JPH08210994A - 非破壊検査装置 - Google Patents
非破壊検査装置Info
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- JPH08210994A JPH08210994A JP7015422A JP1542295A JPH08210994A JP H08210994 A JPH08210994 A JP H08210994A JP 7015422 A JP7015422 A JP 7015422A JP 1542295 A JP1542295 A JP 1542295A JP H08210994 A JPH08210994 A JP H08210994A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
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- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 判定結果の信頼性を向上させ、かつ、処理能
力を高めることのできる非破壊検査装置を提供する。 【構成】 Ｘ線や超音波等を、検査対象領域に照射し、
その透射像又は反射像のプロファイルに基づいて被検査
物体を非破壊にて検査するに当たり、正常な物体のプロ
ファイルに対応する基準データが予め内部に登録され、
この基準データと被検査物体のプロファイルのデータと
を比較して被検査物体の合否を判定する判定手段を備え
る。
力を高めることのできる非破壊検査装置を提供する。 【構成】 Ｘ線や超音波等を、検査対象領域に照射し、
その透射像又は反射像のプロファイルに基づいて被検査
物体を非破壊にて検査するに当たり、正常な物体のプロ
ファイルに対応する基準データが予め内部に登録され、
この基準データと被検査物体のプロファイルのデータと
を比較して被検査物体の合否を判定する判定手段を備え
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線や超音波等を利用し
て被検査物体を非破壊にて検査する非破壊検査装置に関
する。
て被検査物体を非破壊にて検査する非破壊検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の非破壊検査装置として、例え
ば、図９に示すＸ線検査装置があった。同図において、
Ｘ線発生源１からＸ線11が所定の拡がりをもって放射さ
れ、被検査物体２にＸ線11が照射される。被検査物体２
はステージ５に搭載されている。ステージ５は、被検査
物体２の所望の検査対象領域にＸ線11が照射されるよう
にこれを移動することが可能な、図示省略の遠隔操作装
置を備えている。また、Ｘ線発生源１から見て、被検査
物体２の裏側に、Ｘ線の透射像に対応した映像信号を出
力するデテクタ３が設けられており、これに画像表示器
４を接続することによって、その表示画面に被検査物体
２の検査対象領域のプロファイルが表示される。
ば、図９に示すＸ線検査装置があった。同図において、
Ｘ線発生源１からＸ線11が所定の拡がりをもって放射さ
れ、被検査物体２にＸ線11が照射される。被検査物体２
はステージ５に搭載されている。ステージ５は、被検査
物体２の所望の検査対象領域にＸ線11が照射されるよう
にこれを移動することが可能な、図示省略の遠隔操作装
置を備えている。また、Ｘ線発生源１から見て、被検査
物体２の裏側に、Ｘ線の透射像に対応した映像信号を出
力するデテクタ３が設けられており、これに画像表示器
４を接続することによって、その表示画面に被検査物体
２の検査対象領域のプロファイルが表示される。
【０００３】このＸ線検査装置に用いるデテクタ３とし
て、被検査物体２を通過してきたＸ線を可視光に変換
し、これをテレビカメラで撮像して映像信号を得るもの
が使用される。この場合、Ｘ線を可視光に変換するセン
サ−の種類として、Ｘ線蛍光像倍管を用いるＸ線蛍光像
倍管方式、蛍光板に写し出された透視像を高感度のテレ
ビカメラで撮像する蛍光板方式、Ｘ線に感度を有するテ
レビカメラで直接透過したＸ線像を撮像するＸ線ビジコ
ン方式等があり、このいずれを使用してもよい。
て、被検査物体２を通過してきたＸ線を可視光に変換
し、これをテレビカメラで撮像して映像信号を得るもの
が使用される。この場合、Ｘ線を可視光に変換するセン
サ−の種類として、Ｘ線蛍光像倍管を用いるＸ線蛍光像
倍管方式、蛍光板に写し出された透視像を高感度のテレ
ビカメラで撮像する蛍光板方式、Ｘ線に感度を有するテ
レビカメラで直接透過したＸ線像を撮像するＸ線ビジコ
ン方式等があり、このいずれを使用してもよい。
【０００４】ここで、被検査物体２が、例えば、樹脂を
モールドして製造されたＩＣ又はＩＣ部品であったとす
れば、画像表示器４の表示画像を観察することによっ
て、リード線の断線というような内部欠陥を非破壊にて
検査することができる。
モールドして製造されたＩＣ又はＩＣ部品であったとす
れば、画像表示器４の表示画像を観察することによっ
て、リード線の断線というような内部欠陥を非破壊にて
検査することができる。
【０００５】なお、内部欠陥を非破壊にて検査するに
は、被検査物体の表面から超音波パルスを送り込み、そ
の反射波を電気信号に変えて反射像を作る方法もあり、
この反射像を画像表示器に表示すれば、金属で包囲され
た物体の内部欠陥をも非破壊にて検査することができ
る。
は、被検査物体の表面から超音波パルスを送り込み、そ
の反射波を電気信号に変えて反射像を作る方法もあり、
この反射像を画像表示器に表示すれば、金属で包囲され
た物体の内部欠陥をも非破壊にて検査することができ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の非破壊
検査装置では、画像表示器４に表示された画像を目視に
て判断せざるを得ないことから、検査者の経験が浅い場
合、判定結果に対する信頼性が低下し、さらに、デテク
タの最大撮像面積に比べて被検査物体の検査面積が広
く、多数の検査対象領域が存在するとき、あるいは、一
つの検査対象領域の複雑なパターンに対する検査項目が
多い場合には、処理能力が著しく低下するという問題が
あった。
検査装置では、画像表示器４に表示された画像を目視に
て判断せざるを得ないことから、検査者の経験が浅い場
合、判定結果に対する信頼性が低下し、さらに、デテク
タの最大撮像面積に比べて被検査物体の検査面積が広
く、多数の検査対象領域が存在するとき、あるいは、一
つの検査対象領域の複雑なパターンに対する検査項目が
多い場合には、処理能力が著しく低下するという問題が
あった。
【０００７】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたもので、判定結果の信頼性を向上させ、かつ、処
理能力を高めることのできる非破壊検査装置を提供する
ことを目的とする。
されたもので、判定結果の信頼性を向上させ、かつ、処
理能力を高めることのできる非破壊検査装置を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、Ｘ線や超音波等を、検査対象領域に照射し、その透
射像又は反射像のプロファイルに基づいて被検査物体を
非破壊にて検査するに当たり、請求項１に記載の非破壊
検査装置は、正常な物体のプロファイルに対応する基準
データが予め内部に登録され、この基準データと被検査
物体のプロファイルのデータとを比較して被検査物体の
合否を判定する判定手段を備える。
に、Ｘ線や超音波等を、検査対象領域に照射し、その透
射像又は反射像のプロファイルに基づいて被検査物体を
非破壊にて検査するに当たり、請求項１に記載の非破壊
検査装置は、正常な物体のプロファイルに対応する基準
データが予め内部に登録され、この基準データと被検査
物体のプロファイルのデータとを比較して被検査物体の
合否を判定する判定手段を備える。
【０００９】請求項２に記載の非破壊検査装置は、さら
に、複数の検査項目情報を記憶する検査項目情報記憶手
段を備え、判定手段が検査項目情報記憶手段に記憶され
た検査項目情報に基づき、検査項目毎に被検査物体の合
否を判定するようにしている。
に、複数の検査項目情報を記憶する検査項目情報記憶手
段を備え、判定手段が検査項目情報記憶手段に記憶され
た検査項目情報に基づき、検査項目毎に被検査物体の合
否を判定するようにしている。
【００１０】請求項３に記載の非破壊検査装置は、さら
に、判定手段の判定結果を検査項目毎に記憶すると共
に、記憶した判定結果から検査項目毎に合格及び不合格
の少なくともどちらか一方の割合を計算してその結果を
保持する統計データ記憶手段を備える。
に、判定手段の判定結果を検査項目毎に記憶すると共
に、記憶した判定結果から検査項目毎に合格及び不合格
の少なくともどちらか一方の割合を計算してその結果を
保持する統計データ記憶手段を備える。
【００１１】請求項４に記載の非破壊検査装置は、さら
に、統計データ記憶手段を検索し、合格及び不合格の少
なくともどちらか一方の割合の計算結果をパラメータと
して、予め内部に登録された検査項目決定ロジックに従
って、次回の検査項目を指定する検査順序指定手段を備
える。
に、統計データ記憶手段を検索し、合格及び不合格の少
なくともどちらか一方の割合の計算結果をパラメータと
して、予め内部に登録された検査項目決定ロジックに従
って、次回の検査項目を指定する検査順序指定手段を備
える。
【００１２】
【作用】請求項１に記載の非破壊検査装置においては、
予め登録してある正常な物体のプロファイルに対応する
基準データと被検査物体のプロファイルのデータとを比
較して被検査物体の合否を判定するするので、検査者の
経験に左右されることがなくなって判定結果に対する信
頼性が高められ、また、自動判定が行われるため、処理
能力も高められる。
予め登録してある正常な物体のプロファイルに対応する
基準データと被検査物体のプロファイルのデータとを比
較して被検査物体の合否を判定するするので、検査者の
経験に左右されることがなくなって判定結果に対する信
頼性が高められ、また、自動判定が行われるため、処理
能力も高められる。
【００１３】請求項２に記載の非破壊検査装置において
は、検査項目毎に合否判定するので、検査項目が増えた
場合の処理能力がより一層高められる。
は、検査項目毎に合否判定するので、検査項目が増えた
場合の処理能力がより一層高められる。
【００１４】請求項３に記載の非破壊検査装置において
は、検査項目毎に合格及び／又は不合格の少なくともど
ちらか一方の割合を計算してその結果を保持するので、
合格の割合が１００％の領域を検査対象から外すことに
より処理能力を向上させ得るほか、製造工程の管理に有
効に活用することができる。
は、検査項目毎に合格及び／又は不合格の少なくともど
ちらか一方の割合を計算してその結果を保持するので、
合格の割合が１００％の領域を検査対象から外すことに
より処理能力を向上させ得るほか、製造工程の管理に有
効に活用することができる。
【００１５】請求項４に記載の非破壊検査装置において
は、合格又は不合格の少なくともどちらか一方の割合の
計算結果をパラメータとして、次回の検査対象領域を指
定するので、処理能力が一層高められる。
は、合格又は不合格の少なくともどちらか一方の割合の
計算結果をパラメータとして、次回の検査対象領域を指
定するので、処理能力が一層高められる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例によって詳
細に説明する。図１は本発明の第１実施例の構成を示す
ブロック図である。図中、従来装置を示す図９と同一の
要素には同一の符号を付してその説明を省略する。この
装置は、図９に示した構成要素に対して判定器６及び結
果表示器７を付加した構成になっている。このうち、判
定器６は、正常な物体のプロファイルのデータを基準デ
ータとして予め登録し、この基準データと被検査物体の
プロファイルのデータとを比較して被検査物体の合否を
判定するもので、結果表示器７は判定器６の判定結果を
表示するものである。
細に説明する。図１は本発明の第１実施例の構成を示す
ブロック図である。図中、従来装置を示す図９と同一の
要素には同一の符号を付してその説明を省略する。この
装置は、図９に示した構成要素に対して判定器６及び結
果表示器７を付加した構成になっている。このうち、判
定器６は、正常な物体のプロファイルのデータを基準デ
ータとして予め登録し、この基準データと被検査物体の
プロファイルのデータとを比較して被検査物体の合否を
判定するもので、結果表示器７は判定器６の判定結果を
表示するものである。
【００１７】上記のように構成された第１実施例の全体
的な動作を、その処理手順を示す図２のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ101 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ102 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、被検査物体２の検査対象
領域がちょうどＸ線発生源１の正面にくるように、すな
わち、破線で示されたＸ線放射領域に収まるようにステ
ージ５を移動させる。次に、ステップ103 でＸ線発生源
１を動作させて被検査物体２にＸ線11を照射する。これ
によって、デテクタ３から検査対象領域のプロファイル
データが出力されてそのプロファイルが画像表示器４に
映し出される。また、デテクタ３のプロファイルデータ
は判定器６にも送り込まれる。判定器６には正常な物体
のプロファイルのデータが予め登録されている。そこ
で、ステップ104 にて判定器６は予め登録されたプロフ
ァイルデータと、被検査物体２のプロファイルデータと
を相互に比較し、さらに、ステップ105 でパターンが同
一か否か、すなわち、正常か否かを判定する。そこで、
正常と判定された場合には、ステップ106 にて結果表示
器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でないと判定
された場合にはステップ107 にて結果表示器７の表示画
面に「不合格」と表示する。この実施例によれば、被検
査物体２をステージ５に搭載してその位置決めをすれ
ば、検査者は各表示器の表示画面の確認を行うだけで済
むため、その経験に左右されることがなくなって判定結
果に対する信頼性が高められ、また、自動判定が行われ
るため、処理能力も高められる。図３は本発明の第２実
施例の構成を示すブロック図である。図中、図１と同一
の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。こ
の装置は、図１に示した判定器６の代わりに複数の判定
器6A〜6Nが設けられ、さらに、検査項目情報記憶手段と
しての位置情報記憶器８が付加された構成になってい
る。この実施例はデテクタの最大撮像面積に比べて被検
査物体の検査面積が広く、多数の検査対象領域が存在す
る状況に対応するもので、位置情報記憶器８には被検査
物体２の検査対象領域が位置情報として記憶されてお
り、判定器6A〜6Nにはそれぞれ検査対象領域に対応する
正常な物体のプロファイルのデータが基準データとして
予め登録されており、この基準データと被検査物体のプ
ロファイルのデータとを比較して検査対象領域毎に合否
を判定するものである。
的な動作を、その処理手順を示す図２のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ101 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ102 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、被検査物体２の検査対象
領域がちょうどＸ線発生源１の正面にくるように、すな
わち、破線で示されたＸ線放射領域に収まるようにステ
ージ５を移動させる。次に、ステップ103 でＸ線発生源
１を動作させて被検査物体２にＸ線11を照射する。これ
によって、デテクタ３から検査対象領域のプロファイル
データが出力されてそのプロファイルが画像表示器４に
映し出される。また、デテクタ３のプロファイルデータ
は判定器６にも送り込まれる。判定器６には正常な物体
のプロファイルのデータが予め登録されている。そこ
で、ステップ104 にて判定器６は予め登録されたプロフ
ァイルデータと、被検査物体２のプロファイルデータと
を相互に比較し、さらに、ステップ105 でパターンが同
一か否か、すなわち、正常か否かを判定する。そこで、
正常と判定された場合には、ステップ106 にて結果表示
器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でないと判定
された場合にはステップ107 にて結果表示器７の表示画
面に「不合格」と表示する。この実施例によれば、被検
査物体２をステージ５に搭載してその位置決めをすれ
ば、検査者は各表示器の表示画面の確認を行うだけで済
むため、その経験に左右されることがなくなって判定結
果に対する信頼性が高められ、また、自動判定が行われ
るため、処理能力も高められる。図３は本発明の第２実
施例の構成を示すブロック図である。図中、図１と同一
の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。こ
の装置は、図１に示した判定器６の代わりに複数の判定
器6A〜6Nが設けられ、さらに、検査項目情報記憶手段と
しての位置情報記憶器８が付加された構成になってい
る。この実施例はデテクタの最大撮像面積に比べて被検
査物体の検査面積が広く、多数の検査対象領域が存在す
る状況に対応するもので、位置情報記憶器８には被検査
物体２の検査対象領域が位置情報として記憶されてお
り、判定器6A〜6Nにはそれぞれ検査対象領域に対応する
正常な物体のプロファイルのデータが基準データとして
予め登録されており、この基準データと被検査物体のプ
ロファイルのデータとを比較して検査対象領域毎に合否
を判定するものである。
【００１８】上記のように構成された第２実施例の全体
的な動作を、その処理手順を示す図４のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ201 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ102 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、位置情報記憶器８に記憶
された１番目の検査対象領域がちょうどＸ線発生源１の
正面にくるように、すなわち、破線で示されたＸ線放射
領域に収まるようにステージ５を手動又は自動にて移動
させる。次に、ステップ203 でＸ線発生源１を動作させ
て検査対象領域にＸ線11を照射する。これによって、デ
テクタ３から検査対象領域のプロファイルデータが出力
されてそのプロファイルが画像表示器４に映し出され
る。また、デテクタ３のプロファイルデータは判定器6A
〜6Nにも送り込まれる。このうち、判定器6Nには正常な
物体の１番目の検査対象領域に対応するプロファイルの
データが予め登録されている。そこで、ステップ204 に
て判定器6Nは予め登録されたプロファイルデータと、１
番目の検査対象領域のプロファイルデータとを相互に比
較し、さらに、ステップ205 で正常か否かを判定する。
ここで、正常と判定された場合には、ステップ206 にて
結果表示器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でな
いと判定された場合にはステップ207 にて結果表示器７
の表示画面に「不合格」と表示する。そして、上記の操
作を位置情報記憶器８に記憶された２番目、３番目、
…、Ｎ番目の各検査対象領域毎に実行し、例えば、Ｎ番
目の検査対象領域の良否判定は判定器6Nによって行われ
る。かくして、判定器6A〜6Nの各判定結果が結果表示器
７に表示される。この実施例によれば、検査対象領域が
増えた場合の処理能力がより一層高められる。
的な動作を、その処理手順を示す図４のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ201 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ102 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、位置情報記憶器８に記憶
された１番目の検査対象領域がちょうどＸ線発生源１の
正面にくるように、すなわち、破線で示されたＸ線放射
領域に収まるようにステージ５を手動又は自動にて移動
させる。次に、ステップ203 でＸ線発生源１を動作させ
て検査対象領域にＸ線11を照射する。これによって、デ
テクタ３から検査対象領域のプロファイルデータが出力
されてそのプロファイルが画像表示器４に映し出され
る。また、デテクタ３のプロファイルデータは判定器6A
〜6Nにも送り込まれる。このうち、判定器6Nには正常な
物体の１番目の検査対象領域に対応するプロファイルの
データが予め登録されている。そこで、ステップ204 に
て判定器6Nは予め登録されたプロファイルデータと、１
番目の検査対象領域のプロファイルデータとを相互に比
較し、さらに、ステップ205 で正常か否かを判定する。
ここで、正常と判定された場合には、ステップ206 にて
結果表示器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でな
いと判定された場合にはステップ207 にて結果表示器７
の表示画面に「不合格」と表示する。そして、上記の操
作を位置情報記憶器８に記憶された２番目、３番目、
…、Ｎ番目の各検査対象領域毎に実行し、例えば、Ｎ番
目の検査対象領域の良否判定は判定器6Nによって行われ
る。かくして、判定器6A〜6Nの各判定結果が結果表示器
７に表示される。この実施例によれば、検査対象領域が
増えた場合の処理能力がより一層高められる。
【００１９】図５は本発明の第３実施例の構成を示すブ
ロック図である。図中、図３と同一の要素には同一の符
号を付してその説明を省略する。この装置は、図３に示
した構成要素に対して、新たに、統計データ記憶器９が
付加された構成になっている。この実施例は多数の被検
査物体の各検査対象領域の合格及び／又は不合格の割合
を計算して、その結果を結果表示器７に一括して表示し
ようとするものである。そのために、統計データ記憶器
９は位置情報記憶器８に記憶された検査対象領域に対応
させてそれぞれ判定器6A〜6Nの判定結果を記憶すると共
に、検査回数に対する合格及び／又は不合格の割合を計
算する機能を備えている。
ロック図である。図中、図３と同一の要素には同一の符
号を付してその説明を省略する。この装置は、図３に示
した構成要素に対して、新たに、統計データ記憶器９が
付加された構成になっている。この実施例は多数の被検
査物体の各検査対象領域の合格及び／又は不合格の割合
を計算して、その結果を結果表示器７に一括して表示し
ようとするものである。そのために、統計データ記憶器
９は位置情報記憶器８に記憶された検査対象領域に対応
させてそれぞれ判定器6A〜6Nの判定結果を記憶すると共
に、検査回数に対する合格及び／又は不合格の割合を計
算する機能を備えている。
【００２０】上記のように構成された第３実施例の全体
的な動作を、その処理手順を示す図６のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ301 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ302 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、位置情報記憶器８に記憶
された１番目の検査対象領域がちょうどＸ線発生源１の
正面にくるように、すなわち、破線で示されたＸ線放射
領域に収まるようにステージ５を手動又は自動にて移動
させる。次に、ステップ303 でＸ線発生源１を動作させ
て検査対象領域にＸ線11を照射する。これによって、デ
テクタ３から検査対象領域のプロファイルデータが出力
されてそのプロファイルが画像表示器４に映し出され
る。また、デテクタ３のプロファイルデータは判定器6A
〜6Nにも送り込まれる。このうち、判定器6Nには正常な
物体の１番目の検査対象領域に対応するプロファイルの
データが予め登録されている。そこで、ステップ304 に
て判定器6Nは予め登録されたプロファイルデータと、１
番目の検査対象領域のプロファイルデータとを相互に比
較し、さらに、ステップ305 で正常か否かを判定する。
そこで、正常と判定された場合には、ステップ306 にて
結果表示器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でな
いと判定された場合にはステップ307 にて結果表示器７
の表示画面に「不合格」と表示する。次に、ステップ30
8 にて、統計データ記憶器９は判定器6Nの合否判定結果
を受信し、１番目の検査対象領域に対応付けて記憶す
る。そして、上記の操作を位置情報記憶器８に記憶され
た２番目、３番目、…、Ｎ番目の各検査対象領域毎に実
行し、例えば、Ｎ番目の検査対象領域の良否判定は判定
器6Nによって行われたとき、検査対象領域毎に検査回数
に対する合格及び／又は不合格の割合を計算して、計算
結果を保持する。また、その計算結果が結果表示器７に
表示される。
的な動作を、その処理手順を示す図６のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ301 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ302 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、位置情報記憶器８に記憶
された１番目の検査対象領域がちょうどＸ線発生源１の
正面にくるように、すなわち、破線で示されたＸ線放射
領域に収まるようにステージ５を手動又は自動にて移動
させる。次に、ステップ303 でＸ線発生源１を動作させ
て検査対象領域にＸ線11を照射する。これによって、デ
テクタ３から検査対象領域のプロファイルデータが出力
されてそのプロファイルが画像表示器４に映し出され
る。また、デテクタ３のプロファイルデータは判定器6A
〜6Nにも送り込まれる。このうち、判定器6Nには正常な
物体の１番目の検査対象領域に対応するプロファイルの
データが予め登録されている。そこで、ステップ304 に
て判定器6Nは予め登録されたプロファイルデータと、１
番目の検査対象領域のプロファイルデータとを相互に比
較し、さらに、ステップ305 で正常か否かを判定する。
そこで、正常と判定された場合には、ステップ306 にて
結果表示器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でな
いと判定された場合にはステップ307 にて結果表示器７
の表示画面に「不合格」と表示する。次に、ステップ30
8 にて、統計データ記憶器９は判定器6Nの合否判定結果
を受信し、１番目の検査対象領域に対応付けて記憶す
る。そして、上記の操作を位置情報記憶器８に記憶され
た２番目、３番目、…、Ｎ番目の各検査対象領域毎に実
行し、例えば、Ｎ番目の検査対象領域の良否判定は判定
器6Nによって行われたとき、検査対象領域毎に検査回数
に対する合格及び／又は不合格の割合を計算して、計算
結果を保持する。また、その計算結果が結果表示器７に
表示される。
【００２１】この実施例によれば、合格の割合が１００
％の領域を検査対象から外すことにより処理能力を向上
させ得るほか、製造工程の管理に有効に活用することが
できる。
％の領域を検査対象から外すことにより処理能力を向上
させ得るほか、製造工程の管理に有効に活用することが
できる。
【００２２】図７は本発明の第４実施例の構成を示すブ
ロック図である。図中、図５と同一の要素には同一の符
号を付してその説明を省略する。この装置は、図５に示
した構成要素に対して、新たに、検査順序指定器10が付
加された構成になっている。この検査順序指定器10は各
検査対象領域の合格及び／又は不合格の割合の計算結果
を用い、かつ、予め内部に登録された検査項目決定ロジ
ックに従って、次回に検査を省略する子のとのできない
検査対象領域を、欠陥の多い順に結果表示器７に表示す
る機能を備えている。
ロック図である。図中、図５と同一の要素には同一の符
号を付してその説明を省略する。この装置は、図５に示
した構成要素に対して、新たに、検査順序指定器10が付
加された構成になっている。この検査順序指定器10は各
検査対象領域の合格及び／又は不合格の割合の計算結果
を用い、かつ、予め内部に登録された検査項目決定ロジ
ックに従って、次回に検査を省略する子のとのできない
検査対象領域を、欠陥の多い順に結果表示器７に表示す
る機能を備えている。
【００２３】上記のように構成された第４実施例の全体
的な動作を、その処理手順を示す図８のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ401 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ402 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、位置情報記憶器８に記憶
された１番目の検査対象領域がちょうどＸ線発生源１の
正面にくるように、すなわち、破線で示されたＸ線放射
領域に収まるようにステージ５を手動又は自動にて移動
させる。次に、ステップ403 でＸ線発生源１を動作させ
て検査対象領域にＸ線11を照射する。これによって、デ
テクタ３から検査対象領域のプロファイルデータが出力
されてそのプロファイルが画像表示器４に映し出され
る。また、デテクタ３のプロファイルデータは判定器6A
〜6Nにも送り込まれる。このうち、判定器6Nには正常な
物体の１番目の検査対象領域に対応するプロファイルの
データが予め登録されている。そこで、ステップ404 に
て判定器6Nは予め登録されたプロファイルデータと、１
番目の検査対象領域のプロファイルデータとを相互に比
較し、さらに、ステップ405 で正常か否かを判定する。
そこで、正常と判定された場合には、ステップ406 にて
結果表示器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でな
いと判定された場合にはステップ407 にて結果表示器７
の表示画面に「不合格」と表示する。次に、ステップ40
8 にて、統計データ記憶器９は判定器6Nの合否判定結果
を受信し、１番目の検査対象領域に対応付けて記憶す
る。そして、上記の操作を位置情報記憶器８に記憶され
た２番目、３番目、…、Ｎ番目の各検査対象領域毎に実
行し、例えば、Ｎ番目の検査対象領域の良否判定は判定
器6Nによって行われたとき、検査対象領域毎に検査回数
に対する合格及び／又は不合格の割合を計算し、その結
果を保持する。次に、検査順序指定器10は、ステップ40
9 で検査順序指定器10は統計データ記憶器９の合格及び
／又は不合格の割合の計算結果を検索し、ステップ410
にて合格率の低い検査対象位置、すなわち、次回の検査
に不可欠な欠陥の多い検査対象位置を順に並べて結果表
示器７に表示させる。検査者はこの表示結果に基づき、
次のロットの検査に当たり、例えば、位置情報記憶器８
の記憶内容を訂正したりして、合格率が所定値を越える
領域については、検査を中止するような措置を講じる。
的な動作を、その処理手順を示す図８のフローチャート
に従って説明する。先ず、ステップ401 で被検査物体２
をステージ５に搭載し、続いて、ステップ402 にて、図
示省略の遠隔操作装置を用い、位置情報記憶器８に記憶
された１番目の検査対象領域がちょうどＸ線発生源１の
正面にくるように、すなわち、破線で示されたＸ線放射
領域に収まるようにステージ５を手動又は自動にて移動
させる。次に、ステップ403 でＸ線発生源１を動作させ
て検査対象領域にＸ線11を照射する。これによって、デ
テクタ３から検査対象領域のプロファイルデータが出力
されてそのプロファイルが画像表示器４に映し出され
る。また、デテクタ３のプロファイルデータは判定器6A
〜6Nにも送り込まれる。このうち、判定器6Nには正常な
物体の１番目の検査対象領域に対応するプロファイルの
データが予め登録されている。そこで、ステップ404 に
て判定器6Nは予め登録されたプロファイルデータと、１
番目の検査対象領域のプロファイルデータとを相互に比
較し、さらに、ステップ405 で正常か否かを判定する。
そこで、正常と判定された場合には、ステップ406 にて
結果表示器７の表示画面に「合格」と表示し、正常でな
いと判定された場合にはステップ407 にて結果表示器７
の表示画面に「不合格」と表示する。次に、ステップ40
8 にて、統計データ記憶器９は判定器6Nの合否判定結果
を受信し、１番目の検査対象領域に対応付けて記憶す
る。そして、上記の操作を位置情報記憶器８に記憶され
た２番目、３番目、…、Ｎ番目の各検査対象領域毎に実
行し、例えば、Ｎ番目の検査対象領域の良否判定は判定
器6Nによって行われたとき、検査対象領域毎に検査回数
に対する合格及び／又は不合格の割合を計算し、その結
果を保持する。次に、検査順序指定器10は、ステップ40
9 で検査順序指定器10は統計データ記憶器９の合格及び
／又は不合格の割合の計算結果を検索し、ステップ410
にて合格率の低い検査対象位置、すなわち、次回の検査
に不可欠な欠陥の多い検査対象位置を順に並べて結果表
示器７に表示させる。検査者はこの表示結果に基づき、
次のロットの検査に当たり、例えば、位置情報記憶器８
の記憶内容を訂正したりして、合格率が所定値を越える
領域については、検査を中止するような措置を講じる。
【００２４】この実施例によれば、検査箇所の多い被検
査物体の不合格率の多い領域を優先的に検査することが
可能となり、効率的に非破壊検査をすることができる。
査物体の不合格率の多い領域を優先的に検査することが
可能となり、効率的に非破壊検査をすることができる。
【００２５】なお、上記第１乃至第４実施例では、正常
な物体のプロファイルと被検査物体のプロファイルとを
比較する「パターンマッチング法」によって判定した
が、これ以外の周知の方法、例えば、「推論法」や「特
徴抽出法」を用いても、上述したと同様な検査を行うこ
とができる。
な物体のプロファイルと被検査物体のプロファイルとを
比較する「パターンマッチング法」によって判定した
が、これ以外の周知の方法、例えば、「推論法」や「特
徴抽出法」を用いても、上述したと同様な検査を行うこ
とができる。
【００２６】また、上記第２乃至第４実施例では、被検
査物体の位置の異なる複数の検査対象領域の検査を対象
としたが、一つの検査対象領域の複雑なパターン、もし
くは、複数のパターンを一回で合否判定できない場合、
すなわち、検査項目が多数ある場合には、位置情報記憶
器８にそれぞれの検査項目を、判定器6A〜6Nには検査項
目に対応する基準データをそれぞれ格納することによっ
て、上述したと同様な検査を行うことができる。
査物体の位置の異なる複数の検査対象領域の検査を対象
としたが、一つの検査対象領域の複雑なパターン、もし
くは、複数のパターンを一回で合否判定できない場合、
すなわち、検査項目が多数ある場合には、位置情報記憶
器８にそれぞれの検査項目を、判定器6A〜6Nには検査項
目に対応する基準データをそれぞれ格納することによっ
て、上述したと同様な検査を行うことができる。
【００２７】なおまた、上記第４実施例では、合格率の
低い検査対象位置、すなわち、欠陥の多い検査対象位置
を順に並べて結果表示器７に表示させたが、検査順序指
定器10によって次回に検査すべき位置又は項目を決定
し、これに従って判定器6A〜6Nの基準データを更新する
ことにより、検査効率をさらに高めることができる。
低い検査対象位置、すなわち、欠陥の多い検査対象位置
を順に並べて結果表示器７に表示させたが、検査順序指
定器10によって次回に検査すべき位置又は項目を決定
し、これに従って判定器6A〜6Nの基準データを更新する
ことにより、検査効率をさらに高めることができる。
【００２８】さらにまた、上記第１乃至第４実施例で
は、被検査物体２のプロファイルを得るエネルギー源と
してＸ線を用いたが、この代わりに被検査物体の表面か
ら超音波パルスを送り込み、その反射波を電気信号に変
えて反射像を作る方法を採用しても、上述したと同様な
効果が得られる。
は、被検査物体２のプロファイルを得るエネルギー源と
してＸ線を用いたが、この代わりに被検査物体の表面か
ら超音波パルスを送り込み、その反射波を電気信号に変
えて反射像を作る方法を採用しても、上述したと同様な
効果が得られる。
【００２９】
【発明の効果】請求項１に記載の非破壊検査装置によれ
ば、正常な物体のプロファイルに対応する基準データと
被検査物体のプロファイルのデータとを比較して被検査
物体の合否を判定するので、判定結果に対する信頼性が
高められ、また、処理能力も高められる。
ば、正常な物体のプロファイルに対応する基準データと
被検査物体のプロファイルのデータとを比較して被検査
物体の合否を判定するので、判定結果に対する信頼性が
高められ、また、処理能力も高められる。
【００３０】請求項２に記載の非破壊検査装置によれ
ば、検査項目毎に合否判定するので、検査項目が増えた
場合の処理能力が一層高められる。
ば、検査項目毎に合否判定するので、検査項目が増えた
場合の処理能力が一層高められる。
【００３１】請求項３に記載の非破壊検査装置によれ
ば、検査項目毎に合格及び／又は不合格の割合を計算、
保持するので、処理能力を向上させ得るほか、製造工程
の管理に有効に活用することができる。
ば、検査項目毎に合格及び／又は不合格の割合を計算、
保持するので、処理能力を向上させ得るほか、製造工程
の管理に有効に活用することができる。
【００３２】請求項４に記載の非破壊検査装置によれ
ば、合格及び／又は不合格の割合の計算結果をパラメー
タとして、次回の検査対象領域を指定するので、処理能
力の向上が図られる。
ば、合格及び／又は不合格の割合の計算結果をパラメー
タとして、次回の検査対象領域を指定するので、処理能
力の向上が図られる。
【図１】本発明の第１実施例の構成を示すブロック図。
【図２】図１に示した実施例の動作を説明するためのフ
ローチャート。
ローチャート。
【図３】本発明の第２実施例の構成を示すブロック図。
【図４】図３に示した実施例の動作を説明するためのフ
ローチャート。
ローチャート。
【図５】本発明の第３実施例の構成を示すブロック図。
【図６】図５に示した実施例の動作を説明するためのフ
ローチャート。
ローチャート。
【図７】本発明の第４実施例の構成を示すブロック図。
【図８】図７に示した実施例の動作を説明するためのフ
ローチャート。
ローチャート。
【図９】従来の非破壊検査装置の構成を示すブロック
図。
図。
１ Ｘ線発生源 ２ 被検査物体 ３ デテクタ ４ 画像表示器 ５ ステージ ６，６Ａ〜６Ｎ 判定器 ７ 結果表示器 ８ 位置情報記憶器 ９ 統計データ記憶器 １０ 検査順序指定器
Claims (4)
- 【請求項１】Ｘ線や超音波等を、検査対象領域に照射
し、その透射像又は反射像のプロファイルに基づいて被
検査物体を非破壊にて検査する非破壊検査装置におい
て、 正常な物体のプロファイルに対応する基準データが予め
内部に登録され、この基準データと前記被検査物体のプ
ロファイルのデータとを比較して前記被検査物体の合否
を判定する判定手段を備えたことを特徴とする非破壊検
査装置。 - 【請求項２】複数の検査項目情報を記憶する検査項目情
報記憶手段を備え、前記判定手段が前記検査項目情報記
憶手段に記憶された検査項目情報に基づき、検査項目毎
に被検査物体の合否を判定することを特徴とする請求項
１に記載の非破壊検査装置。 - 【請求項３】前記判定手段の判定結果を検査項目毎に記
憶すると共に、記憶した判定結果から検査項目毎に合格
及び不合格の少なくともどちらか一方の割合を計算して
その結果を保持する統計データ記憶手段を備えたことを
特徴とする請求項２に記載の非破壊検査装置。 - 【請求項４】前記統計データ記憶手段を検索し、合格及
び不合格の少なくともどちらか一方の割合の計算結果を
パラメータとして、予め内部に登録された検査項目決定
ロジックに従って、次回の検査項目を指定する検査順序
指定手段を備えたことを特徴とする請求項３に記載の非
破壊検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7015422A JPH08210994A (ja) | 1995-02-01 | 1995-02-01 | 非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7015422A JPH08210994A (ja) | 1995-02-01 | 1995-02-01 | 非破壊検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08210994A true JPH08210994A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=11888338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7015422A Pending JPH08210994A (ja) | 1995-02-01 | 1995-02-01 | 非破壊検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08210994A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218784A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| KR101716877B1 (ko) * | 2016-06-09 | 2017-03-15 | 세종대학교산학협력단 | 자가 압전센싱 기반의 비선형 초음파 피로균열 검사 장치 및 방법 |
-
1995
- 1995-02-01 JP JP7015422A patent/JPH08210994A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218784A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| KR101716877B1 (ko) * | 2016-06-09 | 2017-03-15 | 세종대학교산학협력단 | 자가 압전센싱 기반의 비선형 초음파 피로균열 검사 장치 및 방법 |
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