JP3486479B2 - 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 - Google Patents
周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置Info
- Publication number
- JP3486479B2 JP3486479B2 JP11456395A JP11456395A JP3486479B2 JP 3486479 B2 JP3486479 B2 JP 3486479B2 JP 11456395 A JP11456395 A JP 11456395A JP 11456395 A JP11456395 A JP 11456395A JP 3486479 B2 JP3486479 B2 JP 3486479B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electro
- frequency shifter
- optical element
- voltage
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、周波数シフタ及びそれ
を用いた光学式変位計測装置に関する。本発明は、特に
移動する物体や流体（以下「移動体」と称する）の変位
情報を、移動体の移動速度に応じてドップラーシフトを
受けた散乱光の周波数の偏移を検知することにより非接
触で測定する際に好適なものである。
を用いた光学式変位計測装置に関する。本発明は、特に
移動する物体や流体（以下「移動体」と称する）の変位
情報を、移動体の移動速度に応じてドップラーシフトを
受けた散乱光の周波数の偏移を検知することにより非接
触で測定する際に好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、種々の光干渉計において光周波数
シフタを用いて信号を変調する方法が多く用いられてい
る。
シフタを用いて信号を変調する方法が多く用いられてい
る。
【０００３】光干渉計の一つとして、物体の変位情報を
非接触且つ高精度に測定する装置として、レーザードッ
プラー速度計が知られている。
非接触且つ高精度に測定する装置として、レーザードッ
プラー速度計が知られている。
【０００４】レーザードップラー速度計は、移動する物
体や流体にレーザー光を照射し、移動する物体や流体に
よる散乱光の周波数が移動する速度に比例して偏移（シ
フト）する効果（ドップラー効果）を利用して、前記移
動の移動速度を測定する装置である。
体や流体にレーザー光を照射し、移動する物体や流体に
よる散乱光の周波数が移動する速度に比例して偏移（シ
フト）する効果（ドップラー効果）を利用して、前記移
動の移動速度を測定する装置である。
【０００５】図1は、特開平４ー２３０８８５号に示さ
れた、従来例のレーザードップラー速度計の一例であ
る。
れた、従来例のレーザードップラー速度計の一例であ
る。
【０００６】１はレーザー、２はコリメーターレンズ、
Ｉは平行光束、３は回折格子からなるビームスプリッ
タ、５、６は焦点距離がｆの凸レンズであり、ａ，ｂ
は、ａ＋ｂ＝２ｆを満足している。７は速度Ｖで矢印方
向に移動している被測定物、８は集光レンズ、９は光セ
ンサーである。
Ｉは平行光束、３は回折格子からなるビームスプリッ
タ、５、６は焦点距離がｆの凸レンズであり、ａ，ｂ
は、ａ＋ｂ＝２ｆを満足している。７は速度Ｖで矢印方
向に移動している被測定物、８は集光レンズ、９は光セ
ンサーである。
【０００７】レーザー１から出射したレーザー光は、コ
リメーターレンズ２によって平行光束Ｉとなり、回折格
子３に垂直に入射し、±一次の回折角θの回折光Ｉ１
ａ，Ｉ１ｂに分離、出射する。光束Ｉ１ａ，Ｉ１ｂは焦
点距離ｆの凸レンズ５により図の様な収束光Ｉ２ａ，Ｉ
２ｂとなる。そして、２ｆ離れたもう一つの凸レンズ６
に入射すると、再び平行光束Ｉ３ａ，Ｉ３ｂとなり、速
度Ｖで移動している被測定物７に前述の回折格子３によ
る回折角θと等しい入射角θで二光束照射する。二光束
による散乱光は、集光レンズ８を介して光センサー９で
検出される。二光束による散乱光の周波数は、移動速度
Ｖに比例して各々＋ｆ、−Δｆのドップラーシフトを受
ける。ここで、レーザー光の波長をλとすれば、Δｆは
次の（１）式で表すことができる。
リメーターレンズ２によって平行光束Ｉとなり、回折格
子３に垂直に入射し、±一次の回折角θの回折光Ｉ１
ａ，Ｉ１ｂに分離、出射する。光束Ｉ１ａ，Ｉ１ｂは焦
点距離ｆの凸レンズ５により図の様な収束光Ｉ２ａ，Ｉ
２ｂとなる。そして、２ｆ離れたもう一つの凸レンズ６
に入射すると、再び平行光束Ｉ３ａ，Ｉ３ｂとなり、速
度Ｖで移動している被測定物７に前述の回折格子３によ
る回折角θと等しい入射角θで二光束照射する。二光束
による散乱光は、集光レンズ８を介して光センサー９で
検出される。二光束による散乱光の周波数は、移動速度
Ｖに比例して各々＋ｆ、−Δｆのドップラーシフトを受
ける。ここで、レーザー光の波長をλとすれば、Δｆは
次の（１）式で表すことができる。
【０００８】
Δｆ＝Ｖ・ｓｉｎ（θ）／λ … （１）
【０００９】＋Δｆ，−Δｆのドップラシフトをうけた
散乱光は、互いに干渉しあって光センサー９の受光面で
の明暗の変化をもたらし、その周波数Ｆは次式（２）で
与えられる。
散乱光は、互いに干渉しあって光センサー９の受光面で
の明暗の変化をもたらし、その周波数Ｆは次式（２）で
与えられる。
【００１０】
Ｆ＝２・Δｆ＝２・Ｖ・ｓｉｎ（θ）／λ … （２）
【００１１】（２）式から、光センサー９の周波数Ｆ
（以下ドップラ周波数と呼ぶ）を測定すれば被測定物７
の速度Ｖが求められる。
（以下ドップラ周波数と呼ぶ）を測定すれば被測定物７
の速度Ｖが求められる。
【００１２】又、（２）式は、回折格子３による回折の
条件式ｓｉｎ（θ）＝λ／ｄ（ｄは回折格子３の格子間
隔）から Ｆ＝２・Ｖ／ｄ … （３） となり、ドップラ周波数はレーザーの波長λに依存しな
くなる。即ちレーザー波長λの変化に伴い回折角、入射
角θがレーザー波長変化に対して補償するように変化す
る。
条件式ｓｉｎ（θ）＝λ／ｄ（ｄは回折格子３の格子間
隔）から Ｆ＝２・Ｖ／ｄ … （３） となり、ドップラ周波数はレーザーの波長λに依存しな
くなる。即ちレーザー波長λの変化に伴い回折角、入射
角θがレーザー波長変化に対して補償するように変化す
る。
【００１３】また、この様なレーザードップラ速度計に
おいては、移動物体の移動方向の検出も容易に行え、ま
た移動物体の速度が０に近い場合も充分に検出ができる
ように、周波数シフタを導入しドップラー周波数に一定
の周波数ｆＲがバイアスとして足される方法も考案され
ている。
おいては、移動物体の移動方向の検出も容易に行え、ま
た移動物体の速度が０に近い場合も充分に検出ができる
ように、周波数シフタを導入しドップラー周波数に一定
の周波数ｆＲがバイアスとして足される方法も考案され
ている。
【００１４】周波数シフタとしては、図2に示すような
電気光学結晶の平板に電極を設けた電気光学素子１０
に、セロダイン駆動回路２０により鋸歯状電圧を印加し
て使用する方法がＦｏｏｒｄ達により発表されている
（Appl.phys., vol.7, 1974, p.136-139）。
電気光学結晶の平板に電極を設けた電気光学素子１０
に、セロダイン駆動回路２０により鋸歯状電圧を印加し
て使用する方法がＦｏｏｒｄ達により発表されている
（Appl.phys., vol.7, 1974, p.136-139）。
【００１５】図2において、波長λの光束Ｉはビームス
プリッタ４により２光束Ｉａ，Ｉｂに分離し、各々の光
束は電気光学素子１０を構成する電気光学結晶１０Ａ、
１０Ｂに入射する。この際、電気光学結晶１０Ａ、１０
Ｂはセロダイン駆動回路２０によって各々プラス、マイ
ナス半波長の位相シフトを与える鋸歯状電圧が印加され
周波数シフトを受ける。周波数シフトされた２光束はレ
ンズ５により偏向され、集光状態で移動物体７に２光束
交差する。移動物体７のから生じた散乱光は光センサー
（図示せず）に導光され、ドップラ信号を得られる。
プリッタ４により２光束Ｉａ，Ｉｂに分離し、各々の光
束は電気光学素子１０を構成する電気光学結晶１０Ａ、
１０Ｂに入射する。この際、電気光学結晶１０Ａ、１０
Ｂはセロダイン駆動回路２０によって各々プラス、マイ
ナス半波長の位相シフトを与える鋸歯状電圧が印加され
周波数シフトを受ける。周波数シフトされた２光束はレ
ンズ５により偏向され、集光状態で移動物体７に２光束
交差する。移動物体７のから生じた散乱光は光センサー
（図示せず）に導光され、ドップラ信号を得られる。
【００１６】このときドップラ周波数は、移動物体７の
速度Ｖと２光束交差角θ及び２光束の周波数差ｆＲによ
り次式の様になる。
速度Ｖと２光束交差角θ及び２光束の周波数差ｆＲによ
り次式の様になる。
【００１７】
Ｆ＝２・Ｖ・ｓｉｎ（θ）／λ＋ｆＲ … （５）
【００１８】これによって、移動物体７の速度が０に近
い場合であっても速度方向も含めて測定を可能にする。
この構成は主に流速計として利用される形態である。
い場合であっても速度方向も含めて測定を可能にする。
この構成は主に流速計として利用される形態である。
【００１９】
【発明が解決しようとしている問題点】セロダイン駆動
を例えば定電流回路と放電回路で行う場合、放電をセロ
ダイン駆動周期に比して極短時間にする必要がある、従
って高速で容量の大きいスイッチング素子が要求され、
又リニアリティのよい鋸歯状波が望まれる。
を例えば定電流回路と放電回路で行う場合、放電をセロ
ダイン駆動周期に比して極短時間にする必要がある、従
って高速で容量の大きいスイッチング素子が要求され、
又リニアリティのよい鋸歯状波が望まれる。
【００２０】本発明は、電気光学素子を用いた周波数シ
フタの駆動を正確な波形で安定したものにすること、及
びこれを用いた光学式変位計測装置の高精度化をはかる
ことを目的とするものである。
フタの駆動を正確な波形で安定したものにすること、及
びこれを用いた光学式変位計測装置の高精度化をはかる
ことを目的とするものである。
【００２１】
【課題を解決する為の手段】上述目的を達成するための
第１発明は、電気光学素子に電圧を印加する事により前
記電気光学素子に入射した光束の位相を変調する周波数
シフタに於いて、前記電気光学素子に駆動電圧を印加す
る回路が一定電流を供給するための定電流回路とスイッ
チング素子がＦＥＴトランジスタから構成された放電回
路とを有し、更に該スイッチング素子のスイッチング信
号の電圧を該ＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点に設定した
ことを特徴とする周波数シフタである。
第１発明は、電気光学素子に電圧を印加する事により前
記電気光学素子に入射した光束の位相を変調する周波数
シフタに於いて、前記電気光学素子に駆動電圧を印加す
る回路が一定電流を供給するための定電流回路とスイッ
チング素子がＦＥＴトランジスタから構成された放電回
路とを有し、更に該スイッチング素子のスイッチング信
号の電圧を該ＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点に設定した
ことを特徴とする周波数シフタである。
【００２２】また、上述目的を達成するための第２発明
は、電気光学素子に電圧を印加する事により前記電気光
学素子に入射した光束の位相を変調する周波数シフタに
於いて、前記電気光学素子に駆動電圧を印加する回路
が、一定電流を供給するための定電流回路と、放電回路
と、該放電回路の放電用のスイッチング信号を形成する
為の電圧供給部に設けられた電源レギュレータとを有す
ることを特徴とする周波数シフタである。
は、電気光学素子に電圧を印加する事により前記電気光
学素子に入射した光束の位相を変調する周波数シフタに
於いて、前記電気光学素子に駆動電圧を印加する回路
が、一定電流を供給するための定電流回路と、放電回路
と、該放電回路の放電用のスイッチング信号を形成する
為の電圧供給部に設けられた電源レギュレータとを有す
ることを特徴とする周波数シフタである。
【００２３】また、第３発明の周波数シフタは更に、前
記放電回路のスイッチング素子がＦＥＴトランジスタか
ら構成され、更にスイッチング素子のスイッチング信号
の電圧を該ＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点に設定したこ
とを特徴とする。
記放電回路のスイッチング素子がＦＥＴトランジスタか
ら構成され、更にスイッチング素子のスイッチング信号
の電圧を該ＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点に設定したこ
とを特徴とする。
【００２４】また、第４発明は周波数シフタは更に、前
記電気光学素子に印加する電圧を発生させる回路と前記
電気光学素子とを外部回路に対してシールドするシール
ド手段を設けたことを特徴とする。
記電気光学素子に印加する電圧を発生させる回路と前記
電気光学素子とを外部回路に対してシールドするシール
ド手段を設けたことを特徴とする。
【００２５】また、第５発明は、電気光学素子に電圧を
印加する事により前記電気光学素子に入射した光束の位
相を変調する周波数シフタと、該周波数シフタを介した
光束を移動物体に入射させる光学手段と、該光学手段で
光束入射された移動物体からのドップラーシフトを受け
た散乱光を検出する検出手段とを有し、該検出手段の検
出により前記移動物体の変位情報を検出する光学式変位
計測装置において、前記周波数シフタが上述いずれの周
波数シフタであることを特徴とする光学式変位計測装置
である。
印加する事により前記電気光学素子に入射した光束の位
相を変調する周波数シフタと、該周波数シフタを介した
光束を移動物体に入射させる光学手段と、該光学手段で
光束入射された移動物体からのドップラーシフトを受け
た散乱光を検出する検出手段とを有し、該検出手段の検
出により前記移動物体の変位情報を検出する光学式変位
計測装置において、前記周波数シフタが上述いずれの周
波数シフタであることを特徴とする光学式変位計測装置
である。
【００２６】
【実施例】図3は、本発明の第１実施例のレーザードッ
プラー速度計の部材配置の説明図である。図中、１はレ
ーザーダイオード、２はコリメータレンズ、３は回折格
子からなるビームスプリッタ、５及び６は凸レンズ、７
は被測定物、８は集光レンズ、９は光センサー、１０は
周波数シフタ、１１ａ、１１ｂは電気光学素子、１２及
び１３は電極、２０はセロダイン駆動回路、４０は電気
基板である。
プラー速度計の部材配置の説明図である。図中、１はレ
ーザーダイオード、２はコリメータレンズ、３は回折格
子からなるビームスプリッタ、５及び６は凸レンズ、７
は被測定物、８は集光レンズ、９は光センサー、１０は
周波数シフタ、１１ａ、１１ｂは電気光学素子、１２及
び１３は電極、２０はセロダイン駆動回路、４０は電気
基板である。
【００２７】図3において、レーザー１から出射したレ
ーザー光は、コリメーターレンズ２によって平行光束Ｉ
となり、回折格子３に垂直に入射し、±一次の回折角θ
の回折光Ｉ１ａ，Ｉ１ｂに分離、出射する。光束Ｉ１
ａ，Ｉ１ｂは焦点距離ｆの凸レンズ５により図の様な収
束光Ｉ２ａ，Ｉ２ｂとなる。電気光学結晶１１ａ，１１
ｂを含む電気光学素子１０は、この２光束Ｉ２ａ，Ｉ２
ｂがそれぞれ対応する電気光学結晶１１ａ，１１ｂを透
過するように配置されている。
ーザー光は、コリメーターレンズ２によって平行光束Ｉ
となり、回折格子３に垂直に入射し、±一次の回折角θ
の回折光Ｉ１ａ，Ｉ１ｂに分離、出射する。光束Ｉ１
ａ，Ｉ１ｂは焦点距離ｆの凸レンズ５により図の様な収
束光Ｉ２ａ，Ｉ２ｂとなる。電気光学結晶１１ａ，１１
ｂを含む電気光学素子１０は、この２光束Ｉ２ａ，Ｉ２
ｂがそれぞれ対応する電気光学結晶１１ａ，１１ｂを透
過するように配置されている。
【００２８】前記電気光学結晶１１ａ、１１ｂとして
は、ＬｉＮｂＯ3やＬｉＴａＯ3の様な１軸性結晶をｃ軸
方向に電極を配置し、レーザー光の偏向方向をｃ軸方向
になるように設置してある。この様に配置する事によ
り、レーザーの波長の変化により回折格子３の回折角θ
の変化が発生し、これによって電気光学結晶内での光路
が変化しても、偏向方向はｃ軸方向のまま維持する事が
できる。従って、周波数シフタと図1で説明したドップ
ラ周波数のレーザー波長変化にたいする補償の効果を両
立する事ができる。
は、ＬｉＮｂＯ3やＬｉＴａＯ3の様な１軸性結晶をｃ軸
方向に電極を配置し、レーザー光の偏向方向をｃ軸方向
になるように設置してある。この様に配置する事によ
り、レーザーの波長の変化により回折格子３の回折角θ
の変化が発生し、これによって電気光学結晶内での光路
が変化しても、偏向方向はｃ軸方向のまま維持する事が
できる。従って、周波数シフタと図1で説明したドップ
ラ周波数のレーザー波長変化にたいする補償の効果を両
立する事ができる。
【００２９】以下に図4に従い、ＬｉＮｂＯ3を例にとり
説明する。電界Ｅ（Ｅｘ，Ｅｙ，Ｅｚ）がかかった状態
でのＬｉＮｂＯ3の屈折率楕円体は次のように表すこと
ができる。
説明する。電界Ｅ（Ｅｘ，Ｅｙ，Ｅｚ）がかかった状態
でのＬｉＮｂＯ3の屈折率楕円体は次のように表すこと
ができる。
【００３０】
（１／ｎo2−ｒ22Ｅｙ＋ｒ13Ｅｚ）Ｘ2
＋（１／ｎo2＋ｒ22Ｅｙ＋ｒ13Ｅｚ）Ｙ2
＋（１／ｎe2＋ｒ33Ｅｚ）Ｚ2−２ｒ22ＥｘＸＹ
＋２ｒ51ＥｙＹＸ＋２ｒ51ＥｘＺＸ＝１ … （６）
【００３１】図4の様に、ＬｉＮｂＯ3結晶をＺ軸（Ｃ
軸）方向に厚みｄでカットし、両面に電極を蒸着した電
気光学結晶１１に、電極１２、１３により電界 Ｅｚ＝
Ｖ／ｄを印加（Ｅｚ≠０、Ｅｘ＝Ｅｙ＝０）すると、
（６）式は （１／ｎo2＋ｒ13Ｅｚ）（Ｘ2＋Ｙ2） ＋（１／ｎe2＋ｒ33Ｅｚ）Ｚ2＝１ … （７） となる。ここでｒはポッケルス定数（ｒ13＝10×10-9、
ｒ22＝6.8×10-9、ｒ33＝32.2×10-9、ｒ51＝32.0×10
-9）、ｎo、ｎeはそれぞれ常光線、異常光線の屈折率
（ｎo＝2.286、ｎe＝2.2）である。
軸）方向に厚みｄでカットし、両面に電極を蒸着した電
気光学結晶１１に、電極１２、１３により電界 Ｅｚ＝
Ｖ／ｄを印加（Ｅｚ≠０、Ｅｘ＝Ｅｙ＝０）すると、
（６）式は （１／ｎo2＋ｒ13Ｅｚ）（Ｘ2＋Ｙ2） ＋（１／ｎe2＋ｒ33Ｅｚ）Ｚ2＝１ … （７） となる。ここでｒはポッケルス定数（ｒ13＝10×10-9、
ｒ22＝6.8×10-9、ｒ33＝32.2×10-9、ｒ51＝32.0×10
-9）、ｎo、ｎeはそれぞれ常光線、異常光線の屈折率
（ｎo＝2.286、ｎe＝2.2）である。
【００３２】ｎo2ｒ13Ｅｚ、ｎe2ｒ33Ｅｚ《１であるこ
とから、（７）式は
とから、（７）式は
【００３３】
【外１】
に簡易化される。したがって、Ｘ，Ｙ軸方向の偏光成分
の屈折率ｎx、ｎyは ｎx＝ｎy＝ｎo−１／２・ｎo3ｒ13Ｅｚ であり、Ｚ軸方向の偏光成分の屈折率ｎzは ｎz＝ｎe−１／２・ｎe3ｒ33Ｅｚ である。Ｘ−Ｙ平面に光の伝搬方向を、Ｚ軸方向に偏光
方向を選ぶと、Ｚ軸方向に印加した電界Ｅｚにより屈折
率Ｎ（Ｅｚ）は Ｎ（Ｅｚ）＝ｎz＝ｎe−１／２・ｎe３ｒ３３Ｅｚ … （９） となる。従って上記条件でレーザーを厚みｄ、長さｌの
ＬｉＮｂＯ3に透過させた時、印加電圧をＶ変化させる
と、それにより光位相差Γ（Ｖ）は、
の屈折率ｎx、ｎyは ｎx＝ｎy＝ｎo−１／２・ｎo3ｒ13Ｅｚ であり、Ｚ軸方向の偏光成分の屈折率ｎzは ｎz＝ｎe−１／２・ｎe3ｒ33Ｅｚ である。Ｘ−Ｙ平面に光の伝搬方向を、Ｚ軸方向に偏光
方向を選ぶと、Ｚ軸方向に印加した電界Ｅｚにより屈折
率Ｎ（Ｅｚ）は Ｎ（Ｅｚ）＝ｎz＝ｎe−１／２・ｎe３ｒ３３Ｅｚ … （９） となる。従って上記条件でレーザーを厚みｄ、長さｌの
ＬｉＮｂＯ3に透過させた時、印加電圧をＶ変化させる
と、それにより光位相差Γ（Ｖ）は、
【００３４】
【外２】
【００３５】よって印加電圧を一定に変化させると、光
位相変化も一定となる。つまり、周波数シフタとなる。
実際には、電圧を常に一定に変化させる事はできないの
で、鋸歯状波（セロダイン）駆動を行う。鋸歯状波は、
立ち下がりで光位相が非連続にならない様に両光束の位
相差が２πに相当する電圧振幅に設定される。
位相変化も一定となる。つまり、周波数シフタとなる。
実際には、電圧を常に一定に変化させる事はできないの
で、鋸歯状波（セロダイン）駆動を行う。鋸歯状波は、
立ち下がりで光位相が非連続にならない様に両光束の位
相差が２πに相当する電圧振幅に設定される。
【００３６】ここで、ＬｉＮｂＯ3結晶の厚みｄ＝１ｍ
ｍ、長さｌ＝２ｍｍとすると、光位相差Γ（Ｖ）が２π
となる電圧振幅は（９）式からＶ≒２３０Ｖである。
ｍ、長さｌ＝２ｍｍとすると、光位相差Γ（Ｖ）が２π
となる電圧振幅は（９）式からＶ≒２３０Ｖである。
【００３７】図3では電気光学結晶１１ａ、１１ｂのＣ
軸Ｃａ、ＣｂをＺ軸方向に互いに逆向きに配置し、両方
にセロダイン駆動回路２０から導線２６、２７を介して
電極１２及び１３で一括して同方向に電圧印加をするよ
うにしてある。この様にすることで、（１０）式による
鋸歯状波の電圧振幅を、２πに相当する電圧振幅の半
分、即ちπの位相差を与える電圧振幅で電気光学素子１
０透過後の光束Ｉ２ａとＩ２ｂの光位相差を２πとでき
る。この場合、必要な電圧振幅は約１１５Ｖとなる。
軸Ｃａ、ＣｂをＺ軸方向に互いに逆向きに配置し、両方
にセロダイン駆動回路２０から導線２６、２７を介して
電極１２及び１３で一括して同方向に電圧印加をするよ
うにしてある。この様にすることで、（１０）式による
鋸歯状波の電圧振幅を、２πに相当する電圧振幅の半
分、即ちπの位相差を与える電圧振幅で電気光学素子１
０透過後の光束Ｉ２ａとＩ２ｂの光位相差を２πとでき
る。この場合、必要な電圧振幅は約１１５Ｖとなる。
【００３８】図3に戻り、電気光学素子１０によって互
いに逆位相に変調された光束Ｉ２ａとＩ２ｂは、凸レン
ズ６により平行光束Ｉ３ａ、Ｉ３ｂとなり、速度Ｖで移
動している被測定物７に回折格子３による回折角θと等
しい入射角θで二光束照射する。被測定物７からの散乱
光は、集光レンズ８、ミラー３１を介し電気基板４０の
光センサー９に集光される。このＩ３ａ、Ｉ３ｂの散乱
光は被測定物７の移動速度Ｖに比例したドップラシフト
と、電気光学素子１０とセロダイン駆動回路２０から成
る周波数シフタよる周波数変調を受けており、その周波
数Ｆ、はレーザ光の波長をλ、周波数シフタの周波数変
調をｆＲ、又、回折格子の格子間隔をｄとすると次式
（１１）で与えられる。
いに逆位相に変調された光束Ｉ２ａとＩ２ｂは、凸レン
ズ６により平行光束Ｉ３ａ、Ｉ３ｂとなり、速度Ｖで移
動している被測定物７に回折格子３による回折角θと等
しい入射角θで二光束照射する。被測定物７からの散乱
光は、集光レンズ８、ミラー３１を介し電気基板４０の
光センサー９に集光される。このＩ３ａ、Ｉ３ｂの散乱
光は被測定物７の移動速度Ｖに比例したドップラシフト
と、電気光学素子１０とセロダイン駆動回路２０から成
る周波数シフタよる周波数変調を受けており、その周波
数Ｆ、はレーザ光の波長をλ、周波数シフタの周波数変
調をｆＲ、又、回折格子の格子間隔をｄとすると次式
（１１）で与えられる。
【００３９】
Ｆ＝２・Ｖ・ｓｉｎθ／λ＋ｆＲ
＝２・Ｖ／ｄ＋ｆＲ … （１１）
【００４０】光センサー９の実装された電気基板４０
は、他に外部から供給される電源ライン４１、外部へ信
号を送る信号ライン４２、光センサーの出力を増幅する
アンプ回路４３、及びレーザーダイオード１を一定出力
に制御するレーザー駆動回路４４を実装している。ライ
ン４１、４２はアースされた編成シールド５０によって
覆われている。
は、他に外部から供給される電源ライン４１、外部へ信
号を送る信号ライン４２、光センサーの出力を増幅する
アンプ回路４３、及びレーザーダイオード１を一定出力
に制御するレーザー駆動回路４４を実装している。ライ
ン４１、４２はアースされた編成シールド５０によって
覆われている。
【００４１】光センサー９から得られた検出信号は、ア
ンプ回路４３によって増幅され、信号ライン４２によっ
て不図示の外部の信号処理装置に送信される。外部の信
号処理装置では、式（１１）に基づいて、周波数Ｆから
被測定物７の移動速度Ｖを算出する。信号処理に関して
は、知られているので説明は省略する。
ンプ回路４３によって増幅され、信号ライン４２によっ
て不図示の外部の信号処理装置に送信される。外部の信
号処理装置では、式（１１）に基づいて、周波数Ｆから
被測定物７の移動速度Ｖを算出する。信号処理に関して
は、知られているので説明は省略する。
【００４２】一方、電気光学素子１０に鋸歯状波を印加
するセロダイン駆動回路２０の１例のブロック図を図5
に示す。
するセロダイン駆動回路２０の１例のブロック図を図5
に示す。
【００４３】定電流回路２０Ａと放電回路２０Ｂからな
り、定電流回路２０Ａは定電流ｉを、一定容量とみなさ
れる周波数シフタ１０の電極に流し、充電する。
り、定電流回路２０Ａは定電流ｉを、一定容量とみなさ
れる周波数シフタ１０の電極に流し、充電する。
【００４４】放電回路２０Ｂでは、一定周期の極く短い
パルス２４でスイッチを瞬間”オン”にし、定電流回路
２０Ａにより充電された電気光学素子１０を瞬時に放電
する。したがって充電と瞬時の放電を繰り返すことによ
り、一定周期のセロダイン駆動が行われる。
パルス２４でスイッチを瞬間”オン”にし、定電流回路
２０Ａにより充電された電気光学素子１０を瞬時に放電
する。したがって充電と瞬時の放電を繰り返すことによ
り、一定周期のセロダイン駆動が行われる。
【００４５】図6は、本実施例に用いられたセロダイン
駆動回路の回路図である。定電流回路２０Ａは可変抵抗
ＶＲ１とトランジスタＱ１とツェナーダイオードＺｄ等
からなり、可変抵抗ＶＲ１により調整された定電流ｉ
を、出力インピーダンスを上げるトランジスタＱ２を介
して、一定容量とみなされる電気光学素子１０に供給す
る。放電回路２０Ｂでは、発信器等から入力されたクロ
ック２３から入力されたクロック信号の立ち下がりで、
可変抵抗ＶＲ２とコンデンサーＣから成る遅延回路を用
い、極短いパルス２４を作る。このパルスを用いて、ス
イッチングトランジスタＱ３を瞬間”オン”にし、定電
流回路２０Ａにより充電された電気光学素子１０を瞬時
にスイッチングトランジスタＱ３のソース電圧−ＨＶ近
くまで放電する。したがって充電と瞬時の放電を繰り返
すことにより、入力クロック２３のクロック信号周期の
セロダイン駆動が行われる。パルス２４のパルス幅は、
可変抵抗ＶＲ２によって調整される。
駆動回路の回路図である。定電流回路２０Ａは可変抵抗
ＶＲ１とトランジスタＱ１とツェナーダイオードＺｄ等
からなり、可変抵抗ＶＲ１により調整された定電流ｉ
を、出力インピーダンスを上げるトランジスタＱ２を介
して、一定容量とみなされる電気光学素子１０に供給す
る。放電回路２０Ｂでは、発信器等から入力されたクロ
ック２３から入力されたクロック信号の立ち下がりで、
可変抵抗ＶＲ２とコンデンサーＣから成る遅延回路を用
い、極短いパルス２４を作る。このパルスを用いて、ス
イッチングトランジスタＱ３を瞬間”オン”にし、定電
流回路２０Ａにより充電された電気光学素子１０を瞬時
にスイッチングトランジスタＱ３のソース電圧−ＨＶ近
くまで放電する。したがって充電と瞬時の放電を繰り返
すことにより、入力クロック２３のクロック信号周期の
セロダイン駆動が行われる。パルス２４のパルス幅は、
可変抵抗ＶＲ２によって調整される。
【００４６】上記回路においては、スイッチングトラン
ジスタＱ３は、パルス電流容量が大きく、スイッチング
速度が早いことが好ましく、又駆動回路２０と電気光学
素子１０とをモジュール化する為には、小型の表面実装
素子が望ましい。高速、小型のスイッチング素子として
は、一般にトランジスタが用いられるが、放電を、トラ
ンジスタを飽和させて使用すると図5の（ａ）の電気光
学素子１０への鋸歯状波信号が、（ｂ）のように放電に
続く立ち上がりのリニアリティが悪くなり、又これを避
けるためにトランジスタの未飽和領域を使用すると、環
境温度や放電の信号電圧に不安定になる傾向にある。
ジスタＱ３は、パルス電流容量が大きく、スイッチング
速度が早いことが好ましく、又駆動回路２０と電気光学
素子１０とをモジュール化する為には、小型の表面実装
素子が望ましい。高速、小型のスイッチング素子として
は、一般にトランジスタが用いられるが、放電を、トラ
ンジスタを飽和させて使用すると図5の（ａ）の電気光
学素子１０への鋸歯状波信号が、（ｂ）のように放電に
続く立ち上がりのリニアリティが悪くなり、又これを避
けるためにトランジスタの未飽和領域を使用すると、環
境温度や放電の信号電圧に不安定になる傾向にある。
【００４７】図7の（ａ）に本実施例におけるスイッチ
ングトランジスタＱ３としてのＦＥＴトランジスタのゲ
ート電圧とドレイン電流の特性を示す。これは本回路に
用いた２ＳＫ１３３４（日立製）のものである。本実施
例の装置においては、環境温度によるゲート電圧ードレ
イン電流特性が交差する点、即ちＩＱ点を、前記スイッ
チングパルス２４の電圧（約５．５Ｖ）と設定した。こ
れにより環境温度に対しても安定してスイッチングで
き、従って環境に強い安定したセロダイン駆動が可能に
なる。
ングトランジスタＱ３としてのＦＥＴトランジスタのゲ
ート電圧とドレイン電流の特性を示す。これは本回路に
用いた２ＳＫ１３３４（日立製）のものである。本実施
例の装置においては、環境温度によるゲート電圧ードレ
イン電流特性が交差する点、即ちＩＱ点を、前記スイッ
チングパルス２４の電圧（約５．５Ｖ）と設定した。こ
れにより環境温度に対しても安定してスイッチングで
き、従って環境に強い安定したセロダイン駆動が可能に
なる。
【００４８】また、ロジック集積回路ＩＣａ〜ＩＣｄと
して、ＦＥＴトランジスタを直接駆動出来、高速のロジ
ックＩＣ、ＴＣ７４ＡＣ００Ｆ（東芝製）を用いた。
して、ＦＥＴトランジスタを直接駆動出来、高速のロジ
ックＩＣ、ＴＣ７４ＡＣ００Ｆ（東芝製）を用いた。
【００４９】図7の（ｂ）は、前述のスイッチングパル
ス２４の電圧を、ＩＱ点と、その前後に電圧を変えた時
の、セロダイン駆動の環境温度特性であり、セロダイン
駆動の鋸歯状波の放電直前（ピーク）と直後（ボトム）
を示す。調整は２５℃の時、ＶＲ２でパルス幅を変化さ
せ行ったが、セロダイン周波数２００ｋＨｚに対して、
パルス幅２０ｎｓｅｃ〜２５ｎｓｅｃの範囲であった。
ス２４の電圧を、ＩＱ点と、その前後に電圧を変えた時
の、セロダイン駆動の環境温度特性であり、セロダイン
駆動の鋸歯状波の放電直前（ピーク）と直後（ボトム）
を示す。調整は２５℃の時、ＶＲ２でパルス幅を変化さ
せ行ったが、セロダイン周波数２００ｋＨｚに対して、
パルス幅２０ｎｓｅｃ〜２５ｎｓｅｃの範囲であった。
【００５０】図7（ｂ）から、ＦＥＴトランジスタをス
イッチング素子に用い、スイッチングパルス２４の電圧
を、ＩＱ点のゲート電圧に設定することにより、環境温
度に対し安定したセロダイン駆動が可能になったことが
理解される。
イッチング素子に用い、スイッチングパルス２４の電圧
を、ＩＱ点のゲート電圧に設定することにより、環境温
度に対し安定したセロダイン駆動が可能になったことが
理解される。
【００５１】図8に本実施例の部分変形例を示す。
【００５２】図8において（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、
セロダイン回路と電気光学素子１０を一体化にし、モジ
ュール化した変形例を説明する図である。（ａ）ではリ
ード線１６ｂにより、（ｂ）は直接電極１３に接触させ
て電気光学素子１０に鋸歯状波を供給する。
セロダイン回路と電気光学素子１０を一体化にし、モジ
ュール化した変形例を説明する図である。（ａ）ではリ
ード線１６ｂにより、（ｂ）は直接電極１３に接触させ
て電気光学素子１０に鋸歯状波を供給する。
【００５３】（ａ）において、電気光学素子１０のセロ
ダイン駆動電極１３に面して、前述のセロダイン駆動回
路２０を表面実装した回路基板１６をスペーサ１５ａ、
１５ｂを介して積層され、電極１３へは電極１３側に設
けられたパッド１６ａから短いリード線１６ｂを介し
て、鋸歯状波が供給される構成となっている。
ダイン駆動電極１３に面して、前述のセロダイン駆動回
路２０を表面実装した回路基板１６をスペーサ１５ａ、
１５ｂを介して積層され、電極１３へは電極１３側に設
けられたパッド１６ａから短いリード線１６ｂを介し
て、鋸歯状波が供給される構成となっている。
【００５４】電気光学素子１０とセロダイン駆動回路基
板１６は、光束の開口１４ａ〜１４ｄと図7における電
源及び後述するクロック２３用のコード１４ｆの開口１
４ｅとを設けられた、導体より構成されるカバー１４
と、電気光学素子１０のグランド側の電極１２とでシー
ルドされている。
板１６は、光束の開口１４ａ〜１４ｄと図7における電
源及び後述するクロック２３用のコード１４ｆの開口１
４ｅとを設けられた、導体より構成されるカバー１４
と、電気光学素子１０のグランド側の電極１２とでシー
ルドされている。
【００５５】（ｂ）において、セロダイン駆動回路基板
１６’には、セロダイン駆動回路の各素子が片面に表面
実装されて積層され、他面には鋸歯状波を供給する電極
１６ｃが設けられている。電極１６ｃは、ほぼ電気光学
素子１０の電極１３の大きさで金メッキされ、ネジ止め
によって直接電気光学素子１０の電極１３に接触させて
鋸歯状波を供給する。この様に回路基板に電極１３との
接触電極をメッキすることにより、ケース内の構成がよ
り小型化でき、装置の更なる小型化が実現できる。
１６’には、セロダイン駆動回路の各素子が片面に表面
実装されて積層され、他面には鋸歯状波を供給する電極
１６ｃが設けられている。電極１６ｃは、ほぼ電気光学
素子１０の電極１３の大きさで金メッキされ、ネジ止め
によって直接電気光学素子１０の電極１３に接触させて
鋸歯状波を供給する。この様に回路基板に電極１３との
接触電極をメッキすることにより、ケース内の構成がよ
り小型化でき、装置の更なる小型化が実現できる。
【００５６】電気光学素子１０とセロダイン駆動回路基
板１６は、光束の開口電源及びクロック２３のコードの
開口を有する導体カバー１４と、電気光学素子１０のグ
ランド側の電極１２とでシールドされている。
板１６は、光束の開口電源及びクロック２３のコードの
開口を有する導体カバー１４と、電気光学素子１０のグ
ランド側の電極１２とでシールドされている。
【００５７】図9は、上記モジュール化された周波数シ
フタに有用なセロダイン駆動回路を用いた実施例の説明
図である。
フタに有用なセロダイン駆動回路を用いた実施例の説明
図である。
【００５８】定電流回路２０Ａ及び放電回路２０Ｂの構
成は図6と同じであるが、定電流回路２０Ａ及び放電回
路２０Ｂへの供給電圧は電圧レギュレータＱ４を介して
供給される形態をとっている。
成は図6と同じであるが、定電流回路２０Ａ及び放電回
路２０Ｂへの供給電圧は電圧レギュレータＱ４を介して
供給される形態をとっている。
【００５９】スイッチングトランジスタＱ３は、アナロ
グ領域で使用されるので、スイッチングパルス２４の電
圧に敏感である。従って供給電圧が変わって、スイッチ
ングパルス２４の電圧が少し変わっても、ＶＲ２を調整
し直す必要がある。前記電圧レギュレータＱ４を導入す
る事で周波数モジュール内で、スイッチングパルス２４
をつくる回路（ＩＣａ〜ＩＣｄ）の電源が変化しないの
で、ＶＲ２を調整し直さす必要がない。このため、モジ
ュール化して内部回路の調整が困難な構成には特に有効
である。
グ領域で使用されるので、スイッチングパルス２４の電
圧に敏感である。従って供給電圧が変わって、スイッチ
ングパルス２４の電圧が少し変わっても、ＶＲ２を調整
し直す必要がある。前記電圧レギュレータＱ４を導入す
る事で周波数モジュール内で、スイッチングパルス２４
をつくる回路（ＩＣａ〜ＩＣｄ）の電源が変化しないの
で、ＶＲ２を調整し直さす必要がない。このため、モジ
ュール化して内部回路の調整が困難な構成には特に有効
である。
【００６０】電圧レギュレータとしては、小型で表面実
装型である３端子レギュレータ、ＸＣ６２ＡＰ５５Ｏ２
Ｍ（トレックセミコンダク社製）を用いた。
装型である３端子レギュレータ、ＸＣ６２ＡＰ５５Ｏ２
Ｍ（トレックセミコンダク社製）を用いた。
【００６１】図9では、定電流回路２０Ａの電源も電圧
レギュレータＱ４から得ていて、定電流ｉの変化も全く
なく、鋸歯状波の振幅を一定にすることが出来る。
レギュレータＱ４から得ていて、定電流ｉの変化も全く
なく、鋸歯状波の振幅を一定にすることが出来る。
【００６２】
【発明の効果】以上述べたように第１発明によれば、ス
イッチング信号の電圧をＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点
に設定したことにより、電気光学素子を用いた周波数シ
フタの駆動を正確な波形で安定したものにできる。
イッチング信号の電圧をＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点
に設定したことにより、電気光学素子を用いた周波数シ
フタの駆動を正確な波形で安定したものにできる。
【００６３】また、第２発明によれば、放電回路の放電
用のスイッチング信号を形成する為の電圧供給部に設け
られた電源レギュレータにより、電気光学素子を用いた
周波数シフタの駆動を正確な波形で安定したものにでき
る。
用のスイッチング信号を形成する為の電圧供給部に設け
られた電源レギュレータにより、電気光学素子を用いた
周波数シフタの駆動を正確な波形で安定したものにでき
る。
【００６４】また、第３発明によれば、更に電気光学素
子を用いた周波数シフタの駆動をより安定したものにで
きる。
子を用いた周波数シフタの駆動をより安定したものにで
きる。
【００６５】また、第４発明によれば、更に外部回路に
高周波ノイズを与えない形で電気光学素子を用いた周波
数シフタの駆動をより安定したものにできる。
高周波ノイズを与えない形で電気光学素子を用いた周波
数シフタの駆動をより安定したものにできる。
【００６６】また、第５発明によれば、電気光学素子を
用いた周波数シフタの駆動を正確な波形で安定したもの
にでき、より正確な変位計測が可能になる。
用いた周波数シフタの駆動を正確な波形で安定したもの
にでき、より正確な変位計測が可能になる。
【図１】レーザードップラ速度計の従来例を示す図
【図２】レーザードップラ速度計の従来例を説明する図
【図３】本発明の第１実施例の電気光学素子の光周波数
シフタを組み込んだレーザードップラ速度計の説明図
シフタを組み込んだレーザードップラ速度計の説明図
【図４】電気光学素子による光周波数シフタの説明図
【図５】セロダイン（鋸歯状波）駆動のブロック図
【図６】セロダイン駆動回路の回路説明図
【図７】回路の特性の説明図
【図８】周波数シフタモジュールの変形例の説明図
【図９】本発明の他の実施例の説明図
１ レーザーダイオード
２ コリメータレンズ
３ 回折格子
４ ビームスプッリタ
５、６ 凸レンズ
７ 被測定物
８ 集光レンズ
９ 光センサー
１０ 周波数シフタ１１ａ
１１ｂ 電気光学素子
１２、１３ 電極
１４ シールド導体
１６ セロダイン回路基板
２０ セロダイン回路
４０ 電気基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−91607（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−181785（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−285875（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−69941（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01P 3/36
G01B 11/00
G01P 5/00
G01S 17/58
G02F 2/02
Claims (5)
- 【請求項１】 電気光学素子に電圧を印加する事により
前記電気光学素子に入射した光束の位相を変調する周波
数シフタに於いて、前記電気光学素子に駆動電圧を印加
する回路が一定電流を供給するための定電流回路とスイ
ッチング素子がＦＥＴトランジスタから構成された放電
回路とを有し、更に該スイッチング素子のスイッチング
信号の電圧を該ＦＥＴトランジスタの略ＩＱ点に設定し
たことを特徴とする周波数シフタ。 - 【請求項２】 電気光学素子に電圧を印加する事により
前記電気光学素子に入射した光束の位相を変調する周波
数シフタに於いて、前記電気光学素子に駆動電圧を印加
する回路が、一定電流を供給するための定電流回路と、
放電回路と、該放電回路の放電用のスイッチング信号を
形成する為の電圧供給部に設けられた電源レギュレータ
とを有することを特徴とする周波数シフタ。 - 【請求項３】 前記放電回路のスイッチング素子がＦＥ
Ｔトランジスタから構成され、更にスイッチング素子の
スイッチング信号の電圧を該ＦＥＴトランジスタの略Ｉ
Ｑ点に設定したことを特徴とする請求項２に記載の周波
数シフタ。 - 【請求項４】 前記電気光学素子に印加する電圧を発生
させる回路と前記電気光学素子とを外部回路に対してシ
ールドするシールド手段を設けたことを特徴とする請求
項１から３のいずれかに記載の周波数シフタ。 - 【請求項５】 電気光学素子に電圧を印加する事により
前記電気光学素子に入射した光束の位相を変調する周波
数シフタと、該周波数シフタを介した光束を移動物体に
入射させる光学手段と、該光学手段で光束入射された移
動物体からのドップラーシフトを受けた散乱光を検出す
る検出手段とを有し、該検出手段の検出により前記移動
物体の変位情報を検出する光学式変位計測装置におい
て、前記周波数シフタが請求項１から４のいずれかに記
載の周波数シフタであることを特徴とする光学式変位計
測装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11456395A JP3486479B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 |
| US08/607,115 US5796470A (en) | 1995-02-28 | 1996-02-26 | Frequency shifter and optical displacement measuring apparatus using the frequency shifter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11456395A JP3486479B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304429A JPH08304429A (ja) | 1996-11-22 |
| JP3486479B2 true JP3486479B2 (ja) | 2004-01-13 |
Family
ID=14640954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11456395A Expired - Fee Related JP3486479B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-05-12 | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3486479B2 (ja) |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP11456395A patent/JP3486479B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08304429A (ja) | 1996-11-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3491969B2 (ja) | 変位情報測定装置 | |
| US5278499A (en) | Fiberoptic apparatus for measuring electromagnetic field intensity with an electro-optic sensor | |
| US20150070709A1 (en) | Electro-optic modulator and electro-optic distance-measuring device | |
| JPH08304430A (ja) | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| US5227715A (en) | Apparatus for measuring electromagnetic field intensity using dual polarized light beams | |
| US5796470A (en) | Frequency shifter and optical displacement measuring apparatus using the frequency shifter | |
| JP3513247B2 (ja) | 周波数シフター及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| EP0706064A1 (en) | Displacement information measuring apparatus | |
| EP0699925B1 (en) | Optical type displacement detecting apparatus | |
| JPH05249201A (ja) | 電子部品内の電気信号サンプリング方法及び装置 | |
| US6034761A (en) | Displacement information measuring apparatus | |
| JP3486479B2 (ja) | 周波数シフタ及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| JP3489701B2 (ja) | 電気信号測定装置 | |
| JP6989852B2 (ja) | 電界センサ | |
| EP0913666A2 (en) | Interference measurement apparatus and probe used for interference measurement apparatus | |
| JP3492024B2 (ja) | 周波数シフター及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| JP2509246B2 (ja) | 光波測距儀 | |
| JP3114104B2 (ja) | 電気光学効果を用いた電界センサ装置 | |
| JPH08285875A (ja) | 周波数シフター及びそれを用いた光学式変位計測装置 | |
| JP3018982B2 (ja) | プリント基板の信号波形測定装置 | |
| JPH06242162A (ja) | 電界センサ装置 | |
| JP3566392B2 (ja) | 変位情報測定装置 | |
| JP2023183122A (ja) | 電圧測定装置 | |
| JPH063375A (ja) | 電気光学効果を利用した電界分布測定装置 | |
| JPH08129054A (ja) | 集積回路の回路試験装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031007 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071024 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131024 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |