JPH08239277A - 立方晶窒化ホウ素複合セラミック工具とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】他の物質で均一に覆われたＣＢＮ粒子から強度
及び耐磨耗性に優れた工具材料を提供する。 【構成】次の工程を経ることを特徴とする。 （ａ）金属の酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物及びそ
れらの固溶体から選ばれる１種以上の微粒子を立方晶窒
化ホウ素粒子に物理的に固着させる工程。 （ｂ）上記微粒子の固着した立方晶窒化ホウ素粒子１〜
６０ｖｏｌ％と、残部が金属の酸化物、窒化物、炭化
物、炭窒化物及びホウ化物のうちから選ばれる１種以上
と混合する工程。 （ｃ）混合物を熱加圧成形する工程。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、立方晶窒化ホウ素複
合セラミック工具とその製造方法に関する。この発明の
工具は、普通鋳鉄、ダクタイル鋳鉄、高硬度材及び耐熱
合金の切削加工に好適に利用されうる。

【０００２】

【従来の技術】立方晶窒化ホウ素（以下、「ＣＢＮ」と
いう。）は、ダイヤモンドに次ぐ高硬度であって、高熱
伝導性及び高電気絶縁性を有し、しかも鉄族金属との親
和性の高いダイヤモンドと異なり鉄系金属との反応が少
ないことから、焼き入れ鋼、超硬合金等の高硬度材やニ
ッケル基合金、コバルト基合金等の耐熱合金を切削又は
研削する工具材料として利用されている。

【０００３】従来、この種の工具材料の製造方法として
は、ＣＢＮが脆性材料であり、しかも難焼結材料である
ため、ＣＢＮに金属（Ａｌ）をコーティングし、超高圧
焼結する方法（特開平３−２０５３６４号）、ＣＢＮに
炭窒酸化物をコーティングし、超高圧焼結する方法（特
開平５−５１２６７号）、ＣＢＮに金属（Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｗ，Ｃｒ）の窒化物もしくはホウ化物をコーティン
グし、これを４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化
物，酸化物等の結合相形成物質と混合し、熱間静水圧
（ＨＩＰ）もしくは熱間加圧（ＨＰ）で成形する方法
（特開平５−１６３０７１号）、ＣＢＮにＴｉ化合物の
第１層及びＡｌ化合物の第２層をコーティングし、これ
をＴｉ化合物及びＡｌ化合物のうち１種以上の結合相形
成物質と混合し、超高圧焼結する方法（特開平５−３１
０４７４号）等、ＣＢＮをコーティング後、加圧焼結す
る方法が採用されてきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の製造方法
は、いずれもＣＢＮに他の物質をコーティングする手段
が、化学気相析出（ＣＶＤ）法である。従って、コーテ
ィング材料が気相成長するため、膜生成速度が遅く、し
かも膜の核が、ＣＢＮ粒子の角部や粗面に優先的に生成
されるため、コーティング後に剥離が生じたり、膜の性
質が不均一となる。その結果、コーティング後のＣＢＮ
粒子を焼結して得られる工具は、強度や耐磨耗性に劣っ
ていた。

【０００５】本発明者は、ＣＢＮに如何にして均質な皮
膜又は粒子の囲いを形成するかについて種々の実験を試
みた。その結果、ＣＢＮ粒子をある厚みをもった層で覆
うのではなく、ある種の方法を用いて微粒子を物理的に
付着させたほうが、均一に被覆でき焼結性や特性の向上
が著しいことが判った。それ故、この発明の目的は、他
の物質で均一に覆われたＣＢＮ粒子から強度及び耐磨耗
性に優れた工具材料を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の立方晶窒化ホウ素複合セラミック工具
は、金属の酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物及びそれ
らの固溶体から選ばれる１種以上の微粒子もしくはそれ
らの非晶質膜によって被覆された硬質分散相としての立
方晶窒化ホウ素粒子１〜６０ｖｏｌ％と、かかる硬質分
散相を結合する母材としての残部が金属の酸化物、窒化
物、炭化物、炭窒化物及びホウ化物のうちから選ばれる
１種以上の結晶質相およびそれらの非晶質相とからな
り、これらが焼結によって結合していることを特徴とす
る。

【０００７】ここで、微粒子もしくはそれらの非晶質膜
の成分元素である金属としては、例えばＴｉ、Ｚｒ、Ｙ
及びＡｌのいずれか１種以上が挙げられる。従って、微
粒子もしくはそれらの非晶質膜としては、例えばＴｉ
Ｎ、ＺｒＯ₂、Ｙ₂Ｏ₃及びＡｌ₂Ｏ₃のいずれか１種以上
が挙げられる。

【０００８】また、母材の成分元素である金属として
は、例えばＴｉ、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｄｙ、Ｓｉ、Ｃｅ、Ｗ、
Ｙ及びＡｌのいずれか１種以上が挙げられる。従って、
母材としては、例えばＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、Ｚｒ
Ｏ₂、ＭｇＯ、Ｄｙ₂Ｏ₃、ＳｉＣ、Ｓｉ₃Ｎ₄、ＣｅＯ₂、
ＷＣ、Ｙ₂Ｏ₃及びＡｌ₂Ｏ₃のいずれか１種以上が挙げら
れる。

【０００９】この発明の立方晶窒化ホウ素複合セラミッ
ク工具を製造する適切な方法は、次の工程を経ることを
特徴とする。 （ａ）金属の酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物及びそ
れらの固溶体から選ばれる１種以上の微粒子を立方晶窒
化ホウ素粒子に物理的に固着させる工程。 （ｂ）上記微粒子の固着した立方晶窒化ホウ素粒子１〜
６０ｖｏｌ％と、これを結合する残部として金属の酸化
物、窒化物、炭化物、炭窒化物及びホウ化物のうちから
選ばれる１種以上とを混合する工程。 （ｃ）混合物を熱加圧成形する工程。

【００１０】ここで、物理的に固着させる典型的な手段
は、プラズマコートである。そのための装置は、例えば
円筒状のプラズマトーチ、その下端に連結された石英二
重管、さらにその下端に連結された冷却二重管及び最下
部に連結されたチャンバーからなる。プラズマトーチ
は、内側に石英管及び外側に冷却管が配置され、その中
間に高周波発振用コイルが配備され、上方にガス噴出
口、側面に微粒子原料供給口が設けられている。被覆さ
れる粒子（この発明ではＣＢＮ粒子）の供給口は、冷却
管の側面に設けられている。そして、ガス噴出口から、
アルゴン、窒素、酸素などの必要なガスを噴出させ、高
周波電源によってプラズマトーチの石英管内部にプラズ
マ焔を形成し、そこへ微粒子となる金属粉末又は金属化
合物粉末をアルゴンなどのキャリアガスとともに導入
し、粉末をプラズマ状態で冷却管に向かって落下させ
る。そして、冷却管の側面よりＣＢＮ粒子をアルゴンな
どのキャリアガスとともに導入すると、ＣＢＮ粒子の表
面に所定の微粒子が均一に固着する。

【００１１】熱加圧成形とは、例えば圧力２０００気圧
以下、温度１７００℃以下のＨＩＰ又は圧力２００ｋｇ
／ｃｍ²以上、温度１８００℃以下のホットプレスであ
る。

【００１２】

【作用】上記の製造方法によれば、微粒子（例えばＡｌ
₂Ｏ₃）となる原料粉体（Ａｌ粉又はＡｌ₂Ｏ₃粉）及びガ
ス（Ｏ₂とＡｒ）を熱プラズマ中に供給し化学反応によ
り所望のコーティング材料を微粒子として生成し、その
微粒子が凝集する前にＣＢＮ粒子を供給する。その結
果、ＣＢＮ粒子に平均粒径０．０１〜０．２μｍ程度の
微粒子が物理的に強く固着しており、ＣＢＮ粒子と結合
相形成物質（母材）とを複合化する場合の機械的混合過
程においても微粒子はＣＢＮより剥離しない。

【００１３】また、微粒子となる物質が、炭化物、窒化
物及び炭窒化物の場合は、それ自体は母材形成成分との
化学反応を起こさないが、母材形成成分との濡れ性がよ
いため焼結性を高め、それに伴う切削工具としての耐磨
耗性や耐欠損性等の切削性能を向上させる。この場合
は、ＣＢＮ粒子に固着した微粒子は、焼結後もそのまま
微粒子として存在する。一方、微粒子となる物質が、酸
化物の場合は、焼結過程において、母材形成成分や不可
避不純物と化学反応して非晶質膜を生成しながら、ＣＢ
Ｎ粒子とともに緻密化する。その結果として、上述の焼
結性や切削性能が改善される。いずれにしても焼結性及
び切削性能が向上する。従って、微粒子となる物質の選
択の仕方によっては、焼結後に微粒子と非晶質膜とをＣ
ＢＮ粒子表面に混在させることができるので、被切削物
に対応して要求される工具の性能を変えることができる
ことになる。

【００１４】ただし、微粒子を被覆したＣＢＮ粒子の含
有量が、１％未満では硬質分散相としての硬度、強度の
向上を期待できず、他方６０％を越えると安価な焼結法
であるＨＩＰ法やＨＰ法で緻密化し難く、本発明が対象
とする切削工具の性能を満足することができないので、
その含有量を１〜６０％に限定した。特に切削工具材料
として望ましい含有量の範囲は、１５〜４０％である。

【００１５】一方、母材の好ましい配合組成は、切削工
具の切削対象である被切削物によって異なる。普通鋳鉄
の仕上げ切削に対しては、金属酸化物６０ｖｏｌ％以上
と、残部窒化物、炭化物及び炭窒化物のうちから選ばれ
る１種以上とからなる配合組成の母材が好ましい。同じ
組成で、母材の平均粒子径が０．５〜２μｍ程度である
と高硬度材の仕上げ切削にも適する。

【００１６】ダクタイル鋳鉄の仕上げ切削に対しては、
金属の窒化物、炭化物及び炭窒化物のうちから選ばれる
１種以上５０ｖｏｌ％以上と、残部金属酸化物とからな
る配合組成の母材が好ましい。普通鋳鉄の粗切削に対し
ては、窒化ケイ素もしくはサイアロン８０ｖｏｌ％以上
と、残部金属酸化物とからなる配合組成の母材が好まし
い。

【００１７】耐熱合金の切削に対しては、酸化アルミニ
ウム７０ｖｏｌ％以上と、残部炭化珪素ウィスカー及び
金属酸化物のうちから選ばれる１種以上とからなる配合
組成の母材が好ましい。なお、母材中に炭化珪素ウィス
カーを含有させると、ＣＢＮ焼結体からなる切削工具の
耐磨耗性だけでなく靱性をさらに向上させることができ
るが、その場合に用いる炭化珪素ウィスカーの形状的分
布を直径０．２〜１．２μｍ、長さ５〜３０μｍにする
と、さらに好ましい切削性能が得られる。

【００１８】

【実施例】

−実施例１− この例は、この発明の工具を普通鋳鉄の仕上げ切削に適
用したものである。

【００１９】［微粒子の固着］まず、ＣＢＮに微粒子を
固着させる手段を示す。プラズマ焔が形成されたプラズ
マトーチに所定の比率の原料をキャリアガスとともに導
入し、高周波加熱してプラズマ状態の活性な微粒子を合
成する。その段階では、微粒子は、不活性ガス中に気流
となって存在している。そこへＣＢＮ粒子を導入してＣ
ＢＮ粒子表面に微粒子を物理的に固着させる。具体的な
原料及びキャリアガスは、以下の通りである。

【００２０】ＴｉＮ微粒子を固着させる場合：Ｔｉ微粉
末、Ｎ₂ガス、Ａｒガス又はＴｉＮ微粉末、Ａｒガス ＺｒＯ₂微粒子を固着させる場合：Ｚｒ微粉末、Ｏ₂ガ
ス、Ａｒガス又はＺｒＯ₂微粉末、Ａｒガス Ａｌ₂Ｏ₃微粒子を固着させる場合：Ａｌ微粉末、Ｏ₂ガ
ス、Ａｒガス又はＡｌ₂Ｏ₃微粉末、Ａｒガス Ｙ₂Ｏ₃微粒子を固着させる場合：Ｙ微粉末、Ｏ₂ガス、
Ａｒガス又はＹ₂Ｏ₃微粉末、Ａｒガス ［焼結体及び切削工具の製造］次に、種々の粒径の市販
のＣＢＮ粒子に上記の方法で微粒子を固着させ、それを
原料として焼結体及び切削工具を製造する方法を説明す
る。ＣＢＮ以外の他の成分原料は、平均粒径０．８μｍ
の酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）、平均粒径１．０μｍ
の窒化チタンＴｉＮ、平均粒径１．５μｍの炭化チタン
ＴｉＣ、平均粒径０．８μｍの酸化マグネシウムＭｇＯ
である。

【００２１】微粒子を固着したＣＢＮ粒子及び母材とな
る他の原料粉末を表１に示す所定の配合組成に秤量し、
エタノール及びアセトンの混合溶媒とともに樹脂製のポ
ットに入れて、ボールミリング混合した。混合物を減圧
乾燥し、ワックスを添加した後、噴霧乾燥機にて造粒し
た。造粒粉を所定形状に加圧成形し、脱脂後ガラスカプ
セル中に真空封入し、ＨＩＰ法で焼結した。

【００２２】得られた焼結体をＩＳＯ規格ＳＮＧＮ１２
０４０８の工具形状に研磨加工し、マイクロポア及び硬
度といった机上性能並びに切削性能を評価した。マイク
ロポアは、走査型電子顕微鏡にて観察し、ＡＮ（ＡＳＴ
Ｍ規格Ｂ２７６−７９によるポアのグレードを示す。
Ｎ：整数値）で表す。切削性能は、普通鋳鉄ＦＣ２００
の円筒の外径を切削速度Ｖ＝４００ｍ／ｍｉｎ．、送り
ｆ＝０．１ｍｍ／ｒｅｖ、切り込みｄ＝０．５ｍｍで乾
式連続切削し、逃げ面最大磨耗量が０．１５ｍｍに達す
るまでの時間を測定した。

【００２３】以上の結果を表１に示す。なお、表中、試
料Ｎｏ．に＊印を付した試料は、所定の請求項に属さな
いことを示す。机上性能のうち、Ａ欄はマイクロ・ホ゜アを、Ｂ
欄は硬度Ｈｖを示す。備考欄において、Ｔｙｐｅ１及び
Ｔｙｐｅ２は、前者がＣＢＮ表面に固着した微粒子が焼
結後も微粒子結晶として存在し、後者が母材形成成分や
不純物と反応して非晶質膜として存在する形態を示す。
以下の表２〜表５においても同様である。

【００２４】また、表中には配合組成のみを記載した
が、得られた焼結体に含まれる金属成分、酸素、窒素、
炭素をＥＰＭＡにて定量的に分析した。ＣＢＮ量につい
ては、ＳＥＭで組織観察すると同時に画像処理を行い体
積率を測定した。以上の定量分析結果により、表１の焼
結体の組成は、ほぼ配合組成通りであることを確認し
た。以下の表２〜表５においても同様である。

【００２５】

【表１】 試料Ｎｏ．１〜９及びＮｏ．１１，１２は、請求項６に
属するもので、机上性能及び切削性能ともに優れてい
た。これに対して、試料Ｎｏ．１０は、微粒子を固着し
ていないＣＢＮ粒子を原料としたので、若干切削性能に
劣っていた。また、Ｎｏ．１３は、ＣＢＮを含まないの
で、切削中にチッピングが発生した。Ｎｏ．１４は、被
覆したＣＢＮ粒子が過剰であったので、緻密化せず、切
削性能を評価することができなかった。

【００２６】−実施例２− この例は、この発明の工具をダクタイル鋳鉄の仕上げ切
削に適用したものである。実施例１と同じ方法で微粒子
を固着したＣＢＮ粒子と実施例１で用いた母材粉末の他
に、平均粒径１．２μｍの炭窒化チタンＴｉＣＮ及び平
均粒径１．２μｍの酸化ディスプロシウムＤｙ₂Ｏ₃を用
い、焼結法を実施例１のＨＩＰ法に代えてＨＰ法とした
以外は、実施例１と同様にして焼結体及び工具を製造し
た。そして、焼結体をＩＳＯ規格ＳＮＧＮ１２０４０８
の工具形状に研磨加工し、マイクロポア及び硬度といっ
た机上性能並びに切削性能を実施例１と同様に評価し
た。

【００２７】切削性能は、ダクタイル鋳鉄ＦＣ６００の
円筒の外径を切削速度Ｖ＝３００ｍ／ｍｉｎ．、送りｆ
＝０．２ｍｍ／ｒｅｖ、切り込みｄ＝０．５ｍｍで乾式
連続切削し、逃げ面最大磨耗量が０．１５ｍｍに達する
までの時間を測定した。以上の結果を表２に示す。

【００２８】

【表２】 試料Ｎｏ．１〜８のものは、請求項８に属するもので、
机上性能及び切削性能ともに優れていた。これに対し
て、試料Ｎｏ．９は、母材が本発明の範囲に属するもの
の、被覆したＣＢＮ粒子を含まないので、切削中にフレ
ーキングが発生した。

【００２９】−実施例３− この例は、この発明の工具を高硬度材の仕上げ切削に適
用したものである。実施例１と同じ方法で微粒子を固着
したＣＢＮ粉末と実施例１で用いた母材粉末の他に、平
均粒径１．２μｍの酸化ディスプロシウムＤｙ₂Ｏ₃を用
い、表３に示す配合組成の母材となるよう粉末を予めス
テンレスポット中で超硬とともに１２０時間湿式混合粉
砕し、平均粒径約０．８〜１．２μｍの混合粉末を得
た。なお、Ｎｏ．８，９の組成のものは、湿式混合粉砕
することなく、配合した。

【００３０】混合粉末と、実施例１と同じ方法で微粒子
を固着したＣＢＮ粒子とを表３の割合で配合し、実施例
１と同様に成形し焼成することによって、焼結体及び工
具を製造した。そして、焼結体をＩＳＯ規格ＳＮＧＮ１
２０４０８の工具形状に研磨加工し、マイクロポア及び
硬度といった机上性能並びに切削性能を実施例１と同様
に評価した。また、焼結体の母材の平均粒径を測定した
ところ、湿式混合粉砕を行ったものは、約１．０〜１．
５μｍであったのに対し、湿式混合粉砕を行わなかった
ものは、約２．０〜３．０μｍであった。

【００３１】切削性能は、高硬度材ＳＫＤ１１（ＨＲＣ
６０）の円筒の外径を切削速度Ｖ＝１２０ｍ／ｍｉ
ｎ．、送りｆ＝０．１２ｍｍ／ｒｅｖ、切り込みｄ＝
０．５ｍｍで乾式連続切削し、逃げ面最大磨耗量が０．
１５ｍｍに達するまでの時間を測定した。以上の結果を
表３に示す。

【００３２】

【表３】 試料Ｎｏ．１〜７のものは、請求項７に属するもので、
机上性能及び切削性能ともに優れていた。これに対し
て、試料Ｎｏ．８は、母材の平均粒径が２μｍを越えて
いたので、寿命が短かった。

【００３３】また、試料Ｎｏ．９は、ＣＢＮ粒子を含ま
ないので、切削中にチッピングが発生した。

【００３４】−実施例４− この例は、この発明の工具を普通鋳鉄の粗切削に適用し
たものである。実施例１と同じ方法で微粒子を固着した
ＣＢＮ粉末と実施例１で用いた母材粉末の他に、平均粒
径０．５μｍの酸化ジルコニウムＺｒＯ₂、平均粒径
１．０μｍの酸化ディスプロシウムＤｙ₂Ｏ₃、平均粒径
０．７μｍの窒化ケイ素Ｓｉ₃Ｎ₄、平均粒径０．８μｍ
の酸化セリウムＣｅＯ₂、平均粒径１．０μｍの酸化イ
ットリウムＹ₂Ｏ₃、平均粒径１．０μｍの炭化タングス
テンＷＣを用い、焼結法を実施例１のＨＩＰ法に代えて
ＨＰ法とした以外は、実施例１と同様にして焼結体及び
工具を製造した。そして、焼結体をＳＮＧＮ１２０４０
８形状に研磨加工し、マイクロポア及び硬度といった机
上性能並びに切削性能を実施例１と同様に評価した。

【００３５】切削性能は、普通鋳鉄ＦＣ２００の鋳砂の
付着した円筒の端面を切削速度Ｖ＝３００ｍ／ｍｉ
ｎ．、送りｆ＝０．３４ｍｍ／ｒｅｖ、切り込みｄ＝
１．５ｍｍで乾式連続切削し、逃げ面最大磨耗量を測定
した。以上の結果を表４に示す。

【００３６】

【表４】 試料Ｎｏ．１〜９のものは、請求項９に属するもので、
机上性能及び切削性能ともに優れていた。これに対し
て、試料Ｎｏ．１０は、用いたＣＢＮ粒子に所定の微粒
子が固着されていないので、十分に緻密化せず、磨耗量
が多かった。また、Ｎｏ．１１は、母材が本発明の範囲
に属するものの、ＣＢＮ粒子を含まないので、硬度が低
く、磨耗量が多かった。

【００３７】−実施例５− この例は、この発明の工具を耐熱合金の切削に適用した
ものである。実施例１と同じ方法で微粒子を固着したＣ
ＢＮ粒子と実施例１で用いた粉末の他に、平均直径０．
５μｍ、平均長さ２５μｍの炭化ケイ素ウィスカー及び
平均粒径１．２μｍの酸化ディスプロシウムＤｙ₂Ｏ₃を
用い、焼結法を実施例１のＨＩＰ法に代えてＨＰ法とし
た以外は、実施例１と同様にして焼結体及び工具を製造
した。そして、焼結体をＳＮＧＮ１２０４０８形状に研
磨加工し、マイクロポア及び硬度といった机上性能並び
に切削性能を実施例１と同様に評価した。

【００３８】切削性能は、耐熱合金ＩＮＣＯＮＥＬ７１
８の円筒の外径を切削速度Ｖ＝３００ｍ／ｍｉｎ．、送
りｆ＝０．２ｍｍ／ｒｅｖ、切り込みｄ＝０．５ｍｍで
乾式連続切削し、刃先にフレーキングやチッピングが発
生するまでの時間を測定した。以上の結果を表５に示
す。

【００３９】

【表５】 試料Ｎｏ．１〜５のものは、請求項１０に属するもの
で、机上性能及び切削性能ともに優れていた。これに対
して、試料Ｎｏ．６は、母材が本発明の範囲に属するも
のの、ＣＢＮ粒子を含まないので、短時間でチッピング
が発生した。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、この発明の切削工具は、
高硬度であり、かつ種々の被切削物の切削において切削
寿命が長く、そのうえ耐磨耗性や耐欠損性等の切削性能
に優れる。また、この発明の製造方法によれば、ＣＢＮ
の焼結性を改善できるので、安価に切削工具を提供で
き、産業上極めて有用である。

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属の酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化
   物及びそれらの固溶体から選ばれる１種以上の微粒子も
   しくはそれらの非晶質膜によって被覆された硬質分散相
   としての立方晶窒化ホウ素粒子１〜６０ｖｏｌ％と、母
   材としての残部が金属の酸化物、窒化物、炭化物、炭窒
   化物及びホウ化物のうちから選ばれる１種以上の結晶質
   相およびそれらの非晶質相とからなり、これらが焼結に
   よって結合されていることを特徴とする立方晶窒化ホウ
   素複合セラミック工具。
2. 【請求項２】 微粒子もしくはそれらの非晶質膜の成分
   元素である金属が、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｙ及びＡｌのいずれか
   １種以上である請求項１に記載の立方晶窒化ホウ素複合
   セラミック工具。
3. 【請求項３】 微粒子もしくはそれらの非晶質膜の成分
   が、ＴｉＮ、ＺｒＯ₂、Ｙ₂Ｏ₃及びＡｌ₂Ｏ₃のいずれか
   １種以上である請求項１に記載の立方晶窒化ホウ素複合
   セラミック工具。
4. 【請求項４】 母材の成分元素である金属が、Ｔｉ、Ｚ
   ｒ、Ｍｇ、Ｄｙ、Ｓｉ、Ｃｅ、Ｗ、Ｙ及びＡｌのいずれ
   か１種以上である請求項１に記載の立方晶窒化ホウ素複
   合セラミック工具。
5. 【請求項５】 母材が、ＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、Ｚ
   ｒＯ₂、ＭｇＯ、Ｄｙ₂Ｏ₃、ＳｉＣ、Ｓｉ₃Ｎ₄、Ｃｅ
   Ｏ₂、ＷＣ、Ｙ₂Ｏ₃及びＡｌ₂Ｏ₃のいずれか１種以上で
   ある請求項１に記載の立方晶窒化ホウ素複合セラミック
   工具。
6. 【請求項６】 母材が、金属酸化物６０ｖｏｌ％以上
   と、残部窒化物、炭化物及び炭窒化物のうちから選ばれ
   る１種以上とからなる請求項１に記載の立方晶窒化ホウ
   素複合セラミック工具。
7. 【請求項７】 母材が、金属の窒化物、炭化物及び炭窒
   化物のうちから選ばれる１種以上５０ｖｏｌ％以上と、
   残部金属酸化物とからなる請求項１に記載の立方晶窒化
   ホウ素複合セラミック工具。
8. 【請求項８】 母材の平均粒子径が０．５μｍ以上２μ
   ｍ以下である請求項１〜７のいずれかに記載の立方晶窒
   化ホウ素複合セラミック工具。
9. 【請求項９】 母材が、窒化ケイ素もしくはサイアロン
   ８０ｖｏｌ％以上と、残部金属酸化物とからなる請求項
   １に記載の立方晶窒化ホウ素複合セラミック工具。
10. 【請求項１０】 母材が、酸化アルミニウム７０ｖｏｌ
    ％以上と、残部炭化珪素ウィスカー及び金属酸化物のう
    ちから選ばれる１種以上とからなる請求項１に記載の立
    方晶窒化ホウ素複合セラミック工具。
11. 【請求項１１】 次の工程を経ることを特徴とする立方
    晶窒化ホウ素複合セラミック工具の製造方法。 （ａ）金属の酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物及びそ
    れらの固溶体から選ばれる１種以上の微粒子を立方晶窒
    化ホウ素粒子に物理的に固着させる工程。 （ｂ）上記微粒子の固着した立方晶窒化ホウ素粒子１〜
    ６０ｖｏｌ％と、残部が金属の酸化物、窒化物、炭化
    物、炭窒化物及びホウ化物のうちから選ばれる１種以上
    と混合する工程。 （ｃ）混合物を熱加圧成形する工程。
12. 【請求項１２】 物理的に固着させる手段が、プラズマ
    コートである請求項１１に記載の立方晶窒化ホウ素複合
    セラミック工具の製造方法。
13. 【請求項１３】 熱加圧成形が、圧力２０００気圧以
    下、温度１９００℃以下のＨＩＰである請求項１１に記
    載の立方晶窒化ホウ素複合セラミック工具の製造方法。
14. 【請求項１４】 熱加圧成形が、圧力２００ｋｇ／ｃｍ
    ²以上１０００ｋｇ／ｃｍ²以下で、温度１９００℃以下
    のホットプレスである請求項１１に記載の立方晶窒化ホ
    ウ素複合セラミック工具の製造方法。