JPH08203462A

JPH08203462A - 真空装置

Info

Publication number: JPH08203462A
Application number: JP7011829A
Authority: JP
Inventors: Makoto Takahashi; 誠高橋
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1995-01-27
Filing date: 1995-01-27
Publication date: 1996-08-09

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送物を滑らかに搬送することができ、ま
た、ゴミの発生を極めて少なくすることができる真空装
置を実現する。【構成】仕切弁を開くときには、エアシリンダ８のロ
ッド９をエア駆動により上昇させ、それと共にホルダ１
０を上昇させる。ホルダ１０の下方にある補助ガイド２
０は、スプリングプレッシャ２１によって上方に押され
ているため、補助ガイド２０はホルダ１０と共に上昇す
る。補助ガイド２０の高さがハウジング３に固定してあ
るガイド６，７と同じ高さになったとき、補助ガイド２
０の両端がガイド６，７に当接し、補助ガイド２０だけ
が上昇を停止される。仕切弁が完全に開けられた状態
で、材料ホルダ１６などに材料１７を保持し、棒状のア
ーム１８を押すことによって材料の搬送を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、描画や観察などを行う
材料室に仕切弁を介して材料交換室を接続するようにし
た電子ビーム描画装置などの真空装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子ビーム描画装置や走査電子顕微鏡な
どでの真空装置では、被描画材料や試料を描画室や試料
室に挿入し、描画や観察を行っている。この描画室など
は、材料に電子ビームを照射するため、常時真空の状態
に保つ必要がある。この真空の描画室に材料を効率良く
挿入するため、描画室に材料交換室を備えるようにして
いる。すなわち、描画室と材料交換室との間に仕切弁を
設けておき、先ず仕切弁を閉じた状態で材料交換室を大
気に開放し、材料交換室の材料搬送機構に材料をセット
する。次に、材料交換室を真空に排気し、その後仕切弁
を開き、搬送機構により材料を材料交換室から描画室に
搬送する。

【０００３】図１に従来の描画室と材料交換室との間を
開閉する仕切弁の一例を示している。なお、この図で
は、仕切弁が閉じられている状態を示している。図にお
いて描画室１と材料交換室２のそれぞれの開口部には、
Ｏリングなどにより真空シールされたハウジング３が設
けられており、そのハウジング３の両側の開口部４，５
にはガイド６，７が固定されている。

【０００４】ハウジング３の上部には、エアシリンダ８
が固定されていて、エアが供給されることによってロッ
ド９が上下するように構成されている。ロッド９の先端
には、ホルダ１０が固定されており、ホルダ１０のロー
ラー１１がハウジング３の右内面に沿って上下に移動す
る。ホルダ１０の反対側にはバルブ１２が設けられてお
り、ホルダ１０とバルブ１２とは、スプリングテンショ
ン１３により引っ張りあって接続されている。バルブ１
２の反対側は、ハウジング３の左内面に向かい合ってお
り、仕切弁が閉じているときには、押し付けられるよう
になっている。バルブ１２の下方には、ストッパ１４が
設けられており、このストッパ１４はハウジング３に固
定されている。

【０００５】上記した構成において、仕切弁を開くとき
には、エアシリンダ８のロッド９がエア駆動により上昇
し、このロッド９の上昇に伴ってホルダ１０も上昇す
る。このとき、バルブ１２はスプリングテンション１３
によって右下に引かれているため、上昇せずにバルブ１
２のローラー１５がホルダ１０の左側に設けられた斜面
１０ａに沿って右に移動し、ハウジング３の左内面から
離れることになる。

【０００６】更にホルダ１０が上昇すると、バルブ１２
も上昇し、エアシリンダ８が上がり切ったときには、ハ
ウジング３の開口部の範囲内には、構造物が何もない状
態となり、搬送された材料が通過可能となる。なお、仕
切弁が閉じるときには、各構成部品は開くときと全く同
じ経路を辿り、逆方向に動作して図１の状態となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】材料の搬送は、最初に
材料交換室２から材料室１に向かって行われ、材料室に
おける所定の処理が終了した後は、材料室１から材料交
換室２に向かって材料は搬送される。この材料の搬送
は、材料ホルダ１６などに材料１７を保持し、棒状のア
ーム１８の先端に材料ホルダ１６をセットした状態で、
搬送される軌道上に設けられたガイド７，６に沿って、
材料ホルダ１６をアーム１８によって押したり、引いた
りすることによって達成される。ところが、図１に示し
た従来の仕切弁では、搬送物を案内するガイド７，６の
間にホルダ１０やバルブ１２の厚さに相当する隙間を設
ける必要がある。

【０００８】すなわち、案内するガイド７，６に大きな
切れ目を作らなければならないため、材料ホルダ１６な
どの搬送物が通過するときに、搬送物の先端が隙間部分
のガイド７，６に引っ掛かるなどして滑らかな搬送を行
うことができなかった。また、搬送の回数だけ搬送物が
ガイド７，６の切れ目に衝突するので、この衝突により
搬送物やガイドからゴミが発生する。このゴミが被描画
材料上に付着すると、描画した材料が不良となってしま
う。

【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、搬送物を滑らかに搬送することが
でき、また、ゴミの発生を極めて少なくすることができ
る真空装置を実現するにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に基づく真空装置
は、材料の観察や加工などを行う真空に排気される材料
室と、材料室に仕切弁を介して接続される材料交換室と
が設けられており、材料交換室と材料室との間で材料の
搬送を行うように構成した真空装置において、仕切弁は
バルブを上下させることによって開閉する構造を有して
おり、材料交換室から材料室への材料の搬送軌道上の仕
切弁部分の両側にはガイドが取り付けられており、ま
た、両側のガイドの間の長さに相当する長さの補助ガイ
ドが備えられ、仕切弁が開けられるときには、バルブの
上昇に伴って補助ガイドが両側のガイドの間に配置さ
れ、仕切弁が閉じられるときには、バルブの下降に伴っ
て補助ガイドが下方に退避されるように構成したことを
特徴としている。

【００１１】

【作用】本発明においては、仕切弁はバルブを上下させ
ることによって開閉され、材料交換室から材料室への材
料の搬送軌道上の仕切弁部分の両側にはガイドが取り付
けられ、また、両側のガイドの間の長さに相当する長さ
の補助ガイドが備えられており、仕切弁が開けられると
きには、バルブの上昇に伴って補助ガイドが両側のガイ
ドの間に配置され、仕切弁が閉じられるときには、バル
ブの下降に伴って補助ガイドが下方に退避される。

【００１２】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図２は本発明の一実施例である真空装置の
要部を示しており、図１の従来装置と同一構成要素には
同一番号を付してその詳細な説明は省略する。図におい
て描画室１と材料交換室２のそれぞれの開口部には、Ｏ
リングなどにより真空シールされたハウジング３が設け
られており、そのハウジング３の両側の開口部にはガイ
ド６，７が固定されている。

【００１３】ハウジング３の上部には、エアシリンダ８
が固定されていて、エアが供給されることによってロッ
ド９が上下するように構成されている。ロッド９の先端
には、ホルダ１０が固定されており、ホルダ１０のロー
ラー１１がハウジング３の右内面１０ａに沿って上下に
移動する。ホルダ１０の反対側にはバルブ１２が設けら
れており、ホルダ１０とバルブ１２とは、スプリングテ
ンション１３により引っ張りあって接続されている。バ
ルブ１２の反対側は、ハウジング３の左内面１０ｂに向
かい合っており、仕切弁が閉じているときには、押し付
けられるようになっている。

【００１４】バルブ１２の下方にはストッパ１３が設け
られており、このストッパ１３はハウジング３に固定さ
れている。また、ホルダ１０の下方には補助ガイド２０
が設けられており、この補助ガイド２０はスプリングプ
レツシャ２１によってハウジング３に接続されている。
このような構成の動作を次に説明する。

【００１５】図２の構成においても、仕切弁を開くとき
には、エアシリンダ８のロッド９をエア駆動により上昇
させ、それと共にホルダ１０を上昇させる。その際、バ
ルブ１２はスプリングテンション１３によって右下に引
かれているため、上昇せずにバルブ１２のローラー１５
がホルダ１０の斜面１０ａに沿って右に移動し、ハウジ
ング３の左内面３ｂから離れる。

【００１６】一方、ホルダ１０の下方にある補助ガイド
２０は、スプリングプレッシャ２１によって上方に押さ
れているため、補助ガイド２０はホルダ１０と共に上昇
する。更にホルダ１０が上昇すると、バルブ１２も上昇
し始めるので、ホルダ１０とバルブ１２と補助ガイド２
０の３つの部品が上昇する。次に、補助ガイド２０の高
さがハウジング３に固定してあるガイド６，７と同じ高
さになったとき、補助ガイド２０の両端がガイド６，７
に当接し、補助ガイド２０だけが上昇を停止される。

【００１７】最終的にエアシリンダ８が上がり切ったと
きには、ハウジング３の開口部の範囲内よりも上にホル
ダ１０とバルブ１２が位置し、ガイド６，７の間に補助
ガイド２０が保持された状態となる。図３は仕切弁が完
全に開けられた状態を示しており、この状態で、材料ホ
ルダ１６などに材料１７を保持し、棒状のアーム１８の
先端に材料ホルダ１６をセットした状態で、搬送される
軌道上に設けられたガイド６，７および補助ガイド２０
に沿って、材料ホルダ１６がアーム１８に押されて移動
する。

【００１８】図３に示した仕切弁が開いた状態から、逆
に仕切弁を閉じるときには、エアシリンダ８のロッド９
がエア駆動により下降し、それと共にホルダ１０とバル
ブ１２も下降する。次にホルダ１０の下端が補助ガイド
２０に当接し、補助ガイド２０の両端がガイド６，７か
ら外れ、補助ガイド２０もホルダ１０とバルブ１２と共
に下降する。このとき、補助ガイド２０はスプリングプ
レツシャ２１によって上方に押されているが、エアシリ
ンダ８の下げる力が勝っているので、補助ガイド２０は
下がり続けることになる。

【００１９】更にホルダ１０が下降すると、バルブ１２
の下端がストッパ１３に当たり、バルブ１２は下がらず
にホルダ１０と補助ガイド２０の２つの部品だけが下降
する。バルブ１２に対してホルダ１０が下降すると、斜
面１０ａがローラー１５を左に押出すように、バルブ１
２はハウジング３の左内面３ｂに押し付けられる。最終
的にエアシリンダ８が下がり切った状態で、この仕切弁
が閉じることになり、図２の状態に戻る。

【００２０】以上本発明の一実施例を詳述したが、本発
明はこの実施例に限定されない。例えば、この発明を電
子ビーム描画装置以外に走査電子顕微鏡などの電子ビー
ム装置やイオンビーム装置などにも用いることができ
る。また、材料ホルダがアームに押されて移動する方法
において、軌道上に設けるガイドを板状としたが、ロー
ラーコンベアのように複数のローラーをガイドする構成
を用いても良い。

【００２１】更に、ガイドを押し上げるスプリングプレ
ツシャをコイルバネで示したが、板バネを用いることも
可能である。また、仕切弁の駆動源としてエアシリンダ
を用いたが、スプリングを縮めて更にバルブを押し付け
る力の出るものであれば、リニアモーターなどを利用す
ることもできる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、上下
するバルブなどの構成部品の下に、それらの幅に相当す
る長さの補助ガイドを設けたので、ガイドに大きな切れ
目を無くすことができる。その為、材料ホルダなどの搬
送物を滑らかに移動させることができると共に、材料ホ
ルダなどの先端がガイドに引っ掛かりゴミを発生する恐
れもなくなる。また、新たに設けた補助ガイドがスプリ
ングにより保持されているので、仕切弁が閉じるときに
は、下方に押されてバルブの真空シール面内から逃げる
ことが可能となった。更に、仕切弁が開いたときには、
新たに設けた補助ガイドの両端がスプリングの力で従来
から設けられているガイドに押し付けられるので、各ガ
イドに段差を無くすことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の材料室と材料交換室との間に仕切弁を設
けた真空装置の要部を示す図である。

【図２】本発明の一実施例である真空装置を示す図であ
る。

【図３】図２の状態から仕切弁が開けられた状態を示す
図である。

【符号の説明】

１材料室２材料交換室３ハウジング６，７ガイド８エアシリンダ９ロッド１０ホルダ１２バルブ１３スプリングテンション１４ストッパ１６材料ホルダ１７材料１８アーム２０補助ガイド２１スプリングプレッシャ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】材料の観察や加工などを行う真空に排気
される材料室と、材料室に仕切弁を介して接続される材
料交換室とが設けられており、材料交換室と材料室との
間で材料の搬送を行うように構成した真空装置におい
て、仕切弁はバルブを上下させることによって開閉する
構造を有しており、材料交換室から材料室への材料の搬
送軌道上の仕切弁部分の両側にはガイドが取り付けられ
ており、また、両側のガイドの間の長さに相当する長さ
の補助ガイドが備えられ、仕切弁が開けられるときに
は、バルブの上昇に伴って補助ガイドが両側のガイドの
間に配置され、仕切弁が閉じられるときには、バルブの
下降に伴って補助ガイドが下方に退避されるように構成
された真空装置。