JP2007218784A

JP2007218784A - Ｘ線検査装置

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Publication number: JP2007218784A
Application number: JP2006040993A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Tatezawa; 嘉浩立澤
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2006-02-17
Filing date: 2006-02-17
Publication date: 2007-08-30
Anticipated expiration: 2026-02-17
Also published as: JP4742902B2

Abstract

【課題】被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被測定物Ｓを配置するステージ１４と、被測定物Ｓの所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、ステージ１４を移動させるステージ駆動機構１６と、透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と被測定物Ｓの所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置２３とを備えるＸ線検査装置１であって、マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段３５を備えることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、工業製品等の透視検査やＣＴ検査等を行うためのＸ線検査装置に関し、特に、多数の同一形状の被測定物について、それぞれ同じ位置を次々と検査するＸ線検査装置に関する。

Ｘ線検査装置は、アルミ鋳物の内部欠陥や半導体基板の部品接合状態等を非破壊検査するために使用される。一般的に、Ｘ線検査装置には、Ｘ線源と、当該Ｘ線源に対向するように、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器とが配置されている。なお、最近では、ＩＩとＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したものも利用されている。
このようなＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間で被測定物を載置するステージを備える。そして、ステージの回転移動や並進移動等で被測定物の位置を調整しながら、透視Ｘ線像を撮影している。

そして、ステージの回転移動や並進移動等を行うステージ駆動機構の制御は、種々の駆動信号が与えられることによって実行される。このとき、マウスやジョイスティックやキーボード等の入力装置の種々の操作によって、ステージ駆動機構に種々の駆動信号を与える。

ところで、表示装置に画像表示されるＸ線画像は、被測定物の一部分を撮影した局所的なＸ線画像である場合が多い。このために、このようなＸ線検査装置において、Ｘ線画像と並べて、比較的低倍率で撮像した画像をマスター画像として画像表示するものがある。そして、マスター画像に、画像表示されているＸ線画像の位置を示す現在位置情報の画像表示を行っている。これにより、操作者が、透視Ｘ線像を撮影している被測定物の現在の位置を把握している。さらに、マスター画像の所定の位置をポインタで指定することで、所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように、自動的にステージを移動させている（例えば、特許文献１参照）。

また、Ｘ線検査装置により、多数の同一形状の被測定物について、それぞれ同じ位置を次々と検査する場合がある。よって、位置決めの基準にする被測定物（以下、基準測定物ともいう）を用いて、一つの被測定物について複数の検査の位置を教示（ティーチング）しておき、教示された検査の位置にしたがって同種の被測定物をステージ上で移動させながら、各検査の位置の透視Ｘ線像を次々と撮影させることにより、各検査の位置のＸ線画像を順番に表示装置に画像表示させることで効率的に検査を行うもの（所謂、ティーチング機能を備えたＸ線検査装置）が市販されている（例えば、特許文献２参照）。
特開２００２−３１８２０６号公報特開２００４−１１７２１４号公報

しかしながら、ティーチング機能を備えたＸ線検査装置において、一般に一つの被測定物について検査を行う複数の検査の位置をティーチングするが、一つの被測定物について検査を行う複数の検査の位置を教示を行った者とは異なる操作者が容易に把握することができなかった。特に、ティーチング機能を備えたＸ線検査装置では、ティーチングした被測定物の検査の位置のＸ線画像を次々に画像表示させて、観察するので、現在の検査の位置の前の検査の位置や次の検査の位置等が被測定物のどこであるかを操作者は容易に把握することができなかった。

そこで、本発明は、被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、被測定物を載置するステージと、前記被測定物の所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、前記ステージを移動させるステージ駆動機構と、前記透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と前記被測定物の所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置とを備えるＸ線検査装置であって、前記マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段を備えるようにしている。

本発明のＸ線検査装置によれば、例えば、被測定物の外観形状の全体を示すマスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示が行われるので、被測定物について検査の位置を容易に把握することができる。

（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、本発明のＸ線検査装置においては、前記被測定物の可視光像を撮影する光学カメラを備え、前記マスター画像は、前記光学カメラにより撮影された可視光像に基づいて作成されるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、検査する実際の被測定物の外観形状の全体の一度の撮影により、マスター画像を作成することができる。

また、本発明のＸ線検査装置においては、前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段とを備え、前記マスター画像は、複数の透視Ｘ線像に基づいて作成されるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、検査する実際の被測定物の外観形状の全体を部分に分けて何度か撮影するとともに、撮影した位置を記憶することにより、光学カメラ等の撮影装置を備えなくても、Ｘ線画像を縮小して張り合わせることで、マスター画像を作成することができる。

また、本発明のＸ線検査装置においては、被測定物を載置するステージと、前記被測定物の所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、前記被測定物の所定の領域を含む被測定物の可視光像を撮影する光学カメラと、前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段と、入力操作される入力装置と、前記透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と前記可視光像に基づいて作成された可視光画像と前記入力装置によって操作されるポインタとの画像表示が行われる表示装置とを備えるＸ線検査装置であって、前記被測定物の測定点を位置決めするための第一状態と前記被測定物の所定の位置を検査するための第二状態とを切り替える状態切替手段と、前記第一状態のときには、前記可視光画像の特定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記可視光画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段とを備え、前記第二状態のときには、前記可視光画像の所定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記駆動信号発生手段は、前記可視光画像の所定の位置に対応する前記被測定物の所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように制御を実行するようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、例えば、被測定物の外観形状の全体を示す可視光画像の特定の位置に測定点情報の画像表示が行われるので、被測定物について検査を行う複数の検査の位置を容易に把握することができる。また、第二状態のときには、可視光画像の測定点情報の画像表示を参考にしながら、可視光画像の所定の位置をポインタで指定することにより、被測定物の所定の位置のＸ線画像が画像表示されるので、容易に被測定物の所定の位置のＸ線画像を観察することができる。
ここで、「所定の位置」とは、任意の位置のことをいい、一方、「所定の領域」とは、透視Ｘ線像として撮影される被測定物の一部分のことをいう。

また、本発明のＸ線検査装置においては、前記被測定物の所定の領域を示す可視光画像の所定の範囲に、現在位置情報の画像表示を行う現在位置情報表示手段を備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、可視光画像に現在位置情報の画像表示が行われるので、透視Ｘ線像を撮影している被測定物の現在の位置を容易に把握することができる。

そして、本発明のＸ線検査装置においては、前記状態切替手段は、さらに前記被測定物の特定の位置を検査するための第三状態に切り替えることを可能とし、前記測定点情報には、順番を示す内容が含まれるとともに、前記測定点情報の画像表示には、順番を示す内容が画像表示されており、前記第三状態のときには、前記ティーチング情報記憶制御手段は、前記測定点情報が画像表示された可視光画像の特定の位置に対応する前記被測定物の特定の位置の透視Ｘ線像が順番に撮影される制御を実行するようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、第三状態のときには、被測定物の特定の位置のＸ線画像が順番に画像表示されるので、可視光画像の測定点情報の画像表示を参考にしながら、現在の検査の位置の前の検査の位置や次の検査の位置等が被測定物のどこであるかを容易に把握することができる。

さらに、本発明のＸ線検査装置においては、前記駆動信号発生手段は、前記Ｘ線画像の所定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記Ｘ線画像の所定の位置が前記Ｘ線画像の中心となるように、前記Ｘ線画像の所定の位置に対応する前記被測定物の所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように制御を実行するようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、Ｘ線画像の所定の位置をポインタで指定することにより、Ｘ線画像の所定の位置がＸ線画像の中心となるように、被測定物の所定の位置のＸ線画像が画像表示されるので、被測定物の所定の位置のＸ線画像をより観察することができる。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。

図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、被測定物Ｓ（又は、基準測定物）を載置するステージ１４と、ステージ駆動機構１６と、光学カメラ１８と、Ｘ線検査装置１全体の制御を行う制御系（コンピュータ）２０とにより構成される。

Ｘ線測定光学系１３は、Ｘ線検出器１２とＸ線発生装置１１とを有する。Ｘ線検出器１２は、ＩＩと当該ＩＩの裏面に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとを有する。一方、Ｘ線発生装置１１は、Ｘ線源であり、ＩＩの表面に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線管を有する。
よって、ＩＩが透視用Ｘ線を検出することにより蛍光像を形成することになる。さらに、この蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することによって、透視用Ｘ線の映像信号がコンピュータ２０に出力される。

ステージ１４は、上面に垂直な方向（Ｚ方向）に軸（図示せず）を有する下部板状体１４ｂと、当該軸を回転軸として回転可能となるように形成された上部板状体１４ａとで構成される。そして、上部板状体１４ａの上面に、被測定物Ｓは載置されることになる。
なお、下部板状体１４ｂは、ステージ駆動機構１６により、ステージ１４面に平行な方向（ＸＹ方向）に移動したり、ステージ１４面に垂直な方向（Ｚ方向）に昇降移動したりするように、並進移動可能に設けられている。さらに、上部板状体１４ａは、ステージ駆動機構１６により、回転移動可能に設けられている。
よって、ステージ１４の位置を移動させることにより、被測定物Ｓの位置を移動させることになる。

ステージ駆動機構１６は、例えば、ＸＹＺ方向の３軸方向駆動用モータ及び回転駆動用モータを有する。なお、ステージ駆動機構１６の制御は、コンピュータ２０の駆動信号発生手段３６から出力された駆動信号が与えられることによって実行される。

光学カメラ１８は、被測定物Ｓの可視光像を撮影するものであり、ビデオカメラ、デジタルカメラ等である。撮影された被測定物Ｓの可視光像の映像信号は、コンピュータ２０に出力される。また、光学カメラ１８は、透視Ｘ線像を撮影することに支障をきたさないような位置で、かつ、被測定物Ｓの外観形状の全体の可視光像を撮影することができる位置に取り付けられている。

コンピュータ２０においては、ＣＰＵ２１を備え、さらに、Ｘ線画像２４ａや可視光画像２４ｂや測定点情報２４ｄのデータ等を記憶するメモリ２５と、モニタ画面２３ａ等を有する表示装置２３と、入力装置であるキーボード２２ａやマウス２２ｂとが連結されている。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線画像作成手段３１と、ポインタ表示制御手段３２と、光学カメラ画像作成手段３３と、光学カメラ画像表示制御手段３４と、ティーチング情報記憶制御手段３５と、駆動信号発生手段３６と、現在位置情報表示手段３７と、状態切替手段３８と、割込信号発生手段３９とを有する。また、メモリ２５は、Ｘ線画像記憶領域５１と、光学カメラ画像記憶領域４３と、文字情報記憶領域５２とを有する。

図２は、画像表示された表示装置２３のモニタ画面２３ａの一例を示す図である。モニタ画面２３ａには、Ｘ線画像２４ａとポインタ２４ｅと可視光画像２４ｂとの画像表示が行われている。さらに、可視光画像２４ｂ上には、現在位置情報２４ｃと、複数の測定点情報２４ｄとの画像表示が行われている。

駆動信号発生手段３６は、ステージ１４を移動させる駆動信号をステージ駆動機構１６に出力するとともに、ステージ１４の位置を記憶する制御を行うものである。つまり、駆動信号発生手段３６は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの種々の操作や、後述する初期化信号、自動化信号及び割込信号を受信することによって、ステージ１４を移動させる。また、駆動信号発生手段３６は、例えば、座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を記憶することにより、ステージ１４の現在の位置（ｘ，ｙ，ｚ）及び回転角度（θ）と透視Ｘ線像範囲と可視光像範囲とのデータを記憶する。なお、ステージ１４の基準の位置（ｘ＝０，ｙ＝０，ｚ＝０，θ＝０）のデータも記憶している。

Ｘ線画像作成手段３１は、Ｘ線検出器１２から出力された映像信号から変換されたデジタル信号に基づいて、メモリ２５のＸ線画像記憶領域５１にＸ線画像２４ａのデータを記憶させたり、モニタ画面２３ａにＸ線画像２４ａの画像表示を行ったりする制御を行うものである。このとき、ステージ１４の現在の位置（ｘ，ｙ，ｚ，θ）のデータに基づいて、Ｘ線画像２４ａの所定の位置は、被測定物Ｓの所定の位置と対応するように、Ｘ線画像２４ａのデータが記憶されたり、Ｘ線画像２４ａの画像表示が行われたりする。また、Ｘ線画像２４ａの画像表示は、被測定物Ｓの一部分である所定の領域のものとなる。

光学カメラ画像表示制御手段３４は、光学カメラ１８に可視光像を撮影する駆動信号を出力するとともに、駆動信号発生手段３６に初期化信号を出力する制御を行うものである。つまり、光学カメラ画像表示制御手段３４は、ステージ１４を並進移動及び／又は回転移動させて、ステージ１４の位置を基準の位置（０，０，０，０）に調整させたときの、被測定物Ｓの全体の可視光像を撮影させる。

光学カメラ画像作成手段３３は、光学カメラ１８から出力された映像信号から変換されたデジタル信号に基づいて、メモリ２５の光学カメラ画像記憶領域４３に可視光画像２４ｂのデータを記憶させたり、モニタ画面２３ａに可視光画像２４ｂの画像表示を行ったりする制御を行うものである。このとき、ステージ１４の基準の位置（０，０，０，０）のデータに基づいて、可視光画像２４ｂの所定の位置は、被測定物Ｓの所定の位置と対応するように、可視光画像２４ｂのデータが記憶されたり、可視光画像２４ｂの画像表示が行われたりする。また、可視光画像２４ｂの画像表示は、被測定物Ｓの一部分を含む被測定物Ｓの全体のものとなる。

現在位置情報表示手段３７は、被測定物Ｓの所定の領域を示す可視光画像２４ｂの所定の範囲に、現在位置情報２４ｃの画像表示を行う制御を行うものである。これにより、Ｘ線画像２４ａの画像表示は被測定物Ｓの一部分のものとなっているが、可視光画像２４ｂの画像表示は被測定物Ｓの全体のものとなっているので、操作者が透視Ｘ線像を撮影している被測定物Ｓの現在の位置を容易に把握することができるようになる。

ポインタ表示制御手段３２は、モニタ画面２３ａにポインタ２４ｅの画像表示を行うとともに、マウス２２ｂから出力された入力信号に基づいて、モニタ画面２３ａに画像表示されたポインタ２４ｅを移動したり、ポインタ２４ｅで位置を指定したりする制御を行うものである。

状態切替手段３８は、被測定物Ｓの測定点を位置決めするための第一状態と、被測定物Ｓの所定の位置を検査するための第二状態と、被測定物Ｓの特定の位置を検査するための第三状態とを切り替える制御を行うものである。ここで、第一状態とは、被測定物Ｓの測定点を位置決めするためのものであり、第三状態とは、第一状態によって測定点として位置決めされた特定の位置を自動的に順番に検査するためのものである。また、第二状態とは、被測定物Ｓの位置ずれ等のために、第三状態によって自動的に検査されている特定の位置を、手動により所定の位置に変更するためのものである。

ティーチング情報記憶制御手段３５は、第一状態のときには、可視光画像２４ｂの特定の位置がポインタ２４ｅで指定されることにより、可視光画像２４ｂの特定の位置に測定点情報２４ｄの画像表示を行い、一方、第三状態のときには、測定点情報２４ｄが画像表示された可視光画像２４ｂの特定の位置に対応する被測定物Ｓの特定の位置の透視Ｘ線像が順番に撮影されるように、駆動信号発生手段３６に自動化信号を出力する制御を行うものである。つまり、第一状態のときに、可視光画像２４ｂの特定の位置をポインタ２４ｅで指定することにより、順番、座標等を示す内容を含む測定点情報２４ｄのデータを文字情報記憶領域５２に記憶させる。このとき、測定点情報２４ｄの画像表示には、順番を示す内容が画像表示されるので、被測定物Ｓについて検査を行う複数の検査の位置を把握することができるとともに、検査の位置の順番を把握することができるようになる。また、第三状態のときには、測定点情報２４ｄのデータに基づいて、被測定物Ｓの特定の位置のＸ線画像２４ａが順番に画像表示されるが、測定点情報２４ｄの画像表示を参考にすることにより、現在の検査の位置の前の検査の位置や次の検査の位置等が被測定物Ｓのどこであるかを容易に把握することができるようになる。
なお、測定点情報２４ｄの画像表示には、検査内容、合否基準等を示す内容が含まれていてもよい。

割込信号発生手段３９は、第二状態のときには、可視光画像２４ｂの所定の位置がポインタ２４ｅで指定されることにより、可視光画像２４ｂの所定の位置に対応する被測定物Ｓの所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように、駆動信号発生手段３６に割込信号を出力する制御を行うものである。つまり、第二状態のときに、可視光画像２４ｂの測定点情報２４ｄの画像表示を参考にしながら、可視光画像２４ｂの所定の位置をポインタ２４ｅで指定することにより、被測定物Ｓの所定の位置のＸ線画像２４ａが画像表示されるので、容易に被測定物Ｓの所定の位置のＸ線画像２４ａを観察することができるようになる。

次に、Ｘ線検査装置１により、多数の同一形状の被測定物Ｓについて、それぞれ同じ位置を次々と検査を行う検査方法について説明する。図３〜５は、Ｘ線検査装置１による検査方法の一例について説明するためのフローチャートである。ここでは、基準測定物Ｓ_０を用いて、一の被測定物ＳについてＮｍａｘ個の検査の位置をティーチングしておき、Ｓｍａｘ個の被測定物を次々と検査を行うものとする。

図３は、被測定物Ｓの測定点を位置決めするための第一状態について説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ１０１の処理において、第一状態を選択する。次に、ステップＳ１０２の処理において、基準の位置（０，０，０，０）にあるステージ１４に、基準測定物Ｓ_ｓを載置する。
次に、ステップＳ１０３の処理において、光学カメラ１８で基準測定物Ｓ_ｓの全体の可視光像が撮影されることにより、可視光画像２４ｂのデータが光学カメラ画像記憶領域４３に記憶されるとともに、モニタ画面２３ａに可視光画像２４ｂの画像表示が行われる。

次に、ステップＳ１０４の処理において、ｎ＝０と記憶される。つまり、１個目の測定点を指定することになる。次に、ステップＳ１０５の処理において、可視光画像２４ｂの特定の位置をポインタ２４ｅで指定する。次に、ステップＳ１０６の処理において、Ｘ線検出器１２で基準測定物Ｓ_ｓの特定の位置の透視Ｘ線像が撮影されることにより、モニタ画面２３ａにＸ線画像２４ａの画像表示が行われる。

次に、ステップＳ１０７の処理において、測定点の位置決めを決定するか否かを判断する。測定点の位置決めを決定しないと判断した場合には、ステップＳ１０５の処理に戻る。つまり、測定点の位置決めを決定すると判断するときまで、ステップＳ１０５及びＳ１０６の処理は繰り返し実行される。一方、測定点の位置決めを決定すると判断した場合には、ステップＳ１０８の処理において、測定点情報２４ｄのデータが文字情報記憶領域５２に記憶されるとともに、可視光画像２４ｂの特定の位置に測定点情報２４ｄの画像表示が行われる。このとき、測定点情報２４ｄは、順番（ｎ＝０）及び座標（ｘ，ｙ，ｚ）を示す内容を含み、測定点情報２４ｄの画像表示には、順番（ｎ＝０）を示す内容が画像表示される。

次に、ステップＳ１０９の処理において、測定点を位置決めすることを終了するか否かを判断する。測定点を位置決めすることを終了しないと判断した場合には、ステップＳ１１０の処理に進むことにより、ｎ＝ｎ＋１と記憶され、さらにステップＳ１０５の処理に戻る。つまり、測定点を位置決めすることを終了すると判断するときまで、ステップＳ１０８、Ｓ１０５〜Ｓ１０９の処理は繰り返し実行される。一方、測定点を位置決めすることを終了すると判断した場合には、本フローチャートを終了させることになる。

図４は、被測定物Ｓの特定の位置を検査するための第三状態について説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ２０１の処理において、第三状態を選択する。次に、ステップＳ２０２の処理において、ｓ＝０と記憶される。つまり、１個目の被測定物Ｓ_ｎを検査することになる。次に、ステップＳ２０３の処理において、基準の位置（０，０，０，０）にあるステージ１４に、被測定物Ｓ_ｎを載置する。このとき、被測定物Ｓ_ｎは、基準測定物Ｓ_ｓと対応するように、例えば、産業用ロボット等の搬送手段により同一の位置に配置される。

次に、ステップＳ２０４の処理において、光学カメラ１８で被測定物Ｓ_ｎの全体の可視光像が撮影されることにより、可視光画像２４ｂのデータが光学カメラ画像記憶領域４３に記憶されるとともに、モニタ画面２３ａに可視光画像２４ｂの画像表示が行われる。
次に、ステップＳ２０５の処理において、文字情報記憶領域５２に記憶されているＮｍａｘ個の測定点情報２４ｄのデータに基づいて、可視光画像２４ｂの特定の位置にＮｍａｘ個の測定点情報２４ｄの画像表示が行われる。これにより、現在検査を行っている被測定物Ｓ_ｎの外観形状の全体を示す可視光画像２４ｂの特定の位置にＮｍａｘ個の測定点情報２４ｄの画像表示が行われるので、被測定物Ｓ_ｎについてＮｍａｘ個の検査の位置の情報を容易に把握することができる。なお、測定点情報２４ｄの画像表示が行われた可視光画像２４ｂの画像表示は、被測定物Ｓ_ｎが除かれるまで、このままの画像表示で行われる。

次に、ステップＳ２０６の処理において、第二状態にするか否かを判断する。このとき、例えば、現在検査を行っている可視光画像２４ｂの特定の位置から、測定点情報２４ｄの画像表示の位置がずれていれば、第二状態によって被測定物Ｓ_ｎの検査の位置を変更することができるので、第二状態にすることを選択する。このように第二状態にすると判断した場合には、後述するステップＳ３０１の処理に進む。一方、第二状態にしないと判断した場合には、ステップＳ２０７の処理において、第一状態でｎ＝０のときに指定された測定点の検査を行うことになる。

次に、ステップＳ２０８の処理において、ｎ＝０のときに指定された測定点に対応する被測定物Ｓ_ｎの特定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように、駆動信号発生手段３６に自動化信号を出力する。そして、自動化信号を受信した駆動信号発生手段３６は、ステージ１４を移動させる駆動信号をステージ駆動機構１６に出力する。

次に、ステップＳ２０９の処理において、Ｘ線検出器１２で被測定物Ｓ_ｎの所定の領域の透視Ｘ線像が撮影されることにより、モニタ画面２３ａにＸ線画像２４ａの画像表示が行われる。このとき、現在位置情報表示手段３７により、可視光画像２４ｂの所定の範囲に、現在位置情報２４ｃの画像表示が行われているので、操作者が透視Ｘ線像を撮影している被測定物Ｓの現在の位置を容易に把握することができる。また、可視光画像２４ｂの測定点情報２４ｄの画像表示の内容を参考にしながら、現在の検査の位置の前の検査の位置や次の検査の位置等が被測定物Ｓのどこであるかを容易に把握することができる。

次に、ステップＳ２１０の処理において、ｎ＝Ｎｍａｘであるか否かを判断する。ｎ＝Ｎｍａｘでないと判断した場合には、ステップＳ２１１の処理に進むことにより、ｎ＝ｎ＋１と記憶され、さらにステップＳ２０８の処理に戻る。つまり、ｎ＝Ｎｍａｘであると判断するときまで、ステップＳ２１１、Ｓ２０８及びＳ２０９の処理は繰り返し実行されて、第一状態で指定された測定点の検査を行うことになる。一方、ｎ＝Ｎｍａｘであると判断した場合には、ステップＳ２１２の処理において、被測定物Ｓ_ｎを除く。このとき、被測定物Ｓ_ｎは、例えば、産業用ロボット等の搬送手段により取り除かれる。

次に、ステップＳ２１３の処理において、ｓ＝Ｓｍａｘであるか否かを判断する。ｓ＝Ｓｍａｘでないと判断した場合には、ステップＳ２１４の処理に進むことにより、ｓ＝ｓ＋１と記憶され、さらにステップＳ２０３の処理に戻る。つまり、ｓ＝Ｓｍａｘであると判断するときまで、ステップＳ２１３〜Ｓ２１４の処理は繰り返し実行されて、被測定物ＳのＸ線検査を次々と行う。一方、ｓ＝Ｓｍａｘであると判断した場合には、本フローチャートを終了させることになる。

図５は、被測定物Ｓの所定の位置を検査するための第二状態について説明するためのフローチャートである。本フローチャートは、上述したステップＳ２０６の処理において、第二状態にすると判断した場合に実行される。
まず、ステップＳ３０１の処理において、第二状態を選択する。次に、ステップＳ３０２の処理において、可視光画像２４ｂの所定の位置をポインタ２４ｅで指定する。このとき、可視光画像２４ｂの測定点情報２４ｄの画像表示を参考にしながら、可視光画像２４ｂの適切な所定の位置をポインタ２４ｅで指定することにより、容易に被測定物Ｓの適切な所定の位置のＸ線画像２４ａを観察することができるようになる。

次に、ステップＳ３０３の処理において、可視光画像２４ｂの所定の位置に対応する被測定物Ｓ_ｎの所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように、駆動信号発生手段３６に割込信号を出力する。そして、割込信号を受信した駆動信号発生手段３６は、ステージ１４を移動させる駆動信号をステージ駆動機構１６に出力する。次に、ステップＳ３０４の処理において、Ｘ線検出器１２で被測定物Ｓ_ｎの所定の領域の透視Ｘ線像が撮影されることにより、モニタ画面２３ａにＸ線画像２４ａの画像表示が行われる。

次に、ステップＳ３０５の処理において、第三状態に戻るか否かを判断する。第三状態に戻ると判断した場合には、上述したステップＳ２１２の処理に進む。一方、第三状態に戻らないと判断した場合には、ステップＳ３０２の処理に戻る。つまり、再び、測定点を自動的に順番に検査する第三状態となる。

（他の実施形態）
（１）図６は、画像表示された表示装置のモニタ画面の他の一例を示す図である。モニタ画面７３ａには、Ｘ線画像７４ａとポインタ７４ｅと可視光画像７４ｂとの画像表示が行われている。さらに、可視光画像７４ｂ上には、現在位置情報７４ｃと、測定点情報７４ｄとの画像表示が行われている。つまり、上述したＸ線検査装置１では、測定点を示す測定点情報２４ｄの画像表示を行う例を示したが、このような座標を示す測定点情報７４ｄの画像表示を行うようにしてもよい。

（２）上述したＸ線検査装置１では、被測定物Ｓの可視光像を撮影する光学カメラ１８を備え、検査する実際の被測定物Ｓの外観形状の全体の一度の撮影により、可視光画像２４ｂを作成する例を示したが、可視光画像２４ｂの代わりに、Ｘ線検出器１２で、検査する実際の被測定物Ｓの外観形状の全体を部分に分けて何度か撮影するとともに、撮影した位置を記憶することにより、Ｘ線画像２４ａを縮小して張り合わせることで作成したものを用いる構成としてもよい。

（３）また、上述したＸ線検査装置１において、駆動信号発生手段は、さらに、Ｘ線画像２４ａの所定の位置がポインタ２４ｅで指定されることにより、Ｘ線画像２４ａの所定の位置がＸ線画像２４ａの中心となるように、Ｘ線画像２４ａの所定の位置に対応する被測定物Ｓの所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように制御を実行する構成としてもよい。

本発明は、同一形状の被測定物のＸ線検査を次々と行うＸ線検査装置に利用することができる。

本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。本発明に係るＸ線検査装置において、画像表示された表示装置のモニタ画面の一例を示す図である。Ｘ線検査装置による検査方法の一例について説明するためのフローチャートである。Ｘ線検査装置による検査方法の一例について説明するためのフローチャートである。Ｘ線検査装置による検査方法の一例について説明するためのフローチャートである。本発明に係るＸ線検査装置において、画像表示された表示装置のモニタ画面の他の一例を示す図である。

符号の説明

１：Ｘ線検査装置
１１：Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２：Ｘ線検出器
１３：Ｘ線測定光学系
１４：ステージ
１６：ステージ駆動機構
１８：光学カメラ
２０：制御系（コンピュータ）
２１：ＣＰＵ
２２：入力装置
２３：表示装置
２５：メモリ
３１：Ｘ線画像作成手段
３３：光学カメラ画像作成手段
３４：光学カメラ画像表示制御手段
３５：ティーチング情報記憶制御手段
４３：光学カメラ画像記憶領域

Claims

被測定物を載置するステージと、
前記被測定物の所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、
前記ステージを移動させるステージ駆動機構と、
前記透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と前記被測定物の所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置とを備えるＸ線検査装置であって、
前記マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
前記被測定物の可視光像を撮影する光学カメラを備え、
前記マスター画像は、前記光学カメラにより撮影された可視光像に基づいて作成されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、
前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段とを備え、
前記マスター画像は、複数の透視Ｘ線像に基づいて作成されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
被測定物を載置するステージと、
前記被測定物の所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、
前記被測定物の所定の領域を含む被測定物の可視光像を撮影する光学カメラと、
前記ステージを駆動信号に基づいて移動させるステージ駆動機構と、
前記ステージを移動させる駆動信号を出力するとともに、前記ステージの位置を記憶する制御を実行する駆動信号発生手段と、
入力操作される入力装置と、
前記透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と前記可視光像に基づいて作成された可視光画像と前記入力装置によって操作されるポインタとの画像表示が行われる表示装置とを備えるＸ線検査装置であって、
前記被測定物の測定点を位置決めするための第一状態と前記被測定物の所定の位置を検査するための第二状態とを切り替える状態切替手段と、
前記第一状態のときには、前記可視光画像の特定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記可視光画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段とを備え、
前記第二状態のときには、前記可視光画像の所定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記駆動信号発生手段は、前記可視光画像の所定の位置に対応する前記被測定物の所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように制御を実行することを特徴とするＸ線検査装置。
前記被測定物の所定の領域を示す可視光画像の所定の範囲に、現在位置情報の画像表示を行う現在位置情報表示手段を備えることを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。
前記状態切替手段は、さらに前記被測定物の特定の位置を検査するための第三状態に切り替えることを可能とし、
前記測定点情報には、順番を示す内容が含まれるとともに、前記測定点情報の画像表示には、順番を示す内容が画像表示されており、
前記第三状態のときには、前記ティーチング情報記憶制御手段は、前記測定点情報が画像表示された可視光画像の特定の位置に対応する前記被測定物の特定の位置の透視Ｘ線像が順番に撮影される制御を実行することを特徴とする請求項５に記載のＸ線検査装置。
前記駆動信号発生手段は、前記Ｘ線画像の所定の位置が前記ポインタで指定されることにより、前記Ｘ線画像の所定の位置が前記Ｘ線画像の中心となるように、前記Ｘ線画像の所定の位置に対応する前記被測定物の所定の位置の透視Ｘ線像が撮影されるように制御を実行することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。