JPH0821392A - スクロール型真空ポンプ - Google Patents
スクロール型真空ポンプInfo
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- JPH0821392A JPH0821392A JP17200494A JP17200494A JPH0821392A JP H0821392 A JPH0821392 A JP H0821392A JP 17200494 A JP17200494 A JP 17200494A JP 17200494 A JP17200494 A JP 17200494A JP H0821392 A JPH0821392 A JP H0821392A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/40—Electric motor
- F04C2240/403—Electric motor with inverter for speed control
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
モータ32及び回転軸33をケーシング34、35内に密封して
なるスクロール型真空ポンプ30において、冷却水を要せ
ずにその温度上昇を抑制することにより冷却水の供給設
備のない所でも使用できるようにした。 【構成】 真空ポンプ30にその外部から冷却風を吹き付
ける冷却フアン40を設けた。
Description
に関する。
ンプの1例が図2に示されている。旋回スクロール1及
びこれに図示のように噛合する固定スクロール2、3に
よってスクロール型ポンプ機構4が構成される。
密封されている。モータ10のステータ10B はケーシング
21に固定され、ロータ10A は回転軸5に固定されてい
る。回転軸5の両端は軸受8、9を介してケーシング21
に支持され、その偏心クランク5Aは軸受7を介して旋回
スクロール1に軸支されている。
これを回転指せると、回転軸5の偏心クランク5Aによっ
て旋回スクロール1が駆動され、旋回スクロール1は自
転阻止機構6により自転を阻止されることによって公転
旋回する。
チャンバ24を経て旋回スクロール1と固定スクロール
2、3を噛合させることによって限界された作動室25内
に入り、旋回スクロール1の公転旋回により作動室25が
その容積を減じながらうず巻の中心に移動するのに伴っ
て圧縮された後、排気口26から外部に排出される。
モータ10、軸受7、8、9から発熱し、これらの温度が
上昇するのを抑制するため、水室27に冷却水を循環させ
る。
ス又は有害ガスの場合には大気圧より若干高圧の室素等
からなる不活性ガスを導入口28からケーシング21内に導
入してこれら被処理ガスがケーシング21の外部に漏洩す
るのを防止するとともにモータ10、回転軸5、軸受7、
8、9等が腐蝕性ガスによって腐蝕するのを保護する。
の真空ポンプは冷却水で冷却する必要があるため、冷却
水を供給できる設備がある所以外では使用することがで
きなかった。 【0009】
記課題を解決するために発明されたものであって、その
要旨とするところは、モータ及び回転軸をケーシング内
に密封してなるスクロール型真空ポンプにおいて、その
外部から冷却風を吹き付ける冷却フアンを設けたことを
特徴とするスクロール型真空ポンプにある。 【0010】上記モータの回転数を一定に維持するイン
バータと、上記冷却フアンの異常時上記インバータに指
令して上記モータを停止するインターロックを設けるこ
とができる。
の導管にこの不活性ガスの圧力が異常上昇したときに作
動する安全弁を設けることができる。
ことができる。
フアンによって冷却風を外部から吹きつけることによっ
て真空ポンプを冷却する。
数を一定に維持することによってモータの回転数増加に
基づく真空ポンプの温度上昇を防止する。
らインバータに指令してモータを停止する。
弁が作動して不活性ガスを放出することによりケーシン
グ内の不活性ガスの圧力を所定値以下に維持する。
よって不活性ガスの流量を安全弁からの放出量以下に制
限する。
空ポンプ30のスクロール型ポンプ機構31はモータ32から
回転軸33を介して駆動される。モータ32及び回転軸33は
ケーシング34及び35内に密封され、回転軸33は軸受36、
37を介してケーシング34及び35に軸支されている。
43、インバータ39、電線44を介して供給される。真空ポ
ンプ30の周囲には複数個( 図には3個)の冷却フアン40
が配設され、これら複数個の冷却フアン40は真空ポンプ
30にその外部から冷却風を吹き付けるようになってい
る。
41が付設され、これら回転数検知器41は冷却フアン40の
回転数が所定値以下に低下したり停止する等の異常を検
知した場合にはこれを信号線45を介してインバータ39に
内蔵されたインターロック42に出力する。すると、イン
ターロック42はインバータ39からモータ34に供給される
電流を遮断し又はその周波数を零とすることによってモ
ータ32を停止する。
スが導管46を介して供給され、この導管46には真空ポン
プ30に近接して安全弁47が介装されている。この安全弁
47は導管46及びケーシング34、35内の不活性ガスの圧力
が所定以上に上昇したときに作動して不活性ガスを大気
に放出することによりケーシング34、35内の不活性ガス
圧力を所定値に維持する。
流量を安全弁47からの放出量以下に制限するためのオリ
フィス48を設けることができる。
冷却風を吹き付けることによって真空ポンプを冷却しそ
の温度の異常上昇を抑制できるので、従来のものと異な
り冷却水の供給設備がない所にも真空ポンプを据え付け
てこれを運転することができる。
に供給される商用電源の周波数が50Hzから60Hzに変化す
ると、回転軸の軸受温度が約15deg ℃上昇するが、本発
明においてはモータの回転数を一定に維持するインバー
タを設けたため、商用電源の周波数が変化した場合であ
ってもモータの回転数を一定に維持して真空ポンプの発
熱量を所定値以下に保つことによって軸受温度の上昇を
防止できる。
スの導管にこの不活性ガスの圧力が異常上昇したときに
作動する安全弁を設けたため、ケーシング内の不活性ガ
スの圧力の異常上昇を防止してケーシングの破壊を防止
できる。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 モータ及び回転軸をケーシング内に密封
してなるスクロール型真空ポンプにおいて、その外部か
ら冷却風を吹き付ける冷却フアンを設けたことを特徴と
するスクロール型真空ポンプ。 - 【請求項2】 上記モータの回転数を一定に維持するイ
ンバータと、上記冷却フアンの異常時上記インバータに
指令して上記モータを停止するインターロックを設けた
ことを特徴とする請求項1記載のスクロール型真空ポン
プ。 - 【請求項3】 上記ケーシング内に導入される不活性ガ
スの導管にこの不活性ガスの圧力が異常上昇したときに
作動する安全弁を設けたことを特徴とする請求項1記載
のスクロール型真空ポンプ。 - 【請求項4】 上記安全弁の上流側にオリフィスを設け
たことを特徴とする請求項3記載のスクロール型真空ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06172004A JP3117365B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | スクロール型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06172004A JP3117365B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | スクロール型真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0821392A true JPH0821392A (ja) | 1996-01-23 |
JP3117365B2 JP3117365B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=15933742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06172004A Expired - Fee Related JP3117365B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | スクロール型真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3117365B2 (ja) |
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- 1994-06-30 JP JP06172004A patent/JP3117365B2/ja not_active Expired - Fee Related
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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