JPH08222479A - Chip-type capacitor - Google Patents

Chip-type capacitor

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Publication number
JPH08222479A
JPH08222479A JP2939795A JP2939795A JPH08222479A JP H08222479 A JPH08222479 A JP H08222479A JP 2939795 A JP2939795 A JP 2939795A JP 2939795 A JP2939795 A JP 2939795A JP H08222479 A JPH08222479 A JP H08222479A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thick film
capacitor
electrode
chip
electrodes
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2939795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kunio Yamaguchi
邦生 山口
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Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
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Publication of JPH08222479A publication Critical patent/JPH08222479A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To provide a chip-type capacitor which is lessened in manufacturing cost and enhanced in uniformity of frequency characteristics. CONSTITUTION: A chip capacitor is equipped with an alumina board 11, a thick film capacitor composed of a pair of a lower electrode 12 and an upper electrode 14 apart from each other through a thick film dielectric layer 13, an Au pad electrode 16a connected to the lower electrode 12, and an Au pad electrode 16b connected to the upper electrode 14.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、特に高周波帯域で使用
されるチップコンデンサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip capacitor used especially in a high frequency band.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、高周波用のチップコンデンサ
として積層コンデンサや薄膜コンデンサが用いられてい
る。積層コンデンサを製造するには、先ず複数のグリー
ンシートを用意し、それらグリーンシートに内部電極を
形成する。次に、グリーンシートを互いに積層し熱圧着
で一体化した後、チップ毎に切断し焼成する。さらに、
回路基板に実装するための外部電極を形成することによ
り所望の積層コンデンサを得る。また、薄膜コンデンサ
を製造するには、先ずアルミナ基板上にスパッタリング
で電極および誘電体層を形成しパターンエッチングする
ことにより所望の薄膜コンデンサを得る。
2. Description of the Related Art Conventionally, multilayer capacitors and thin film capacitors have been used as high frequency chip capacitors. In order to manufacture a laminated capacitor, first, a plurality of green sheets are prepared, and internal electrodes are formed on these green sheets. Next, the green sheets are laminated on each other and integrated by thermocompression bonding, and then cut into chips and baked. further,
A desired multilayer capacitor is obtained by forming external electrodes for mounting on a circuit board. To manufacture a thin film capacitor, first, an electrode and a dielectric layer are formed on an alumina substrate by sputtering and pattern etching is performed to obtain a desired thin film capacitor.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、積層
コンデンサは、グリーンシートに電極を形成し、それら
グリーンシートを互いに積層して一体化し、さらにチッ
プ毎に切断し焼成して製造するため、製造のための工程
数が多くまた製造時間も長くなり製造コストがアップす
るという問題がある。また、積層コンデンサを回路基板
に実装するには、外部電極と回路基板とを半田で接続す
るため、高周波帯域において半田量のばらつきで回路の
周波数特性がばらつくという問題がある。
As described above, the multilayer capacitor is manufactured by forming electrodes on the green sheets, stacking the green sheets on each other to integrate them, and further cutting and firing each chip. There is a problem in that the number of manufacturing steps is large and the manufacturing time is long and the manufacturing cost is increased. Further, when mounting the multilayer capacitor on the circuit board, since the external electrodes and the circuit board are connected by solder, there is a problem that the frequency characteristics of the circuit vary due to variations in the amount of solder in the high frequency band.

【0004】また薄膜コンデンサは、スパッタリングや
パターンエッチングで製造するため、製造工程が複雑で
あり、やはり製造コストがアップするという問題があ
る。本発明は、上記事情に鑑み、製造コストの低減化が
図られるとともに周波数特性のばらつきが低減されたチ
ップコンデンサを提供することを目的とする。
Further, since the thin film capacitor is manufactured by sputtering or pattern etching, there is a problem that the manufacturing process is complicated and the manufacturing cost also rises. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a chip capacitor in which manufacturing cost is reduced and variation in frequency characteristics is reduced.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のチップコンデンサは、 (1)セラミックス基板 (2)そのセラミックス基板上に形成された誘電体層
と、その誘電体層を介して互いに隔てられた一対の電極
とからなる厚膜コンデンサ (3)上記一対の電極それぞれに電気的に接続されてな
る一対の厚膜パッド電極 を有することを特徴とするものである。
A chip capacitor according to the present invention which achieves the above object comprises: (1) a ceramic substrate (2) a dielectric layer formed on the ceramic substrate and the dielectric layer interposed therebetween. Thick film capacitor composed of a pair of electrodes separated from each other. (3) A thick film capacitor having a pair of thick film pad electrodes electrically connected to each of the pair of electrodes.

【0006】[0006]

【作用】本発明のチップコンデンサは、厚膜コンデンサ
と厚膜パッド電極とを有するものであり、これら厚膜コ
ンデンサ,厚膜パッド電極は、厚膜抵抗を形成する場合
と同様な厚膜技術で容易に形成される。このため積層コ
ンデンサと比較し、製造工程数が少なく製造時間も短く
て済み、また薄膜コンデンサと比較し、複雑な製造工程
もなく、製造コストの低減化が図られる。
The chip capacitor of the present invention has a thick film capacitor and a thick film pad electrode, and these thick film capacitor and thick film pad electrode are formed by the same thick film technique as that for forming a thick film resistor. Easily formed. Therefore, the number of manufacturing steps is smaller and the manufacturing time is shorter than that of the multilayer capacitor, and the manufacturing cost can be reduced as compared with the thin film capacitor without complicated manufacturing steps.

【0007】さらに、回路基板と接続するための厚膜パ
ッド電極は、積層コンデンサの外部電極のようにチップ
毎に切断した後形成する場合と比較し、さほど突出する
こともなく、チップコンデンサの、厚膜パッド電極によ
る外部サイズへの影響は極めて少ない。また、厚膜パッ
ド電極と回路基板とをワイヤボンディングで接続する
と、端子電極取付工程を省略することが可能となり製造
コストが低減でき、また、積層コンデンサの外部電極と
回路基板とを半田で接続する場合と比較し、高周波帯域
において回路の周波数特性がばらつくこともない。ま
た、厚膜パッド電極を、後述する実施例のように縦長状
に形成すると、ワイヤボンディング長による高周波帯域
における周波数特性の調整が容易になり、周波数特性の
ばらつきが低減されるとともにボンディング強度も向上
する。
Further, the thick film pad electrode for connecting to the circuit board does not protrude so much as compared with the case where it is formed after cutting each chip like the external electrode of the multilayer capacitor, and the thick film pad electrode of the chip capacitor The influence of the thick film pad electrode on the external size is extremely small. Further, when the thick film pad electrode and the circuit board are connected by wire bonding, the step of attaching the terminal electrode can be omitted, the manufacturing cost can be reduced, and the external electrode of the multilayer capacitor and the circuit board are connected by soldering. Compared with the case, the frequency characteristics of the circuit do not vary in the high frequency band. Further, when the thick film pad electrode is formed in a vertically long shape as in the example described later, it becomes easy to adjust the frequency characteristic in the high frequency band by the wire bonding length, the variation of the frequency characteristic is reduced, and the bonding strength is improved. To do.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は、本発明の一実施例のチップコンデンサの断面図で
ある。アルミナ基板11上に下部電極12,誘電体層1
3,上部電極14が順次形成されており、これにより誘
電体層13を介して互いに隔てられた一対の下部電極1
2,上部電極14とからコンデンサ素子が形成されてい
る。さらに上部電極14上に、その上部電極14等を保
護するためのオーバーコートガラス膜15が形成されて
いる。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a sectional view of a chip capacitor according to an embodiment of the present invention. Lower electrode 12, dielectric layer 1 on alumina substrate 11
3, an upper electrode 14 is sequentially formed, and thus a pair of lower electrodes 1 are separated from each other by a dielectric layer 13.
2, a capacitor element is formed from the upper electrode 14. Further, an overcoat glass film 15 for protecting the upper electrode 14 and the like is formed on the upper electrode 14.

【0009】また、下部電極12と接続されたAuパッ
ド電極16a,上部電極14と接続されたAuパッド電
極16bがそれぞれオーバーコートガラス層15上にま
で形成されている。これらAuパッド電極16a,16
bは、回路基板にそれぞれワイヤボンディングされる。
以下に、図1に示すチップコンデンサの製造方法につい
て説明する。
An Au pad electrode 16a connected to the lower electrode 12 and an Au pad electrode 16b connected to the upper electrode 14 are formed on the overcoat glass layer 15, respectively. These Au pad electrodes 16a, 16
b is wire-bonded to the circuit board.
The method of manufacturing the chip capacitor shown in FIG. 1 will be described below.

【0010】図2は、図1に示すチップコンデンサの製
造工程を示す図である。ここでは、縦方向および横方向
に所定のピッチでスクライブ溝が形成されたアルミナ基
板を用意し、スクライブ溝で分割される前のアルミナ基
板の、スクライブ溝に囲まれた各領域それぞれにチップ
コンデンサを形成する。先ず、図2(a)に示すアルミ
ナ基板11(スクライブ溝で分割される前のスクライブ
溝で囲まれた各領域をいう)に導電ペーストをスクリー
ン印刷法により印刷して焼成し、下部電極12を形成し
た。
FIG. 2 is a diagram showing a manufacturing process of the chip capacitor shown in FIG. Here, an alumina substrate in which scribed grooves are formed at a predetermined pitch in the vertical direction and the horizontal direction is prepared, and a chip capacitor is provided in each area surrounded by the scribed grooves of the alumina substrate before being divided by the scribed grooves. Form. First, a conductive paste is printed by a screen printing method on an alumina substrate 11 (which means each region surrounded by the scribe groove before being divided by the scribe groove) shown in FIG. Formed.

【0011】次に、図2(b)に示すように、下部電極
12上に誘電体ペーストをスクリーン印刷法により印刷
して焼成し、誘電体層13を形成した。次に、図2
(c)に示すように、誘電体層13上に導電体ペースト
をスクリーン印刷法により印刷して焼成し、上部電極1
4を形成した。次に、図2(d)に示すように、上部電
極14等を覆うようにガラスペーストを印刷して焼成
し、オーバーコートガラス層15を形成した。
Next, as shown in FIG. 2B, a dielectric paste was printed on the lower electrode 12 by screen printing and baked to form a dielectric layer 13. Next, FIG.
As shown in (c), a conductor paste is printed on the dielectric layer 13 by a screen printing method and baked to form the upper electrode 1.
4 was formed. Next, as shown in FIG. 2D, a glass paste was printed so as to cover the upper electrode 14 and the like and baked to form an overcoat glass layer 15.

【0012】さらに、図2(e)に示すように、下部電
極12に電気的に接続されるとともにオーバーコートガ
ラス層15上の一部に広がるように、および上部電極1
4に電気的に接続されるとともにオーバーコートガラス
層15上の一部に広がるようにAu厚膜ペーストをスク
リーン印刷法により印刷して焼成し、ワイヤボンディン
グのためのAuパッド電極16a,16bを形成した。
Further, as shown in FIG. 2E, the upper electrode 1 is electrically connected to the lower electrode 12 and spreads over a part of the overcoat glass layer 15.
No. 4 is electrically connected to No. 4 and is spread on a portion of the overcoat glass layer 15 by printing an Au thick film paste by a screen printing method and firing to form Au pad electrodes 16a and 16b for wire bonding. did.

【0013】その後、アルミナ基板をスクライブ溝でカ
ットしてチップ毎にそれぞれ分割した。図2(e)に示
すように下部電極12,上部電極14それぞれに接続さ
れたAuパッド電極16a,16bがオーバーコートガ
ラス層15上にまで延長されており、ワイヤボンディン
グ長による高周波帯域における周波数特性の調整が容易
になり、また下部電極12,上部電極14へのボンディ
ング強度も高められている。
After that, the alumina substrate was cut along the scribe groove to divide it into chips. As shown in FIG. 2E, the Au pad electrodes 16a and 16b connected to the lower electrode 12 and the upper electrode 14, respectively, are extended to above the overcoat glass layer 15, and the frequency characteristic in the high frequency band due to the wire bonding length is obtained. Is easy to adjust, and the bonding strength to the lower electrode 12 and the upper electrode 14 is also improved.

【0014】尚、本実施例では、ベースとなる基板とし
てアルミナ基板が用いられているが、本発明のチップコ
ンデンサは必ずしもアルミナ基板を用いるものである必
要はなく、そのほかのセラミックス基板を用いてもよ
い。
Although an alumina substrate is used as the base substrate in this embodiment, the chip capacitor of the present invention does not necessarily have to use an alumina substrate, and other ceramic substrates may be used. Good.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のチップコ
ンデンサは、厚膜コンデンサと厚膜パッド電極を有する
ものであり、それら厚膜コンデンサ,厚膜パッド電極は
厚膜技術で製造されるため、製造コストの低減化が図ら
れる。また、厚膜パッド電極と回路基板とをワイヤボン
ディングで接続し厚膜パッド電極を、前述した実施例の
ように縦長状に形成すると、ワイヤボンディング長によ
る高周波帯域における周波数特性の調整が容易になり、
周波数特性のばらつきが低減されるとともにボンディン
グ強度も向上する。
As described above, the chip capacitor of the present invention has the thick film capacitor and the thick film pad electrode, and these thick film capacitor and thick film pad electrode are manufactured by the thick film technology. Therefore, the manufacturing cost can be reduced. Further, if the thick film pad electrode and the circuit board are connected by wire bonding and the thick film pad electrode is formed in a vertically long shape as in the above-mentioned embodiment, the frequency characteristic in the high frequency band can be easily adjusted by the wire bonding length. ,
Variations in frequency characteristics are reduced and bonding strength is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例のチップコンデンサの断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a chip capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示すチップコンデンサの製造工程を示す
図である。
FIG. 2 is a diagram showing a manufacturing process of the chip capacitor shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 アルミナ基板 12 下部電極 13 誘電体層 14 上部電極 15 オーバーコートガラス層 16a,16b Auパッド電極 11 Alumina Substrate 12 Lower Electrode 13 Dielectric Layer 14 Upper Electrode 15 Overcoat Glass Layer 16a, 16b Au Pad Electrode

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックス基板、 該セラミックス基板上に形成された誘電体層と、該誘電
体層を介して互いに隔てられた一対の電極とからなる厚
膜コンデンサ、および前記一対の電極それぞれに電気的
に接続されてなる一対の厚膜パッド電極を有することを
特徴とするチップコンデンサ。
1. A thick film capacitor comprising a ceramic substrate, a dielectric layer formed on the ceramic substrate, and a pair of electrodes separated from each other by the dielectric layer, and an electrical connection to each of the pair of electrodes. A chip capacitor having a pair of thick film pad electrodes that are electrically connected to each other.
JP2939795A 1995-02-17 1995-02-17 Chip-type capacitor Withdrawn JPH08222479A (en)

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