JPH08222653A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH08222653A
JPH08222653A JP7021654A JP2165495A JPH08222653A JP H08222653 A JPH08222653 A JP H08222653A JP 7021654 A JP7021654 A JP 7021654A JP 2165495 A JP2165495 A JP 2165495A JP H08222653 A JPH08222653 A JP H08222653A
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JP
Japan
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semiconductor element
lead terminal
external lead
electrode
bonding wire
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Application number
JP7021654A
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English (en)
Inventor
Kazuyuki Okada
和之 岡田
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
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Publication of JPH08222653A publication Critical patent/JPH08222653A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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    • H01L2224/732Location after the connecting process
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    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体素子の各電極と外部リード端子とを強固
に電気的接続し、内部の半導体素子を外部電気回路に確
実に電気的接続することができる半導体装置を提供する
ことにある。 【構成】半導体素子1と、該半導体素子1を内部に収容
する基体3と蓋体4とから成る容器Pと、前記容器Pの
基体3と蓋体4の間に封止用ガラス部材7、8を介して
取着され、容器P内部に収容されている半導体素子1の
電極がボンディングワイヤ6を介して電気的に接続され
る外部リード端子5とから成る半導体装置であって、前
記外部リード端子5のボンディングワイヤ6の接合され
る領域が半導体素子1の電極が形成されている領域と実
質的に同一高さに位置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子収納用パッケ
ージ内に半導体素子を収容して成る半導体装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、コンピュータ等の情報処理装置に
は半導体素子を半導体素子収納用パッケージ内に気密に
収容した半導体装置が使用されている。
【0003】かかるコンピュータ等の情報処理装置に使
用される半導体装置は通常、図2に示すように、まず酸
化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成り、中
央部に半導体素子を収容する空所を形成するための凹部
を有し、上面に封止用のガラス部材22が被着された基
体21と、同じく電気絶縁材料から成り、中央部に半導
体素子を収容するための空所を形成する凹部を有し、下
面に封止用のガラス部材24が被着された蓋体23と、
内部に収容する半導体素子を外部の電気回路に電気的に
接続するための複数個の外部リード端子25とにより構
成される半導体素子収納用パッケージを準備し、次に前
記半導体素子収納用パッケージの基体21の上面に外部
リード端子25を載置させるとともに予め被着させてお
いた封止用のガラス部材22を溶融させることによって
外部リード端子25を基体21に仮止めし、次に前記基
体21の凹部底面に半導体素子26をガラス、樹脂、ロ
ウ材等の接着剤を介して接着固定するとともに該半導体
素子26の各電極をボンディングワイヤ27を介して外
部リード端子25に接続し、しかる後、基体21と蓋体
23とをその相対向する上下面に被着させておいた封止
用のガラス部材22、24を約400℃の温度で溶融一
体化させ、基体21と蓋体23とから成る容器を気密に
封止することによって製品としての半導体装置となる。
【0004】尚、前記従来の半導体装置は外部リード端
子25の一端が外部電気回路基板の配線導体に半田等を
介して接続され、これによって容器内部に収容される半
導体素子26の電極はボンディングワイヤ27及び外部
リード端子25を通して外部電気回路と接続されること
になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の半導体装置においては、外部リード端子が基体の上
面外周部に固定されているのに対し、厚さの薄い半導体
素子が基体の凹部底面に接着固定されており、外部リー
ド端子のボンディングワイヤが接合される上面と半導体
素子の各電極が形成されている上面の高さ位置に大きな
相違を有することから半導体素子の各電極をボンディン
グワイヤを介して外部リード端子に接続する際、ボンデ
ィングワイヤの外部リード端子に対する接合と半導体素
子の電極に対する接合に強度バラツキが発生し、その結
果、半導体素子の各電極と外部リード端子との電気的接
続が信頼性の低いものになる欠点を有していた。
【0006】
【発明の目的】本発明は上記欠点に鑑み案出されたもの
で、その目的は半導体素子の各電極と外部リード端子と
を強固に電気的接続し、内部の半導体素子を外部電気回
路に確実に電気的接続することができる半導体装置を提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は半導体素子と、
該半導体素子を内部に収容する基体と蓋体とから成る容
器と、前記容器の基体と蓋体の間に封止用ガラス部材を
介して取着され、容器内部に収容されている半導体素子
の電極がボンディングワイヤを介して電気的に接続され
る外部リード端子とから成る半導体装置であって、前記
外部リード端子のボンディングワイヤの接合される領域
が半導体素子の電極が形成されている領域と実質的に同
一高さに位置することを特徴とするものである。
【0008】
【作用】本発明の半導体装置によれば、外部リード端子
のボンディングワイヤが接合される領域と半導体素子の
電極が形成されている領域とが実質的に同一高さに位置
することから半導体素子の各電極をボンディングワイヤ
を介して外部リード端子に接続するとボンディングワイ
ヤの外部リード端子に対する接合と半導体素子の電極に
対する接合とが略均等の強度となり、その結果、半導体
素子の各電極と外部リード端子とを強固に電気的接続
し、内部の半導体素子を外部電気回路に確実に電気的接
続することが可能となる。
【0009】
【実施例】次に本発明を添付図面に基づき詳細に説明す
る。図1は本発明の半導体装置の一実施例を示し、1は
半導体素子、2は半導体素子収納用パッケージである。
この半導体素子収納用パッケージ2の内部に半導体素子
1を収容することによって半導体装置となる。
【0010】前記半導体素子収納用パッケージ2は基体
3と蓋体4と複数個の外部リード端子5とによって構成
されており、該基体3及び蓋体4は酸化アルミニウム質
焼結体やムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結
体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体等の
無機物絶縁材料、或いは鉄ーニッケルーコバルト合金や
鉄ーニッケル合金等の金属材料で、また外部リード端子
5は鉄ーニッケルーコバルト合金や鉄ーニッケル合金等
の金属材料で形成されている。
【0011】前記半導体素子収納用パッケージ2の基体
3はその上面中央部に半導体素子1が載置される載置部
3aが形成されており、該載置部3aには半導体素子1
がガラス、樹脂、ロウ材等の接着剤を介して接着固定さ
れるようになっている。
【0012】また前記基体3の半導体素子1が搭載され
る搭載部3aは基体3の上面側に若干突出しており、こ
れによって搭載部3aに半導体素子1を固定した際、半
導体素子1の電極が形成されている上面が後述する外部
リード端子5のボンディングワイヤ6が接合される上面
と実質的に同一高さとなっている。
【0013】尚、前記半導体素子収納用パッケージ2の
基体3及び蓋体4は、例えば酸化アルミニウム質焼結体
で形成されている場合、酸化アルミニウム(Al 2 O 3 )
、シリカ(SiO2 ) 、カルシア(CaO) 、マグネシア(MgO)
等に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合してセラミック
原料粉末を調整し、次に前記原料粉末を所定形状の金型
内に充填するとともにこれを一定の圧力で押圧して成形
品を得、しかる後、前記成形品を約1600℃の温度で焼成
することによって製作される。
【0014】また前記基体3の半導体素子1が搭載され
る搭載部3aはセラミック原料粉末を金型内に充填し、
成形品を得るとともにこれを焼成して基体3を得る際
に、予め金型に所定の凹凸を形成しておくことによっ
て、或いは基体3の上面外周部を研削加工法により削り
取ることによって基体3の上面中央部で基体3の上面側
に若干突出するようにして形成される。
【0015】更に前記半導体素子収納用パッケージ2の
基体3及び蓋体4にはその相対向する各々の主面に封止
用ガラス部材7、8が予め被着形成されており、該基体
3及び蓋体4の各々の主面に被着されている封止用ガラ
ス部材7、8を加熱溶融させ、一体化させることによっ
て基体3と蓋体4とから成る容器P内部に半導体素子1
が気密に収容される。
【0016】前記基体3及び蓋体4の相対向する主面に
被着される封止用ガラス部材7、8は例えば、酸化鉛2
0.0乃至50.0重量%、酸化亜鉛3.0 乃至13.0重量%、酸
化珪素3.0 乃至13.0重量%、酸化ホウ素3.0 乃至13.0重
量%を含むガラス成分にフィラーとしてのウイレマイト
系化合物を30.0乃至50.0重量%、チタン酸鉛系化合物を
10.0乃至30.0重量%添加した低融点の非晶質ガラスから
成り、該ガラス粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合
して得たガラスペーストを従来周知のスクリーン印刷法
等の厚膜手法を採用することにより基体3及び蓋体4の
相対向する各々の主面に被着される。
【0017】前記半導体素子収納用パッケージ2の基体
3と蓋体4との間にはまた導電材料、例えば鉄ーニッケ
ルーコバルト合金や鉄ーニッケル合金等の金属材料から
成る複数個の外部リード端子5が配されており、該外部
リード端子5には半導体素子1の各電極がボンディング
ワイヤ6を介して電気的に接続され、外部リード端子5
を外部電気回路に接続することによって半導体素子1は
外部電気回路と接続されることとなる。
【0018】前記外部リード端子5は半導体素子1の各
電極を外部電気回路に電気的に接続させる作用を為し、
鉄ーニッケルーコバルト合金や鉄ーニッケル合金等のイ
ンゴット(塊)に圧延加工法や打ち抜き加工法等、従来
周知の金属加工法を施すことによって所定形状に形成さ
れる。
【0019】前記外部リード端子5はまたボンディング
ワイヤ6の接合される上面が半導体素子1の電極が形成
されている上面と実質的に同じ高さとなっており、これ
によって半導体素子1の各電極をボンディングワイヤ6
を介して外部リード端子5に接続するとボンディングワ
イヤ6の外部リード端子5に対する接合と半導体素子1
の電極に対する接合とが略均等の強度となり、その結
果、半導体素子1の各電極と外部リード端子5とを強固
に電気的接続し、内部の半導体素子1を外部電気回路に
確実に電気的接続することが可能となる。
【0020】尚、前記外部リード端子5は基体3と蓋体
4とから成る容器Pを封止用ガラス部材7、8を溶融一
体化させて気密封止する際に同時に基体3と蓋体4との
間に取着固定される。
【0021】また前記外部リード端子5はその表面にニ
ッケル、金等の良導電性で、且つ耐蝕性に優れた金属を
1.0 乃至20.0μm の厚みにメッキ法により層着させてお
くと外部リード端子5の酸化腐食を有効に防止すること
ができるとともに外部リード端子5とボンディングワイ
ヤ6との接合及び外部リード端子5と外部電気回路との
接続を良好となすことができる。従って、前記外部リー
ド端子5はその表面にニッケル、金等の良導電性で、耐
蝕性に優れた金属を1.0 乃至20.0μm の厚みにメッキ法
により層着させておくことが好ましい。
【0022】かかる上述の半導体素子収納用パッケージ
2は、基体3の上面に外部リード端子5を載置させると
ともに予め被着させておいた封止用のガラス部材7を溶
融させることによって外部リード端子5を基体3に仮止
めし、次に前記基体3の半導体素子搭載部3a上に半導
体素子1をガラス、樹脂、ロウ材等の接着剤を介して接
着固定するとともに該半導体素子1の各電極をボンディ
ングワイヤ6を介して外部リード端子5に接続し、しか
る後、基体3と蓋体4とをその相対向する上下面に被着
させておいた封止用ガラス部材7、8を約400℃の温
度で溶融一体化させ、基体3と蓋体4とから成る容器P
を気密に封止することによって製品としての半導体装置
となる。
【0023】更にこの半導体装置は外部リード端子5を
半田等を介して外部電気回路基板の配線導体に接続さ
せ、内部の半導体素子1を外部電気回路に電気的に接続
させることによってコンピュータ等の情報処理装置に搭
載されることとなる。
【0024】尚、本発明は上述の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種
々の変更は可能である。
【0025】
【発明の効果】本発明の半導体装置によれば、外部リー
ド端子のボンディングワイヤが接合される領域と半導体
素子の電極が形成されている領域とが実質的に同一高さ
に位置することから半導体素子の各電極をボンディング
ワイヤを介して外部リード端子に接続するとボンディン
グワイヤの外部リード端子に対する接合と半導体素子の
電極に対する接合とが略均等の強度となり、その結果、
半導体素子の各電極と外部リード端子とを強固に電気的
接続し、内部の半導体素子を外部電気回路に確実に電気
的接続することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の一実施例を示す断面図で
ある。
【図2】従来の半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
1・・・・・・半導体素子 2・・・・・・半導体素子収納用パッケージ 3・・・・・・基体 3a・・・・・半導体素子搭載部 4・・・・・・蓋体 5・・・・・・外部リード端子 6・・・・・・ボンディングワイヤ 7、8・・・・封止用ガラス部材 P・・・・・・容器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体素子と、該半導体素子を内部に収容
    する基体と蓋体とから成る容器と、前記容器の基体と蓋
    体の間に封止用ガラス部材を介して取着され、容器内部
    に収容されている半導体素子の電極がボンディングワイ
    ヤを介して電気的に接続される外部リード端子とから成
    る半導体装置であって、前記外部リード端子のボンディ
    ングワイヤの接合される領域が半導体素子の電極が形成
    されている領域と実質的に同一高さに位置することを特
    徴とする半導体装置。
JP7021654A 1995-02-09 1995-02-09 半導体装置 Pending JPH08222653A (ja)

Priority Applications (1)

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JP7021654A JPH08222653A (ja) 1995-02-09 1995-02-09 半導体装置

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JP7021654A JPH08222653A (ja) 1995-02-09 1995-02-09 半導体装置

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ID=12061043

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008146531A1 (ja) * 2007-05-29 2008-12-04 Kyocera Corporation 電子部品収納用パッケージ、及び電子装置

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WO2008146531A1 (ja) * 2007-05-29 2008-12-04 Kyocera Corporation 電子部品収納用パッケージ、及び電子装置
JP5106528B2 (ja) * 2007-05-29 2012-12-26 京セラ株式会社 電子部品収納用パッケージ、及び電子装置
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