JPH0822896A - Ｘ線装置 - Google Patents
Ｘ線装置Info
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- JPH0822896A JPH0822896A JP6157664A JP15766494A JPH0822896A JP H0822896 A JPH0822896 A JP H0822896A JP 6157664 A JP6157664 A JP 6157664A JP 15766494 A JP15766494 A JP 15766494A JP H0822896 A JPH0822896 A JP H0822896A
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- circuit
- ray
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/02—Constructional details
- H05G1/04—Mounting the X-ray tube within a closed housing
- H05G1/06—X-ray tube and at least part of the power supply apparatus being mounted within the same housing
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/10—Power supply arrangements for feeding the X-ray tube
- H05G1/12—Power supply arrangements for feeding the X-ray tube with dc or rectified single-phase ac or double-phase
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
- H05G1/32—Supply voltage of the X-ray apparatus or tube
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、電力損失の少ない回路を備えたＸ
線装置を提供することを目的とする。 【構成】 ターゲット用電圧発生回路（４００）が備え
る第１の電圧発生部（４１０）では、スイッチ素子のス
イッチング動作により入力電圧を所定の設定電圧に降圧
させている。さらに、スイッチ素子のスイッチング動作
は、第２の電圧発生部（４２０）からの信号電圧によっ
て制御されている。このため、第１の電圧発生部（４１
０）での電力損失がほとんどなく、回路からの発熱が非
常に少ない。よって、特別な空冷ファンを用いることな
く自然空冷で回路を冷却することができる。
線装置を提供することを目的とする。 【構成】 ターゲット用電圧発生回路（４００）が備え
る第１の電圧発生部（４１０）では、スイッチ素子のス
イッチング動作により入力電圧を所定の設定電圧に降圧
させている。さらに、スイッチ素子のスイッチング動作
は、第２の電圧発生部（４２０）からの信号電圧によっ
て制御されている。このため、第１の電圧発生部（４１
０）での電力損失がほとんどなく、回路からの発熱が非
常に少ない。よって、特別な空冷ファンを用いることな
く自然空冷で回路を冷却することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線管を内蔵したＸ線
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
米国特許５，０７７，７７１、米国特許４，６４６，３
３８、米国特許４，６９４，４８０のものが知られてい
る。これらの文献にはＸ線管と、モールドされた高圧電
源及び制御回路とから構成された携帯用のＸ線装置が開
示されている。
米国特許５，０７７，７７１、米国特許４，６４６，３
３８、米国特許４，６９４，４８０のものが知られてい
る。これらの文献にはＸ線管と、モールドされた高圧電
源及び制御回路とから構成された携帯用のＸ線装置が開
示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線管への電圧の印加
方法には、カソードアース、ターゲットアース、或いは
フォーカス電圧を可変する方法が用いられていた。しか
しながら、マイクロフォーカス微小焦点を発生させる点
については、上述したいずれの文献にも言及されておら
ず、或いは言及されていても不十分であった。
方法には、カソードアース、ターゲットアース、或いは
フォーカス電圧を可変する方法が用いられていた。しか
しながら、マイクロフォーカス微小焦点を発生させる点
については、上述したいずれの文献にも言及されておら
ず、或いは言及されていても不十分であった。
【０００４】高電圧発生回路の電圧制御方式にはＰＷＭ
方式やパルス電圧制御方式などがある。この内、ＰＷＭ
方式は、制御パルスのパルス幅を変えて実効電圧を制御
する様になっているため、高電圧を発生させるトランス
の２次側の追従性が悪く、Ｘ線のゆらぎが大きい。ま
た、パルス電圧制御方式は、高電圧を発生させるトラン
スの１次側コイルへ供給する動作がスイッチングトラン
ジスタによる電流制御方式になっているため、発熱によ
る電力損失が多く、ファンによる冷却が必要となり、フ
ァンの振動のためにＸ線の微小焦点が維持できないこと
が障害となっていた。
方式やパルス電圧制御方式などがある。この内、ＰＷＭ
方式は、制御パルスのパルス幅を変えて実効電圧を制御
する様になっているため、高電圧を発生させるトランス
の２次側の追従性が悪く、Ｘ線のゆらぎが大きい。ま
た、パルス電圧制御方式は、高電圧を発生させるトラン
スの１次側コイルへ供給する動作がスイッチングトラン
ジスタによる電流制御方式になっているため、発熱によ
る電力損失が多く、ファンによる冷却が必要となり、フ
ァンの振動のためにＸ線の微小焦点が維持できないこと
が障害となっていた。
【０００５】さらに、高電圧を発生させるコッククロフ
トウォルトン回路を用いる場合、コンデンサ及びダイオ
ードの構成が絶縁をする容器をシリコンゴム或いはエポ
キシ樹脂で固めている。しかし、これらの絶縁材の充填
時にコンデンサ及びダイオードの位置（配置）がずれる
ため、高電圧の発生時のバラツキが大きく、不安定にな
ることが多く問題であった。
トウォルトン回路を用いる場合、コンデンサ及びダイオ
ードの構成が絶縁をする容器をシリコンゴム或いはエポ
キシ樹脂で固めている。しかし、これらの絶縁材の充填
時にコンデンサ及びダイオードの位置（配置）がずれる
ため、高電圧の発生時のバラツキが大きく、不安定にな
ることが多く問題であった。
【０００６】本発明は、このような問題を解決すること
を目的とする。
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のＸ線装置は、カソード・ターゲット間に高
電圧を印加してカソードから放出された電子をターゲッ
トに衝突させることによってＸ線を発生させるＸ線管
と、ターゲットにプラス高電圧を印加するターゲット用
電圧発生回路とを備えている。さらに、ターゲット用電
圧発生回路は、スイッチ素子のスイッチング動作により
入力電圧を所定の設定電圧に降圧させる第１の電圧発生
部と、第１の電圧発生部からの出力電圧を所定の比率で
昇圧させる第２の電圧発生部とを備えている。
に、本発明のＸ線装置は、カソード・ターゲット間に高
電圧を印加してカソードから放出された電子をターゲッ
トに衝突させることによってＸ線を発生させるＸ線管
と、ターゲットにプラス高電圧を印加するターゲット用
電圧発生回路とを備えている。さらに、ターゲット用電
圧発生回路は、スイッチ素子のスイッチング動作により
入力電圧を所定の設定電圧に降圧させる第１の電圧発生
部と、第１の電圧発生部からの出力電圧を所定の比率で
昇圧させる第２の電圧発生部とを備えている。
【０００８】そして、第１の電圧発生部には第２の電圧
発生部からの出力電圧を分圧した信号電圧が与えられ、
第１の電圧発生部ではこの信号電圧が設定電圧と平衡す
るまで、スイッチ素子のスイッチング動作を行う。
発生部からの出力電圧を分圧した信号電圧が与えられ、
第１の電圧発生部ではこの信号電圧が設定電圧と平衡す
るまで、スイッチ素子のスイッチング動作を行う。
【０００９】
【作用】本発明のＸ線装置によれば、ターゲット用電圧
発生回路が備える第１の電圧発生部では、スイッチ素子
のスイッチング（ＯＮ／ＯＦＦ）動作により入力電圧を
所定の設定電圧に降圧させている。このため、リニアに
定電圧制御を行う回路に比べて電力損失が少ない。ま
た、第１の電圧発生部には第２の電圧発生部からの出力
電圧を分圧した信号電圧が与えられ、第１の電圧発生部
ではこの信号電圧を制御信号としてスイッチ素子を動作
させている。このため、スイッチ素子は必要最小限の動
作範囲で駆動することとなり、このような帰還制御を行
わない回路に比べて電力損失が少ない。さらに、第１の
電圧発生部にスイッチ素子からの出力電流を充電する容
量素子が設けられている場合には、スイッチ素子からの
出力電流が容量素子への充電電流として有効に利用でき
るので、容量素子を用いない回路に比べて電力損失が少
ない。このように、第１の電圧発生部の電力損失がほと
んどなく第１の電圧発生部で発生する熱が少ないため、
ターゲット用電圧発生回路は自然空冷で冷却でき、冷却
ファンが不要となる。
発生回路が備える第１の電圧発生部では、スイッチ素子
のスイッチング（ＯＮ／ＯＦＦ）動作により入力電圧を
所定の設定電圧に降圧させている。このため、リニアに
定電圧制御を行う回路に比べて電力損失が少ない。ま
た、第１の電圧発生部には第２の電圧発生部からの出力
電圧を分圧した信号電圧が与えられ、第１の電圧発生部
ではこの信号電圧を制御信号としてスイッチ素子を動作
させている。このため、スイッチ素子は必要最小限の動
作範囲で駆動することとなり、このような帰還制御を行
わない回路に比べて電力損失が少ない。さらに、第１の
電圧発生部にスイッチ素子からの出力電流を充電する容
量素子が設けられている場合には、スイッチ素子からの
出力電流が容量素子への充電電流として有効に利用でき
るので、容量素子を用いない回路に比べて電力損失が少
ない。このように、第１の電圧発生部の電力損失がほと
んどなく第１の電圧発生部で発生する熱が少ないため、
ターゲット用電圧発生回路は自然空冷で冷却でき、冷却
ファンが不要となる。
【００１０】また、第２の電圧発生部にコッククロフト
ウォルトン回路が設けられている場合には、絶縁基板上
に整流素子及び容量素子が配線接続されているので、各
素子は絶縁基板によって固定され、各素子の位置ズレが
生じることはない。このため、各素子の位置ズレに起因
する高電圧出力のばらつきが発生することがなく、第２
の電圧発生部からは安定した高電圧出力が得られる。
ウォルトン回路が設けられている場合には、絶縁基板上
に整流素子及び容量素子が配線接続されているので、各
素子は絶縁基板によって固定され、各素子の位置ズレが
生じることはない。このため、各素子の位置ズレに起因
する高電圧出力のばらつきが発生することがなく、第２
の電圧発生部からは安定した高電圧出力が得られる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例について添付図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１２】図１は本実施例に係るＸ線装置の構成を示
す斜視図、図２（ａ）（ｂ）は本実施例に係るＸ線装置
の構成を示す断面図である。図１及び図２（ａ）（ｂ）
より、本実施例のＸ線装置は、Ｘ線を放射するマイクロ
フォーカスＸ線管１０と、マイクロフォーカスＸ線管１
０に高電圧を印加するコッククロフトウォルトン回路２
０ａと、マイクロフォーカスＸ線管１０に高電圧を印加
する制御回路２３，３１と、外部よりこれらの回路を制
御するコントロール装置４０とを備えている。また、コ
ッククロフトウォルトン回路２０ａは、その構成を支持
する絶縁部材からなる支持基板２０ｂを備えている。コ
ッククロフトウォルトン回路２０ａ及び支持基板２０ｂ
は、モールドブロック２１でモールドされており、モー
ルドブロック２１の前部側面に設けられた絶縁油槽２１
ａを通してターゲット高電圧供給端子２２とマイクロフ
ォーカスＸ線管１０が接続されている。
す斜視図、図２（ａ）（ｂ）は本実施例に係るＸ線装置
の構成を示す断面図である。図１及び図２（ａ）（ｂ）
より、本実施例のＸ線装置は、Ｘ線を放射するマイクロ
フォーカスＸ線管１０と、マイクロフォーカスＸ線管１
０に高電圧を印加するコッククロフトウォルトン回路２
０ａと、マイクロフォーカスＸ線管１０に高電圧を印加
する制御回路２３，３１と、外部よりこれらの回路を制
御するコントロール装置４０とを備えている。また、コ
ッククロフトウォルトン回路２０ａは、その構成を支持
する絶縁部材からなる支持基板２０ｂを備えている。コ
ッククロフトウォルトン回路２０ａ及び支持基板２０ｂ
は、モールドブロック２１でモールドされており、モー
ルドブロック２１の前部側面に設けられた絶縁油槽２１
ａを通してターゲット高電圧供給端子２２とマイクロフ
ォーカスＸ線管１０が接続されている。
【００１３】モールドブロック２１の上には、コックク
ロフトウォルトン回路２０ａの駆動用としてのステップ
ダウンインバータ回路及びプッシュプルインバータ回路
が備えられた基板２３と、マイクロフォーカスＸ線管１
０のカソード電極へ高電圧電力を供給するコッククロフ
トウォルトン回路３０が搭載されている。さらに筐体５
０の後部側面には、コントロール装置４０をケーブルで
接続するためのコネクタ２５が設けられている。
ロフトウォルトン回路２０ａの駆動用としてのステップ
ダウンインバータ回路及びプッシュプルインバータ回路
が備えられた基板２３と、マイクロフォーカスＸ線管１
０のカソード電極へ高電圧電力を供給するコッククロフ
トウォルトン回路３０が搭載されている。さらに筐体５
０の後部側面には、コントロール装置４０をケーブルで
接続するためのコネクタ２５が設けられている。
【００１４】図３に、マイクロフォーカスＸ線管１０の
断面構造を示す。同図より、マイクロフォーカスＸ線管
１０は、金属製の外囲器１２とガラス製の外囲器１３と
を組み合わせて構成されている。外囲器１２の一端には
セラミック製のステム１１がはめ込まれており、外囲器
１２の側面にはベリリウム製のＸ線出射窓１４が形成さ
れている。
断面構造を示す。同図より、マイクロフォーカスＸ線管
１０は、金属製の外囲器１２とガラス製の外囲器１３と
を組み合わせて構成されている。外囲器１２の一端には
セラミック製のステム１１がはめ込まれており、外囲器
１２の側面にはベリリウム製のＸ線出射窓１４が形成さ
れている。
【００１５】外囲器１２，１３の内部には、外囲器１２
側に電子銃１５が配置され、外囲器１３側に無酸素銅の
ターゲット基体１６が配置されている。電子銃１５は、
ヒーター電極１５ａ、カソード１５ｂ、グリッド電極１
５ｃ、フォーカス電極１５ｄから構成されている。ま
た、ターゲット基体１６の先端には、タングステンのタ
ーゲット１６ａが銀でろう付けされている。
側に電子銃１５が配置され、外囲器１３側に無酸素銅の
ターゲット基体１６が配置されている。電子銃１５は、
ヒーター電極１５ａ、カソード１５ｂ、グリッド電極１
５ｃ、フォーカス電極１５ｄから構成されている。ま
た、ターゲット基体１６の先端には、タングステンのタ
ーゲット１６ａが銀でろう付けされている。
【００１６】ヒーター電極１５ａによりカソード１５ｂ
が加熱されると、一定の温度でカソード１５ｂの表面か
ら電子が放出される。放出された電子は、グリッド電極
１５ｃで加速され、フォーカス電極１５ｄで集束され
て、ターゲット１６ａに衝突する。衝突により、電子は
Ｘ線と熱に変換され、発生したＸ線はＸ線出射窓１４か
ら外部に出射する。また、発生した熱は熱伝導性の高い
ターゲット基体１６を通って外部に放出される。
が加熱されると、一定の温度でカソード１５ｂの表面か
ら電子が放出される。放出された電子は、グリッド電極
１５ｃで加速され、フォーカス電極１５ｄで集束され
て、ターゲット１６ａに衝突する。衝突により、電子は
Ｘ線と熱に変換され、発生したＸ線はＸ線出射窓１４か
ら外部に出射する。また、発生した熱は熱伝導性の高い
ターゲット基体１６を通って外部に放出される。
【００１７】電子がターゲット１６ａに向かう軌道に垂
直な面に対して、ターゲット１６ａは２５°傾けて配置
されている。このようにターゲット１６ａが傾けて配置
されているので、発生したＸ線の多くはＸ線出射窓１４
に到達し、Ｘ線出射窓１４から外部に出射する。
直な面に対して、ターゲット１６ａは２５°傾けて配置
されている。このようにターゲット１６ａが傾けて配置
されているので、発生したＸ線の多くはＸ線出射窓１４
に到達し、Ｘ線出射窓１４から外部に出射する。
【００１８】図４は、モールドブロック２１の外観を示
す斜視図である。同図に示すモールドブロック２１に
は、コッククロフトウォルトン回路２０ａと支持基板２
０ｂが埋め込まれている。コッククロフトウォルトン回
路２０ａは、７０ｋＶ程度の高圧電源装置によく用いら
れる回路である。７０ｋＶ程度の高電圧では、特に昇圧
されて高圧になる箇所が周囲の環境に左右されないよう
に、耐絶縁材料でモールドする必要がある。このため、
モールドブロック２１によってモールドが施されている
のである。従来は、コッククロフトウォルトン回路をモ
ールドブロックで固める際に、コッククロフトウォルト
ン回路を構成する複数のダイオードとコンデンサが位置
ズレを起こすことが多かった。このように位置ズレが生
じたコッククロフトウォルトン回路からの高電圧出力は
ばらつくことが多く、安定した高電圧の供給が困難であ
った。
す斜視図である。同図に示すモールドブロック２１に
は、コッククロフトウォルトン回路２０ａと支持基板２
０ｂが埋め込まれている。コッククロフトウォルトン回
路２０ａは、７０ｋＶ程度の高圧電源装置によく用いら
れる回路である。７０ｋＶ程度の高電圧では、特に昇圧
されて高圧になる箇所が周囲の環境に左右されないよう
に、耐絶縁材料でモールドする必要がある。このため、
モールドブロック２１によってモールドが施されている
のである。従来は、コッククロフトウォルトン回路をモ
ールドブロックで固める際に、コッククロフトウォルト
ン回路を構成する複数のダイオードとコンデンサが位置
ズレを起こすことが多かった。このように位置ズレが生
じたコッククロフトウォルトン回路からの高電圧出力は
ばらつくことが多く、安定した高電圧の供給が困難であ
った。
【００１９】本実施例では、図５（ａ）〜（ｃ）に示す
ように、コッククロフトウォルトン回路２０ａを構成す
る複数のダイオード及びコンデンサを、支持基板２０ｂ
上にハンダ付けしている。さらにダイオードとコンデン
サを支持基板２０ｂ上の配線２０ｂ1 で接続しているの
で、上部から耐絶縁材料を流し込んでモールドする際に
ダイオード及びコンデンサの位置ズレが生じることはな
い。このため、コッククロフトウォルトン回路２０ａか
らの高電圧出力が安定する。
ように、コッククロフトウォルトン回路２０ａを構成す
る複数のダイオード及びコンデンサを、支持基板２０ｂ
上にハンダ付けしている。さらにダイオードとコンデン
サを支持基板２０ｂ上の配線２０ｂ1 で接続しているの
で、上部から耐絶縁材料を流し込んでモールドする際に
ダイオード及びコンデンサの位置ズレが生じることはな
い。このため、コッククロフトウォルトン回路２０ａか
らの高電圧出力が安定する。
【００２０】特開昭６３−１８６，５６６号公報に開示
された従来のコッククロフトウォルトン回路では、支持
基板にはとめの穴を設け、ダイオード及びコンデンサを
固定していた。しかし、この回路では、７０ｋＶから１
００ｋＶで使用するには耐圧が悪く、基板上に突起状の
配線が露出するのでこの部分での放電がある。これに対
して本実施例の構造は、支持基板にプリント配線された
穴を設けることで基板上の突起を最小限に抑えることが
できる。このため耐圧特性が大巾に改善される。
された従来のコッククロフトウォルトン回路では、支持
基板にはとめの穴を設け、ダイオード及びコンデンサを
固定していた。しかし、この回路では、７０ｋＶから１
００ｋＶで使用するには耐圧が悪く、基板上に突起状の
配線が露出するのでこの部分での放電がある。これに対
して本実施例の構造は、支持基板にプリント配線された
穴を設けることで基板上の突起を最小限に抑えることが
できる。このため耐圧特性が大巾に改善される。
【００２１】図６は、本実施例に係るＸ線装置の動作を
示すブロック図である。このブロック図は、マイクロフ
ォーカスＸ線管１０を動作させる動作ブロック部１００
と、動作ブロック部１００を制御する制御ブロック部２
００とから構成されている。
示すブロック図である。このブロック図は、マイクロフ
ォーカスＸ線管１０を動作させる動作ブロック部１００
と、動作ブロック部１００を制御する制御ブロック部２
００とから構成されている。
【００２２】動作ブロック部１００は、マイクロフォー
カスＸ線管１０のターゲット電圧を制御するターゲット
制御部１１０と、ターゲット１６ａの過電流を検出する
ターゲット過電流検出部１２０と、マイクロフォーカス
Ｘ線管１０のグリッド電圧を制御するグリッド制御部１
３０とを備えている。さらに、マイクロフォーカスＸ線
管１０のカソード電圧を制御するカソード制御部１４０
と、マイクロフォーカスＸ線管１０のヒーター電圧を制
御するヒーター制御部１５０とを備えている。
カスＸ線管１０のターゲット電圧を制御するターゲット
制御部１１０と、ターゲット１６ａの過電流を検出する
ターゲット過電流検出部１２０と、マイクロフォーカス
Ｘ線管１０のグリッド電圧を制御するグリッド制御部１
３０とを備えている。さらに、マイクロフォーカスＸ線
管１０のカソード電圧を制御するカソード制御部１４０
と、マイクロフォーカスＸ線管１０のヒーター電圧を制
御するヒーター制御部１５０とを備えている。
【００２３】制御ブロック部２００は、ターゲット制御
部１１０及びカソード制御部１４０にターゲット電圧設
定電圧を与える電圧設定Ｄ／Ａコンバータ２１０と、グ
リッド制御部１３０にターゲット電流設定電圧を与える
電流設定Ｄ／Ａコンバータ２２０と、インターロックを
検出するインターロック検出部２３０とを備えている。
さらに、ウォームアップを行うエージング部２４０と、
Ｘ線の発生を停止させるキースイッチ２５０と、電圧変
換を行う電源制御部２６０とを備えている。さらに、制
御プログラムが記憶されたＲＯＭ２７０、ＲＡＭ２８０
と、電圧、電流、Ｘ線モードをそれぞれ設定する電圧設
定スイッチ２９０、電流設定スイッチ３００、モードス
イッチ３１０とを備えている。さらに、Ｘ線モード、タ
ーゲット過電流、ターゲット電圧、ターゲット電流をそ
れぞれ表示するモード表示部３２０、過電流表示部３３
０、ターゲット電圧表示メータ３４０、ターゲット電流
表示メータ３５０と、各装置を制御するＣＰＵ３６０と
を備えている。
部１１０及びカソード制御部１４０にターゲット電圧設
定電圧を与える電圧設定Ｄ／Ａコンバータ２１０と、グ
リッド制御部１３０にターゲット電流設定電圧を与える
電流設定Ｄ／Ａコンバータ２２０と、インターロックを
検出するインターロック検出部２３０とを備えている。
さらに、ウォームアップを行うエージング部２４０と、
Ｘ線の発生を停止させるキースイッチ２５０と、電圧変
換を行う電源制御部２６０とを備えている。さらに、制
御プログラムが記憶されたＲＯＭ２７０、ＲＡＭ２８０
と、電圧、電流、Ｘ線モードをそれぞれ設定する電圧設
定スイッチ２９０、電流設定スイッチ３００、モードス
イッチ３１０とを備えている。さらに、Ｘ線モード、タ
ーゲット過電流、ターゲット電圧、ターゲット電流をそ
れぞれ表示するモード表示部３２０、過電流表示部３３
０、ターゲット電圧表示メータ３４０、ターゲット電流
表示メータ３５０と、各装置を制御するＣＰＵ３６０と
を備えている。
【００２４】図７は、動作ブロック部１００の詳細構成
を示すブロック図である。同図より、ターゲット制御部
１１０は、電圧設定Ｄ／Ａコンバータ２１０からターゲ
ット電圧設定電圧が与えられてターゲット電圧を制御す
るターゲット電圧制御部１１１と、ターゲット電圧制御
部１１１の指示を受けて所望のターゲット高電圧を発生
させるターゲット高電圧発生部１１２とを備えている。
ターゲット過電流検出部１２０は、ターゲット高電圧発
生部１１２で発生したターゲット電流の過電流を検出す
る過電流検出部１２１と、ターゲット高電圧発生部１１
２で発生したターゲット電圧の過電圧を検出する過電圧
検出部１２２とを備えている。
を示すブロック図である。同図より、ターゲット制御部
１１０は、電圧設定Ｄ／Ａコンバータ２１０からターゲ
ット電圧設定電圧が与えられてターゲット電圧を制御す
るターゲット電圧制御部１１１と、ターゲット電圧制御
部１１１の指示を受けて所望のターゲット高電圧を発生
させるターゲット高電圧発生部１１２とを備えている。
ターゲット過電流検出部１２０は、ターゲット高電圧発
生部１１２で発生したターゲット電流の過電流を検出す
る過電流検出部１２１と、ターゲット高電圧発生部１１
２で発生したターゲット電圧の過電圧を検出する過電圧
検出部１２２とを備えている。
【００２５】グリッド制御部１３０は、ターゲット電流
を検出するターゲット電流検出部１３１と、ターゲット
電流検出部１３１で検出したターゲット電流と電流設定
Ｄ／Ａコンバータ２２０から出力された設定電流信号を
比較するターゲット電流比較部１３２と、カットオフ電
圧制御設定部１３３とを備えている。さらに、ターゲッ
ト電流比較部１３２での比較結果に基づいてグリッド電
圧を制御するグリッド電圧制御部１３４と、グリッド電
圧制御部１３４の指示を受けて所望のグリッド電圧を発
生させるグリッド電圧発生部１３５とを備えている。
を検出するターゲット電流検出部１３１と、ターゲット
電流検出部１３１で検出したターゲット電流と電流設定
Ｄ／Ａコンバータ２２０から出力された設定電流信号を
比較するターゲット電流比較部１３２と、カットオフ電
圧制御設定部１３３とを備えている。さらに、ターゲッ
ト電流比較部１３２での比較結果に基づいてグリッド電
圧を制御するグリッド電圧制御部１３４と、グリッド電
圧制御部１３４の指示を受けて所望のグリッド電圧を発
生させるグリッド電圧発生部１３５とを備えている。
【００２６】カソード制御部１４０は、電圧設定Ｄ／Ａ
コンバータ２１０からターゲット電圧設定電圧が与えら
れてカソード電圧を制御するカソード電圧制御部１４１
と、カソード電圧制御部１４１の指示を受けて所望のカ
ソード電圧を発生させるカソード電圧発生部１４２とを
備えている。ヒーター制御部１５０は、ヒーター電圧を
制御するヒーター電圧制御部１５１と、ヒーター電圧制
御部１５１の指示を受けて所望のヒーター電圧を発生さ
せるヒーター電圧発生部１５２とを備えている。
コンバータ２１０からターゲット電圧設定電圧が与えら
れてカソード電圧を制御するカソード電圧制御部１４１
と、カソード電圧制御部１４１の指示を受けて所望のカ
ソード電圧を発生させるカソード電圧発生部１４２とを
備えている。ヒーター制御部１５０は、ヒーター電圧を
制御するヒーター電圧制御部１５１と、ヒーター電圧制
御部１５１の指示を受けて所望のヒーター電圧を発生さ
せるヒーター電圧発生部１５２とを備えている。
【００２７】マイクロフォーカスＸ線管１０において一
番重要なことは、ターゲット電圧が可変であっても、マ
イクロフォーカスＸ線管１０の焦点径は小さく、且つ変
化しないことである。このため、ターゲット高電圧発生
部１１２では、低圧より高圧まで直線的に変化する電圧
を発生させる必要がある。ところが、米国特許４，６４
６，３３８及び米国特許４，６９４，４８０に開示され
た従来のターゲット高電圧発生部では、電圧の制御方式
がＰＷＭ方式であり、特に低圧側では電圧のフラツキが
生じて直線的には変化できなかった。
番重要なことは、ターゲット電圧が可変であっても、マ
イクロフォーカスＸ線管１０の焦点径は小さく、且つ変
化しないことである。このため、ターゲット高電圧発生
部１１２では、低圧より高圧まで直線的に変化する電圧
を発生させる必要がある。ところが、米国特許４，６４
６，３３８及び米国特許４，６９４，４８０に開示され
た従来のターゲット高電圧発生部では、電圧の制御方式
がＰＷＭ方式であり、特に低圧側では電圧のフラツキが
生じて直線的には変化できなかった。
【００２８】本実施例のターゲット高電圧発生部１１２
は、低圧部にステップダウン型インバータを高圧部にプ
ッシュプル型インバータを用いたダブルインバータ方式
を採用している。このため、低圧より高圧まで直線的に
変化する可変電圧を得ることができる。本実施例を用い
て測定した結果を図８に示す。同図は、入力電圧と出力
電圧の関係を示すグラフである。このグラフより本実施
例では、約１０ｋＶの低電圧から約１００ｋＶの高電圧
まで入力電圧と出力電圧は直線的に変化していることが
判る。
は、低圧部にステップダウン型インバータを高圧部にプ
ッシュプル型インバータを用いたダブルインバータ方式
を採用している。このため、低圧より高圧まで直線的に
変化する可変電圧を得ることができる。本実施例を用い
て測定した結果を図８に示す。同図は、入力電圧と出力
電圧の関係を示すグラフである。このグラフより本実施
例では、約１０ｋＶの低電圧から約１００ｋＶの高電圧
まで入力電圧と出力電圧は直線的に変化していることが
判る。
【００２９】図９に、ターゲット高電圧発生部１１２の
具体的な回路構成を示す。本実施例のターゲット電圧回
路４００は、低圧部にステップダウン型インバータ回路
４１０を備え、高圧部にプッシュプル型インバータ回路
４２０を備えている。このように、特性の異なる２種類
のインバータ回路４１０，４２０を備えることにより、
低圧より高圧まで広範囲の可変電圧を安定的に得ること
ができる。
具体的な回路構成を示す。本実施例のターゲット電圧回
路４００は、低圧部にステップダウン型インバータ回路
４１０を備え、高圧部にプッシュプル型インバータ回路
４２０を備えている。このように、特性の異なる２種類
のインバータ回路４１０，４２０を備えることにより、
低圧より高圧まで広範囲の可変電圧を安定的に得ること
ができる。
【００３０】図９の回路図及び図１０の波形図を用い
て、ターゲット電圧回路４００の動作原理について説明
する。まず、トランス４３０の１次側にターゲット電圧
設定電圧（Ｖｉ）が印加される（図１０（ａ）参照）
と、バッファアンプＩＣ1-a を通して誤差増幅器ＩＣ
1-b からコンパレータＩＣ1-c に設定電圧信号が与えら
れる（図１０（ｂ）（ｃ）参照）。トランス４３０の２
次側は、初期状態は０（Ｖ）であり、分圧器４４０で分
圧されオペアンプＩＣ5-a を通じて与えられる検知電圧
も０（Ｖ）である。誤差増幅器ＩＣ1-b は供給電圧＋２
４（Ｖ）の電圧に飽和し、コンパレータＩＣ1-c にこの
電圧が与えられる（図１０（ｂ）参照）。コンデンサＣ
1 の電圧も初期状態では０（Ｖ）であり、コンパレータ
ＩＣ1-c が＋２４（Ｖ）に飽和する（図１０（ｃ）参
照）。この結果トランジスタＱ1 ，Ｑ2 ，Ｑ3 がＯＮ状
態になり、インダクタンスＬ1 を通じてコンデンサＣ1
が充電され、トランジスタＱ1 は設定電圧に達するまで
スイッチングし、コンデンサＣ1 の充電を続ける（図１
０（ｄ）（ｅ）参照）。インダクタンスＬ1 はトランジ
スタＱ1 とコンデンサＣ1 の間に設けられており、コン
デンサＣ1 への充電電流の時定数の最適化が図られる。
コンデンサＣ1 の電圧（Ｖ2 ）がターゲット電圧設定電
圧（Ｖｉ）を越えると、コンパレータＩＣ1-c は０
（Ｖ）となり、トランジスタＱ1 ，Ｑ2 ，Ｑ3 の動作は
ＯＦＦ状態となる（図１０（ｄ）参照）。このため、電
圧（Ｖ2 ）はターゲット電圧設定電圧（Ｖｉ）を中心と
して安定する。
て、ターゲット電圧回路４００の動作原理について説明
する。まず、トランス４３０の１次側にターゲット電圧
設定電圧（Ｖｉ）が印加される（図１０（ａ）参照）
と、バッファアンプＩＣ1-a を通して誤差増幅器ＩＣ
1-b からコンパレータＩＣ1-c に設定電圧信号が与えら
れる（図１０（ｂ）（ｃ）参照）。トランス４３０の２
次側は、初期状態は０（Ｖ）であり、分圧器４４０で分
圧されオペアンプＩＣ5-a を通じて与えられる検知電圧
も０（Ｖ）である。誤差増幅器ＩＣ1-b は供給電圧＋２
４（Ｖ）の電圧に飽和し、コンパレータＩＣ1-c にこの
電圧が与えられる（図１０（ｂ）参照）。コンデンサＣ
1 の電圧も初期状態では０（Ｖ）であり、コンパレータ
ＩＣ1-c が＋２４（Ｖ）に飽和する（図１０（ｃ）参
照）。この結果トランジスタＱ1 ，Ｑ2 ，Ｑ3 がＯＮ状
態になり、インダクタンスＬ1 を通じてコンデンサＣ1
が充電され、トランジスタＱ1 は設定電圧に達するまで
スイッチングし、コンデンサＣ1 の充電を続ける（図１
０（ｄ）（ｅ）参照）。インダクタンスＬ1 はトランジ
スタＱ1 とコンデンサＣ1 の間に設けられており、コン
デンサＣ1 への充電電流の時定数の最適化が図られる。
コンデンサＣ1 の電圧（Ｖ2 ）がターゲット電圧設定電
圧（Ｖｉ）を越えると、コンパレータＩＣ1-c は０
（Ｖ）となり、トランジスタＱ1 ，Ｑ2 ，Ｑ3 の動作は
ＯＦＦ状態となる（図１０（ｄ）参照）。このため、電
圧（Ｖ2 ）はターゲット電圧設定電圧（Ｖｉ）を中心と
して安定する。
【００３１】さらに、トランス４３０の１次側電圧は、
発信器ＩＣ4 により発振周波数に応じたトランジスタＱ
6 ，Ｑ7 のＯＮ／ＯＦＦ動作により与えられる。発信器
ＩＣ4 は、ターゲット電圧ＯＮ／ＯＦＦ端子よりＯＮ電
圧を与えられると、コンパレータＩＣ2-a ，ＩＣ2-b ，
ＩＣ2-c によりＯＮ動作をし発振する。トランス４３０
の２次側電圧は、巻数比に応じた電圧に昇圧され、コッ
ククロフトウォルトン回路２０ａでさらに高電圧に昇圧
される。昇圧された出力電圧は分圧器４４０で抵抗比に
分圧され、オペアンプＩＣ5-a を通じて誤差増幅器ＩＣ
1-b に検知電圧が与えられる（図１０（ｇ）参照）。誤
差増幅器ＩＣ1-b では、この検知電圧とターゲット電圧
設定電圧（Ｖｉ）とを比較し、平衡状態になるまでコン
パレータＩＣ1-c を駆動させる。
発信器ＩＣ4 により発振周波数に応じたトランジスタＱ
6 ，Ｑ7 のＯＮ／ＯＦＦ動作により与えられる。発信器
ＩＣ4 は、ターゲット電圧ＯＮ／ＯＦＦ端子よりＯＮ電
圧を与えられると、コンパレータＩＣ2-a ，ＩＣ2-b ，
ＩＣ2-c によりＯＮ動作をし発振する。トランス４３０
の２次側電圧は、巻数比に応じた電圧に昇圧され、コッ
ククロフトウォルトン回路２０ａでさらに高電圧に昇圧
される。昇圧された出力電圧は分圧器４４０で抵抗比に
分圧され、オペアンプＩＣ5-a を通じて誤差増幅器ＩＣ
1-b に検知電圧が与えられる（図１０（ｇ）参照）。誤
差増幅器ＩＣ1-b では、この検知電圧とターゲット電圧
設定電圧（Ｖｉ）とを比較し、平衡状態になるまでコン
パレータＩＣ1-c を駆動させる。
【００３２】このように、ステップダウン型インバータ
回路４１０とプッシュプル型インバータ回路４２０を連
動させることによって高電圧出力を制御することができ
る。トランス４３０の１次側の回路（ステップダウン型
インバータ回路４１０、プッシュプル型インバータ回路
４２０）の特徴は、コンパレータＩＣ1-c の駆動によ
り、コンデンサＣ1 の充電電流をトランジスタＱ1 〜Ｑ
3 のＯＮ／ＯＦＦ動作で制御している点にある。このた
め、必要最小限の電力で駆動することができ、極めて電
力損失の少ない回路構成が可能となる。
回路４１０とプッシュプル型インバータ回路４２０を連
動させることによって高電圧出力を制御することができ
る。トランス４３０の１次側の回路（ステップダウン型
インバータ回路４１０、プッシュプル型インバータ回路
４２０）の特徴は、コンパレータＩＣ1-c の駆動によ
り、コンデンサＣ1 の充電電流をトランジスタＱ1 〜Ｑ
3 のＯＮ／ＯＦＦ動作で制御している点にある。このた
め、必要最小限の電力で駆動することができ、極めて電
力損失の少ない回路構成が可能となる。
【００３３】図１１は特願平５−１７５，７３４号のＸ
線装置におけるターゲット電圧回路５００の回路図であ
る。このターゲット電圧回路５００が本実施例のターゲ
ット電圧回路４００と異なるのは、誤差増幅器ＩＣ6-1
（本実施例の誤差増幅器ＩＣ1-b に対応）からの出力で
トランジスタＱ5 （本実施例のトランジスタＱ1 に対
応）のＯＮ／ＯＦＦを制御している点と、トランジスタ
Ｑ5 からの出力電流を充電するためのコンデンサ（本実
施例のコンデンサＣ2 に対応）が設けられていない点で
ある。このため、トランジスタＱ5 を流れる電流が電力
損失となり、回路の発熱量も多かった。さらに、インバ
ータ回路に備えられたトランジスタＱ1 ，Ｑ2 は電流制
御用スイッチングトランジスタで電圧制御用スイッチン
グトランジスタＱ6 ，Ｑ7 に比べて効率が悪く、かなり
の発熱がある。このため放熱ファンを設けてファンで冷
却しないと、動作が不安定になる欠点もある。
線装置におけるターゲット電圧回路５００の回路図であ
る。このターゲット電圧回路５００が本実施例のターゲ
ット電圧回路４００と異なるのは、誤差増幅器ＩＣ6-1
（本実施例の誤差増幅器ＩＣ1-b に対応）からの出力で
トランジスタＱ5 （本実施例のトランジスタＱ1 に対
応）のＯＮ／ＯＦＦを制御している点と、トランジスタ
Ｑ5 からの出力電流を充電するためのコンデンサ（本実
施例のコンデンサＣ2 に対応）が設けられていない点で
ある。このため、トランジスタＱ5 を流れる電流が電力
損失となり、回路の発熱量も多かった。さらに、インバ
ータ回路に備えられたトランジスタＱ1 ，Ｑ2 は電流制
御用スイッチングトランジスタで電圧制御用スイッチン
グトランジスタＱ6 ，Ｑ7 に比べて効率が悪く、かなり
の発熱がある。このため放熱ファンを設けてファンで冷
却しないと、動作が不安定になる欠点もある。
【００３４】図１２（ａ）（ｂ）に、このターゲット電
圧回路５００の電力損失のグラフと本実施例のターゲッ
ト電圧回路４００の電力損失のグラフとを示す。これら
のグラフより、高電圧出力範囲１０〜７０ｋＶにおいて
どの領域でも本実施例のターゲット電圧回路４００の方
が電力損失が少ないことが判る。この場合、どちらの回
路でもコッククロフトウォルトン回路の構成は同一であ
るものとする。
圧回路５００の電力損失のグラフと本実施例のターゲッ
ト電圧回路４００の電力損失のグラフとを示す。これら
のグラフより、高電圧出力範囲１０〜７０ｋＶにおいて
どの領域でも本実施例のターゲット電圧回路４００の方
が電力損失が少ないことが判る。この場合、どちらの回
路でもコッククロフトウォルトン回路の構成は同一であ
るものとする。
【００３５】図１３（ａ）（ｂ）のグラフを用いて、本
実施例に係るＸ線管の出力強度と、従来例に係るＰＷＭ
方式を用いた高電圧発生回路を備えるＸ線管の出力強度
を比較する。図１３（ａ）はＰＷＭ方式を用いた高電圧
発生回路を備えるＸ線管の出力強度を示すグラフであ
る。また、図１３（ｂ）は本実施例に係るＸ線管の出力
強度を示すグラフである。これらのグラフより、本実施
例に係るＸ線管の出力強度が従来例に比べて安定してい
ることが判る。この場合に、どちらのＸ線管のターゲッ
トにも４０ｋＶのターゲット電圧を印加し、１０μＡの
ターゲット電流が流れているものとする。
実施例に係るＸ線管の出力強度と、従来例に係るＰＷＭ
方式を用いた高電圧発生回路を備えるＸ線管の出力強度
を比較する。図１３（ａ）はＰＷＭ方式を用いた高電圧
発生回路を備えるＸ線管の出力強度を示すグラフであ
る。また、図１３（ｂ）は本実施例に係るＸ線管の出力
強度を示すグラフである。これらのグラフより、本実施
例に係るＸ線管の出力強度が従来例に比べて安定してい
ることが判る。この場合に、どちらのＸ線管のターゲッ
トにも４０ｋＶのターゲット電圧を印加し、１０μＡの
ターゲット電流が流れているものとする。
【００３６】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
となく、種々の変形が可能である。例えば、マイクロフ
ォーカスＸ線管１０は、図３に示すサイドウィンドタイ
プのもの以外に、エンドウィンドタイプのものを用いて
もよい。
となく、種々の変形が可能である。例えば、マイクロフ
ォーカスＸ線管１０は、図３に示すサイドウィンドタイ
プのもの以外に、エンドウィンドタイプのものを用いて
もよい。
【００３７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のＸ
線装置であれば、ターゲット用電圧発生回路が備える第
１の電圧発生部が、スイッチ素子をスイッチング（ＯＮ
／ＯＦＦ）動作させ、入力電圧を所定の設定電圧に降圧
させている。さらに、スイッチ素子のスイッチング動作
は、第２の電圧発生部からの信号電圧によって制御され
ている。このため、第１の電圧発生部での電力損失がほ
とんどなく、回路からの発熱が非常に少ない。よって、
特別な空冷ファンを用いることなく自然空冷で回路を冷
却することができる。このように、自然空冷によって回
路が冷却できるので、冷却ファンの振動によってＸ線の
微小焦点が維持できないといった従来装置の問題が生じ
ることはない。
線装置であれば、ターゲット用電圧発生回路が備える第
１の電圧発生部が、スイッチ素子をスイッチング（ＯＮ
／ＯＦＦ）動作させ、入力電圧を所定の設定電圧に降圧
させている。さらに、スイッチ素子のスイッチング動作
は、第２の電圧発生部からの信号電圧によって制御され
ている。このため、第１の電圧発生部での電力損失がほ
とんどなく、回路からの発熱が非常に少ない。よって、
特別な空冷ファンを用いることなく自然空冷で回路を冷
却することができる。このように、自然空冷によって回
路が冷却できるので、冷却ファンの振動によってＸ線の
微小焦点が維持できないといった従来装置の問題が生じ
ることはない。
【００３８】また、第２の電圧発生部のコッククロフト
ウォルトン回路は、絶縁基板上に整流素子及び容量素子
が配線接続された構成を有しているので、各素子は絶縁
基板によって固定され、各素子の位置ズレが生じること
はない。このため、各素子の位置ズレに起因する高電圧
出力のばらつきが発生することなく、第２の電圧発生部
からは安定した高電圧出力が得られる。
ウォルトン回路は、絶縁基板上に整流素子及び容量素子
が配線接続された構成を有しているので、各素子は絶縁
基板によって固定され、各素子の位置ズレが生じること
はない。このため、各素子の位置ズレに起因する高電圧
出力のばらつきが発生することなく、第２の電圧発生部
からは安定した高電圧出力が得られる。
【図１】本実施例に係るＸ線装置の構成を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】本実施例に係るＸ線装置の構成を示す断面図で
ある。
ある。
【図３】マイクロフォーカスＸ線管の構造を示す断面図
である。
である。
【図４】モールドブロックの外観を示す斜視図である。
【図５】コッククロフトウォルトン回路の構造を示す図
である。
である。
【図６】本実施例に係るＸ線装置の動作を示すブロック
図である。
図である。
【図７】動作ブロック部の詳細構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図８】ターゲット高電圧発生部の入力電圧と出力電圧
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
【図９】本実施例のターゲット電圧回路の構成を示す回
路図である。
路図である。
【図１０】本実施例のターゲット電圧回路の動作を示す
波形図である。
波形図である。
【図１１】従来のターゲット電圧回路の構成を示す回路
図である。
図である。
【図１２】ターゲット電圧回路の出力電圧と電力損失の
関係を示す図である。
関係を示す図である。
【図１３】Ｘ線管の出力強度と時間の関係を示す図であ
る。
る。
１０…マイクロフォーカスＸ線管、１１…ステム、１
２，１３…外囲器、１４…Ｘ線出射窓、１５…電子銃、
１５ａ…ヒーター電極、１５ｂ…カソード、１５ｃ…グ
リッド電極、１５ｄ…フォーカス電極、１５ｅ…支柱、
１６…ターゲット基体、１６ａ…ターゲット、２０ａ，
３０…コッククロフトウォルトン回路、２０ｂ…支持基
板、２１…モールドブロック、２１ａ…絶縁油槽、２２
…ターゲット高電圧供給端子、２３，３１…基板、２５
…コネクタ、４０…コントロール装置、５０…筐体、５
１…鉛板、５２…パネル、５３…蒸発防止カバー、６０
…モールド型、１００…動作ブロック部、１１０…ター
ゲット制御部、１１１…ターゲット電圧制御部、１１２
…ターゲット高電圧発生部、１２０…ターゲット過電流
検出部、１２１…過電流検出部、１２２…過電圧検出
部、１３０…グリッド制御部、１３１…ターゲット電流
検出部、１３２…ターゲット電流比較部、１３３…カッ
トオフ電圧制御設定部、１３４…グリッド電圧制御部、
１３５…グリッド電圧発生部、１４０…カソード制御
部、１４１…カソード電圧制御部、１４２…カソード電
圧発生部、１５０…ヒーター制御部、１５１…ヒーター
電圧制御部、１５２…ヒーター電圧発生部、２００…制
御ブロック部、２１０…電圧設定Ｄ／Ａコンバータ、２
２０…電流設定Ｄ／Ａコンバータ、２３０…インターロ
ック検出部、２４０…エージング部、２５０…キースイ
ッチ、２６０…電源制御部、２７０…ＲＯＭ、２８０…
ＲＡＭ、２９０…電圧設定スイッチ、３００…電流設定
スイッチ、３１０…モードスイッチ、３２０…モード表
示部、３３０…過電流表示部、３４０…ターゲット電圧
表示メータ、３５０…ターゲット電流表示メータ、３６
０…ＣＰＵ、４００，５００…ターゲット電圧回路、４
１０…ステップダウン型インバータ回路、４２０…プッ
シュプル型インバータ回路、４３０…トランス、４４０
…分圧器。
２，１３…外囲器、１４…Ｘ線出射窓、１５…電子銃、
１５ａ…ヒーター電極、１５ｂ…カソード、１５ｃ…グ
リッド電極、１５ｄ…フォーカス電極、１５ｅ…支柱、
１６…ターゲット基体、１６ａ…ターゲット、２０ａ，
３０…コッククロフトウォルトン回路、２０ｂ…支持基
板、２１…モールドブロック、２１ａ…絶縁油槽、２２
…ターゲット高電圧供給端子、２３，３１…基板、２５
…コネクタ、４０…コントロール装置、５０…筐体、５
１…鉛板、５２…パネル、５３…蒸発防止カバー、６０
…モールド型、１００…動作ブロック部、１１０…ター
ゲット制御部、１１１…ターゲット電圧制御部、１１２
…ターゲット高電圧発生部、１２０…ターゲット過電流
検出部、１２１…過電流検出部、１２２…過電圧検出
部、１３０…グリッド制御部、１３１…ターゲット電流
検出部、１３２…ターゲット電流比較部、１３３…カッ
トオフ電圧制御設定部、１３４…グリッド電圧制御部、
１３５…グリッド電圧発生部、１４０…カソード制御
部、１４１…カソード電圧制御部、１４２…カソード電
圧発生部、１５０…ヒーター制御部、１５１…ヒーター
電圧制御部、１５２…ヒーター電圧発生部、２００…制
御ブロック部、２１０…電圧設定Ｄ／Ａコンバータ、２
２０…電流設定Ｄ／Ａコンバータ、２３０…インターロ
ック検出部、２４０…エージング部、２５０…キースイ
ッチ、２６０…電源制御部、２７０…ＲＯＭ、２８０…
ＲＡＭ、２９０…電圧設定スイッチ、３００…電流設定
スイッチ、３１０…モードスイッチ、３２０…モード表
示部、３３０…過電流表示部、３４０…ターゲット電圧
表示メータ、３５０…ターゲット電流表示メータ、３６
０…ＣＰＵ、４００，５００…ターゲット電圧回路、４
１０…ステップダウン型インバータ回路、４２０…プッ
シュプル型インバータ回路、４３０…トランス、４４０
…分圧器。
Claims (3)
- 【請求項１】 カソード・ターゲット間に高電圧を印加
してカソードから放出された電子をターゲットに衝突さ
せることによってＸ線を発生させるＸ線管と、前記ター
ゲットにプラス高電圧を印加するターゲット用電圧発生
回路とを備えるＸ線装置において、 前記ターゲット用電圧発生回路は、スイッチ素子のスイ
ッチング動作により入力電圧を所定の設定電圧に降圧さ
せる第１の電圧発生部と、前記第１の電圧発生部からの
出力電圧を所定の比率で昇圧させる第２の電圧発生部と
を備え、 前記第１の電圧発生部には前記第２の電圧発生部からの
出力電圧を分圧した信号電圧が与えられ、前記第１の電
圧発生部ではこの信号電圧が前記設定電圧と平衡するま
で、前記スイッチ素子のスイッチング動作を行うことを
特徴とするＸ線装置。 - 【請求項２】 前記第１の電圧発生部には前記スイッチ
素子からの出力電流を充電する容量素子が設けられてお
り、前記第１の電圧発生部ではこのコンデンサの充電電
圧が前記設定電圧になるまで前記スイッチ素子によるス
イッチング動作を続け、前記容量素子に蓄積された充電
電圧を出力電圧として前記第２の電圧発生部に与えるこ
とを特徴とする請求項１記載のＸ線装置。 - 【請求項３】 前記第２の電圧発生部にはコッククロフ
トウォルトン回路が設けられており、前記コッククロフ
トウォルトン回路は、平行に配置された２枚の絶縁基板
の間に複数の整流素子及び容量素子が取り付けられ、こ
れらの素子は前記絶縁基板上で配線接続されていること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6157664A JP2769434B2 (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | Ｘ線装置 |
| DE69516052T DE69516052T2 (de) | 1994-07-08 | 1995-07-06 | Röntgenstrahlenquelle |
| EP95304735A EP0691801B1 (en) | 1994-07-08 | 1995-07-06 | X-ray source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6157664A JP2769434B2 (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | Ｘ線装置 |
Publications (2)
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS579100A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-18 | Asahi Roentgen Kogyo Kk | High voltage generator for x-ray device |
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|---|---|---|---|---|
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| US5272612A (en) * | 1989-06-30 | 1993-12-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray power supply utilizing A.C. frequency conversion to generate a high D.C. voltage |
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS579100A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-18 | Asahi Roentgen Kogyo Kk | High voltage generator for x-ray device |
| JPH0232699U (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | ||
| JPH04181698A (ja) * | 1990-11-14 | 1992-06-29 | Hitachi Medical Corp | 共振型インバータ式ｘ線高電圧装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007066655A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線源 |
| JP2010212072A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Shimadzu Corp | Ｘ線発生装置、およびそれを備えたｘ線撮影装置 |
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