JPH08203052A - 磁気ヘッドスライダーの側面テーパ部の研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気ヘッドスライダーの両突出部に、正確且つ
安定的に側面テーパ部を形成することができる研磨装置
を提供する。 【構成】両突出部７ａを上方に向けてスライダー７を載
置可能なパッド５と、スライダーの両突出部７ａに対向
して配置され、両突出部７ａの中間に対応する位置に段
差を有するテープ貼付け板９ａ，９ｂ，１０と、該テー
プ貼付け板の段差の両側の下面に貼り付けた研磨テープ
８と、スライダーの両突出部７ａと研磨テープ８との、
左右方向の相対的な傾きと前後方向の相対的な傾きとの
うちの、少なくともいずれか一方を調節可能な調節台３
と、研磨テープ８がスライダー７ａの両突出部の側面を
テーパ状に研磨するように、該研磨テープとスライダー
とのいずれか一方を水平方向に加振する加振装置とを有
することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッドスライダ
ーの一面に設けられた左右一対の突出部の側面をテーパ
状に研磨して、両突出部に側面テーパ部を形成するため
の研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的な磁気ヘッドスライダーは、その
一面に左右一対の突出部が設けられており、この突出部
の浮上面長手方向にはスライダーと磁気ディスクの間隔
（浮上量と呼ぶ）が一定になるように左右非対称に側面
テーパ部が設けられている（図３、図４）。この側面テ
ーパ部は一般に研磨によって形成されており、側面テー
パ部を形成するための研磨装置としては、例えば特開平
６−２０３３５５号公報に開示されたものがある。これ
は、弾性体によって形成され、段差を有するパッド上に
研磨シートを固定し、該研磨シート上にスライダーの両
突出部を下方に向けて、且つ両突出部が段差を跨ぐよう
にしてスライダーを載置し、スライダーの背面をバネ付
き押えピンによって押圧し、上下方向とスライダーの両
突出部の長手方向とにパッドを加振する研磨装置であ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】磁気ヘッドスライダー
には一定の製造誤差があるが、上記従来の技術では、パ
ッドの左右方向の傾きや、前後方向の傾きを調節する手
段がないから、スライダーの左右の突出部について、所
望の側面テーパ部が得られないおそれがあり、あるいは
両突出部の長手方向について、均一な側面テーパ部が形
成されないおそれがある。また側面テーパ部のテーパ角
度θは、パッドに形成する段差の高さによって定められ
るが、弾性体によって形成されているパッドに段差を形
成するのでは、著しく不正確な段差となり、したがって
側面テーパ部のテーパ角度θに十分な精度が得られない
という問題点もある。更に上記従来の技術ではパッドを
上下方向に加振しており、すなわち研磨シートとスライ
ダーの両突出部とが衝突するように加振して研磨してい
るから、平滑な側面テーパ部を安定的に形成できないと
いう問題点もある。したがって本発明は、磁気ヘッドス
ライダーの両突出部に、正確且つ安定的に側面テーパ部
を形成することができる研磨装置を提供することを目的
とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、すなわち、磁気ヘッド
スライダーの一面に設けた両側一対の突出部の各々の側
面に、テーパ部を形成するための研磨装置において、弾
性材料によって形成され、スライダーの両突出部を上方
に向けて当該スライダーを載置可能なパッドと、該パッ
ド上に載置したスライダーの両突出部に対向して配置さ
れ、両突出部の中間に対応する位置に段差を有するテー
プ貼付け板と、該テープ貼付け板の段差の両側の下面に
貼り付けた研磨テープと、スライダーの両突出部と研磨
テープとの、左右方向の相対的な傾きと前後方向の相対
的な傾きとのうちの、少なくともいずれか一方を調節可
能な調節台と、研磨テープがスライダーの両突出部の側
面をテーパ状に研磨するように、該研磨テープとスライ
ダーとのいずれか一方を水平方向に加振する加振装置と
を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダーの側面
テーパ部の研磨装置である。その際、前記調節台、及び
加振装置は、研磨テープの側に取り付けることもできる
し、スライダーの側に取り付けることもできる。

【０００５】

【実施例】本発明を図面によって説明する。図面は本発
明の一実施例を示し、下部基台１は昇降装置（図示せ
ず）によって昇降できるように配置されており、また移
動装置（図示せず）によって、紙面の手前側と奥側の方
向、すなわち磁気ヘッドスライダー７の両突出部７ａの
長手方向に沿う方向に移動できるように配置されてい
る。下部基台１には凹溝１ａと、この凹溝１ａに連通す
る吸気孔１ｂとが設けられており、吸気孔１ｂには吸引
装置（図示せず）が接続されており、こうして下部基台
１上に、真空吸着によって下部固定具２が固定されてい
る。この下部固定具２上に、調節台３が固定されてい
る。

【０００６】調節台３は３層の板３ａ，３ｂ，３ｃを有
し、第１層３ａと第２層３ｂとは、中央部において前後
方向に伸びる前後方向連結部３ｄによって連結されてお
り、第２層３ｂと第３層３ｃとは、中央部において左右
方向に伸びる左右方向連結部３ｅによって連結されてい
る。第１層３ａの前後方向中央の左右端と、左右方向中
央の前後端には、それぞれめねじが設けられており、左
右端のめねじは第１層３ａのみを貫通しており、これに
螺入される左調節ねじ４ａと右調節ねじ４ｂの下端は、
第２層３ｂの上面に当接している。他方、前後端のめね
じは第１層３ａと第２層３ｂを貫通しており、これに螺
入される前調節ねじ４ｃと後ろ調節ねじ４ｄの下端は、
第３層３ｃの上面に当接している。したがって左調節ね
じ４ａをねじ戻して右調節ねじ４ｂをねじ込むと、調節
台３の上面は水平方向左方に傾斜し、右調節ねじ４ｂを
ねじ戻して左調節ねじ４ａをねじ込むと、調節台３の上
面は水平方向右方に傾斜する。同様に前調節ねじ４ｃを
ねじ戻して後ろ調節ねじ４ｄをねじ込むと、調節台３の
上面は水平方向前方に傾斜し、後ろ調節ねじ４ｄをねじ
戻して前調節ねじ４ｃをねじ込むと、調節台３の上面は
水平方向後方に傾斜する。

【０００７】調節台３の上面には、原形状が平板状のゴ
ム製のパッド５が接着固定されており、パッド５の上面
には、磁気ヘッドスライダー７を、その左右一対の突出
部７ａを上方に向けて載置できる固定枠６が接着固定さ
れている。すなわちスライダー７の一面には左右一対の
突出部７ａが形成されているが、本実施例では突出部７
ａが上方を向くようにして、スライダー７を固定枠６の
中に載置している。

【０００８】スライダー７の上方には、上部基台１１が
設けられている。上部基台１１は加振装置（図示せず）
によって図１の左右方向、すなわちスライダーの両突出
部７ａの長手方向と直交する方向に加振されるように配
置されている。上部基台１１には凹溝１１ａと、この凹
溝１１ａに連通する吸気孔１１ｂとが設けられており、
吸気孔１１ｂには吸引装置（図示せず）が接続されてお
り、こうして上部基台１１の下面に、真空吸着によって
上部固定具１０が固定されている。上部固定具１０の下
面には、テープ貼付け薄肉板９ａとテープ貼付け厚肉板
９ｂとが相隣接して固定されており、両貼付け板９ａ，
９ｂの境界に形成される段差は、スライダーの両突出部
７ａの中間に位置するように配置されている。両貼付け
板９ａ，９ｂの下面には、それぞれ研磨テープ８が貼り
付けられている。

【０００９】本実施例は以上のように構成されており、
磁気ヘッドスライダー７を、その両突出部７ａを上方に
向けてパッド５上の固定枠６の中に載置し、研磨テープ
８とスライダーの両突出部７ａとが互いに押圧するまで
下部基台１を上昇させると、スライダーの両突出部７ａ
は、それぞれテープ貼付け薄肉板９ａとテープ貼付け厚
肉板９ｂの下面に貼り付けた研磨テープ８に当接し、更
に研磨テープ８を押圧する。この状態において、両貼付
け板９ａ，９ｂは肉厚が異なるから、テープ貼付け厚肉
板９ｂ側に当接する突出部７ａは、図１に示すようにパ
ッド５内により深くしずみ込む。したがってスライダー
７は、両突出部７ａの間隔と、両貼付け板９ａ，９ｂの
境界に形成される段差とに応じて定まる角度だけ、僅か
に傾斜する。しかる後、加振装置によって上部基台１１
を図面左右方向に加振し、これと同時に下部基台１を紙
面に対して垂直方向に移動させると、スライダーの両突
出部７ａは研磨テープ８によって研磨されて、両突出部
７ａのそれぞれの一側に側面テーパ部７ｂが形成され
る。

【００１０】しかしてスライダー７には一定の製造誤差
があるが、本実施例ではスライダー７は調節台３上に配
置されており、調節台３はその上面の左右方向の傾きと
前後方向の傾きとを調節することができ、しかも調節台
３は下部基台１上に配置されており、下部基台１は昇降
装置（図示せず）により昇降量を調節することができる
から、スライダー７に製造上の誤差があっても正確な側
面テーパ部７ｂを形成することができる。また本実施例
では、下部固定具２は真空吸着によって下部基台１に固
定されており、上部固定具１０は真空吸着によって上部
基台１１に固定されているから、下部固定具２と上部固
定具１０との取付け・取り外しを迅速に行うことがで
き、したがってスライダー７の交換と研磨テープ８の交
換とを、共に迅速に行うことができる。

【００１１】また本実施例では、テープ貼付け薄肉板９
ａとテープ貼付け厚肉板９ｂとを相隣接して上部固定具
１０に固定しており、すなわち両貼付け板９ａ，９ｂを
別体に製造しているから、各々の貼付け板９ａ，９ｂの
肉厚を精度良く製造することができ、したがって両貼付
け板９ａ，９ｂの境界に形成される段差の精度が高くな
るから、スライダーの両突出部の側面テーパ部７ｂのテ
ーパ角度θの精度を向上することができる。また本実施
例では、両貼付け板９ａ，９ｂの下面のそれぞれに研磨
テープ８が貼り付けられているから、各研磨テープ８は
両貼付け板９ａ，９ｂの下面にむらなく貼り付けられ、
したがってスライダーの両突出部の側面テーパ部７ｂを
正確に研磨することができる。更に本実施例では、加振
装置によってスライダーの両突出部７ａの長手方向と直
交する方向に加振すると同時に、スライダーの両突出部
の長手方向に沿う方向に移動させているから、平滑な側
面テーパ部７ｂを安定的に形成することができる。本実
施例の装置を用いて側面テーパ加工を行なった結果、Ｗ
は目標８０μｍに対し±３μｍ以内、θは目標の１°に
対して±０．０５°以内の精度で形成できた。

【００１２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気ヘッ
ドスライダーの両突出部の側面に極めて正確且つ安定的
に側面テーパ部を形成することができる研磨装置が得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す部分断面要部正面図

【図２】調節台を示す斜視図

【図３】磁気ヘッドスライダーの一例を示す斜視図

【図４】同じく横断面図

【符号の説明】

１…下部基台 １ａ…凹溝 １
ｂ…吸気孔 ２…下部固定具 ３…調節台 ３
ａ…第１層 ３ｂ…第２層 ３ｃ…第３層 ３
ｄ…前後方向連結部 ３ｅ…左右方向連結部 ４ａ…左調節ねじ ４
ｂ…右調節ねじ ４ｃ…前調節ねじ ４ｄ…後ろ調節ねじ ５
…パッド ６…固定枠 ７…磁気ヘッドスライダー ７ａ…突出部 ７ｂ…側面テーパ部 ８
…研磨テープ ９ａ…テープ貼付け薄肉板 ９
ｂ…テープ貼付け厚肉板 １０…上部固定具 １１…上部基台 １
１ａ…凹溝 １１ｂ…吸気孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 好夫 栃木県真岡市松山町18番地 日立金属株式 会社電子部品工場内 (72)発明者 戸練 八峰 栃木県真岡市松山町18番地 日立金属株式 会社電子部品工場内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気ヘッドスライダーの一面に設けた両側
   一対の突出部の各々の側面に、テーパ部を形成するため
   の研磨装置において、 弾性材料によって形成され、スライダーの前記両突出部
   を上方に向けて当該スライダーを載置可能なパッドと、 該パッド上に載置したスライダーの前記両突出部に対向
   して配置され、両突出部の中間に対応する位置に段差を
   有するテープ貼付け板と、 該テープ貼付け板の前記段差の両側の下面に貼り付けた
   研磨テープと、 スライダーの前記両突出部と前記研磨テープとの、左右
   方向の相対的な傾きと前後方向の相対的な傾きとのうち
   の、少なくともいずれか一方を調節可能な調節台と、 前記研磨テープがスライダーの前記両突出部の側面をテ
   ーパ状に研磨するように、該研磨テープとスライダーと
   のいずれか一方を水平方向に加振する加振装置とを有す
   ることを特徴とする磁気ヘッドスライダーの側面テーパ
   部の研磨装置。
2. 【請求項２】前記パッドを前記調節台の上に固定し、 該調節台と前記テープ貼付け板とを、それぞれ真空吸着
   によって下部基台と上部基台とに取り付けた、請求項１
   記載の磁気ヘッドスライダーの側面テーパ部の研磨装
   置。
3. 【請求項３】前記調節台は、３層の板を有し、 第１層と第２層とは中央部前後方向に伸びる前後方向連
   結部によって連結し、第２層と第３層とは中央部左右方
   向に伸びる左右方向連結部によって連結し、 前記第１層の左右端からは前記第２層の上面に当接する
   左右方向調節ねじを螺入し、前記第１層の前後端からは
   前記第３層の上面に当接する前後方向調節ねじを螺入し
   た、請求項１又は２記載の磁気ヘッドスライダーの側面
   テーパ部の研磨装置。
4. 【請求項４】前記テープ貼付け板は、テープ貼付け薄肉
   板とテープ貼付け厚肉板と上部固定具とからなり、テー
   プ貼付け薄肉板とテープ貼付け厚肉板とを相隣接して上
   部固定具に固定して前記段差を形成した、請求項１、２
   又は３記載の磁気ヘッドスライダーの側面テーパ部の研
   磨装置。
5. 【請求項５】テープ貼付け板の段差の前記両側の下面
   に、それぞれ別体の研磨テープを貼り付けた、請求項
   １、２、３又は４記載の磁気ヘッドスライダーの側面テ
   ーパ部の研磨装置。
6. 【請求項６】前記加振装置は、スライダーの前記両突出
   部の長手方向と直交する方向に加振するものである、請
   求項１、２、３、４又は５記載の磁気ヘッドスライダー
   の側面テーパ部の研磨装置。
7. 【請求項７】加振装置による前記加振と同時に、スライ
   ダーの前記両突出部の長手方向に、前記研磨テープとス
   ライダーとのいずれか一方を移動させた、請求項６記載
   の磁気ヘッドスライダーの側面テーパ部の研磨装置。