JPH08213152A - セラミックスヒーター - Google Patents
セラミックスヒーターInfo
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- JPH08213152A JPH08213152A JP3909495A JP3909495A JPH08213152A JP H08213152 A JPH08213152 A JP H08213152A JP 3909495 A JP3909495 A JP 3909495A JP 3909495 A JP3909495 A JP 3909495A JP H08213152 A JPH08213152 A JP H08213152A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヒーター部の表面電極と外部電極との接合
を、熱及び腐食に強いものに改善し、製品寿命の長いセ
ラミックスヒーターを提供すること。 【構成】 セラミックス部材2内に発熱抵抗体3が設け
られ、該発熱抵抗体3と電気的に接続された表面電極4
を備えたヒーター部5と、該ヒーター部5に接合され、
前記表面電極4に電気的に接続される外部電極6とを具
備し、前記外部電極6は、前記ヒーター部5の表面電極
4に金とニッケルをマトリックスとするロウ材7を用い
て接合されているセラミックスヒーター1とした。
を、熱及び腐食に強いものに改善し、製品寿命の長いセ
ラミックスヒーターを提供すること。 【構成】 セラミックス部材2内に発熱抵抗体3が設け
られ、該発熱抵抗体3と電気的に接続された表面電極4
を備えたヒーター部5と、該ヒーター部5に接合され、
前記表面電極4に電気的に接続される外部電極6とを具
備し、前記外部電極6は、前記ヒーター部5の表面電極
4に金とニッケルをマトリックスとするロウ材7を用い
て接合されているセラミックスヒーター1とした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスヒーター
に関し、特にヒーター部の表面電極と外部電極との接合
を改善したセラミックスヒーターに関するものである。
に関し、特にヒーター部の表面電極と外部電極との接合
を改善したセラミックスヒーターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】セラミックスヒーターのヒーター部は、
アルミナや窒化ケイ素などのセラミックス部材上、或い
はセラミックス部材内に、タングステンやモリブデンな
どの発熱抵抗体を印刷等の手段により設けて作製され
る。
アルミナや窒化ケイ素などのセラミックス部材上、或い
はセラミックス部材内に、タングステンやモリブデンな
どの発熱抵抗体を印刷等の手段により設けて作製され
る。
【0003】このヒーター部が点火装置、或いは加熱装
置としての役割を果たすためには、上記セラミックス部
材上、或いはセラミックス部材内に設けた発熱抵抗体に
外部より電力を供給し、該発熱抵抗体を加熱しなければ
ならない。
置としての役割を果たすためには、上記セラミックス部
材上、或いはセラミックス部材内に設けた発熱抵抗体に
外部より電力を供給し、該発熱抵抗体を加熱しなければ
ならない。
【0004】そのため、上記発熱抵抗体と電気的に接続
されたセラミックス部材上の表面電極と、電源に接続さ
れるリード線を具備する外部電極とを接合して必要な電
力をヒーター部に供給することが成されている。
されたセラミックス部材上の表面電極と、電源に接続さ
れるリード線を具備する外部電極とを接合して必要な電
力をヒーター部に供給することが成されている。
【0005】ここで、上記セラミックス部材上の表面電
極と電源に接続されるリード線を具備する外部電極との
接合は、従来ハンダ(Pb:Zn=6:4)或いは純銀
ロウを用いて成されることが一般的に行われ、この接合
部は、当然、その接合のためにセラミックスに覆われな
いむき出し状態となる。
極と電源に接続されるリード線を具備する外部電極との
接合は、従来ハンダ(Pb:Zn=6:4)或いは純銀
ロウを用いて成されることが一般的に行われ、この接合
部は、当然、その接合のためにセラミックスに覆われな
いむき出し状態となる。
【0006】このため、該セラミックスヒーターを、例
えば石油ファンヒーターに搭載して点火装置として使用
した場合、上記むき出し状態にあるヒーター部の表面電
極と外部電極との接合部は、大気雰囲気中において着火
と消火の繰り返しがなされることとなり、この接合部が
腐食を起こし、外れるという課題があった。
えば石油ファンヒーターに搭載して点火装置として使用
した場合、上記むき出し状態にあるヒーター部の表面電
極と外部電極との接合部は、大気雰囲気中において着火
と消火の繰り返しがなされることとなり、この接合部が
腐食を起こし、外れるという課題があった。
【0007】そこで、従来においては、上記むき出し状
態にあるヒーター部の表面電極と外部電極との接合部
を、熱衝撃及び腐食に強いフリットガラス等により覆
い、該接合部を大気雰囲気から遮断すことにより、該接
合部の腐食を防止することが成されていた。
態にあるヒーター部の表面電極と外部電極との接合部
を、熱衝撃及び腐食に強いフリットガラス等により覆
い、該接合部を大気雰囲気から遮断すことにより、該接
合部の腐食を防止することが成されていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の如くセ
ラミックスヒーターの接合部をフリットガラス等により
覆う作業は、セラミックスヒーターの製造工程を複雑に
し、作業性、及び経済性の点において課題を有するもの
であった。
ラミックスヒーターの接合部をフリットガラス等により
覆う作業は、セラミックスヒーターの製造工程を複雑に
し、作業性、及び経済性の点において課題を有するもの
であった。
【0009】また、セラミックスヒーターの接合部をフ
リットガラス等により覆った場合においても、該フリッ
トガラスは長年の使用により割れたり、或いはクラック
が発生したりする場合があり、その後はセラミックスヒ
ーターの上記接合部は大気雰囲気にさらされ、接合部に
腐食が生じ、その接合が外れる場合等があり、やはりセ
ラミックスヒーターの寿命は必ずしも長いものとはなっ
ていなかった。
リットガラス等により覆った場合においても、該フリッ
トガラスは長年の使用により割れたり、或いはクラック
が発生したりする場合があり、その後はセラミックスヒ
ーターの上記接合部は大気雰囲気にさらされ、接合部に
腐食が生じ、その接合が外れる場合等があり、やはりセ
ラミックスヒーターの寿命は必ずしも長いものとはなっ
ていなかった。
【0010】ここで、上記ヒーター部の表面電極は、通
常タングステンやモリブデンが使用され、該表面電極自
体は腐食には強く、またこの表面電極と接合する外部電
極は、ニッケルや銅で作製されているためやはり腐食に
は強い。そのため、セラミックスヒーターの上記接合部
の寿命を左右するのは、上記タングステンやモリブデン
で作製された表面電極と、ニッケルや銅で作製された外
部電極とを接合するロウ材、すなわちハンダや純銀ロウ
などの腐食が原因であると考えられる。
常タングステンやモリブデンが使用され、該表面電極自
体は腐食には強く、またこの表面電極と接合する外部電
極は、ニッケルや銅で作製されているためやはり腐食に
は強い。そのため、セラミックスヒーターの上記接合部
の寿命を左右するのは、上記タングステンやモリブデン
で作製された表面電極と、ニッケルや銅で作製された外
部電極とを接合するロウ材、すなわちハンダや純銀ロウ
などの腐食が原因であると考えられる。
【0011】本発明は、上述した従来セラミックスヒー
ターが有する課題に鑑み成されたものであって、その目
的は、ヒーター部の表面電極と外部電極との接合を、熱
及び腐食に強いものに改善し、製品寿命の長いセラミッ
クスヒーターを提供することにある。
ターが有する課題に鑑み成されたものであって、その目
的は、ヒーター部の表面電極と外部電極との接合を、熱
及び腐食に強いものに改善し、製品寿命の長いセラミッ
クスヒーターを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記した目的
を達成するため、セラミックス部材上、或いはセラミッ
クス部材内に発熱抵抗体が設けられ、該発熱抵抗体と電
気的に接続された表面電極を備えたヒーター部と、該ヒ
ーター部に接合され、前記表面電極に電気的に接続され
る外部電極とを具備し、前記外部電極は、前記ヒーター
部の表面電極に金とニッケルをマトリックスとするロウ
材を用いて接合されているセラミックスヒーターとし
た。
を達成するため、セラミックス部材上、或いはセラミッ
クス部材内に発熱抵抗体が設けられ、該発熱抵抗体と電
気的に接続された表面電極を備えたヒーター部と、該ヒ
ーター部に接合され、前記表面電極に電気的に接続され
る外部電極とを具備し、前記外部電極は、前記ヒーター
部の表面電極に金とニッケルをマトリックスとするロウ
材を用いて接合されているセラミックスヒーターとし
た。
【0013】上記した本発明にかかるセラミックスヒー
ターによれば、ヒーター部の表面電極と外部電極とが、
強い耐熱性及び耐蝕性を有する金とニッケルをマトリッ
クスとするロウ材を用いて接合されているため、該ヒー
ター部の表面電極と外部電極との接合部は、耐熱性及び
耐蝕性に優れたものとなり、フリットガラス等により該
接合部を覆わなくとも、セラミックスヒーターとしての
製品寿命を飛躍的に向上させることが可能となる作用が
生じる。
ターによれば、ヒーター部の表面電極と外部電極とが、
強い耐熱性及び耐蝕性を有する金とニッケルをマトリッ
クスとするロウ材を用いて接合されているため、該ヒー
ター部の表面電極と外部電極との接合部は、耐熱性及び
耐蝕性に優れたものとなり、フリットガラス等により該
接合部を覆わなくとも、セラミックスヒーターとしての
製品寿命を飛躍的に向上させることが可能となる作用が
生じる。
【0014】ここで、上記外部電極と表面電極とを接合
するロウ材としては、金とニッケルから成るマトリック
ス中に、活性金属であるチタンを含有したロウ材である
ことが好ましい。これは、金とニッケルから成るマトリ
ックス中に、活性金属であるチタンを含有したロウ材で
あれば、接合部が耐熱性及び耐蝕性に優れたものとなる
と共に、活性金属であるチタンを含有していることによ
り、接合部の接合力自体が強化されるため好ましい。
するロウ材としては、金とニッケルから成るマトリック
ス中に、活性金属であるチタンを含有したロウ材である
ことが好ましい。これは、金とニッケルから成るマトリ
ックス中に、活性金属であるチタンを含有したロウ材で
あれば、接合部が耐熱性及び耐蝕性に優れたものとなる
と共に、活性金属であるチタンを含有していることによ
り、接合部の接合力自体が強化されるため好ましい。
【0015】
【実施例】以下、上記した本発明の実施例を比較例と共
に挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。
に挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。
【0016】−実施例の構成− 図1に本発明にかかるセラミックスヒーターの分解斜視
図を示す。このセラミックスヒーター1は、絶縁性セラ
ミック2内に発熱抵抗体3が埋設され、該発熱抵抗体3
と電気的に接続された表面電極4を備えたヒーター部5
と、該ヒーター部5に接合され、前記表面電極4に電気
的に接続される外部電極6とから構成され、前記外部電
極6は、前記ヒーター部5の表面電極4に金とニッケル
をマトリックスとするロウ材7を用いて接合されてい
る。なお、上記外部電極6には、電源に接続されるリー
ド線8が各々取り付けられている。
図を示す。このセラミックスヒーター1は、絶縁性セラ
ミック2内に発熱抵抗体3が埋設され、該発熱抵抗体3
と電気的に接続された表面電極4を備えたヒーター部5
と、該ヒーター部5に接合され、前記表面電極4に電気
的に接続される外部電極6とから構成され、前記外部電
極6は、前記ヒーター部5の表面電極4に金とニッケル
をマトリックスとするロウ材7を用いて接合されてい
る。なお、上記外部電極6には、電源に接続されるリー
ド線8が各々取り付けられている。
【0017】−ヒーター部の製造方法− 上記ヒーター部5の製造方法を簡単に説明する。先ず、
絶縁性セラミックス粉末(例えば純度99.5%アルミ
ナ粉末)を、プレス機によって円板状のグリーンシート
に成形する。次に、この円板状のグリーンシートの上面
に、発熱抵抗体3のペースト(例えばタングステン粉末
に、有機バインダーを加えて練り合わせたペースト)を
図示したように蛇行状にスクリーン印刷する。次いで、
表面電極4となるペースト(例えば、上記発熱抵抗体3
のペーストと同様に、タングステン粉末に有機バインダ
ーを加えて練り合わせたペースト)を上記発熱抵抗体3
の両端部に山盛りする。続いて、発熱抵抗体3、及び該
発熱抵抗体3と電気的に接続された表面電極4を設けた
上記円板状のグリーンシートを、再びプレス機の金型に
入れ、さらに絶縁性セラミックス粉末をその上方から金
型に充填し、プレス機によって発熱抵抗体3を埋設した
円板状のグリーンシートを形成する。そして、脱脂後、
該グリーンシートを焼成し、形成されたヒーター部5の
表面を研磨して表面電極4を露出させる。以上の工程に
よって、厚さ5mm、直径30mmの円板状のヒーター部5
が形成され、該ヒーター部5の上面には、埋設された発
熱抵抗体3と電気的に接続された2×4mmの表面電極4
が露出したものを作製する。
絶縁性セラミックス粉末(例えば純度99.5%アルミ
ナ粉末)を、プレス機によって円板状のグリーンシート
に成形する。次に、この円板状のグリーンシートの上面
に、発熱抵抗体3のペースト(例えばタングステン粉末
に、有機バインダーを加えて練り合わせたペースト)を
図示したように蛇行状にスクリーン印刷する。次いで、
表面電極4となるペースト(例えば、上記発熱抵抗体3
のペーストと同様に、タングステン粉末に有機バインダ
ーを加えて練り合わせたペースト)を上記発熱抵抗体3
の両端部に山盛りする。続いて、発熱抵抗体3、及び該
発熱抵抗体3と電気的に接続された表面電極4を設けた
上記円板状のグリーンシートを、再びプレス機の金型に
入れ、さらに絶縁性セラミックス粉末をその上方から金
型に充填し、プレス機によって発熱抵抗体3を埋設した
円板状のグリーンシートを形成する。そして、脱脂後、
該グリーンシートを焼成し、形成されたヒーター部5の
表面を研磨して表面電極4を露出させる。以上の工程に
よって、厚さ5mm、直径30mmの円板状のヒーター部5
が形成され、該ヒーター部5の上面には、埋設された発
熱抵抗体3と電気的に接続された2×4mmの表面電極4
が露出したものを作製する。
【0018】−外部電極− 外部電極6は、図示した如くL字形状の部材であって、
1×2×6mmのニッケル板を、その中央において折曲
し、接合部分が2×3mmとしたものである。なお、この
外部電極6には、電源に接続されるリード線8が各々取
り付けられている。
1×2×6mmのニッケル板を、その中央において折曲
し、接合部分が2×3mmとしたものである。なお、この
外部電極6には、電源に接続されるリード線8が各々取
り付けられている。
【0019】−表面電極と外部電極との接合− 上記表面電極4と外部電極6とは、金とニッケルをマト
リックスとするロウ材7を用いて接合されている。本実
施例のロウ材7は、米国WESGO社製の、金とニッケ
ルから成るマトリックス中に、活性金属であるチタンを
含有したロウ材(96Au-3Ni-1Ti重量%)を、2×3×
0.5mmの箔としたものを使用し、該箔状のロウ材7
を、表面電極4と外部電極6との間に挟み、真空加熱炉
を用いて10-6Torrの真空中で、温度1020〜110
0℃で加熱することより接合した。
リックスとするロウ材7を用いて接合されている。本実
施例のロウ材7は、米国WESGO社製の、金とニッケ
ルから成るマトリックス中に、活性金属であるチタンを
含有したロウ材(96Au-3Ni-1Ti重量%)を、2×3×
0.5mmの箔としたものを使用し、該箔状のロウ材7
を、表面電極4と外部電極6との間に挟み、真空加熱炉
を用いて10-6Torrの真空中で、温度1020〜110
0℃で加熱することより接合した。
【0020】−耐久試験− 上記実施例にかかるセラミックスヒーター1を使用し、
耐久試験を行った。耐久試験は、作製したセラミックス
ヒーター1に通電することにより、大気雰囲気中におい
て該セラミックスヒーター1を所定の温度(150℃、
250℃、350℃)に上げてから、その温度で保持
し、セラミックスヒーター1が作動しなくなるまでの時
間を測定した。その測定結果を、実施例として表1に記
載する。また、比較のために、上記実施例品において、
その表面電極4と外部電極6との接合を、従来より行わ
れていた鉛錫ハンダを使用して接合し、その接合部をフ
リットガラスにより覆ったセラミックスヒーター(比較
例1)、表面電極4と外部電極6との接合を、純銀ロウ
を用いて接合したセラミックスヒーター(比較例2)、
及び表面電極4と外部電極6との接合を、活性金属であ
るチタンを含有した銀−銅ロウを用いて接合したセラミ
ックスヒーター(比較例3)につき、各々上記耐久試験
と同様の試験を行った。その測定結果を、比較例1〜3
として表1に併記する。
耐久試験を行った。耐久試験は、作製したセラミックス
ヒーター1に通電することにより、大気雰囲気中におい
て該セラミックスヒーター1を所定の温度(150℃、
250℃、350℃)に上げてから、その温度で保持
し、セラミックスヒーター1が作動しなくなるまでの時
間を測定した。その測定結果を、実施例として表1に記
載する。また、比較のために、上記実施例品において、
その表面電極4と外部電極6との接合を、従来より行わ
れていた鉛錫ハンダを使用して接合し、その接合部をフ
リットガラスにより覆ったセラミックスヒーター(比較
例1)、表面電極4と外部電極6との接合を、純銀ロウ
を用いて接合したセラミックスヒーター(比較例2)、
及び表面電極4と外部電極6との接合を、活性金属であ
るチタンを含有した銀−銅ロウを用いて接合したセラミ
ックスヒーター(比較例3)につき、各々上記耐久試験
と同様の試験を行った。その測定結果を、比較例1〜3
として表1に併記する。
【0021】
【表1】
【0022】表1より、本発明にかかるセラミックスヒ
ーターは、その耐久時間が飛躍的に向上していることが
判明する。
ーターは、その耐久時間が飛躍的に向上していることが
判明する。
【0023】
【発明の効果】以上、説明した本発明にかかるセラミッ
クスヒーターによれば、ヒーター部の表面電極と外部電
極とが、強い耐熱性及び耐蝕性を有する金とニッケルを
マトリックスとするロウ材を用いて接合されているた
め、該ヒーター部の表面電極と外部電極との接合部は、
耐熱性及び耐蝕性に優れたものとなり、フリットガラス
等により該接合部を覆わなくとも、セラミックスヒータ
ーとしての製品寿命を飛躍的に向上させることが可能と
なる効果がある。
クスヒーターによれば、ヒーター部の表面電極と外部電
極とが、強い耐熱性及び耐蝕性を有する金とニッケルを
マトリックスとするロウ材を用いて接合されているた
め、該ヒーター部の表面電極と外部電極との接合部は、
耐熱性及び耐蝕性に優れたものとなり、フリットガラス
等により該接合部を覆わなくとも、セラミックスヒータ
ーとしての製品寿命を飛躍的に向上させることが可能と
なる効果がある。
【図1】本発明にかかるセラミックスヒーターの分解斜
視図である。
視図である。
1 セラミックスヒーター 2 絶縁性セラミックス 3 発熱抵抗体 4 表面電極 5 ヒーター部 6 外部電極 7 ロウ材 8 リード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩貝 達也 東京都北区浮間1−3−1−508 (72)発明者 高橋 繁 埼玉県志木市柏町6−25−27
Claims (2)
- 【請求項1】 セラミックス部材上、或いはセラミック
ス部材内に発熱抵抗体が設けられ、該発熱抵抗体と電気
的に接続された表面電極を備えたヒーター部と、該ヒー
ター部に接合され、前記表面電極に電気的に接続される
外部電極とを具備し、前記外部電極は、前記ヒーター部
の表面電極に金とニッケルをマトリックスとするロウ材
を用いて接合されていることを特徴とする、セラミック
スヒーター。 - 【請求項2】 上記外部電極と表面電極とを接合するロ
ウ材が、金とニッケルから成るマトリックス中に、活性
金属であるチタンを含有したロウ材であることを特徴と
する、請求項1記載のセラミックスヒーター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3909495A JPH08213152A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | セラミックスヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3909495A JPH08213152A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | セラミックスヒーター |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08213152A true JPH08213152A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=12543500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3909495A Pending JPH08213152A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | セラミックスヒーター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08213152A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002056953A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-22 | Misuzu Kogyo:Kk | リード部材接続方法及びリード部材付き発熱体素子 |
JP2017183329A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 日本碍子株式会社 | ウエハ載置装置 |
-
1995
- 1995-02-03 JP JP3909495A patent/JPH08213152A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002056953A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-22 | Misuzu Kogyo:Kk | リード部材接続方法及びリード部材付き発熱体素子 |
JP4578647B2 (ja) * | 2000-06-01 | 2010-11-10 | 株式会社美鈴工業 | リード部材接続方法及びリード部材付き発熱体素子 |
JP2017183329A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 日本碍子株式会社 | ウエハ載置装置 |
KR20170113277A (ko) * | 2016-03-28 | 2017-10-12 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040309 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20040315 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20040402 |