JPH08233940A - 光学式変位計測装置 - Google Patents
光学式変位計測装置Info
- Publication number
- JPH08233940A JPH08233940A JP7066993A JP6699395A JPH08233940A JP H08233940 A JPH08233940 A JP H08233940A JP 7066993 A JP7066993 A JP 7066993A JP 6699395 A JP6699395 A JP 6699395A JP H08233940 A JPH08233940 A JP H08233940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- electro
- optical element
- moving object
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気光学素子のセロダイン駆動に際して温度
変化によって光位相が非連続になる問題を解決して、高
精度で安定した計測を可能とする光学式変位計測装置を
得ること。 【構成】 光源からの光束を分割して得た２光束のうち
１光束または２光束を、電気光学素子を透過させた後、
該２光束を所定の入射角で移動物体に入射させ、該移動
物体からの散乱光の周波数偏移を光検出器で検知し、該
光検出器で検知された信号に基づいて該移動物体の変位
情報を検出する際、該電気光学素子の温度に応じて、該
電気光学素子に印加する電界を制御している。
変化によって光位相が非連続になる問題を解決して、高
精度で安定した計測を可能とする光学式変位計測装置を
得ること。 【構成】 光源からの光束を分割して得た２光束のうち
１光束または２光束を、電気光学素子を透過させた後、
該２光束を所定の入射角で移動物体に入射させ、該移動
物体からの散乱光の周波数偏移を光検出器で検知し、該
光検出器で検知された信号に基づいて該移動物体の変位
情報を検出する際、該電気光学素子の温度に応じて、該
電気光学素子に印加する電界を制御している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学式変位計測装置に関
し、特にレーザー光の周波数の偏移を検出して移動する
物体や流体（以下「移動物体」と称する）等の移動速
度、移動距離等の変位情報を非接触且つ高精度で測定す
る際に好適なものである。
し、特にレーザー光の周波数の偏移を検出して移動する
物体や流体（以下「移動物体」と称する）等の移動速
度、移動距離等の変位情報を非接触且つ高精度で測定す
る際に好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、移動物体の変位情報を非接触
且つ高精度に測定する装置として、レーザードップラー
速度計（ＬＤＶ）やレーザーエンコーダー等の光学式変
位計測装置が使用されている。レーザードップラー速度
計では、移動物体にレーザー光を照射し、移動物体によ
る散乱光の周波数が、移動速度に比例して偏移（シフ
ト）する効果（ドップラー効果）を利用して、移動物体
の移動速度を測定している。
且つ高精度に測定する装置として、レーザードップラー
速度計（ＬＤＶ）やレーザーエンコーダー等の光学式変
位計測装置が使用されている。レーザードップラー速度
計では、移動物体にレーザー光を照射し、移動物体によ
る散乱光の周波数が、移動速度に比例して偏移（シフ
ト）する効果（ドップラー効果）を利用して、移動物体
の移動速度を測定している。
【０００３】図１０は従来のレーザードップラー速度計
の要部概略図である。図中、１Ａは速度計の測定ヘッド
である。１は光源であり、例えばレーザーダイオードや
半導体レーザ等（以下「レーザー」と称する）で構成し
ている。２はコリメーターレンズ、１０は透過型の回折
格子であり、格子ピッチｐが 3.2μm で±１次回折光を
回折角θ1 （θ1 ＝12°）で発生するように設定されて
いる。
の要部概略図である。図中、１Ａは速度計の測定ヘッド
である。１は光源であり、例えばレーザーダイオードや
半導体レーザ等（以下「レーザー」と称する）で構成し
ている。２はコリメーターレンズ、１０は透過型の回折
格子であり、格子ピッチｐが 3.2μm で±１次回折光を
回折角θ1 （θ1 ＝12°）で発生するように設定されて
いる。
【０００４】１６は光学系であり、夫々単レンズ又は複
数のレンズよりなるレンズ群１１、１２（以下「レンズ
群」と総称する）より構成され、両レンズ群の焦点距離
は略等しい。７は移動物体であり、速度Ｖで矢印ａ方向
に移動している。８は集光レンズ、９は光検出器であ
る。
数のレンズよりなるレンズ群１１、１２（以下「レンズ
群」と総称する）より構成され、両レンズ群の焦点距離
は略等しい。７は移動物体であり、速度Ｖで矢印ａ方向
に移動している。８は集光レンズ、９は光検出器であ
る。
【０００５】この従来例の作用を説明する。レーザーダ
イオード１から出射したレーザー光は、コリメーターレ
ンズ２によって平行光束３となり、回折格子１０で回折
され、±１次回折光束５ａ及び５ｂに分割されて、レン
ズ１１で集光され光束１３ａ，１３ｂとなり、次いでレ
ンズ１２で屈折作用を受けて、平行光束１４ａ，１４ｂ
となり測定ヘッド１Ａから出射し、移動物体７を照射角
θで２光束照射する。
イオード１から出射したレーザー光は、コリメーターレ
ンズ２によって平行光束３となり、回折格子１０で回折
され、±１次回折光束５ａ及び５ｂに分割されて、レン
ズ１１で集光され光束１３ａ，１３ｂとなり、次いでレ
ンズ１２で屈折作用を受けて、平行光束１４ａ，１４ｂ
となり測定ヘッド１Ａから出射し、移動物体７を照射角
θで２光束照射する。
【０００６】移動物体７の２光束照射された部分からの
散乱光は集光レンズ８を介して光検出器９で検出され
る。
散乱光は集光レンズ８を介して光検出器９で検出され
る。
【０００７】２光束による散乱光の周波数は移動速度Ｖ
に比例して各々＋、−△ｆのドップラーシフトを受け
る。ここでレーザー光の波長をλとすれば、ドップラー
シフト△ｆは次式で表せる： △ｆ＝Ｖ・sin(θ) ／λ （１） ＋△ｆ，−△ｆのドップラーシフトを受けた散乱光は互
いに干渉し合って光検出器９の受光面で明暗の変化をも
たらし、その明暗の周波数Ｆは次式で与えられる： Ｆ＝２・△ｆ＝２・Ｖ・sin(θ) ／λ （２） 従って光検出器９が検出する信号の周波数Ｆ（以後ドッ
プラー周波数と呼ぶ）を測定すれば式（２）から被測定
物７の速度Ｖが求められる。以上が従来のレーザードッ
プラー速度計の作用である。
に比例して各々＋、−△ｆのドップラーシフトを受け
る。ここでレーザー光の波長をλとすれば、ドップラー
シフト△ｆは次式で表せる： △ｆ＝Ｖ・sin(θ) ／λ （１） ＋△ｆ，−△ｆのドップラーシフトを受けた散乱光は互
いに干渉し合って光検出器９の受光面で明暗の変化をも
たらし、その明暗の周波数Ｆは次式で与えられる： Ｆ＝２・△ｆ＝２・Ｖ・sin(θ) ／λ （２） 従って光検出器９が検出する信号の周波数Ｆ（以後ドッ
プラー周波数と呼ぶ）を測定すれば式（２）から被測定
物７の速度Ｖが求められる。以上が従来のレーザードッ
プラー速度計の作用である。
【０００８】一般にレーザー等の可干渉性の高い光を物
体に照射すると、物体表面の微細な凹凸により散乱光は
ランダムな位相変調を受けて観察面上に斑点模様、所謂
スペックルパターンが形成される。
体に照射すると、物体表面の微細な凹凸により散乱光は
ランダムな位相変調を受けて観察面上に斑点模様、所謂
スペックルパターンが形成される。
【０００９】レーザードップラー速度計においては、移
動物体が移動すると光検出器９の検出面上でのドップラ
ーシフトによる明暗の変化がスペックルパターンの流れ
による不規則な明暗の変化で変調されることになる。
動物体が移動すると光検出器９の検出面上でのドップラ
ーシフトによる明暗の変化がスペックルパターンの流れ
による不規則な明暗の変化で変調されることになる。
【００１０】又、光検出器９に入射する散乱光は被測定
物７の透過率（或は反射率）の変化によっても変調を受
ける。
物７の透過率（或は反射率）の変化によっても変調を受
ける。
【００１１】前記従来のレーザードップラー速度計で
は、一般にスペックルパターンの流れによる明暗の変化
の周波数及び被測定物７の透過率（或は反射率）の変化
の周波数は式（２）で示されるドップラー周波数Ｆに比
べて低周波であるため、光検出器９からの出力をハイパ
スフィルターに通すことによってこれらの低周波成分を
電気的に除去し、ドップラー信号Ｆのみを取り出す方法
がよく用いられている。
は、一般にスペックルパターンの流れによる明暗の変化
の周波数及び被測定物７の透過率（或は反射率）の変化
の周波数は式（２）で示されるドップラー周波数Ｆに比
べて低周波であるため、光検出器９からの出力をハイパ
スフィルターに通すことによってこれらの低周波成分を
電気的に除去し、ドップラー信号Ｆのみを取り出す方法
がよく用いられている。
【００１２】しかし、被測定物７の速度Ｖが遅くてドッ
プラー周波数Ｆが低い場合では低周波変動成分との周波
数差が小さくなり、ハイパスフィルターが使えず被測定
物７の速度Ｖが測定出来ないという問題が生じる。又、
前記従来のレーザードップラー速度計では速度の方向は
原理的に検出出来ない。
プラー周波数Ｆが低い場合では低周波変動成分との周波
数差が小さくなり、ハイパスフィルターが使えず被測定
物７の速度Ｖが測定出来ないという問題が生じる。又、
前記従来のレーザードップラー速度計では速度の方向は
原理的に検出出来ない。
【００１３】レーザードップラー速度計において、電気
光学結晶の平板（以後「電気光学素子」と略称する）を
使用した周波数シフターを２光束の光路に設置し、２光
束間に周波数差を与えて移動物体の移動方向及び０に近
い速度をも精度良く検出する方法がFoord 逹により発表
されている（Appl. Phys.,Vol.7,1974,136〜 139) 。
光学結晶の平板（以後「電気光学素子」と略称する）を
使用した周波数シフターを２光束の光路に設置し、２光
束間に周波数差を与えて移動物体の移動方向及び０に近
い速度をも精度良く検出する方法がFoord 逹により発表
されている（Appl. Phys.,Vol.7,1974,136〜 139) 。
【００１４】図１１はその原理を利用したレーザードッ
プラー速度計の要部概略図である。同図において周波数
シフター１００は電気光学素子１５ａ，１５ｂとその駆
動回路３０等から構成されている。
プラー速度計の要部概略図である。同図において周波数
シフター１００は電気光学素子１５ａ，１５ｂとその駆
動回路３０等から構成されている。
【００１５】このレーザードップラー速度計の作用につ
いて説明する。光源１からの平行光はビームスプリッタ
ー４により２光束５ａ，５ｂに分離し、夫々の光束はミ
ラー６ａ，６ｂを介して周波数シフター１００を構成し
ている電気光学素子１５ａ，１５ｂを透過する。その際
電気光学素子１５ａは駆動回路３０により電圧振幅が光
位相２πに相当する鋸歯波電圧駆動（セロダイン駆動）
を受けて光束５ａに周波数シフトを与える。同様に光束
５ｂも電気光学素子１５ｂの鋸歯波電圧駆動により周波
数シフトを受ける。夫々周波数シフトを受けた２光束は
レンズ３１により偏向され、移動物体７を照射角θで２
光束照射する。
いて説明する。光源１からの平行光はビームスプリッタ
ー４により２光束５ａ，５ｂに分離し、夫々の光束はミ
ラー６ａ，６ｂを介して周波数シフター１００を構成し
ている電気光学素子１５ａ，１５ｂを透過する。その際
電気光学素子１５ａは駆動回路３０により電圧振幅が光
位相２πに相当する鋸歯波電圧駆動（セロダイン駆動）
を受けて光束５ａに周波数シフトを与える。同様に光束
５ｂも電気光学素子１５ｂの鋸歯波電圧駆動により周波
数シフトを受ける。夫々周波数シフトを受けた２光束は
レンズ３１により偏向され、移動物体７を照射角θで２
光束照射する。
【００１６】移動物体７の２光束照射された部分からの
散乱光は不図示の集光レンズを介して光検出器で検出さ
れ、移動物体の速度Ｖ及びその方向が検出される。
散乱光は不図示の集光レンズを介して光検出器で検出さ
れ、移動物体の速度Ｖ及びその方向が検出される。
【００１７】この構成は主に流速計として利用される形
態で、被測定物体の静止状態から速度の方向も含めて測
定を可能としている。
態で、被測定物体の静止状態から速度の方向も含めて測
定を可能としている。
【００１８】図１２は図１０の従来のレーザードップラ
ー速度計に電気光学結晶による周波数シフターを適用し
た場合の要部概略図である。
ー速度計に電気光学結晶による周波数シフターを適用し
た場合の要部概略図である。
【００１９】この場合、ドップラー周波数Ｆは、２光束
に与えられた周波数差fRにより次式のようになる：
に与えられた周波数差fRにより次式のようになる：
【００２０】
【数１】 よって、被測定物７の速度Ｖが遅い場合でも、周波数差
fRを適当な値に設定すれば、前記のスペックルパターン
の流れや被測定物の透過率（或は反射率）の変化に起因
する低周波成分との周波数差は十分に取ることができ、
低周波成分を電気的に除去して所望のドップラー信号の
みを取り出すことにより移動物体７の速さを０から、又
その速度の方向も測定可能となる。
fRを適当な値に設定すれば、前記のスペックルパターン
の流れや被測定物の透過率（或は反射率）の変化に起因
する低周波成分との周波数差は十分に取ることができ、
低周波成分を電気的に除去して所望のドップラー信号の
みを取り出すことにより移動物体７の速さを０から、又
その速度の方向も測定可能となる。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】以上のように周波数シ
フターを使用するレーザードップラー速度計では移動物
体の速度が０でも速度を検出でき、又速度の方向も検出
できる。
フターを使用するレーザードップラー速度計では移動物
体の速度が０でも速度を検出でき、又速度の方向も検出
できる。
【００２２】しかしながら、周波数シフターを構成して
いる電気光学素子はその諸特性が温度によって大きく変
化する。例えば電気光学結晶の異常光線の屈折率、ポッ
ケルス定数、誘電率等は温度によってその値が大きく変
化する。
いる電気光学素子はその諸特性が温度によって大きく変
化する。例えば電気光学結晶の異常光線の屈折率、ポッ
ケルス定数、誘電率等は温度によってその値が大きく変
化する。
【００２３】従って光位相２πに相当するセロダイン電
圧駆動を行っていても電気光学素子が温度変化を受けれ
ば、光位相２πに相当する電圧値が変化し、光位相が不
連続になり測定が不正確になる問題が生じる。
圧駆動を行っていても電気光学素子が温度変化を受けれ
ば、光位相２πに相当する電圧値が変化し、光位相が不
連続になり測定が不正確になる問題が生じる。
【００２４】又、単位時間あたりの位相変化量が一定で
無くなる為セロダイン周波数fRが変化し、ドップラー信
号は不定量の周波数シフトを受け、測定が不正確になる
問題が生じる。
無くなる為セロダイン周波数fRが変化し、ドップラー信
号は不定量の周波数シフトを受け、測定が不正確になる
問題が生じる。
【００２５】本発明の目的は、光学式変位計測装置に使
用する電気光学素子のセロダイン駆動に際して温度変化
によって光位相が非連続になる問題を解決して、高精度
で安定した計測を行う光学式変位計測装置の提供であ
る。
用する電気光学素子のセロダイン駆動に際して温度変化
によって光位相が非連続になる問題を解決して、高精度
で安定した計測を行う光学式変位計測装置の提供であ
る。
【００２６】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式変位計測
装置は、 （１−１） 光源からの光束を分割して得た２光束のう
ち１光束または２光束を、電気光学素子を透過させた
後、該２光束を所定の入射角で移動物体に入射させ、該
移動物体からの散乱光の周波数偏移を光検出器で検知
し、該光検出器で検知された信号に基づいて該移動物体
の変位情報を検出する際、該電気光学素子の温度に応じ
て、該電気光学素子に印加する電界を制御していること
等を特徴としている。
装置は、 （１−１） 光源からの光束を分割して得た２光束のう
ち１光束または２光束を、電気光学素子を透過させた
後、該２光束を所定の入射角で移動物体に入射させ、該
移動物体からの散乱光の周波数偏移を光検出器で検知
し、該光検出器で検知された信号に基づいて該移動物体
の変位情報を検出する際、該電気光学素子の温度に応じ
て、該電気光学素子に印加する電界を制御していること
等を特徴としている。
【００２７】特に、（１−１−１） 前記電気光学素子
の温度情報を検出する温度検出手段を設け、該温度検出
手段からの温度情報に基づいて該電気光学素子に印加す
る電界を制御していること等を特徴としている。
の温度情報を検出する温度検出手段を設け、該温度検出
手段からの温度情報に基づいて該電気光学素子に印加す
る電界を制御していること等を特徴としている。
【００２８】更に、本発明の光学式変位計測装置は、 （１−２） 光源からの光束を分割して得た２光束のう
ち１光束または２光束を、駆動回路によって電界を印加
している電気光学素子を透過させた後、該２光束を所定
の入射角で移動物体に入射させ、該移動物体からの散乱
光の周波数偏移を光検出器で検知し、該光検出器で検知
された信号に基づいて該移動物体の変位情報を検出する
光学式変位計測装置において、該駆動回路は該電気光学
素子を挟む電極に電荷を与える回路と、一定時間間隔で
該電極に蓄積した電荷を放電させるスイッチング回路を
有する。 （１−３） 光源手段からの光束を光分割手段で２つの
光束に分割し、該２つの光束のうち少なくとも一方を電
気光学素子を介して該２光束に周波数差を付与して移動
物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の偏
移に基づく光束を検出手段で検出し、該検出手段からの
信号を利用して該移動物体の速度情報を検出する際、該
電気光学素子に関する温度を検出する温度検出手段を設
け、該温度検出手段からの信号を利用して該電気光学素
子に印加する電界を制御している。 （１−４） 光源手段からの光束を光分割手段で２つの
光束に分割し、該２つの光束のうち少なくとも一方を電
気光学素子を介して該２光束に周波数差を付与して移動
物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の偏
移に基づく光束を検出手段で検出し、該検出手段からの
信号を利用して該移動物体の速度情報を検出する際、該
電気光学素子に印加する電界をスイッチング回路を用い
て制御している。こと等を特徴としている。
ち１光束または２光束を、駆動回路によって電界を印加
している電気光学素子を透過させた後、該２光束を所定
の入射角で移動物体に入射させ、該移動物体からの散乱
光の周波数偏移を光検出器で検知し、該光検出器で検知
された信号に基づいて該移動物体の変位情報を検出する
光学式変位計測装置において、該駆動回路は該電気光学
素子を挟む電極に電荷を与える回路と、一定時間間隔で
該電極に蓄積した電荷を放電させるスイッチング回路を
有する。 （１−３） 光源手段からの光束を光分割手段で２つの
光束に分割し、該２つの光束のうち少なくとも一方を電
気光学素子を介して該２光束に周波数差を付与して移動
物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の偏
移に基づく光束を検出手段で検出し、該検出手段からの
信号を利用して該移動物体の速度情報を検出する際、該
電気光学素子に関する温度を検出する温度検出手段を設
け、該温度検出手段からの信号を利用して該電気光学素
子に印加する電界を制御している。 （１−４） 光源手段からの光束を光分割手段で２つの
光束に分割し、該２つの光束のうち少なくとも一方を電
気光学素子を介して該２光束に周波数差を付与して移動
物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の偏
移に基づく光束を検出手段で検出し、該検出手段からの
信号を利用して該移動物体の速度情報を検出する際、該
電気光学素子に印加する電界をスイッチング回路を用い
て制御している。こと等を特徴としている。
【００２９】
【実施例】図１は、本発明の実施例１の要部概略図であ
る。ただし周波数シフター１０１の部分は電気光学素子
１５ａ，１５ｂのみを図示している。図２は実施例１の
周波数シフターの説明図である。
る。ただし周波数シフター１０１の部分は電気光学素子
１５ａ，１５ｂのみを図示している。図２は実施例１の
周波数シフターの説明図である。
【００３０】図１中、１Ａは速度計の測定ヘッドであ
る。１は光源（光源手段）であり、例えばレーザーダイ
オードや半導体レーザ等（以下「レーザー」と称する）
で構成している。２はコリメーターレンズ、１０は透過
型の回折格子であり、例えば格子ピッチｐが 3.2μm で
±１次回折光を回折角θ1 （θ1 ＝12°）で発生するよ
うに設定している。回折格子１０は光分割手段の役割を
持っている。
る。１は光源（光源手段）であり、例えばレーザーダイ
オードや半導体レーザ等（以下「レーザー」と称する）
で構成している。２はコリメーターレンズ、１０は透過
型の回折格子であり、例えば格子ピッチｐが 3.2μm で
±１次回折光を回折角θ1 （θ1 ＝12°）で発生するよ
うに設定している。回折格子１０は光分割手段の役割を
持っている。
【００３１】１６は光学系であり、単レンズ又は複数の
レンズよりなるレンズ群１１、１２（以下「レンズ群」
と総称する）より成っている。なお、両レンズ群の焦点
距離は略等しく、両レンズ群の間隔は焦点距離の２倍と
なっている。
レンズよりなるレンズ群１１、１２（以下「レンズ群」
と総称する）より成っている。なお、両レンズ群の焦点
距離は略等しく、両レンズ群の間隔は焦点距離の２倍と
なっている。
【００３２】１５ａ，１５ｂは電気光学素子である。な
お、それぞれの電気光学結晶は図２（Ａ）に示すように
結晶軸方向を逆に配置し、セロダイン電圧の低電圧化を
はかっている。
お、それぞれの電気光学結晶は図２（Ａ）に示すように
結晶軸方向を逆に配置し、セロダイン電圧の低電圧化を
はかっている。
【００３３】７は移動物体であり、速度Ｖで矢印ａ方向
に移動している。８は集光レンズ、９は光検出器（検出
手段）である。
に移動している。８は集光レンズ、９は光検出器（検出
手段）である。
【００３４】図２中、１７ａ，１７ｂは電極であり、こ
れを通して電気光学素子１５ａ，１５ｂに電界をかけ
る。なお、電極の周囲には絶縁体１８を配置している。
１９は銅等の熱伝導体であり、絶縁体１８で電気光学素
子１５ａ，１５ｂと熱伝導体１９を電気的に絶縁しなが
ら、熱接合を高くして電気光学素子１５ａ，１５ｂの温
度を均一に保っている。なお、図では電気光学素子１５
ａ，１５ｂと熱伝導体１９をずらして示しているが、こ
れは説明の便宜上のことであって実際には熱伝導体１９
が電気光学素子１５の上下側面をカバーしている。
れを通して電気光学素子１５ａ，１５ｂに電界をかけ
る。なお、電極の周囲には絶縁体１８を配置している。
１９は銅等の熱伝導体であり、絶縁体１８で電気光学素
子１５ａ，１５ｂと熱伝導体１９を電気的に絶縁しなが
ら、熱接合を高くして電気光学素子１５ａ，１５ｂの温
度を均一に保っている。なお、図では電気光学素子１５
ａ，１５ｂと熱伝導体１９をずらして示しているが、こ
れは説明の便宜上のことであって実際には熱伝導体１９
が電気光学素子１５の上下側面をカバーしている。
【００３５】２０は温度検出素子（温度検出手段）であ
り、例えばサーミスターで構成し、熱伝導体１９、ひい
ては電気光学素子１５ａ，１５ｂの温度を検出する。２
１はA/D 変換器、２２はCPU ，２３はD/A 変換器、２４
はセロダイン波形発生器、２５は乗算器である。
り、例えばサーミスターで構成し、熱伝導体１９、ひい
ては電気光学素子１５ａ，１５ｂの温度を検出する。２
１はA/D 変換器、２２はCPU ，２３はD/A 変換器、２４
はセロダイン波形発生器、２５は乗算器である。
【００３６】まず本実施例の周波数シフター１０１の作
用について説明する。図２（Ａ）は本実施例の周波数シ
フターの要部斜視図である。
用について説明する。図２（Ａ）は本実施例の周波数シ
フターの要部斜視図である。
【００３７】電気光学結晶１５ａ，１５ｂは夫々電気光
学結晶LiNb03の平板で構成している。電気光学結晶とは
印加する電界により媒体の屈折率が変化するもので、例
えば、三方晶系3mのLiNb03やLiTa03、正方晶系42m の(N
H4)H2PO4(ADP) 、KH2PO4(KDP) 等がある。以下にLiNb03
を例にとり説明する。
学結晶LiNb03の平板で構成している。電気光学結晶とは
印加する電界により媒体の屈折率が変化するもので、例
えば、三方晶系3mのLiNb03やLiTa03、正方晶系42m の(N
H4)H2PO4(ADP) 、KH2PO4(KDP) 等がある。以下にLiNb03
を例にとり説明する。
【００３８】LiNb03（3m）の屈折率楕円体は次式で表さ
れる：
れる：
【００３９】
【数２】 図２（Ｂ）に示すようにＺ軸方向に電界を印加し（E3≠
０、E1＝E2＝０）、Ｘ軸に光の伝搬方向を選ぶと、Ｘ＝
０断面内の屈折率楕円体は次式で表される：
０、E1＝E2＝０）、Ｘ軸に光の伝搬方向を選ぶと、Ｘ＝
０断面内の屈折率楕円体は次式で表される：
【００４０】
【数３】 となる。LiNb03の厚みをｄとすると電圧 V＝E3ｄであ
り、長さa のLiNb03透過後の電圧の違いに対する光の位
相差Г(V) は、光束５の波長をλとすると次式で表され
る：
り、長さa のLiNb03透過後の電圧の違いに対する光の位
相差Г(V) は、光束５の波長をλとすると次式で表され
る：
【００４１】
【数４】 よってある温度においてNe 3 γ33a/( λd)は一定である
ので、単位時間あたりの変化電圧Ｖを一定にすると、Li
Nb03透過後の光は単位時間あたりの位相変化量が一定と
なる。つまり、周波数シフターとなる。
ので、単位時間あたりの変化電圧Ｖを一定にすると、Li
Nb03透過後の光は単位時間あたりの位相変化量が一定と
なる。つまり、周波数シフターとなる。
【００４２】現実には、電圧を常に一定に変化させると
電圧が無限大になるために、図２（Ｂ）に示す様な鋸歯
波（セロダイン）駆動を行う。その際、立ち下がり部で
光位相が非連続にならない様に一つの電圧振幅が光位相
２πに相当する値で駆動させる。
電圧が無限大になるために、図２（Ｂ）に示す様な鋸歯
波（セロダイン）駆動を行う。その際、立ち下がり部で
光位相が非連続にならない様に一つの電圧振幅が光位相
２πに相当する値で駆動させる。
【００４３】例えば光束５の波長λ＝780nm ，LiNb03の
電気光学素子の厚さｄ＝1mm ，長さａ＝20mmとすると、
光位相２πに相当する電圧振幅値はＶ≒115Vとなり、セ
ロダイン周波数をfRとすると、光束５はfRだけ周波数シ
フトする。
電気光学素子の厚さｄ＝1mm ，長さａ＝20mmとすると、
光位相２πに相当する電圧振幅値はＶ≒115Vとなり、セ
ロダイン周波数をfRとすると、光束５はfRだけ周波数シ
フトする。
【００４４】以上が周波数シフターの基本的な作用であ
る。
る。
【００４５】しかしながら、周波数シフターとして電気
光学結晶を使用する場合、温度によって電気光学結晶の
ポッケルス定数γ33、異常屈折率Ne、誘電率ε33が大き
く変わる。図３は異常光線の屈折率Neの温度依存性、図
４はポッケルス定数γ33の温度依存性（Zook,J.D. et a
l.,Appl.Phys.Letters 11,8,1967.pp159-161）、図５は
誘電率ε33の温度依存性を示したものである。
光学結晶を使用する場合、温度によって電気光学結晶の
ポッケルス定数γ33、異常屈折率Ne、誘電率ε33が大き
く変わる。図３は異常光線の屈折率Neの温度依存性、図
４はポッケルス定数γ33の温度依存性（Zook,J.D. et a
l.,Appl.Phys.Letters 11,8,1967.pp159-161）、図５は
誘電率ε33の温度依存性を示したものである。
【００４６】このように電気光学結晶のこれらの特性値
が温度によって変化するため、本実施例においては温度
検出素子２０によって電気光学素子１５ａ，１５ｂの温
度を検出し、常に光位相２πに相当するセロダイン電圧
駆動を行うように構成している。
が温度によって変化するため、本実施例においては温度
検出素子２０によって電気光学素子１５ａ，１５ｂの温
度を検出し、常に光位相２πに相当するセロダイン電圧
駆動を行うように構成している。
【００４７】次に本実施例の作用を説明する。図１にお
いてレーザーダイオード１から出射したレーザー光はＺ
軸方向に直線偏光している光束であり、コリメーターレ
ンズ２によって平行光束３となり、回折格子１０で回折
され、±１次回折光束５ａ及び５ｂに分割されて、各々
レンズ群１１に入射する。そしてレンズ群１１によって
収束光束となって電気光学素子１５ａ，１５ｂを通過す
る。このとき２つの光束は周波数シフトを受けてfRの周
波数差が生じる。その後両光束は集光した後に発散光束
となってレンズ群１２に入射する。そしてレンズ群１２
で屈折作用を受けて測定ヘッド１Ａから光束１４ａ，１
４ｂとして出射し、移動物体７を照射角θで２光束照射
する。
いてレーザーダイオード１から出射したレーザー光はＺ
軸方向に直線偏光している光束であり、コリメーターレ
ンズ２によって平行光束３となり、回折格子１０で回折
され、±１次回折光束５ａ及び５ｂに分割されて、各々
レンズ群１１に入射する。そしてレンズ群１１によって
収束光束となって電気光学素子１５ａ，１５ｂを通過す
る。このとき２つの光束は周波数シフトを受けてfRの周
波数差が生じる。その後両光束は集光した後に発散光束
となってレンズ群１２に入射する。そしてレンズ群１２
で屈折作用を受けて測定ヘッド１Ａから光束１４ａ，１
４ｂとして出射し、移動物体７を照射角θで２光束照射
する。
【００４８】移動物体７の２光束照射された部分からの
散乱光は集光レンズ８を介して光検出器９で検出され、
ドップラー周波数Ｆを得る。
散乱光は集光レンズ８を介して光検出器９で検出され、
ドップラー周波数Ｆを得る。
【００４９】得られたドップラー周波数Ｆから式
（３）：
（３）：
【００５０】
【数５】 を用いて移動物体の速度Ｖが得られる。
【００５１】本実施例の周波数シフターにおける電気光
学素子の駆動方法について説明する。
学素子の駆動方法について説明する。
【００５２】熱伝導体１９に配置された温度検出素子２
０によって電気光学素子１５ａ，１５ｂの温度情報を検
出し、その温度情報をA/D 変換器２１によってディジタ
ル情報に変換してCPU ２２に取り込む。CPU ２２は記憶
されている電気光学素子１５ａ，１５ｂのポッケルス定
数γ33、屈折率Neの温度依存性及び式（８）より単位時
間当たりの光の位相変化を一定にするためのセロダイン
電圧を求める。CPU ２２は求まった駆動電圧値の標準駆
動電圧に対する倍数を算出し、D/A 変換器２３がその倍
数をアナログ変換し、乗算器２５はセロダイン波形発生
器２４から発生する一定のセロダイン波形に対して倍数
の乗算を行って、得られる電圧で以て電気光学素子１５
ａ，１５ｂのセロダイン駆動を行う。これによって電気
光学素子１５ａ，１５ｂの温度補償を行っている。
０によって電気光学素子１５ａ，１５ｂの温度情報を検
出し、その温度情報をA/D 変換器２１によってディジタ
ル情報に変換してCPU ２２に取り込む。CPU ２２は記憶
されている電気光学素子１５ａ，１５ｂのポッケルス定
数γ33、屈折率Neの温度依存性及び式（８）より単位時
間当たりの光の位相変化を一定にするためのセロダイン
電圧を求める。CPU ２２は求まった駆動電圧値の標準駆
動電圧に対する倍数を算出し、D/A 変換器２３がその倍
数をアナログ変換し、乗算器２５はセロダイン波形発生
器２４から発生する一定のセロダイン波形に対して倍数
の乗算を行って、得られる電圧で以て電気光学素子１５
ａ，１５ｂのセロダイン駆動を行う。これによって電気
光学素子１５ａ，１５ｂの温度補償を行っている。
【００５３】以上のように本実施例では、温度検出素子
２０からの温度情報によりセロダイン駆動回路に於いて
電圧振幅の補償を行い、電気光学素子１５ａ，１５ｂの
温度変化があっても光の位相変化を一定にし、かつ光位
相２πに相当する値に電圧振幅を設定している。
２０からの温度情報によりセロダイン駆動回路に於いて
電圧振幅の補償を行い、電気光学素子１５ａ，１５ｂの
温度変化があっても光の位相変化を一定にし、かつ光位
相２πに相当する値に電圧振幅を設定している。
【００５４】なお、本実施例では温度補償に際して、前
記のように電気光学素子の各特性の温度特性及び式
（８）によって補償したが、これとは別に光位相２πに
相当する電圧値を電気光学素子１５ａ，１５ｂの温度を
変えて実験により求め、その測定値を利用して温度補償
しても良い。図６は厚さｄ＝1mm ，長さａ＝20mm，幅10
mmのLiNb03の電気光学素子について光位相２πに相当す
る電圧値の温度特性を実験により測定したものである。
記のように電気光学素子の各特性の温度特性及び式
（８）によって補償したが、これとは別に光位相２πに
相当する電圧値を電気光学素子１５ａ，１５ｂの温度を
変えて実験により求め、その測定値を利用して温度補償
しても良い。図６は厚さｄ＝1mm ，長さａ＝20mm，幅10
mmのLiNb03の電気光学素子について光位相２πに相当す
る電圧値の温度特性を実験により測定したものである。
【００５５】図７は本発明の実施例２の周波数シフター
の説明図である。本実施例が実施例１と異なる点は周波
数シフターの構成のみでその他の構成は同じである。
の説明図である。本実施例が実施例１と異なる点は周波
数シフターの構成のみでその他の構成は同じである。
【００５６】本実施例の周波数シフター１０２は実施例
１の温度検出素子２０の代わりに電気光学素子１５ａ，
１５ｂのポッケルス定数γ33、屈折率Neの温度依存性を
補償するような温度特性を持ったセロダイン駆動回路を
構成して、光の位相変化を一定にし、光位相２πに相当
する値に電圧振幅を設定するものである。
１の温度検出素子２０の代わりに電気光学素子１５ａ，
１５ｂのポッケルス定数γ33、屈折率Neの温度依存性を
補償するような温度特性を持ったセロダイン駆動回路を
構成して、光の位相変化を一定にし、光位相２πに相当
する値に電圧振幅を設定するものである。
【００５７】図７（Ａ）は本実施例の位相シフターの要
部概略図である。図中、２６は定電流回路、２７はスイ
ッチング回路である。
部概略図である。図中、２６は定電流回路、２７はスイ
ッチング回路である。
【００５８】本実施例の動作を説明する。本実施例は電
気光学素子を容量負荷としてセロダイン駆動回路を定電
流回路２６とスイッチング回路２７とで構成している。
そしてスイッチング回路２７をOFF にして定電流回路２
６によって所定電流ｉを流す。電気光学素子１５にはこ
れを挟む電極１７ａ，１７ｂ間に電荷が溜り電界は上昇
する。一定電圧になった時点でスイッチング回路２７を
ONして電荷を放電し、両電極間の電圧を０とする。この
ように電気光学素子１５ａ，１５ｂの両端に電荷の充放
電を行うことによって、図７（Ｂ）に示す様にセロダイ
ン駆動を行っている。
気光学素子を容量負荷としてセロダイン駆動回路を定電
流回路２６とスイッチング回路２７とで構成している。
そしてスイッチング回路２７をOFF にして定電流回路２
６によって所定電流ｉを流す。電気光学素子１５にはこ
れを挟む電極１７ａ，１７ｂ間に電荷が溜り電界は上昇
する。一定電圧になった時点でスイッチング回路２７を
ONして電荷を放電し、両電極間の電圧を０とする。この
ように電気光学素子１５ａ，１５ｂの両端に電荷の充放
電を行うことによって、図７（Ｂ）に示す様にセロダイ
ン駆動を行っている。
【００５９】以上の動作によって電気光学素子１５ａ，
１５ｂのセロダイン駆動の電圧値を所定の光位相に相当
させることが出来ることを説明する。
１５ｂのセロダイン駆動の電圧値を所定の光位相に相当
させることが出来ることを説明する。
【００６０】電気光学結晶は電気的には絶縁体で容量成
分のみを持つことがわかっている。LiNb03の電気光学素
子の厚みｄ＝2mm 、長さａ＝20mm、幅10mmとすると、実
験によりその容量値は図８に示す温度依存性を持つこと
がわかった。図８より容量値は温度 0〜50℃で±1.8 ％
の変動があり、温度が上がると電気容量が増加する。ま
た、実験により光位相２πに相当する電圧値も図６に示
す温度依存性を持つことがわかっている。図６よりこの
電圧値は温度 0〜50℃で±1.5 ％の変動があり、温度が
上がると電圧値は低下する。
分のみを持つことがわかっている。LiNb03の電気光学素
子の厚みｄ＝2mm 、長さａ＝20mm、幅10mmとすると、実
験によりその容量値は図８に示す温度依存性を持つこと
がわかった。図８より容量値は温度 0〜50℃で±1.8 ％
の変動があり、温度が上がると電気容量が増加する。ま
た、実験により光位相２πに相当する電圧値も図６に示
す温度依存性を持つことがわかっている。図６よりこの
電圧値は温度 0〜50℃で±1.5 ％の変動があり、温度が
上がると電圧値は低下する。
【００６１】従ってクーロンの法則Ｑ＝ＣＶより、図７
（Ｂ）で示す様に定電流回路２６に所定電流ｉを流し、
所定周期でスイッチング回路２７をON/OFFすれば、電気
光学素子１５ａ，１５ｂの温度依存性を打ち消し合わ
せ、温度 0〜50℃の間でセロダイン駆動の電圧値を±0.
3 ％の変動に抑えることができる。
（Ｂ）で示す様に定電流回路２６に所定電流ｉを流し、
所定周期でスイッチング回路２７をON/OFFすれば、電気
光学素子１５ａ，１５ｂの温度依存性を打ち消し合わ
せ、温度 0〜50℃の間でセロダイン駆動の電圧値を±0.
3 ％の変動に抑えることができる。
【００６２】図９は本発明の実施例３の周波数シフター
の要部概略図である。本実施例は実施例２をさらに改良
するものであり、実施例２と異なる点は周波数シフター
の構成のみでその他の構成は同じである。
の要部概略図である。本実施例は実施例２をさらに改良
するものであり、実施例２と異なる点は周波数シフター
の構成のみでその他の構成は同じである。
【００６３】本実施例の周波数シフター１０３は実施例
２のセロダイン駆動回路の定電流回路の構成中の一部の
抵抗に温度補償用の抵抗及び抵抗値が温度に対して安定
な精密抵抗を用いるものである。
２のセロダイン駆動回路の定電流回路の構成中の一部の
抵抗に温度補償用の抵抗及び抵抗値が温度に対して安定
な精密抵抗を用いるものである。
【００６４】図中、２８は定電流回路、RSは精密抵抗で
ある。RTは温度補償用抵抗であり、例えばサーミスタで
構成し、電気光学素子１５ａ，１５ｂに密着して配置し
ている。温度補償用抵抗RTは温度検出手段の役割を持っ
ている。
ある。RTは温度補償用抵抗であり、例えばサーミスタで
構成し、電気光学素子１５ａ，１５ｂに密着して配置し
ている。温度補償用抵抗RTは温度検出手段の役割を持っ
ている。
【００６５】本実施例の作用を説明する。本実施例は基
本的に実施例２と同様に定電流回路とスイッチング回路
によって電気光学素子の温度依存性を打ち消し合わせて
いる。実施例２で説明したようにこれによっても±0.3%
の変動が残ることになる。本実施例では温度補償用抵抗
RTとしてのサーミスターと精密抵抗を組み合わせて、電
気光学素子１５ａ，１５ｂの温度に応じてさらに定電流
回路２８の電流に温度特性を持たせてきめ細かく温度補
償を行っている。
本的に実施例２と同様に定電流回路とスイッチング回路
によって電気光学素子の温度依存性を打ち消し合わせて
いる。実施例２で説明したようにこれによっても±0.3%
の変動が残ることになる。本実施例では温度補償用抵抗
RTとしてのサーミスターと精密抵抗を組み合わせて、電
気光学素子１５ａ，１５ｂの温度に応じてさらに定電流
回路２８の電流に温度特性を持たせてきめ細かく温度補
償を行っている。
【００６６】以上で説明した実施例では温度情報検出素
子（温度検出手段）としてサーミスター等を使用した
が、この他に温度依存性のある抵抗、コンデンサ、トラ
ンジスタ、オペアンプ、ダイオードなどの電子素子を温
度情報検出素子として用いてもよい。
子（温度検出手段）としてサーミスター等を使用した
が、この他に温度依存性のある抵抗、コンデンサ、トラ
ンジスタ、オペアンプ、ダイオードなどの電子素子を温
度情報検出素子として用いてもよい。
【００６７】
【発明の効果】本発明は以上の構成により、光学式変位
計測装置に使用する電気光学素子のセロダイン駆動に際
して温度変化によって光位相が非連続になる問題を解決
して、高精度で安定した計測を行う光学式変位計測装置
を達成する。
計測装置に使用する電気光学素子のセロダイン駆動に際
して温度変化によって光位相が非連続になる問題を解決
して、高精度で安定した計測を行う光学式変位計測装置
を達成する。
【図１】 本発明の実施例１の要部概略図
【図２】 実施例１の周波数シフターの説明図 （Ａ）周波数シフターの要部斜視図 （Ｂ）セロダイン駆動の説明図
【図３】 電気光学結晶の異常光線の屈折率Ｎe の温度
依存性を示す図
依存性を示す図
【図４】 電気光学結晶のポッケルス定数γ33の温度依
存性を示す図
存性を示す図
【図５】 電気光学結晶の誘電率ε33の温度依存性を示
す図
す図
【図６】 光位相２πに相当する電気光学結晶への印加
電圧値の温度依存性を示す図
電圧値の温度依存性を示す図
【図７】 本発明の実施例２の周波数シフターの説明図 （Ａ）周波数シフターの要部概略図 （Ｂ）セロダイン駆動の説明図
【図８】 LiNb03の電気光学結晶（厚み 2mm、 長さ20m
m、 幅10mm）の容量値の温度依存性を示す図
m、 幅10mm）の容量値の温度依存性を示す図
【図９】 本発明の実施例３の周波数シフターの要部概
略図
略図
【図１０】 従来のレーザードップラー速度計の要部概
略図
略図
【図１１】 従来の周波数シフターを用いたレーザード
ップラー速度計の要部概略図
ップラー速度計の要部概略図
【図１２】 従来の周波数シフターを用いたレーザード
ップラー速度計の要部概略図
ップラー速度計の要部概略図
１Ａ 速度計の測定ヘッド １ 光源（レーザーダイオード） ２ コリメーターレンズ ３ 平行光束 ５ａ，５ｂ 光束 ６ａ，６ｂ ミラー ７ 移動物体 ８ 集光レンズ ９ 光検出器 １０ 回折格子 １１，１２ レンズ １３ａ，１３ｂ 光束 １４ａ，１４ｂ 光束 １５ａ，１５ｂ 電気光学結晶 １６ 光学系 １７ａ，１７ｂ 電極 １８ 絶縁体 １９ 熱伝導体 ２０ 温度検出素子 ２１ A/D 変換器 ２２ CPU ２３ D/A 変換器 ２４ セロダイン波形発生器 ２５ 乗算器 ２６ 定電流回路 ２７ スイッチング回路 ２８ 定電流回路 ３０ 駆動回路 ３１ レンズ RT 温度補償用抵抗 RS 精密抵抗 １００、１０１、１０２、１０３ 周波数シフター
Claims (5)
- 【請求項１】 光源からの光束を分割して得た２光束の
うち１光束または２光束を、電気光学素子を透過させた
後、該２光束を所定の入射角で移動物体に入射させ、該
移動物体からの散乱光の周波数偏移を光検出器で検知
し、該光検出器で検知された信号に基づいて該移動物体
の変位情報を検出する際、 該電気光学素子の温度に応じて、該電気光学素子に印加
する電界を制御していることを特徴とする光学式変位計
測装置。 - 【請求項２】 前記電気光学素子の温度情報を検出する
温度検出手段を設け、該温度検出手段からの温度情報に
基づいて該電気光学素子に印加する電界を制御している
ことを特徴とする請求項１の光学式変位計測装置。 - 【請求項３】 光源からの光束を分割して得た２光束の
うち１光束または２光束を、駆動回路によって電界を印
加している電気光学素子を透過させた後、該２光束を所
定の入射角で移動物体に入射させ、該移動物体からの散
乱光の周波数偏移を光検出器で検知し、該光検出器で検
知された信号に基づいて該移動物体の変位情報を検出す
る光学式変位計測装置において、 該駆動回路は該電気光学素子を挟む電極に電荷を与える
回路と、一定時間間隔で該電極に蓄積した電荷を放電さ
せるスイッチング回路を有することを特徴とする光学式
変位計測装置。 - 【請求項４】 光源手段からの光束を光分割手段で２つ
の光束に分割し、該２つの光束のうち少なくとも一方を
電気光学素子を介して該２光束に周波数差を付与して移
動物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の
偏移に基づく光束を検出手段で検出し、該検出手段から
の信号を利用して該移動物体の速度情報を検出する際、 該電気光学素子に関する温度を検出する温度検出手段を
設け、該温度検出手段からの信号を利用して該電気光学
素子に印加する電界を制御していることを特徴とする光
学式変位計測装置。 - 【請求項５】 光源手段からの光束を光分割手段で２つ
の光束に分割し、該２つの光束のうち少なくとも一方を
電気光学素子を介して該２光束に周波数差を付与して移
動物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の
偏移に基づく光束を検出手段で検出し、該検出手段から
の信号を利用して該移動物体の速度情報を検出する際、 該電気光学素子に印加する電界をスイッチング回路を用
いて制御していることを特徴とする光学式変位計測装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7066993A JPH08233940A (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 光学式変位計測装置 |
| US08/607,115 US5796470A (en) | 1995-02-28 | 1996-02-26 | Frequency shifter and optical displacement measuring apparatus using the frequency shifter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7066993A JPH08233940A (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 光学式変位計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233940A true JPH08233940A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=13332048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7066993A Pending JPH08233940A (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 光学式変位計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08233940A (ja) |
-
1995
- 1995-02-28 JP JP7066993A patent/JPH08233940A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3491969B2 (ja) | 変位情報測定装置 | |
| EP0193742B1 (en) | Wavelength scanning interferometry and interferometer employing laser diode | |
| JP2962819B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JP3513247B2 (ja) | 周波数シフター及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| US5754282A (en) | Optical device detecting displacement information using a device for frequency-shifting an incident beam and a system for reducing beam diameter in an application direction | |
| US5796470A (en) | Frequency shifter and optical displacement measuring apparatus using the frequency shifter | |
| US5774218A (en) | Laser Doppler velocimeter with electro-optical crystal | |
| JPH05249201A (ja) | 電子部品内の電気信号サンプリング方法及び装置 | |
| US5831720A (en) | Velocimeter, signal processing method, and driving system using the same | |
| JPH08304430A (ja) | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| JP2000162517A (ja) | ミキシング装置と、これを利用した光波距離計 | |
| US6034761A (en) | Displacement information measuring apparatus | |
| EP0199137B1 (en) | Method of and apparatus for optically measuring displacement | |
| JPH08233940A (ja) | 光学式変位計測装置 | |
| JP3492024B2 (ja) | 周波数シフター及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| US5384638A (en) | Sampling-type optical voltage detector utilizing movement of interference fringe | |
| JPH08285875A (ja) | 周波数シフター及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| JP2020118498A (ja) | 電界センサ | |
| JP7336951B2 (ja) | 電圧測定装置および電圧測定方法 | |
| JP3486479B2 (ja) | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| JP2655647B2 (ja) | 光集積回路型干渉計 | |
| JP2568561B2 (ja) | 光干渉計 | |
| JP3566392B2 (ja) | 変位情報測定装置 | |
| JP3226046B2 (ja) | 位相シフター | |
| JPH0212852A (ja) | 集積回路診断装置 |