JPH08238778A - インク噴射装置の電極形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 生産性の高いインク噴射装置の電極形成方法
を提供すること。 【構成】 複数の圧電セラミックスプレート１０２を治
具５０ａに設置した後、前記治具５０ａを蒸着装置内に
固定するための治具５２ａに角度αを持つように設置す
る。治具５０ａの内面には、圧電セラミックスプレート
１０２に角度βを持たせるように保持部５１ａ，５３ａ
が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置の電極
形成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されているせん断モード型である。

【０００５】図８に示すように、上記せん断モード型の
インク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及び
その間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５とからなっている。アクチュエータ
壁６０３は一対となってその間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。

【０００６】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９，６２１が
金属化層として設けられている。各電極６１９，６２１
はインクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われ
ている。そして、空間６１５に面している電極６１９，
６２１はアース６２３に接続され、インク流路６１３内
に設けられている電極６１９，６２１は、アクチュエー
タ駆動回路を与えるシリコン・チップ６２５に接続され
ている。

【０００７】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁６０２に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０
５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等によって
形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成する。そ
して、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に電極６１
９を形成し、その電極６１９上に前記絶縁層を設ける。
同様にして上部壁６０５の側面に、電極６２１および前
記絶縁層を設ける。

【０００８】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が穿孔されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、インク流路６１３及び空間６１５の一端
に接着し、インク流路６１３と空間６１５との他端をシ
リコン・チップ６２５とアース６２３とに接続する。

【０００９】そして、各インク流路６１３の電極６１
９，６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【００１０】しかしながら、上述した構成のインク噴射
装置６００では、空間６１５に面している電極６１９，
６２１はアース６２３に接続され、インク流路６１３内
に設けられている電極６１９，６２１は、アクチュエー
タ駆動回路を与えるシリコン・チップ６２５に接続され
ているので、各インク流路６１３内の電極６１９，６２
１に電圧を印加してインクを噴射している。このため、
インク流路６１３内の電極６１９、６２１は、インクと
絶縁するための前記絶縁層で被覆しなければならない。
これは、前記絶縁層がないと、導電性の高いインクであ
ると、短絡する可能性があり、導電性がそれぼど高いく
ないインクであっても電気的、化学的な腐食により、電
極６１９，６２１が劣化されて、アクチュエータ壁６０
３の変形が十分に行われなくなり、印字品質が悪くなる
といった問題があった。従って、インクと電極６１９，
６２１とを絶縁するための前記絶縁層が必要となり、そ
のための設備、工程が必要で、生産性が下がり、コスト
が上がるといった問題があった。

【００１１】以上の問題を解決するために、本出願人は
特願平５−２８２３６９号にてインク噴射装置の駆動方
法の発明を提案した。この発明に開示されている駆動方
法を用いたインク噴射装置は、インクが噴射される複数
の噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設け
られ、インクが噴射されない複数の非噴射チャンネル
と、前記噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔
て、分極された圧電セラミックスで少なくとも一部が形
成された隔壁と、前記隔壁に形成され、電圧の印加によ
って前記圧電セラミックス部に駆動電界を発生するため
の駆動電極とを有するインク噴射装置であって、前記噴
射チャンネル内の前記駆動電極を接地し、前記非噴射チ
ャンネルの駆動電極に電圧を印加するようになってい
る。従って、この発明の駆動方法を用いたインク噴射装
置では非噴射チャンネル内の駆動電極にはインクが接す
ることがなく、インクと電極との絶縁が不要となり、前
記問題が解決することとなった。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置の電極を形成する場合におい
て、圧電セラミックスプレート上にチャンネルとなる複
数の溝と前記溝に連通するスリットを形成した後に、斜
め上方よりの蒸着等により駆動電極およびリード線電極
を形成するわけであるが、この電極形成のためには、少
なくとも４方向からの蒸着を必要とする。よって、イン
ク噴射装置の設置角度を適宜変更しながら蒸着を行なわ
ねばならない。従来では、１個ずつ圧電セラミックプレ
ートを蒸着装置内に固定して電極形成を行ない、１個ず
つインク噴射装置を生産していた。とりわけ、多数のイ
ンク噴射装置の電極形成を行う場合においては、インク
噴射装置を蒸着装置内に設置すること及び設置角度の変
更に、多くの時間と手間を要してしまい、その結果とし
て生産性が低いという問題があった。

【００１３】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、インク噴射装置を蒸着装置内に
設置する方法が簡便であり、その結果として、生産性の
高いインク噴射装置の電極形成方法を提供することを目
的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインク噴射装置の電極形成方法では、インク
を噴射する複数の噴射チャンネルの少なくとも一部を構
成し、且つ分極された圧電材料で少なくとも一部が構成
された隔壁とを有するアクチュエータに、前記圧電材料
に駆動電界を発生させるための駆動電極を形成する手法
であって、複数のアクチュエータを治具に固定して１つ
の単位とし、その状態にて蒸着を行うことにより駆動電
極を形成する。

【００１５】尚、前記複数のアクチュエータは、前記蒸
着の方向に対して各々が所定の角度に傾斜した状態で、
前記治具に固定されてもよい。

【００１６】尚、一回の蒸着により、少なくとも２つの
面へ同時に駆動電極の形成を行なってもよい。

【００１７】尚、前記治具は、複数のアクチュエータを
第１の方向において所定の角度で保持可能な第１の治具
と、前記第１の治具を第２の方向において所定の角度で
保持可能な第２の治具とから構成され、蒸着方向に対し
て前記アクチュエータが２つの角度を有する状態で蒸着
を行なってもよい。

【００１８】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るイ
ンク噴射装置の電極形成方法では、複数のアクチュエー
タを１つの単位として固定した状態にて、蒸着装置内に
設置するために、扱う単位数を大幅に減少させることが
できる。

【００１９】また、請求項２に係るインク噴射装置の電
極形成方法では、複数のアクチュエータを１つの単位と
して固定する治具に、アクチュエータが所定の角度を持
つように傾斜させて設置するために、蒸着装置内の被蒸
着物の固定治具を簡単な形状にすることができる。ま
た、各チャンネル内には、側壁のシャドー効果を利用し
て必要な領域だけに駆動電極が形成される。

【００２０】請求項３に係るインク噴射装置の電極形成
方法では、一回の蒸着により、少なくとも２つの面へ同
時に駆動電極の形成を行なう。よって、作業効率が向上
する。

【００２１】請求項４に係るインク噴射装置の電極形成
方法では、複数のアクチュエータを第１の方向において
所定の角度で保持可能な第１の治具と、前記第１の治具
を第２の方向において所定の角度で保持可能な第２の治
具とから治具は構成され、２つの治具により設定された
２つの角度を持って、アクチュエータに駆動電極が蒸着
される。

【００２２】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。まず、インク噴射装置の構成と製造
方法について説明する。

【００２３】図１に示すように、インク噴射装置１００
は、圧電セラミックスプレート１０２と、カバープレー
ト２０と、ノズルプレート２１と、ノズルプレート２１
の接着される端面１０２ａと反対側の面１０２ｂに接続
されるマニホールド部材（図示しない）とから構成され
る。

【００２４】最初の工程として、チタン酸ジルコン酸鉛
系（ＰＺＴ）等のセラミックス材料で形成されている前
記圧電セラミックスプレート１０２は、ダイヤモンドブ
レード等による切削加工により、複数の溝１０３が形成
される。前記溝１０３の側面となる隔壁１０６は矢印５
の方向に分極されている。複数の溝１０３は同じ深さで
あり、かつ平行であり、圧電セラミックスプレート１０
２の対向する端面１０２ａ，１０２ｂに開口して加工さ
れる。従って、溝１０３の加工は直線的な加工となる。
尚、溝１０３の長さは従来のチャンネル溝の長さとほぼ
同じである。

【００２５】次の工程として、溝１０３を形成した時に
使用したものより幅の広いダイヤモンドブレード等によ
る直線的な切削加工により、圧電セラミックスプレート
１０２の端面１０２ａに、非噴射チャンネルとなる溝１
０３ａに連通するように、溝１０３の幅より大きな幅を
持つスリット１１１ａが１つ置きに形成される。また同
様に、圧電セラミックスプレート１０２の端面１０２ｂ
には、溝１０３より大きな幅を持つスリット１１１ｂ
が、噴射チャンネルとなる溝１０３ｂに連通するように
１つ置きに形成される。スリット１１１ａ，１１１ｂは
交互に形成され、スリット１１１ａとスリット１１１ｂ
とは、隣合う溝１０３に形成される。また、最外端の溝
１０３にはスリット１１１ａが設けられる。

【００２６】次に、圧電セラミックプレート１０２の溝
１０３が加工されている側に対して反対側の面１０２ｃ
には、図２に示すパターン１２４，１２５を形成するた
めのマスキングが行なわれる。そして、圧電セラミック
スプレート１０２に対して斜め上方の位置に配置された
蒸発源（図示せず）から導電性の材料、好ましくは純度
９９．９％以上のニッケル、アルミニウム等の金属を蒸
着させることにより、駆動電極１０８、噴射チャンネル
リード線電極１０９、非噴射チャンネルリード線電極１
１０が形成される。

【００２７】この電極形成のための蒸着について詳細に
説明する。圧電セラミックスプレート１０２は治具に固
定されて、矢印１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０
ｄの４方向から蒸着がなされる。

【００２８】蒸着時に用いられる治具は、複数の圧電セ
ラミックスプレート１０２を第１の方向において所定角
度で保持可能な治具５０ａと、治具５０ａを第２の方向
において所定角度で保持可能な治具５２ａとから構成さ
れている。治具５０ａは底の無い箱状の筒体であり、一
方の治具５２ａは中央に、前記治具５０ａを保持するた
めの貫通した孔部を有している。

【００２９】複数の圧電セラミックスプレート１０２
を、図３に示すように、複数の溝１０３が形成された端
面１０２ｄを下面にし、且つ端面１０２ａが端面１０２
ｂより下方に位置するように、治具５０ａに各々設置し
た後、前記治具５０ａを蒸着装置内に固定するための治
具５２ａに、蒸発源（図示しない）の鉛直線に垂直な面
に対して角度αを持つように設置する。これで、矢印１
３０ａの方向から圧電セラミックスプレート１０２に蒸
着を行なうことができる。尚、治具５０ａの内面には、
圧電セラミックスプレート１０２に角度βを持たせるた
めの保持部５１ａ，５３ａが設けられており、圧電セラ
ミックスプレート１０２は、その端部を前記保持部５１
ａ，５３ａで挟みつけられるようにして保持される。

【００３０】角度αとβは駆動電極１０８とリード線電
極１０９，１１０とを同時に形成するために必要な２つ
の角度であり、圧電セラミックスプレート１０２の溝１
０３及びスリット１１１の形状、形成する駆動電極１０
８及びリード線電極１１０の幅により決定される値であ
る。具体的な数値を用いて説明すると、圧電セラミック
スプレート１０２の溝１０３の幅が８０μｍ、深さが４
４０μｍ、スリット１１１ａの幅が１００μｍの場合
に、溝１０３の２分の１の深さまで駆動電極１０８ａを
作製し、且つリード線電極１１０ａを２５０μｍの幅で
作製するためには、角度αは１５度、角度βは４２度と
なる。

【００３１】図３に示すように、治具５０ａ，５２ａを
組み合わせて、矢印１３０ａの方向から蒸着されるよう
にすると、隔壁１０６のシャドー効果により図２中溝１
０３の右側側面（図１では溝１０３の左側側面）に駆動
電極１０８ａ，１０８ｃが形成されると共に、スリット
１１１ａの側壁のシャドー効果によりスリット１１１ａ
の図２中左側側面（図１では左側側面）に非噴射チャン
ネルリード線電極１１０ａが形成される。溝１０３ａの
左側側面の駆動電極１０８ａと非噴射チャンネルリード
線電極１１０ａとは電気的に接続されている。

【００３２】次に、矢印１３０ｂからの蒸着を行なう。
ここで、溝１０３、スリット１１１は左右対称であるた
めに、蒸着方向１３０ａ，１３０ｂは溝１０３に平行な
面で対称である。よって、矢印１３０ａと矢印１３０ｂ
からの蒸着は、図３および図４に示すように、溝１０３
を対称に角度αを持たせるように冶具５０ａを１８０度
回転させることにより、蒸着方向を１３０ａから１３０
ｂへの変更が可能となる。従って、圧電セラミックスプ
レート１０２を個々に設置しなおすことなく、１つの治
具５０ａに多数の圧電セラミックスプレート１０２を設
置した状態のままで、治具５０ａの治具５２ａへの設置
方向を変えることにより、複数の圧電セラミックスプレ
ート１０２の蒸着方向を一度に変えることができ、蒸着
方向、すなわち蒸着角度を変える時の手間を大幅に軽減
できる。

【００３３】図４に示すように治具５０ａ，５２ａを組
み合わせて、矢印１３０ｂの方向から蒸着されるように
すると、隔壁１０６のシャドー効果により図２中溝１０
３の左側側面（図１では溝１０３の右側側面）に駆動電
極１０８ｂ，１０８ｄ等が形成されると共に、スリット
１１１ａの側壁のシャドー効果によりスリット１１１ａ
の図２中左側側面（図１では右側側面）に非噴射チャン
ネルリード線電極１１０ｂが形成される。溝１０３ａの
駆動電極１０８ｂと非噴射チャンネルリード線電極１１
０ｂとは電気的に接続されている。

【００３４】次に、矢印１３０ｃおよび１３０ｄの方向
からの蒸着を行う。前記した矢印１３０ａ，１３０ｂか
らの蒸着と同様な治具を用意し、図５、図６に示すよう
に、保持部５１ｂ，５３ｂが設けられている治具５０ｂ
に、各圧電セラミックスプレート１０２を、端面１０２
ｃを下面にし、且つ端面１０２ｂが端面１０２ａより上
方に位置するようにすると共に、角度γを持つように設
置する。そして、蒸着装置内に固定するための治具５２
ｂに治具５０ｂが角度δを持つように設置する。その
後、矢印１３０ｃおよび矢印１３０ｄの方向からの蒸着
を行なうことにより、スリット１１１ｂの側壁のシャド
ー効果によりスリット１１１ｂの内面に噴射チャンネル
リード線電極１０９が形成されると共に、端面１０２ｃ
にパターン１２４，１２５が形成される。

【００３５】噴射チャンネルリード線電極１０９は、ス
リット１１１ｂの側面とスリット１１ｂの底面の一部と
スリット１１１ｂに連通する溝１０３ｂ内の一部とに形
成される。この溝１０３ｂ内の一部に形成された部分を
溝内リード線電極１２０とする。この溝内リード線電極
１２０によって、噴射チャンネルリード線電極１０９が
溝１０３ｂの駆動電極１０８と確実に電気的に接続され
る。尚、このような噴射チャンネルリード線電極１０９
が形成されるように蒸着方向である矢印１３０ｃ及び矢
印１３０ｄを決定する。具体的な数値を用いて説明する
と、圧電セラミックスプレート１０２のスリット１１１
ｂの幅が１００μｍ、深さ２２０μｍの場合には、角度
δは１５度、角度γは７５度とすればよい。また、蒸着
方向を１３０ｃから１３０ｄに変更する時には、前記し
た蒸着方向１３０ａから１３０ｂの変更と同様に、冶具
５０ｂを１８０度回転すればよい。

【００３６】また、変形例として、前記治具５２ｂに代
えて、２方向に所定の角度を有する治具５２ｃを用いて
矢印１３０ｃ，１３０ｄからの蒸着を行なってもよい。
図７に示すように、蒸着装置内に固定するための治具５
２ｃに角度δと共に、γ＝β＋ζとなるような角度ζを
更に持たせることにより、圧電セラミックスプレート１
０２を治具５０ａに固定したままで、図５に示す角度γ
で設置することが可能となる（矢印１３０ｃからの蒸着
の場合）。その結果、蒸着方向１０３ｃ，１０３ｄから
の蒸着を行う際に、改めて圧電セラミックス１０２の設
置しなおす手間を少なくすることができる。本実施例に
おいては、ζ＝β−γより角度ζを３３度に設定した。
尚、矢印１３０ｄからの蒸着は、治具５２ｃの表裏を反
転させて使用することにより行なうことができる。

【００３７】尚、上述した蒸着工程では、圧電セラミッ
クスプレート１０２の端面１０２ａ及び１０２ｂ（図
１）には、蒸着による導電性膜が形成されないように樹
脂等でマスクしておくか、あるいは蒸着による電極形成
後に、端面１０２ａ，１０２ｂに付着した蒸着材料を研
削等により除去することにより、隣合う各チャンネルの
駆動電極が電気的に接続されないようにする。同様に、
隔壁１０６の上面にも、蒸着材料が付着しないように、
予めマスクを行なっておくか、蒸着後に研削等により上
面に付着した蒸着材料を除去する。

【００３８】この蒸着工程で、図１に示すように、駆動
電極１０８はすべての溝１０３の両側面の上半分の領域
に形成され、噴射チャンネルリード線電極１０９は、ス
リット１１１ｂが形成されている端面１０２ｂ側の溝１
０３の側面の一部と、スリット１１１ｂの側面及び底面
の一部に形成され、非噴射チャンネルリード線電極１１
０はスリット１１１ａの側面の一部に形成される。尚、
非噴射チャンネル内駆動電極１０８ａ、１０８ｂと非噴
射チャンネルリード線電極１１０ａ、１１０ｂとは電気
的に接続され、噴射チャンネル内駆動電極１０８ｃ、１
０８ｄと噴射チャンネルリード線電極１０９とはそれぞ
れ電気的に接続される。

【００３９】次に、図２に圧電セラミックスプレート１
０２の溝１０３が形成されている面と対向する面１０２
ｃについて説明する。１３０ｃ，１３０ｄの方向からの
蒸着によりパターン１２４，１２５が形成されるが、パ
ターン１２４は、スリット１１１ａの側面より非噴射チ
ャンネルリード線電極１１０ａ、１１０ｂを通して、駆
動電極１０８ａ，１０８ｂに連通されており、従って、
駆動電極１０８ａ，１０８ｂとパターン１２４は電気的
に接続されている。また、パターン１２５は噴射チャン
ネルのリード線電極１０９を通して駆動電極１０８ｃ，
１０８ｄに電気的に接続される。

【００４０】以上説明したことから明かなように、本発
明の一実施例であるインク噴射装置の電極形成方法によ
れば、複数のインク噴射装置となる圧電セラミックスプ
レート１０２を治具５０ａ，５０ｂに固定した状態に
し、これを１つの単位として蒸着装置内に設置するため
に、取り扱う数を大幅に減少させることができる。従っ
て、電極形成のための蒸着をアクチュエータに行う際に
は、蒸着方向すなわち蒸着角度を個々に変更する手間を
大幅に減少させる。

【００４１】尚、上記電極形成のための蒸着工程におい
て圧電セラミックスプレート１０２の所定箇所にマスク
処理を行なっていた場合には、電極形成後にそのマスク
キング剤を剥す処理（洗浄工程及び乾燥工程）が必要と
なるが、その処理工程についても前記治具５０ａ，５０
ｂに複数の圧電セラミックスプレート１０２を固定した
状態でまとめて行なうことができる。

【００４２】また、上記電極の蒸着工程の後に加えて、
蒸着により形成された各電極の導電性を向上させるため
に電解メッキを行なってもよい。その電解メッキ工程に
ついても、前記治具５０ａ，５０ｂに複数の圧電セラミ
ックスプレート１０２を固定した状態でまとめてメッキ
処理を行なうことが可能である。

【００４３】また、上記電極の蒸着工程の前に、圧電セ
ラミックスプレート１０２の溝１０３及びスリット１１
１ａ，１１１ｂを形成する切削加工において生ずるゴミ
を清掃するために、一般に洗浄工程及び乾燥工程が行な
われるが、この処理工程についても、前記治具５０ａ，
５０ｂに複数の圧電セラミックスプレート１０２を固定
した状態でまとめて処理を行なってもよい。

【００４４】上述したように圧電セラミックスプレート
１０２は加工され、カバープレート２０、ノズルプレー
ト２１、マニホールド（図示しない）が接着された後、
圧電セラミックスプレート１０２の面１０２ｃに形成さ
れたパターン１２４，１２５が図示しないフレキシブル
プリント基板の配線パターンと接続される。そのフレキ
シブルプリント基板の配線パターンは、制御部に接続さ
れたリジット基板（図示しない）に接続されて、インク
噴射装置となる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のインク噴射装置の電極形成方法によれば、複数の
インク噴射装置となるアクチュエータを１つの単位とし
て固定した状態にて、蒸着装置内に設置するために、取
り扱う数を大幅に減少させることができる。従って、電
極形成のための蒸着をアクチュエータに行う際には、蒸
着方向すなわち蒸着角度を変更する手間を大幅に減少さ
せる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるインク噴射装置を示す
斜視図である。

【図２】本発明の一実施例であるインク噴射装置を示す
斜視図である。

【図３】本発明の一実施例であるインク噴射装置の電極
形成方法を示す説明図である。

【図４】本発明の一実施例であるインク噴射装置の電極
形成方法を示す説明図である。

【図５】本発明の一実施例であるインク噴射装置の電極
形成方法を示す説明図である。

【図６】本発明の一実施例であるインク噴射装置の電極
形成方法を示す説明図である。

【図７】本発明の一実施例であるインク噴射装置の電極
形成方法を示す説明図である。

【図８】従来例のインク噴射装置を示す説明図である。

【符号の説明】

５０ 冶具 ５１ 保持部 ５２ 蒸着装置内に固定する冶具 １００ インク噴射装置 １０２ 圧電セラミックスプレート １０３ 溝 １０６ 隔壁 １０８ 駆動電極 １０９ 噴射チャンネルリード線電極 １１０ 非噴射チャンネルリード線電極 １１１ スリット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを噴射する複数の噴射チャンネル
   の少なくとも一部を構成し、且つ分極された圧電材料で
   少なくとも一部が構成された隔壁を有するアクチュエー
   タに、前記圧電材料に駆動電界を発生させるための駆動
   電極を形成するインク噴射装置の電極形成方法であっ
   て、 複数のアクチュエータを治具に固定して１つの単位と
   し、その状態にて蒸着を行うことにより駆動電極を形成
   することを特徴とするインク噴射装置の電極形成方法。
2. 【請求項２】 前記複数のアクチュエータは、前記蒸着
   の方向に対して各々が所定の角度に傾斜した状態で、前
   記治具に固定されることを特徴とする請求項１に記載の
   インク噴射装置の電極形成方法。
3. 【請求項３】 一回の蒸着により、少なくとも２つの面
   へ同時に駆動電極の形成を行なうことを特徴とする請求
   項１に記載のインク噴射装置の電極形成方法。
4. 【請求項４】 前記治具は、複数のアクチュエータを第
   １の方向において所定の角度で保持可能な第１の治具
   と、前記第１の治具を第２の方向において所定の角度で
   保持可能な第２の治具とから構成され、 蒸着方向に対して前記アクチュエータが２つの角度を有
   する状態で蒸着を行なうことを特徴とする請求項３に記
   載のインク噴射装置の電極形成方法。