるいは他の均等
物のいずれかが供給されている低温フィンガーにより、
検出器の作動温度に応じて検出器を冷却し得るものであ
る。
【０００３】本発明に関連する技術分野については、従
来の赤外線検出器を示している図１を参照しながら、以
下において説明する。
来の赤外線検出器を示している図１を参照しながら、以
下において説明する。
【０００４】一般に、検出器本体とクライオスタットと
の間の熱交換は、低温発生源と直接接触している低温フ
ィンガー１を介してなされる。この低温フィンガー１の
端部は、気密に封止されているとともに、冷却板２を有
している。冷却板２は、低温フィンガー１に対して接触
状態で固定されている。この場合、一般に、冷却板２
は、接着あるいは溶着により低温フィンガー１に固定さ
れた金属部材あるいはセラミクス部材から構成される。
の間の熱交換は、低温発生源と直接接触している低温フ
ィンガー１を介してなされる。この低温フィンガー１の
端部は、気密に封止されているとともに、冷却板２を有
している。冷却板２は、低温フィンガー１に対して接触
状態で固定されている。この場合、一般に、冷却板２
は、接着あるいは溶着により低温フィンガー１に固定さ
れた金属部材あるいはセラミクス部材から構成される。
【０００５】場合によっては、冷却板２自身が低温フィ
ンガー１を封止することもある。この冷却板２は、検出
ユニットに適合することを意図されたものである。すな
わち、一方においては、装置全体は、電磁波を検出する
ためのものであって、公知の方法により電磁放射を電気
信号へと変換する少なくとも１つの電子回路４を備えて
構成されている。電子回路４は、読出回路３に接続され
ている。読出回路３は、電子回路４により出力された電
気信号を次工程に適するように、とりわけ電気信号を増
幅することにより次工程に適するように変換し得るもの
である。さらに、冷却板２は、クライオスタットの低温
フィンガー１と検出ユニットとの間の熱伝達を行ってい
る。
ンガー１を封止することもある。この冷却板２は、検出
ユニットに適合することを意図されたものである。すな
わち、一方においては、装置全体は、電磁波を検出する
ためのものであって、公知の方法により電磁放射を電気
信号へと変換する少なくとも１つの電子回路４を備えて
構成されている。電子回路４は、読出回路３に接続され
ている。読出回路３は、電子回路４により出力された電
気信号を次工程に適するように、とりわけ電気信号を増
幅することにより次工程に適するように変換し得るもの
である。さらに、冷却板２は、クライオスタットの低温
フィンガー１と検出ユニットとの間の熱伝達を行ってい
る。
【０００６】現在使用されている大部分の赤外線検出器
においては、検出回路４は、読出回路３と、例えばイン
ジウムの小塊（microbumps）を利用してハイブリッド化
されている。同様に、同一の読出回路上に複数の検出回
路が設けられる構成であっても良い。さらに、他の変形
例として、複数の読出回路と複数の検出回路とを設ける
構成とすることもできる。この場合、複数の読出回路と
複数の検出回路とは、これら複数の読出回路および複数
の検出回路の下方に位置する電気的相互接続ネットワー
クを介してのハイブリッド化により、相互接続されてい
る。電気的相互接続ネットワークには、前記回路間の電
気伝導をもたらすための金属化された接触部あるいはト
ラック（tracks）が設けられている。
においては、検出回路４は、読出回路３と、例えばイン
ジウムの小塊（microbumps）を利用してハイブリッド化
されている。同様に、同一の読出回路上に複数の検出回
路が設けられる構成であっても良い。さらに、他の変形
例として、複数の読出回路と複数の検出回路とを設ける
構成とすることもできる。この場合、複数の読出回路と
複数の検出回路とは、これら複数の読出回路および複数
の検出回路の下方に位置する電気的相互接続ネットワー
クを介してのハイブリッド化により、相互接続されてい
る。電気的相互接続ネットワークには、前記回路間の電
気伝導をもたらすための金属化された接触部あるいはト
ラック（tracks）が設けられている。
【０００７】多くの場合、検出ユニット３、４は、接続
回路７に機械的に固定されており、フォーカル（foca
l） 構造（中心集中的な構造）と呼ばれる構造を構成し
ている。接続回路自体は、絶縁性材料からなるプレート
により構成されている。接続回路７の上面、すなわち検
出ユニットが接触するようになることを意図された面に
は、金属トラックあるいは金属接触部５が設けられてお
り、金属トラックあるいは金属接触部５は、また、細線
６を溶着し得るものである。この接続回路７は、読出回
路３からクライオスタットの内部結合システム本体へと
電気信号を伝達する機能を有している。内部結合システ
ム自身は、公知の方法により、外部からクライオスタッ
トの内部を封止した状態でクライオスタットから電気信
号を伝達し得る部材をなすコネクタに接続されている。
これらコネクタの製作方法としては、多くの周知慣用技
術があり、例えば、独国特許公開第３，３４４，７１３
号公報、および、米国特許第３，２５９，８６５号明細
書に記載されている。
回路７に機械的に固定されており、フォーカル（foca
l） 構造（中心集中的な構造）と呼ばれる構造を構成し
ている。接続回路自体は、絶縁性材料からなるプレート
により構成されている。接続回路７の上面、すなわち検
出ユニットが接触するようになることを意図された面に
は、金属トラックあるいは金属接触部５が設けられてお
り、金属トラックあるいは金属接触部５は、また、細線
６を溶着し得るものである。この接続回路７は、読出回
路３からクライオスタットの内部結合システム本体へと
電気信号を伝達する機能を有している。内部結合システ
ム自身は、公知の方法により、外部からクライオスタッ
トの内部を封止した状態でクライオスタットから電気信
号を伝達し得る部材をなすコネクタに接続されている。
これらコネクタの製作方法としては、多くの周知慣用技
術があり、例えば、独国特許公開第３，３４４，７１３
号公報、および、米国特許第３，２５９，８６５号明細
書に記載されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】内部接続方法、特に、
検出ユニット３、４またはフォーカル構造３、４、７
と、コネクタとの間の内部接続方法のために、構成部材
の幾何形状によって直接的に幾何形状が決まってしまう
クライオスタットは、コネクタ型式と関連している。
検出ユニット３、４またはフォーカル構造３、４、７
と、コネクタとの間の内部接続方法のために、構成部材
の幾何形状によって直接的に幾何形状が決まってしまう
クライオスタットは、コネクタ型式と関連している。
【０００９】クライオスタットのコネクタについてさら
に詳細に説明すると、コネクタの機能は、クライオスタ
ットの封止を破ることなく、電気信号をクライオスタッ
トから伝送することである。加えて、クライオスタット
の外部において電気信号の解析を可能とすることであ
る。信号伝達は、とりわけピンによりなされるものであ
り、この場合、このピンのピン寸法およびピン配列（ピ
ン数、ピン配置、等）は、検出器のピン寸法およびピン
配列と直接的に関連している。実際、使用される検出器
の型式の各々に合わせて空間形状を有するコネクタを作
ることは、かなりのコスト増加をまねき、無視できない
時間ロスをもたらす。
に詳細に説明すると、コネクタの機能は、クライオスタ
ットの封止を破ることなく、電気信号をクライオスタッ
トから伝送することである。加えて、クライオスタット
の外部において電気信号の解析を可能とすることであ
る。信号伝達は、とりわけピンによりなされるものであ
り、この場合、このピンのピン寸法およびピン配列（ピ
ン数、ピン配置、等）は、検出器のピン寸法およびピン
配列と直接的に関連している。実際、使用される検出器
の型式の各々に合わせて空間形状を有するコネクタを作
ることは、かなりのコスト増加をまねき、無視できない
時間ロスをもたらす。
【００１０】したがって、使用される検出器の幾何形状
とは独立にコネクタの寸法を規格化すること、場合によ
っては統一化することが要望されており、よって、コネ
クタとクライオスタットとの電気的境界面の規格化が要
望されていた。言い換えれば、一定とされたコネクタの
幾何形状に対して、検出ユニットあるいはフォーカル構
造の構成部材のすべての型式を適合させることが要望さ
れていた。この場合、検出ユニットあるいはフォーカル
構造は、様々な寸法からなるものであり、特に大きな寸
法の検出器を有している。加えて、検出器とコネクタと
の間の電気的接続を容易になし得ることが要望されてい
た。
とは独立にコネクタの寸法を規格化すること、場合によ
っては統一化することが要望されており、よって、コネ
クタとクライオスタットとの電気的境界面の規格化が要
望されていた。言い換えれば、一定とされたコネクタの
幾何形状に対して、検出ユニットあるいはフォーカル構
造の構成部材のすべての型式を適合させることが要望さ
れていた。この場合、検出ユニットあるいはフォーカル
構造は、様々な寸法からなるものであり、特に大きな寸
法の検出器を有している。加えて、検出器とコネクタと
の間の電気的接続を容易になし得ることが要望されてい
た。
【００１１】検出ユニット３、４またはフォーカル構造
３、４、７を、クライオスタットの内部接続システムに
対して接続するに際しては、例えば電気導体のようなフ
レキシブル線材を使用することがしばしば要求される。
フレキシブル線材は、使用が困難であり、そして真空中
における脱ガス現象をもたらすという重大な欠点を有し
ている。脱ガス現象は、大きな問題であり、メンテナン
スなしでの作動寿命に悪影響をもたらし得るものであ
る。加えて、このようなフレキシブル線材は、装着後に
おいて、余剰部分（offsets） を有するというまたもや
問題を抱えており、そのような装置によってなされる測
定および検出を最適化させるという観点から重要な機能
を果たすとされている熱スクリーンおよび／または光ス
クリーンの固定に際して障害となってしまう。
３、４、７を、クライオスタットの内部接続システムに
対して接続するに際しては、例えば電気導体のようなフ
レキシブル線材を使用することがしばしば要求される。
フレキシブル線材は、使用が困難であり、そして真空中
における脱ガス現象をもたらすという重大な欠点を有し
ている。脱ガス現象は、大きな問題であり、メンテナン
スなしでの作動寿命に悪影響をもたらし得るものであ
る。加えて、このようなフレキシブル線材は、装着後に
おいて、余剰部分（offsets） を有するというまたもや
問題を抱えており、そのような装置によってなされる測
定および検出を最適化させるという観点から重要な機能
を果たすとされている熱スクリーンおよび／または光ス
クリーンの固定に際して障害となってしまう。
【００１２】したがって、本発明の目的は、上記欠点を
克服し得るものであって、特に、電磁波を検出するため
の装置、さらに詳細には、赤外線を検出するための装置
を提供することにある。その際、特に、とりわけ内部ピ
ン間隔および直径が決められている所定のコネクタ幾何
形状および配列に対して、様々な寸法の要素、特にコネ
クタの実際寸法と比較してさえもそれより大きい寸法を
有する大型の要素を提供することにある。
克服し得るものであって、特に、電磁波を検出するため
の装置、さらに詳細には、赤外線を検出するための装置
を提供することにある。その際、特に、とりわけ内部ピ
ン間隔および直径が決められている所定のコネクタ幾何
形状および配列に対して、様々な寸法の要素、特にコネ
クタの実際寸法と比較してさえもそれより大きい寸法を
有する大型の要素を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の赤外線等の電磁
波の検出装置は、低温で作動する赤外線等の電磁波の検
出装置であって、低温源と熱交換を行うためのものであ
りかつ低温フィンガーを備えるクライオスタットと、低
温フィンガーに対して通常は直交して設けられかつ低温
フィンガーに機械的に固定されさらに低温フィンガーと
熱交換を行う冷却板と、検出されるべき電磁放射に対し
て敏感な少なくとも１つの検出回路本体および検出回路
に電気的に接続されている読出解析回路を備える検出ユ
ニットとを具備し、さらに、検出ユニットは、接続回路
上に機械的におよび熱交換可能に固定されており、接続
回路は、それ自身が冷却板に固定されて冷却板と検出ユ
ニットとの間の熱を伝達しているとともに、加えて、検
出ユニットによる電気信号出力を、クライオスタットの
内部接続システム、特に通常の方法により漏れのない状
態でクライオスタットから電気導体を引き出すためのコ
ネクタにおける内部接続システムへと伝達するようにし
た赤外線等の電磁波の検出装置において、冷却板には、
少なくとも１つの機械加工部分が設けられ、この機械加
工部分は、冷却板の端部間において、冷却板が低温フィ
ンガーの端部において所定位置にあるときには、低温フ
ィンガーの外側に開口している貫通スロットの領域内に
おける冷却板の中心に向けて延在する凹所を構成し、凹
所は、凹所内に挿入配置されかつ接着により固定された
リレー接続部材を収容し、リレー接続部材は、貫通スロ
ットを挿通している接続部材によりクライオスタットの
コネクタに対して電気的に接続されているとともに、リ
レー接続部材の自由端縁において、検出ユニットに接続
されている接続回路に対して電気的に接続されている。
波の検出装置は、低温で作動する赤外線等の電磁波の検
出装置であって、低温源と熱交換を行うためのものであ
りかつ低温フィンガーを備えるクライオスタットと、低
温フィンガーに対して通常は直交して設けられかつ低温
フィンガーに機械的に固定されさらに低温フィンガーと
熱交換を行う冷却板と、検出されるべき電磁放射に対し
て敏感な少なくとも１つの検出回路本体および検出回路
に電気的に接続されている読出解析回路を備える検出ユ
ニットとを具備し、さらに、検出ユニットは、接続回路
上に機械的におよび熱交換可能に固定されており、接続
回路は、それ自身が冷却板に固定されて冷却板と検出ユ
ニットとの間の熱を伝達しているとともに、加えて、検
出ユニットによる電気信号出力を、クライオスタットの
内部接続システム、特に通常の方法により漏れのない状
態でクライオスタットから電気導体を引き出すためのコ
ネクタにおける内部接続システムへと伝達するようにし
た赤外線等の電磁波の検出装置において、冷却板には、
少なくとも１つの機械加工部分が設けられ、この機械加
工部分は、冷却板の端部間において、冷却板が低温フィ
ンガーの端部において所定位置にあるときには、低温フ
ィンガーの外側に開口している貫通スロットの領域内に
おける冷却板の中心に向けて延在する凹所を構成し、凹
所は、凹所内に挿入配置されかつ接着により固定された
リレー接続部材を収容し、リレー接続部材は、貫通スロ
ットを挿通している接続部材によりクライオスタットの
コネクタに対して電気的に接続されているとともに、リ
レー接続部材の自由端縁において、検出ユニットに接続
されている接続回路に対して電気的に接続されている。
【００１４】言い換えれば、本発明の要点は、リレー用
として機能する付加的なリレー接続部材に対して適合す
るように機械加工された冷却板にある。このリレー接続
部材の寸法は、可変とされており、いかなる型式の検出
ユニットに対しても、結果的にいかなる型式の検出器に
対しても、冷却板を合わせることが可能とされる。実
際、このリレー接続部材は、冷却板に形成された機械加
工部分内に簡単に挿入され得るものであり、接着により
保持される。これにより、検出ユニットあるいはフォー
カル構造の実際寸法に応じて、異なる長さのリレー接続
部材を準備することができる。
として機能する付加的なリレー接続部材に対して適合す
るように機械加工された冷却板にある。このリレー接続
部材の寸法は、可変とされており、いかなる型式の検出
ユニットに対しても、結果的にいかなる型式の検出器に
対しても、冷却板を合わせることが可能とされる。実
際、このリレー接続部材は、冷却板に形成された機械加
工部分内に簡単に挿入され得るものであり、接着により
保持される。これにより、検出ユニットあるいはフォー
カル構造の実際寸法に応じて、異なる長さのリレー接続
部材を準備することができる。
【００１５】これらリレー接続部材は、リレー接続部材
の長さ全体にわたって延在していることにより冷却板の
中心から見て径方向に分散している金属化された導電ト
ラックを有するセラミクスからなることが有利である。
の長さ全体にわたって延在していることにより冷却板の
中心から見て径方向に分散している金属化された導電ト
ラックを有するセラミクスからなることが有利である。
【００１６】本発明が具体化される方法、および、その
結果としてもたらされる利点は、指摘により与えられる
とともに、いかなる言外の制限をも含まない以下の例示
としての実施形態において図面を参照して説明する。
結果としてもたらされる利点は、指摘により与えられる
とともに、いかなる言外の制限をも含まない以下の例示
としての実施形態において図面を参照して説明する。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１は、上述の如く、従来技術に
よる赤外線検出装置を示す斜視図である。図２は、本発
明による赤外線検出装置の一部を破断して概略的に示す
斜視図であって、検出ユニットが設けられている。図３
は、図２と同様の斜視図であって、本発明を明瞭に開示
するために、検出ユニットを取り除いて示している。図
４は、図２におけるＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。
よる赤外線検出装置を示す斜視図である。図２は、本発
明による赤外線検出装置の一部を破断して概略的に示す
斜視図であって、検出ユニットが設けられている。図３
は、図２と同様の斜視図であって、本発明を明瞭に開示
するために、検出ユニットを取り除いて示している。図
４は、図２におけるＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。
【００１８】図２、図３および図４には、本発明による
赤外線検出装置を示す。この赤外線検出装置は、まずク
ライオスタットを備えている。クライオスタットには、
二重の同軸の円筒状ケーシングが設けられており、すな
わち、外側ケーシングは、一般に、窓支持体１０として
利用され、内側ケーシングは、低温フィンガー１からな
るものである。窓には、図４において符号１１が付され
ている。低温源と直接的に接触している低温フィンガー
１は、例えば冷却板２により、気密に封止されている。
冷却板２は、典型的には、低温フィンガー１の上端に接
着により固定されたセラミクスプレートからなり、上面
側に適合しているフォーカル構造と熱交換を行ってい
る。
赤外線検出装置を示す。この赤外線検出装置は、まずク
ライオスタットを備えている。クライオスタットには、
二重の同軸の円筒状ケーシングが設けられており、すな
わち、外側ケーシングは、一般に、窓支持体１０として
利用され、内側ケーシングは、低温フィンガー１からな
るものである。窓には、図４において符号１１が付され
ている。低温源と直接的に接触している低温フィンガー
１は、例えば冷却板２により、気密に封止されている。
冷却板２は、典型的には、低温フィンガー１の上端に接
着により固定されたセラミクスプレートからなり、上面
側に適合しているフォーカル構造と熱交換を行ってい
る。
【００１９】このフォーカル構造は、一方においては、
検出回路本体４を備えている。検出回路本体４は、典型
的には読出回路３に対して、とりわけインジウムの微小
バンプにより、ハイブリッド化をなすよう接続された光
ダイオードの直線状配列あるいはマトリクスからなるも
のである。読出回路３は、それ自身が接続回路７に対し
て、通常、接着により、機械的にかつ熱交換可能に固定
されている。接続回路７は、絶縁性材料からなるもの
で、その上面、すなわち読出回路３が接触するようにな
ることを意図された面には、電気伝導をもたらし得る金
属トラックあるいは金属接触部が設けられている。
検出回路本体４を備えている。検出回路本体４は、典型
的には読出回路３に対して、とりわけインジウムの微小
バンプにより、ハイブリッド化をなすよう接続された光
ダイオードの直線状配列あるいはマトリクスからなるも
のである。読出回路３は、それ自身が接続回路７に対し
て、通常、接着により、機械的にかつ熱交換可能に固定
されている。接続回路７は、絶縁性材料からなるもの
で、その上面、すなわち読出回路３が接触するようにな
ることを意図された面には、電気伝導をもたらし得る金
属トラックあるいは金属接触部が設けられている。
【００２０】この接続回路７は、冷却板２に対して機械
的に固定されており、そして、冷却板２と熱交換を行っ
ている。接続回路７と冷却板２との固定は、従来と同様
に、接着により、例えばエポキシ系の接着により達成さ
れている。
的に固定されており、そして、冷却板２と熱交換を行っ
ている。接続回路７と冷却板２との固定は、従来と同様
に、接着により、例えばエポキシ系の接着により達成さ
れている。
【００２１】本発明の根本的な特徴点によると、冷却板
２は、凹所の形態とされた少なくとも１つの機械加工部
分を有している。本実施形態においては、この少なくと
も１つの機械加工部分として、互いに対称に配設された
２つの凹所１６が設けられている。凹所１６の各々は、
冷却板２の２つの対向する端縁のそれぞれを起点とし
て、冷却板２の中心に向けて延在しており、貫通スロッ
ト１５において終端している。貫通スロット１５の各々
は、低温フィンガー１の外側において開口している。す
なわち、貫通スロット１５の直径は、図４にも示すよう
に、低温フィンガー１の直径よりも大きい。
２は、凹所の形態とされた少なくとも１つの機械加工部
分を有している。本実施形態においては、この少なくと
も１つの機械加工部分として、互いに対称に配設された
２つの凹所１６が設けられている。凹所１６の各々は、
冷却板２の２つの対向する端縁のそれぞれを起点とし
て、冷却板２の中心に向けて延在しており、貫通スロッ
ト１５において終端している。貫通スロット１５の各々
は、低温フィンガー１の外側において開口している。す
なわち、貫通スロット１５の直径は、図４にも示すよう
に、低温フィンガー１の直径よりも大きい。
【００２２】これら凹所１６は、リレー接続部材１３を
収容することを意図したものである。リレー接続部材１
３は、凹所１６中に挿入され、接着により、例えばエポ
キシ系の接着により、機械的に固定されている。これら
リレー接続部材１３は、また、本発明の根本的な特徴点
をなすものである。
収容することを意図したものである。リレー接続部材１
３は、凹所１６中に挿入され、接着により、例えばエポ
キシ系の接着により、機械的に固定されている。これら
リレー接続部材１３は、また、本発明の根本的な特徴点
をなすものである。
【００２３】これらリレー接続部材１３は、絶縁性材料
から構成されている。例えば、長さ全体にわたって延在
している複数の金属化された導電性トラック１８を有す
るセラミクスから構成されている。
から構成されている。例えば、長さ全体にわたって延在
している複数の金属化された導電性トラック１８を有す
るセラミクスから構成されている。
【００２４】リレー接続部材１３の融通のききやすい性
質のために、使用される検出器の寸法あるいは型式に応
じて、検出器の寸法あるいは型式に合わせた１つあるい
はそれ以上のリレー接続部材１３を挿入して接着するこ
とにより、冷却板２自体を調整することができる。
質のために、使用される検出器の寸法あるいは型式に応
じて、検出器の寸法あるいは型式に合わせた１つあるい
はそれ以上のリレー接続部材１３を挿入して接着するこ
とにより、冷却板２自体を調整することができる。
【００２５】これらリレー接続部材１３は、電気伝導の
仲介役として機能するものであって、接続回路７に対し
て電気的に接続されている。とりわけ、接続は、端縁に
おいて、超音波によって溶着された直径２５μｍの金の
細線１２によりなされている。
仲介役として機能するものであって、接続回路７に対し
て電気的に接続されている。とりわけ、接続は、端縁に
おいて、超音波によって溶着された直径２５μｍの金の
細線１２によりなされている。
【００２６】加えて、リレー接続部材１３は、また、超
音波によって溶着された金の細線１４、例えば直径２５
μｍの金の細線により、コネクタ８に接続されている。
金の細線１４は、それらの内方側端部がリレー接続部材
１３に接続されており、貫通スロット１５を挿通して、
他端がコネクタユニット１９に接続されている。コネク
タユニット１９は、公知の方法により、コネクタ８に対
してかつコネクタ８の外部ピン９に対して直接的に接続
されているか、あるいは、外部ピン９と連結されている
かのどちらかである。
音波によって溶着された金の細線１４、例えば直径２５
μｍの金の細線により、コネクタ８に接続されている。
金の細線１４は、それらの内方側端部がリレー接続部材
１３に接続されており、貫通スロット１５を挿通して、
他端がコネクタユニット１９に接続されている。コネク
タユニット１９は、公知の方法により、コネクタ８に対
してかつコネクタ８の外部ピン９に対して直接的に接続
されているか、あるいは、外部ピン９と連結されている
かのどちらかである。
【００２７】リレー接続部材１３が冷却板２内に形成さ
れた凹所１６内に挿入されていること、また、凹所１６
の深さがリレー接続部材１３を構成しているセラミクス
の厚さよりも深いことにより、接続用細線のループ１４
は、冷却板２と接続回路７との間の境界をなす接着平面
を越えて外部に延在することはない。これにより、冷却
板２上へのフォーカル構造の搭載に対して、何ら障害と
はならない。実際、リレー接続部材１３をなすセラミク
スの上面は、冷却板２の上面よりも低い位置に位置して
いる。
れた凹所１６内に挿入されていること、また、凹所１６
の深さがリレー接続部材１３を構成しているセラミクス
の厚さよりも深いことにより、接続用細線のループ１４
は、冷却板２と接続回路７との間の境界をなす接着平面
を越えて外部に延在することはない。これにより、冷却
板２上へのフォーカル構造の搭載に対して、何ら障害と
はならない。実際、リレー接続部材１３をなすセラミク
スの上面は、冷却板２の上面よりも低い位置に位置して
いる。
【００２８】公知の方法においては、コネクタ８には、
接続ピン９が規則的に分散して配置されている。これに
より、コネクタユニット１９により、クライオスタット
外部の解析装置へ向けて、電気信号を出力することが可
能とされる。
接続ピン９が規則的に分散して配置されている。これに
より、コネクタユニット１９により、クライオスタット
外部の解析装置へ向けて、電気信号を出力することが可
能とされる。
【００２９】
【発明の効果】上記構成によれば、唯一のコネクタ製作
用テンプレートを使用する必要はなく、したがって、こ
のテンプレートを規格化する必要および統一化する必要
はない。実際、多数の検出器あるいはフォーカル構造に
対して、クライオスタットとコネクタとの組み合わせを
適合させるために、セラミクス製のリレー接続部材１３
の寸法を広範囲の中から選択する余地がある。
用テンプレートを使用する必要はなく、したがって、こ
のテンプレートを規格化する必要および統一化する必要
はない。実際、多数の検出器あるいはフォーカル構造に
対して、クライオスタットとコネクタとの組み合わせを
適合させるために、セラミクス製のリレー接続部材１３
の寸法を広範囲の中から選択する余地がある。
【００３０】加えて、本発明は、接続システムの単純な
構成のために、実施が容易なものである。よって、検出
装置の信頼性の最適化が得られている。
構成のために、実施が容易なものである。よって、検出
装置の信頼性の最適化が得られている。
【００３１】最後に、本発明によりコストを低減するこ
とができる。それは、一方においては、コネクタの規格
化、あるいはクライオスタットとコネクタとの組み合わ
せの規格化が達成されるからである。また、他方におい
ては、フレキシブル線材を使用した場合には、使用が困
難であることにより、相対的に脆弱であって周期的に交
換する必要があることにより、さらに装置全体の効率が
大きく落ちてしまうことにより、結果的に不経済性がも
たらされることが判明しているからである。
とができる。それは、一方においては、コネクタの規格
化、あるいはクライオスタットとコネクタとの組み合わ
せの規格化が達成されるからである。また、他方におい
ては、フレキシブル線材を使用した場合には、使用が困
難であることにより、相対的に脆弱であって周期的に交
換する必要があることにより、さらに装置全体の効率が
大きく落ちてしまうことにより、結果的に不経済性がも
たらされることが判明しているからである。
【図１】従来技術による赤外線検出装置を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明による赤外線検出装置の一部を破断して
概略的に示す斜視図であって、検出ユニットが設けられ
ている。
概略的に示す斜視図であって、検出ユニットが設けられ
ている。
【図３】図２と同様の斜視図であって、本発明を明瞭に
開示するために、検出ユニットを取り除いて示してい
る。
開示するために、検出ユニットを取り除いて示してい
る。
【図４】図２におけるＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である
１ 低温フィンガー ２ 冷却板 ３ 読出解析回路 ４ 検出回路 ７ 接続回路 ８ コネクタ １３ リレー接続部材 １４ 接続部材 １５ 貫通スロット １６ 凹所 １８ 導電トラック １９ コネクタ
Claims (3)
- 【請求項１】 低温で作動する赤外線等の電磁波の検出
装置であって、 低温源と熱交換を行うためのものでありかつ低温フィン
ガー（１）を備えるクライオスタットと、 前記低温フィンガー（１）に対して通常は直交して設け
られかつ前記低温フィンガー（１）に機械的に固定され
さらに前記低温フィンガー（１）と熱交換を行う冷却板
（２）と、 検出されるべき電磁放射に対して敏感な少なくとも１つ
の検出回路本体（４）および前記検出回路（４）に電気
的に接続されている読出解析回路（３）を備える検出ユ
ニットとを具備し、 さらに、前記検出ユニットは、接続回路（７）上に機械
的におよび熱交換可能に固定されており、 前記接続回路（７）は、それ自身が前記冷却板に固定さ
れて該冷却板（２）と検出ユニット（３、４）との間の
熱を伝達しているとともに、加えて、前記検出ユニット
（３、４）による電気信号出力を、前記クライオスタッ
トの内部接続システム、特に通常の方法により漏れのな
い状態で前記クライオスタットから電気導体を引き出す
ためのコネクタ（８、１９）における内部接続システム
へと伝達するようにした赤外線等の電磁波の検出装置に
おいて、 前記冷却板（２）には、少なくとも１つの機械加工部分
が設けられ、 該機械加工部分は、前記冷却板（２）の端部間におい
て、該冷却板（２）が前記低温フィンガー（１）の端部
において所定位置にあるときには、前記低温フィンガー
（１）の外側に開口している貫通スロット（１５）の領
域内における前記冷却板（２）の中心に向けて延在する
凹所（１６）を構成し、 前記凹所（１６）は、該凹所内に挿入配置されかつ接着
により固定されたリレー接続部材（１３）を収容し、 該リレー接続部材（１３）は、前記貫通スロット（１
５）を挿通している接続部材（１４）により前記クライ
オスタットの前記コネクタ（８、１９）に対して電気的
に接続されているとともに、前記リレー接続部材（１
３）の自由端縁において前記接続回路（７）に対して電
気的に接続されていることを特徴とする赤外線等の電磁
波の検出装置。 - 【請求項２】 前記リレー接続部材（１３）は、該リレ
ー接続部材（１３）の長さ全体にわたって延在している
ことにより前記冷却板の中心から見て径方向に分散して
いる金属化された導電トラック（１８）を有するセラミ
クスからなることを特徴とする請求項１記載の赤外線等
の電磁波の検出装置。 - 【請求項３】 前記凹所（１６）の深さは、前記リレー
接続部材（１３）の厚さよりも大きいことを特徴とする
請求項１または２記載の赤外線等の電磁波の検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9500861A FR2729757A1 (fr) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | Dispositif de detection d'ondes electromagnetiques, et notamment de rayonnements infra-rouges |
| FR9500861 | 1995-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08240480A true JPH08240480A (ja) | 1996-09-17 |
Family
ID=9475499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7339019A Withdrawn JPH08240480A (ja) | 1995-01-20 | 1995-12-26 | 赤外線等の電磁波の検出装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5619039A (ja) |
| EP (1) | EP0723142B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08240480A (ja) |
| DE (1) | DE69511521T2 (ja) |
| FR (1) | FR2729757A1 (ja) |
| NO (1) | NO960246L (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016541107A (ja) * | 2013-10-02 | 2016-12-28 | ソシエテ、フランセーズ、ド、デテクトゥル、ザンフラルージュ、ソフラディルＳｏｃｉｅｔｅ Ｆｒａｎｃａｉｓｅ Ｄｅ Ｄｅｔｅｃｔｅｕｒｓ Ｉｎｆｒａｒｏｕｇｅｓ Ｓｏｆｒａｄｉｒ | 低放射率を有するフレキシブルプリント回路 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2326029A (en) | 1997-06-03 | 1998-12-09 | Marconi Gec Ltd | Cryogenic electronic assembly with stripline connection and adjustment means |
| SG175565A1 (en) | 2006-09-29 | 2011-11-28 | Univ Florida | Method and apparatus for infrared detection and display |
| CN102906886B (zh) | 2010-05-24 | 2016-11-23 | 佛罗里达大学研究基金会公司 | 用于在红外上转换装置上提供电荷阻挡层的方法和设备 |
| AU2012275060A1 (en) | 2011-06-30 | 2014-01-30 | Nanoholdings, Llc | A method and apparatus for detecting infrared radiation with gain |
| EP2881995B1 (en) * | 2013-12-09 | 2020-07-15 | Oxford Instruments Technologies Oy | Semiconductor radiation detector with large active area, and method for its manufacture |
| CN107636431A (zh) | 2015-06-11 | 2018-01-26 | 佛罗里达大学研究基金会有限公司 | 单分散ir 吸收纳米颗粒以及相关方法和装置 |
| US11079281B2 (en) * | 2019-01-17 | 2021-08-03 | Uvia Group Llc | Cold stage actuation of optical elements including an optical light shield and a lenslet array connected to a cold finger |
| USD982759S1 (en) * | 2022-08-09 | 2023-04-04 | Beijing Choice Electronic Technology Co., Ltd. | Multi-parameter detector for medical use |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2629912B1 (fr) * | 1988-08-05 | 1992-01-10 | Detecteurs Infrarouges Ste Fse | Dispositif de detection infra-rouge fonctionnant a basse temperature |
| FR2646559B1 (fr) * | 1989-04-28 | 1991-07-05 | Commissariat Energie Atomique | Systeme de mesure constitue d'un circuit de detection d'un rayonnement, d'un circuit de lecture et d'un support tel qu'un doigt froid de cryostat |
| FR2651315B1 (fr) * | 1989-08-22 | 1991-11-15 | Detecteurs Infra Rouges Ste Fs | Dispositif de detection infra-rouge. |
| US5146303A (en) * | 1990-04-05 | 1992-09-08 | General Electric Company | Compact, thermally efficient focal plane array and testing and repair thereof |
| FR2669177B1 (fr) * | 1990-11-09 | 1992-12-31 | Sofradir Ste Fse Detecteurs In | Procede pour realiser l'assemblage reversible d'un circuit electronique de lecture et/ou d'exploitation et d'un support conducteur ou non de l'electricite. |
| US5349234A (en) * | 1992-05-29 | 1994-09-20 | Eastman Kodak Company | Package and method for assembly of infra-red imaging devices |
-
1995
- 1995-01-20 FR FR9500861A patent/FR2729757A1/fr active Granted
- 1995-12-15 US US08/573,394 patent/US5619039A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-19 EP EP95420364A patent/EP0723142B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-19 DE DE69511521T patent/DE69511521T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-26 JP JP7339019A patent/JPH08240480A/ja not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-01-19 NO NO960246A patent/NO960246L/no not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016541107A (ja) * | 2013-10-02 | 2016-12-28 | ソシエテ、フランセーズ、ド、デテクトゥル、ザンフラルージュ、ソフラディルＳｏｃｉｅｔｅ Ｆｒａｎｃａｉｓｅ Ｄｅ Ｄｅｔｅｃｔｅｕｒｓ Ｉｎｆｒａｒｏｕｇｅｓ Ｓｏｆｒａｄｉｒ | 低放射率を有するフレキシブルプリント回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NO960246L (no) | 1996-07-22 |
| EP0723142A1 (fr) | 1996-07-24 |
| EP0723142B1 (fr) | 1999-08-18 |
| DE69511521T2 (de) | 2000-03-30 |
| US5619039A (en) | 1997-04-08 |
| FR2729757A1 (fr) | 1996-07-26 |
| NO960246D0 (no) | 1996-01-19 |
| DE69511521D1 (de) | 1999-09-23 |
| FR2729757B1 (ja) | 1997-03-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030304 |