JPH08227523A - ランアウト測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 磁気ディスクの内径よりも少し大きな外径の
受け面において磁気ディスクを真空吸着または機械的に
固定するスピンドル治具、または、磁気ディスクの内径
よりも少し大きな外形のキャップおよび受け面とによっ
て磁気ディスクを固定するスピンスタンドを設け、スピ
ンドル治具またはスピンスタンドを回転させるスピンド
ルモータの１回転毎にインデックス信号を発生させ、支
持機構部によって保持した非接触型の変位センサを磁気
ディスクの半径方向に移動させながら磁気ディスクの軸
方向の変位量を検出し、変位センサからの出力信号を発
振器にあらかじめ設定している補正信号によって補正す
る。 【効果】 磁気ディスクの受け面の傾きによる誤差の発
生がなく、また参照円板の影響も受けず、正確な測定が
可能となって被測定物の真のうねりの形状が得られ、ま
た被測定物の表面および裏面に傷を発生させることがな
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスクのランアウ
トを測定するためのランアウト測定装置に関し、特に生
の測定を補正することによって精度の高いランアウトを
測定することができるランアウト測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来のランアウト測定装置の第一
の例を示すブロック図である。

【０００３】磁気ディスクのランアウトを測定するため
の従来のランアウト測定装置は、簡単に合否を判定する
ことができるようにするため、例えば特開昭５９−７３
７１７号公報に開示されているように、磁気ディスクの
うねりの形状を全自動で高精度で測定し、その結果を規
格と照合することによって合否を判定している。

【０００４】すなわち、図７に示すように、被測定物１
を回転テーブル２に搭載して真空吸着によって固定し、
角度パルス発生部３から角度パルスを送って一定の角度
ずつ連続的に回転させ、変位測定器４を保持する支持機
構部５ａを動作させて変位測定器４を被測定物１の中心
方向（または外周方向）に移動させながら被測定物１の
表面に変位測定器４を接触させて被測定物１の表面の変
位の状態を測定し、変位測定器４からの測定信号を角度
パルス発生部３から角度パルスに同期させてメモリ部６
ａに記憶させ、メモリ部６ａからのデータを誤差補正部
７によって補正して被測定物１のうねりの形状な関する
データを得ている。誤差補正部７における誤差の補正
は、ＪＩＳＢ０６０７による真円度の偏心計算に該当す
る誤差を除去するすることによって行っている。

【０００５】図８は従来のランアウト測定装置の第二の
例を示すブロック図である。

【０００６】図８の例は、磁気ディスク８ｂの内径を案
内する円筒部と磁気ディスク８ｂの内径よりも２〜８ｍ
ｍ程度大きな外径の受け面とで段付きの円筒形状を形成
し、受け面に磁気ディスク８ｂを搭載して真空吸着によ
って磁気ディスク８ｂを固定するスピンドル治具９ｂ
と、スピンドル治具９ｂを取付けて回転するスピンドル
モータ１０ｂと、スピンドルモータ１０ｂの１回転毎に
１個のインデックス信号を発生するインデックス信号発
生回路１１ｂと、スピンドル治具９ｂに固定した磁気デ
ィスク８ｂの軸方向の変位量を検出する非接触型の変位
センサ１２ｂと、変位センサ１２ｂを保持して磁気ディ
スク８ｂの指定された半径位置に移動させる支持機構部
５ｂと、インデックス信号発生回路１１ｂからのインデ
ックス信号によって変位センサ１１ｂからの出力信号を
スピンドルモータ１０ｂの１回転分だけ記憶するメモリ
部８ｂと、メモリ部８ｂからの出力信号を表示する表示
部１３ｂとを備えている。

【０００７】このように構成されたランアウト測定装置
によって磁気ディスク８ｂのランアウトを測定するとき
は、磁気ディスク８ｂをスピンドル治具９ｂに搭載して
真空吸着によって固定し、支持機構部５ｂを動作させて
変位センサ１２ｂを磁気ディスク８ｂの指定された半径
位置に移動させ、スピンドルモータ１０ｂを回転させ
る。これにより磁気ディスク８ｂはスピンドルモータ１
０ｂと共に回転するが、変位センサ１１ｂは磁気ディス
ク８ｂの指定された半径位置に静止しているため、磁気
ディスク８ｂのその半径位置におけるうねりの状態によ
って変位センサ１２ｂと磁気ディスク８ｂの表面との距
離が変化する。変位センサ１２ｂはこの磁気ディスク８
ｂの表面との距離の変化を検出して変位検出信号として
出力する。メモリ部８ｂは、インデックス信号発生回路
１１ｂが発生するインデックス信号を入力すると、変位
センサ１２ｂからの変位検出信号の記憶を開始し、再び
インデックス信号を入力したとき、磁気ディスク８ｂの
１回転分のデータを表示部１３ｂに送って表示させる。
このようにして得られたデータの最大値と最小値との差
を、その磁気ディスク８ｂのランアウトとして把握す
る。

【０００８】図９は従来のランアウト測定装置の第三の
例を示すブロック図である。

【０００９】図９の例は、特開平１−１４８９０４号公
報に開示されてもので、測定精度の向上を図るためのも
のである。すなわち、磁気ディスク８ｃを搭載して回転
するスピンドルモータ１０ｃと、スピンドルモータ１０
ｃに固定されていて磁気ディスク８ｃと共に回転する参
照円板１４と、磁気ディスク８ｃの軸方向の変位量を検
出する第一の変位センサ１２ｃと、あらかじめ形状が測
定されている参照円板１４の軸方向の変位量を検出する
第二の変位センサ１５と、変位センサ１２ｂおよび変位
センサ１５を保持して磁気ディスク８ｃの指定された半
径位置に移動させる支持機構部５ｃと、変位センサ１２
ｂおよび変位センサ１５の出力信号を入力する差動ユニ
ット１６とを備えている。

【００１０】このように構成されたランアウト測定装置
によって磁気ディスク８ｃのランアウトを測定するとき
は、磁気ディスク８ｃをスピンドルモータ１０ｃに搭載
して固定し、指示機構部５ｃを動作させて変位センサ１
２ｂおよび変位センサ１５をそれぞれ磁気ディスク８ｃ
の指定された半径位置および参照円板１４のそれに対応
する半径位置に移動させ、スピンドルモータ１０ｃを回
転させる。これにより磁気ディスク８ｃおよび参照円板
１４はスピンドルモータ１０ｃと共に回転するが、変位
センサ１１ｃおよび変位センサ１５は磁気ディスク８ｃ
の指定された半径位置１４のそれに対応する半径位置に
静止しているため、磁気ディスク８ｃのその半径位置に
おけるうねりの状態と、参照円板１４の対応する状態と
を検出することができる。従って変位センサ１２ｂおよ
び変位センサ１５の出力信号を入力する差動ユニット１
６に入力してそれらの差を求めることにより、スピンド
ルモータ１０ｃの回転の機械的変動を除去した精度の高
い磁気ディスク８ｃのランアウトを把握することができ
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
ランアウト測定装置のうち、図７の第一の例は、被測定
物の測定対象面と反対側の面（裏面）の全面を真空吸着
によって回転テーブルに固定するため、回転テーブルの
表面のうねりの形状が被測定物に転写され、被測定物の
真のうねりの形状が得られないという問題点を有してい
る。また被測定物を回転テーブルに真空吸着させるとき
に被測定物の裏面に傷を発生させることがあり、変位測
定器を被測定物の表面に接触させるため、被測定物の表
面に傷を発生させることがあるという欠点も有してい
る。

【００１２】図８の第二の例は、スピンドル治具および
スピンドルモータの回転軸が磁気ディスクの受け面と完
全に垂直になるように製作することが現実的に不可能で
あるため、磁気ディスクの受け面の傾きによる誤差が発
生し、正確な測定が不可能であるという問題点を有して
いる。

【００１３】図９の第三の例は、磁気ディスクと参照円
板との相対的な比較によるものであり、参照円板が真の
平面でないときは、磁気ディスクの本来のランアウトが
得れないという問題点を有している。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の第一のランアウ
ト測定装置は、測定対象の磁気ディスクの内径を案内す
る円筒部と前記磁気ディスクの内径よりも２〜８ｍｍ程
度大きな外径の受け面とで段付きの円筒形状を形成し前
記受け面において前記磁気ディスクを真空吸着によって
固定するスピンドル治具と、前記スピンドル治具を取付
けて回転するスピンドルモータと、前記スピンドルモー
タの１回転毎に１個のインデックス信号を発生するイン
デックス信号発生回路と、前記スピンドル治具に固定し
た前記磁気ディスクの軸方向の変位量を検出する非接触
型の変位センサと、前記変位センサを保持して前記磁気
ディスクの指定された半径位置に移動させる支持機構部
と、前記インデックス信号発生回路からの前記インデッ
クス信号によって前記変位センサからの出力信号を前記
スピンドルモータの１回転分だけ記憶するメモリ部と、
あらかじめ設定されている補正波形の信号を出力する発
振器と、前記メモリ部からの出力信号に対して前記発振
器からの信号を補正する補正回路と、前記補正回路から
の出力信号を表示する表示部とを備えている。

【００１５】本発明の第二のランアウト測定装置は、測
定対象の磁気ディスクの内径よりも２〜８ｍｍ程度大き
な外径の受け面と前記受け面の中央部に設けられて半径
方向に移動することによって前記受け面に搭載した前記
磁気ディスクを機械的に固定するスピンドル治具と、前
記スピンドル治具を取付けて回転するスピンドルモータ
と、前記スピンドルモータの１回転毎に１個のインデッ
クス信号を発生するインデックス信号発生回路と、前記
スピンドル治具に固定した前記磁気ディスクの軸方向の
変位量を検出する非接触型の変位センサと、前記変位セ
ンサを保持して前記磁気ディスクの指定された半径位置
に移動させる支持機構部と、前記インデックス信号発生
回路からの前記インデックス信号によって前記変位セン
サからの出力信号を前記スピンドルモータの１回転分だ
け記憶するメモリ部と、あらかじめ設定されている補正
波形の信号を出力する発振器と、前記メモリ部からの出
力信号に対して前記発振器からの信号を補正する補正回
路と、前記補正回路からの出力信号を表示する表示部と
を備えている。

【００１６】本発明の第三のランアウト測定装置は、測
定対象の磁気ディスクの内径よりも２〜８ｍｍ程度大き
な外形の押さえ面を有するキャップと、前記磁気ディス
クの内径を案内する円筒部と前記キャップの外径とほぼ
同じ外径の受け面とで段付きの円筒形状を形成し前記受
け面に前記磁気ディスクを搭載して前記キャップを真空
吸着することによって前記磁気ディスクを固定するスピ
ンスタンドと、前記スピンドルスタンドを取付けて回転
するスピンドルモータと、前記スピンドルモータの１回
転毎に１個のインデックス信号を発生するインデックス
信号発生回路と、前記スピンドルスタンドに固定した前
記磁気ディスクの軸方向の変位量を検出する非接触型の
変位センサと、前記変位センサを保持して前記磁気ディ
スクの指定された半径位置に移動させる支持機構部と、
前記インデックス信号発生回路からの前記インデックス
信号によって前記変位センサからの出力信号を前記スピ
ンドルモータの１回転分だけ記憶するメモリ部と、あら
かじめ設定されている補正波形の信号を出力する発振器
と、前記メモリ部からの出力信号に対して前記発振器か
らの信号を補正する補正回路と、前記補正回路からの出
力信号を表示する表示部とを備えている。

【００１７】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１８】図１は本発明の第一の実施例を示すブロッ
ク図、図２は図１の実施例におけるメモリ部の記憶波形
を示す波形図で、（ａ−１）〜（ａ−４）は第一の磁気
ディスクをスピンドル治具との相対取付け角度を９０度
ずつずらせて測定したときの波形図、（ｂ−１）〜（ｂ
−４）は第二の磁気ディスクをスピンドル治具との相対
取付け角度を９０度ずつずらせて測定したときの波形
図、（ｃ−１）〜（ｃ−４）は第三の磁気ディスクをス
ピンドル治具との相対取付け角度を９０度ずつずらせて
測定したときの波形図、図３は図１の実施例の発振器に
設定する補正信号の波形を示す波形図、図４は図１の実
施例におけるメモリ部からの信号に対して補正を行った
後の表示波形を示す波形図で、（ａ−１）〜（ａ−４）
は第一の磁気ディスクをスピンドル治具との相対取付け
角度を９０度ずつずらせて測定したときの波形図、（ｂ
−１）〜（ｂ−４）は第二の磁気ディスクをスピンドル
治具との相対取付け角度を９０度ずつずらせて測定した
ときの波形図、（ｃ−１）〜（ｃ−４）は第三の磁気デ
ィスクをスピンドル治具との相対取付け角度を９０度ず
つずらせて測定したときの波形図である。

【００１９】図１に実施例は、磁気ディスク８ｄの内径
を案内する円筒部と磁気ディスク８ｄの内径よりも２〜
８ｍｍ程度大きな外径の受け面とで段付きの円筒形状を
形成し、受け面に磁気ディスク８ｄを搭載して真空吸着
によって磁気ディスク８ｄを固定するスピンドル治具９
ｄと、スピンドル治具９ｄを取付けて回転するスピンド
ルモータ１０ｄと、スピンドルモータ１０ｄの１回転毎
に１個のインデックス信号を発生するインデックス信号
発生回路１１ｄと、スピンドル治具９ｄに固定した磁気
ディスク８ｄの軸方向の変位量を検出する非接触型の変
位センサ１２ｄと、変位センサ１２ｄを保持して磁気デ
ィスク８ｄの指定された半径位置に移動させる支持機構
部５ｄと、インデックス信号発生回路１１ｄからのイン
デックス信号によって変位センサ１１ｄからの出力信号
をスピンドルモータ１０ｄの１回転分だけ記憶するメモ
リ部８ｄと、インデックス信号発生回路１１ｄからの信
号によってあらかじめ設定してある波形の補正信号を出
力する発振器１８と、メモリ部８ｄからの信号を入力し
て発振器１８からの補正信号によって補正を行う補正回
路１７と、補正回路１７からの出力信号を表示する表示
部１３ｄとを備えている。

【００２０】次に、このように構成したランアウト測定
装置の動作について説明する。

【００２１】磁気ディスク８ｄは、ランアウトの測定対
象の磁気ディスクであり、例えば、外径９５ｍｍ・内径
２５ｍｍ・厚さ０．８ｍｍのアルミ製の基板を用いて形
成されている。この磁気ディスク８ｄを段付きの円筒形
状を有するスピンドル治具９ｄの受け面に搭載する。ス
ピンドル治具９ｄの受け面の外径は３１ｍｍであり、従
って受け面の幅は３ｍｍである。この受け面には、所定
の間隔で等間隔に小孔が設けられており、この小孔から
空気を吸引することによって磁気ディスク８ｄを真空吸
着して固定する。

【００２２】支持機構部５ｄを動作させて変位センサ１
２ｄを磁気ディスク８ｄの回転中心から半径方向に４１
ｍｍ離れた位置に移動させ、回転速度３０００ｒｐｍで
スピンドルモータ１０ｄを回転させると、スピンドル治
具９ｄおよび磁気ディスク８ｄも回転速度３０００ｒｐ
ｍで回転するが、変位センサ１１ｄは、磁気ディスク８
ｄのその半径位置に静止しているため、磁気ディスク８
ｄのその半径位置におけるうねりの状態によって変位セ
ンサ１２ｄと磁気ディスク８ｄの表面との距離が変化す
る。変位センサ１２ｄはこの磁気ディスク８ｄの表面と
の距離の変化を検出して変位検出信号としてメモリ部８
ｄに出力する。メモリ部８ｄは、インデックス信号発生
回路１１ｄが発生するインデックス信号を入力し、これ
に同期させて変位センサ１２ｄからの変位検出信号の記
憶を開始し、磁気ディスク８ｄの１回転分のデータを記
憶する。

【００２３】メモリ部８ｄの記憶内容の一例を波形とし
て示したのが図２である。

【００２４】図２は、変位検出信号の大きさを縦軸と
し、磁気ディスク８ｄの回転角度を横軸として示したも
のであり、（ａ−１）〜（ａ−４）の曲線３１ａ〜３１
ｄは、第一の磁気ディスクをスピンドル治具９ｄに取付
けるときのスピンドル治具９ｄとの相対角度（相対取付
け角度）をそれぞれ９０度ずつずらせて測定したときの
波形図である。同様に（ｂ−１）〜（ｂ−４）の曲線３
２ａ〜３２ｄは、第一の磁気ディスクとは異なる磁気デ
ィスクすなわち第二の磁気ディスクをスピンドル治具９
ｄとの相対取付け角度をそれぞれ９０度ずつずらせて測
定したときの波形図である。同様に（ｃ−１）〜（ｃ−
４）の曲線３３ａ〜３３ｄは、第一の磁気ディスクおよ
び第二の磁気ディスクとは異なる磁気ディスクすなわち
第三の磁気ディスクをスピンドル治具９ｄとの相対取付
け角度をそれぞれ９０度ずつずらせて測定したときの波
形図である。図２から、第一〜第三の各磁気ディスクは
いずれも、スピンドル治具９ｄとの相対取付け角度が変
ると、変位検出信号の波形も変ることが理解できる。従
ってこの状態では磁気ディスクのランアウトを測定する
ことは不可能である。

【００２５】これを補正するため、本実施例は、図３の
曲線３５に示すような波形の補正信号を発振器１８に設
定しておき、インデックス信号発生回路１１ｄからの信
号によってその補正信号を補正回路１７に対して出力す
る。図３の曲線３５は、図１のランアウト測定装置のス
ピンドル治具９ｄの上に、磁気ディスク８ｄの代りに基
準となる厚板の基準円板を搭載し、その基準円板を回転
させて変位センサ１２ｄからの変位検出信号を出力させ
ることによって求める。図３の縦軸はこの変位検出信号
による補正量であり、横軸は任意の点を基準とする基準
円板の回転角度である。

【００２６】補正回路１７は、メモリ部６ｄから図２の
ような波形の信号を入力し、補正回路１７からの図３の
ような波形の補正信号によって補正し、その補正結果を
表示部１３ｄに送って表示させる。補正回路１７におけ
る補正は、例えば図２（ａ−１）の場合は、図２（ａ−
１）の左端（角度０度）に図３の角度０度を一致させて
二つの波形を合成する。図２（ａ−２）の場合は、図２
（ａ−２）の左端（角度０度）に図３の角度９０度を一
致させて二つの波形を合成する。同様に、図２（ａ−
３）の場合は、図２（ａ−３）の左端（角度０度）に図
３の角度１８０度を一致させて二つの波形を合成し、図
２（ａ−４）の左端（角度０度）に図３の角度２７０度
を一致させて二つの波形を合成する。他の場合も同様で
ある。

【００２７】図４は図１の実施例におけるメモリ部６ｄ
からの信号に対して、補正回路１７からの図３の曲線３
５に示した波形の補正信号によって補正を行った後の表
示部１３ｄにおける表示波形を示す波形図で、変位検出
信号の大きさを縦軸とし、磁気ディスク８ｄの回転角度
を横軸として示したものである。（ａ−１）〜（ａ−
４）の曲線４１ａ〜４１ｄは、図２の第一の磁気ディス
クとスピンドル治具９ｄとの相対取付け角度をそれぞれ
９０度ずつずらせて測定したときの波形図である。同様
に（ｂ−１）〜（ｂ−４）の曲線４２ａ〜４２ｄは、図
２の第二の磁気ディスクをスピンドル治具９ｄとの相対
取付け角度をそれぞれ９０度ずつずらせて測定したとき
の波形図である。同様に（ｃ−１）〜（ｃ−４）の曲線
４３ａ〜４３ｄは、図２の第三の磁気ディスクをスピン
ドル治具９ｄとの相対取付け角度をそれぞれ９０度ずつ
ずらせて測定したときの波形図である。図４から、第一
〜第三の各磁気ディスクは、いずれもスピンドル治具９
ｄとの相対取付け角度が変っても同じ波形を示すことが
理解でき、従って各磁気ディスクの固有のうねりの形状
を把握するこどができる。表示部１３ｄの波形から変位
検出信号の最大値と最小値とを読取ってそれらの差を求
めることにより、各磁気ディスクのランアウトを測定す
ることが可能となる。

【００２８】図５は本発明の第二の実施例のスピンドル
治具を示す正面図で、（ａ）は磁気ディスクを固定する
前の状態を示す図、（ｂ）は磁気ディスクを固定した後
の状態を示す図である。

【００２９】図５に示すように、本実施例のスピンドル
治具９ｅは、磁気ディスクのクランプ方法が図１の実施
例と異っている。すなわちスピンドル治具９ｅは、磁気
ディスクの内径よりも２〜８ｍｍ程度大きな外径の円筒
形の上面を受け面とし、この受け面の中央部に、半径方
向に移動することによって受け面に搭載した磁気ディス
クを機械的に固定する案内突起１９を設けたものであ
る。

【００３０】このように構成したスピンドル治具９ｅに
よって磁気ディスク８ｅを固定するときは、まず図５
（ａ）に示すように、案内突起１９を矢印Ａ方向に移動
させてその間隔を狭くしておき、この案内突起１９に磁
気ディスク８ｅの中央部の穴を通して磁気ディスク８ｅ
をスピンドル治具９ｅの上面の受け面に搭載し、次に図
５（ｂ）に示すように、案内突起１９を矢印Ｂ方向に移
動させることによってその間隔を広げて磁気ディスク８
ｅを固定する。

【００３１】上記以外の構成および動作は、図１の実施
例と同じである。

【００３２】図６は本発明の第三の実施例のスピンドル
スタンドおよびキャップを示す正面図で、（ａ）は磁気
ディスクを固定する前の状態を示す図、（ｂ）は磁気デ
ィスクを固定した後の状態を示す図である。

【００３３】本実施例は、磁気ディスクの固定方法を更
に変更した例である。 すなわち、図１または図５のス
ピンドル治具の代りにスピンドルスタンドとキャップと
を使用し、スピンドルスタンドの上に磁気ディスクを搭
載してその上にキャップを載せ、スピンドルスタンドに
よってキャップを真空吸着することによってスピンドル
スタンドとキャップとで磁気ディスクを挟んで固定する
ようにしたものである。

【００３４】すなわち、図６（ａ）に示すように、測定
対象の磁気ディスク８ｆの内径よりも２〜８ｍｍ程度大
きな外形の押さえ面を有するキャップ２０と、磁気ディ
スク８ｆの内径を案内する円筒部およびキャップ２０の
外径とほぼ同じ外径の受け面とで段付きの円筒形状を形
成し、受け面に磁気ディスク８ｆを搭載してキャップ２
０を真空吸着することによって磁気ディスク８ｆを固定
するスピンスタンド２１とを設け、スピンドルスタンド
２１の上に磁気ディスク８ｆを搭載し、その上にキャッ
プ２０を載せる。次に図６（ｂ）に示すように、キャッ
プ２０をスピンドルスタンド２１によって真空吸着す
る。これによってキャップ２０とスピンドルスタンド２
１との間に挟まれた磁気ディスク８ｆは、スピンドルス
タンド２１の上面とキャップ２０の下面とによって固定
される。上記以外の構成および動作は、図１および図５
の実施例と同じである。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のランアウ
ト測定装置は、測定対象の磁気ディスクの内径よりも２
〜８ｍｍ程度大きな外径の受け面を有しこの受け面にお
いて磁気ディスクを真空吸着または機械的に固定するス
ピンドル治具、または、測定対象の磁気ディスクの内径
よりも２〜８ｍｍ程度大きな外形の押さえ面を有するキ
ャップおよび磁気ディスクの内径を案内する円筒部とキ
ャップの外径とほぼ同じ外径の受け面とで段付きの円筒
形状を形成し、受け面に磁気ディスクを搭載してキャッ
プを真空吸着することによって磁気ディスクを固定する
スピンスタンドと、このスピンドル治具またはスピンス
タンドを取付けて回転するスピンドルモータと、スピン
ドルモータの１回転毎に１個のインデックス信号を発生
するインデックス信号発生回路と、スピンドル治具また
はスピンスタンドに固定した磁気ディスクの軸方向の変
位量を検出する非接触型の変位センサと、変位センサを
保持して磁気ディスクの指定された半径位置に移動させ
る支持機構部と、インデックス信号発生回路からのイン
デックス信号によって変位センサからの出力信号をスピ
ンドルモータの１回転分だけ記憶するメモリ部と、あら
かじめ設定されている補正波形の信号を出力する発振器
と、メモリ部からの出力信号に対して発振器からの信号
とを補正する補正回路と、補正回路からの出力信号を表
示する表示部とを設けることにより、磁気ディスクの受
け面の傾きによる誤差の発生がなく、また参照円板の影
響も受けず、正確な測定が可能となって被測定物の真の
うねりの形状が得られるという効果があり、また被測定
物の表面および裏面に傷を発生させることがないという
効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例を示すブロック図であ
る。

【図２】図１の実施例におけるメモリ部の記憶波形を示
す波形図で、（ａ−１）〜（ａ−４）は第一の磁気ディ
スクをスピンドル治具との相対取付け角度を９０度ずつ
ずらせて測定したときの波形図、（ｂ−１）〜（ｂ−
４）は第二の磁気ディスクをスピンドル治具との相対取
付け角度を９０度ずつずらせて測定したときの波形図、
（ｃ−１）〜（ｃ−４）は第三の磁気ディスクをスピン
ドル治具との相対取付け角度を９０度ずつずらせて測定
したときの波形図である。

【図３】図１の実施例の発振器に設定する補正信号の波
形を示す波形図である。

【図４】図１の実施例におけるメモリ部からの信号に対
して補正を行った後の表示波形を示す波形図で、（ａ−
１）〜（ａ−４）は第一の磁気ディスクをスピンドル治
具との相対取付け角度を９０度ずつずらせて測定したと
きの波形図、（ｂ−１）〜（ｂ−４）は第二の磁気ディ
スクをスピンドル治具との相対取付け角度を９０度ずつ
ずらせて測定したときの波形図、（ｃ−１）〜（ｃ−
４）は第三の磁気ディスクをスピンドル治具との相対取
付け角度を９０度ずつずらせて測定したときの波形図で
ある。

【図５】本発明の第二の実施例のスピンドル治具を示す
正面図で、（ａ）は磁気ディスクを固定する前の状態を
示す図、（ｂ）は磁気ディスクを固定した後の状態を示
す図である。

【図６】本発明の第三の実施例のスピンドルスタンドお
よびキャップを示す正面図で、（ａ）は磁気ディスクを
固定する前の状態を示す図、（ｂ）は磁気ディスクを固
定した後の状態を示す図である。

【図７】従来のランアウト測定装置の第一の例を示すブ
ロック図である。

【図８】従来のランアウト測定装置の第二の例を示すブ
ロック図である。

【図９】従来のランアウト測定装置の第三の例を示すブ
ロック図である。

【符号の説明】

１ 被測定物 ２ 回転テーブル ３ 角度パルス発生部 ４ 変位測定器 ５ａ・５ｂ・５ｃ・５ｄ 支持機構部 ６ａ・６ｂ・６ｄ メモリ部 ７ 誤差補正部 ８ｂ・８ｃ・８ｄ・８ｅ・８ｆ 磁気ディスク ９ｂ・９ｄ・９ｅ スピンドル治具 １０ｂ・１０ｃ・１０ｄ スピンドルモータ １１ｂ・１１ｄ インデックス信号発生回路 １２ｂ・１２ｃ・１２ｄ・１５ 変位センサ １３ｂ・１３ｄ 表示部 １４ 参照円板 １６ 差動ユニット １７ 補正回路 １８ 発振器 １９ 案内突起 ２０ キャップ ２１ スピンスタンド

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象の磁気ディスクの内径を案内す
   る円筒部と前記磁気ディスクの内径よりも２〜８ｍｍ程
   度大きな外径の受け面とで段付きの円筒形状を形成し前
   記受け面において前記磁気ディスクを真空吸着によって
   固定するスピンドル治具と、前記スピンドル治具を取付
   けて回転するスピンドルモータと、前記スピンドルモー
   タの１回転毎に１個のインデックス信号を発生するイン
   デックス信号発生回路と、前記スピンドル治具に固定し
   た前記磁気ディスクの軸方向の変位量を検出する非接触
   型の変位センサと、前記変位センサを保持して前記磁気
   ディスクの指定された半径位置に移動させる支持機構部
   と、前記インデックス信号発生回路からの前記インデッ
   クス信号によって前記変位センサからの出力信号を前記
   スピンドルモータの１回転分だけ記憶するメモリ部と、
   あらかじめ設定されている補正波形の信号を出力する発
   振器と、前記メモリ部からの出力信号に対して前記発振
   器からの信号を補正する補正回路と、前記補正回路から
   の出力信号を表示する表示部とを備えることを特徴とす
   るランアウト測定装置。
2. 【請求項２】 測定対象の磁気ディスクの内径よりも２
   〜８ｍｍ程度大きな外径の受け面と前記受け面の中央部
   に設けられて半径方向に移動することによって前記受け
   面に搭載した前記磁気ディスクを機械的に固定するスピ
   ンドル治具と、前記スピンドル治具を取付けて回転する
   スピンドルモータと、前記スピンドルモータの１回転毎
   に１個のインデックス信号を発生するインデックス信号
   発生回路と、前記スピンドル治具に固定した前記磁気デ
   ィスクの軸方向の変位量を検出する非接触型の変位セン
   サと、前記変位センサを保持して前記磁気ディスクの指
   定された半径位置に移動させる支持機構部と、前記イン
   デックス信号発生回路からの前記インデックス信号によ
   って前記変位センサからの出力信号を前記スピンドルモ
   ータの１回転分だけ記憶するメモリ部と、あらかじめ設
   定されている補正波形の信号を出力する発振器と、前記
   メモリ部からの出力信号に対して前記発振器からの信号
   を補正する補正回路と、前記補正回路からの出力信号を
   表示する表示部とを備えることを特徴とするランアウト
   測定装置。載のランアウト測定装置。
3. 【請求項３】 測定対象の磁気ディスクの内径よりも２
   〜８ｍｍ程度大きな外形の押さえ面を有するキャップ
   と、前記磁気ディスクの内径を案内する円筒部と前記キ
   ャップの外径とほぼ同じ外径の受け面とで段付きの円筒
   形状を形成し前記受け面に前記磁気ディスクを搭載して
   前記キャップを真空吸着することによって前記磁気ディ
   スクを固定するスピンスタンドと、前記スピンドルスタ
   ンドを取付けて回転するスピンドルモータと、前記スピ
   ンドルモータの１回転毎に１個のインデックス信号を発
   生するインデックス信号発生回路と、前記スピンドルス
   タンドに固定した前記磁気ディスクの軸方向の変位量を
   検出する非接触型の変位センサと、前記変位センサを保
   持して前記磁気ディスクの指定された半径位置に移動さ
   せる支持機構部と、前記インデックス信号発生回路から
   の前記インデックス信号によって前記変位センサからの
   出力信号を前記スピンドルモータの１回転分だけ記憶す
   るメモリ部と、あらかじめ設定されている補正波形の信
   号を出力する発振器と、前記メモリ部からの出力信号に
   対して前記発振器からの信号を補正する補正回路と、前
   記補正回路からの出力信号を表示する表示部とを備える
   ことを特徴とするランアウト測定装置。