JPH08199458A - スパッタ用耐熱シート - Google Patents
スパッタ用耐熱シートInfo
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- JPH08199458A JPH08199458A JP7026242A JP2624295A JPH08199458A JP H08199458 A JPH08199458 A JP H08199458A JP 7026242 A JP7026242 A JP 7026242A JP 2624295 A JP2624295 A JP 2624295A JP H08199458 A JPH08199458 A JP H08199458A
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- JP
- Japan
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- heat
- resistant
- nonwoven fabric
- fibers
- sputtering
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
- Nonwoven Fabrics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 屈曲性及び作業性に優れたスパッタ用耐熱シ
ートを提供すること。 【構成】 本発明のスパッタ用耐熱シートは、耐熱性繊
維からなる、凸部と凹部とを有する、目付１００〜３５
０g/m2の絡合不織布の片面に、易密着性かつ易剥離性の
発泡樹脂体を有するものである。
ートを提供すること。 【構成】 本発明のスパッタ用耐熱シートは、耐熱性繊
維からなる、凸部と凹部とを有する、目付１００〜３５
０g/m2の絡合不織布の片面に、易密着性かつ易剥離性の
発泡樹脂体を有するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は溶接又は溶断などの作業
中に飛散するスパッタ、ノロ、或いは火花から、溶接又
は溶断部周辺の部材を保護するために使用するスパッタ
用耐熱シートに関する。
中に飛散するスパッタ、ノロ、或いは火花から、溶接又
は溶断部周辺の部材を保護するために使用するスパッタ
用耐熱シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、自動車の溶接又は溶断工程を伴
う補修の場合、この溶接又は溶断工程において飛散する
スパッタ、ノロ、或いは火花により、車体の塗装面、窓
ガラス、タイヤ、内装シート、或いはドアミラーやバン
パーなどのプラスチック部分が損傷するという問題があ
った。そのため、溶接又は溶断部周辺を保護するための
耐熱シートとして、カーボン繊維、ガラス繊維、或いは
酸化アクリル繊維などの耐熱性繊維からなる、織物やニ
ードルで絡合したフェルト、或いはこれら織物やフェル
トにシリコーン樹脂又は無機粉体混合シリコーン樹脂を
コーティングしたものが使用され、この耐熱シートを固
定するために粘着テープ、クリップ、磁石などを使用し
たり、耐熱シートで溶接又は溶断部以外を全体的に覆っ
て使用していた。しかしながら、耐熱シート、特に、シ
リコーン樹脂をコーティングした耐熱シートは、大量の
シリコーン樹脂をコーティングして耐熱性をもたせてい
るため、屈曲性が小さく、ドアミラーなどの小さい部材
を覆って保護しにくかった。しかもこの耐熱シートを粘
着テープで固定すると粘着剤が塗装面に粘着しやすく、
クリップで固定すると外れやすく、磁石で固定すると磁
石付近の鉄粉を付着して塗装面などを傷つけやすく、更
に、全体的に覆うと、非常に作業性の悪いものであっ
た。
う補修の場合、この溶接又は溶断工程において飛散する
スパッタ、ノロ、或いは火花により、車体の塗装面、窓
ガラス、タイヤ、内装シート、或いはドアミラーやバン
パーなどのプラスチック部分が損傷するという問題があ
った。そのため、溶接又は溶断部周辺を保護するための
耐熱シートとして、カーボン繊維、ガラス繊維、或いは
酸化アクリル繊維などの耐熱性繊維からなる、織物やニ
ードルで絡合したフェルト、或いはこれら織物やフェル
トにシリコーン樹脂又は無機粉体混合シリコーン樹脂を
コーティングしたものが使用され、この耐熱シートを固
定するために粘着テープ、クリップ、磁石などを使用し
たり、耐熱シートで溶接又は溶断部以外を全体的に覆っ
て使用していた。しかしながら、耐熱シート、特に、シ
リコーン樹脂をコーティングした耐熱シートは、大量の
シリコーン樹脂をコーティングして耐熱性をもたせてい
るため、屈曲性が小さく、ドアミラーなどの小さい部材
を覆って保護しにくかった。しかもこの耐熱シートを粘
着テープで固定すると粘着剤が塗装面に粘着しやすく、
クリップで固定すると外れやすく、磁石で固定すると磁
石付近の鉄粉を付着して塗装面などを傷つけやすく、更
に、全体的に覆うと、非常に作業性の悪いものであっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決するためになされたものであり、屈曲性及び作業
性に優れたスパッタ用耐熱シートを提供することにあ
る。
を解決するためになされたものであり、屈曲性及び作業
性に優れたスパッタ用耐熱シートを提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のスパッタ用耐熱
シート（以下、「スパッタシート」という）は、耐熱性
繊維からなる、凸部と凹部とを有する、目付１００〜３
５０g/m2の絡合不織布の片面に、易密着性かつ易剥離性
の発泡樹脂体を有するものである。
シート（以下、「スパッタシート」という）は、耐熱性
繊維からなる、凸部と凹部とを有する、目付１００〜３
５０g/m2の絡合不織布の片面に、易密着性かつ易剥離性
の発泡樹脂体を有するものである。
【０００５】
【作用】本発明のスパッタシートは、凸部と凹部とを有
しているため、この凸部と凹部との間で屈曲しやすく、
しかも目付１００〜３５０g/m2の軽い絡合不織布を使用
し、易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体を有しているた
め、固定が容易で脱落しにくく、また、磁石のように鉄
粉を付着しないので、塗装面などを傷をつけることがな
く、更には、溶接又は溶断部周辺を部分的に覆って作業
できるため、作業性に優れたものである。
しているため、この凸部と凹部との間で屈曲しやすく、
しかも目付１００〜３５０g/m2の軽い絡合不織布を使用
し、易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体を有しているた
め、固定が容易で脱落しにくく、また、磁石のように鉄
粉を付着しないので、塗装面などを傷をつけることがな
く、更には、溶接又は溶断部周辺を部分的に覆って作業
できるため、作業性に優れたものである。
【０００６】このスパッタシートを構成する耐熱性繊維
は、スパッタやノロなどによって分解しにくいように、
酸素限界指数（ＬＯＩ値）が２５以上のものが好まし
い。このような耐熱性繊維として、例えば、酸化アクリ
ル繊維、レーヨン系酸化繊維、カーボン繊維、ガラス繊
維、メタ又はパラ型アラミド繊維、ポリアミドイミド繊
維、芳香族ポリエーテルアミド繊維、ポリベンツイミダ
ゾール繊維、ノボロイド繊維、ポリベンツビスオキサゾ
ール繊維などを単独で、或いは混合して使用できる。こ
れらの中でも酸化アクリル繊維は、ＬＯＩ値が５０〜６
０と高く、しかも絡合、特に水流で絡合しやすいため、
好適に使用できる。
は、スパッタやノロなどによって分解しにくいように、
酸素限界指数（ＬＯＩ値）が２５以上のものが好まし
い。このような耐熱性繊維として、例えば、酸化アクリ
ル繊維、レーヨン系酸化繊維、カーボン繊維、ガラス繊
維、メタ又はパラ型アラミド繊維、ポリアミドイミド繊
維、芳香族ポリエーテルアミド繊維、ポリベンツイミダ
ゾール繊維、ノボロイド繊維、ポリベンツビスオキサゾ
ール繊維などを単独で、或いは混合して使用できる。こ
れらの中でも酸化アクリル繊維は、ＬＯＩ値が５０〜６
０と高く、しかも絡合、特に水流で絡合しやすいため、
好適に使用できる。
【０００７】耐熱性繊維の繊度は、スパッタシートを緻
密な構造として、スパッタやノロなどによって貫通しに
くいように、１０デニール以下であるのが好ましく、５
デニール以下であるのがより好ましい。また、繊維長は
耐熱性繊維同士が絡合しやすいように、３〜１１０mmで
あるのが好ましく、５〜８０mmであるのがより好まし
い。
密な構造として、スパッタやノロなどによって貫通しに
くいように、１０デニール以下であるのが好ましく、５
デニール以下であるのがより好ましい。また、繊維長は
耐熱性繊維同士が絡合しやすいように、３〜１１０mmで
あるのが好ましく、５〜８０mmであるのがより好まし
い。
【０００８】この耐熱性繊維から繊維ウエブを形成した
後に、水流又はニードルで絡合して不織布を得る。この
繊維ウエブを形成する方法として、例えば、湿式法や、
カード法、エアレイ法などの乾式法などの方法がある。
湿式法は均一で、しかも緻密な構造の不織布を形成で
き、乾式法は、強度的により優れた不織布を形成でき
る。なお、カード法により繊維ウエブを形成する場合、
繊維ウエブの流れ方向に対して交差する交差ウエブを含
ませると、より繊維同士が絡みやすく、しかも横方向の
強度に優れる不織布を形成できるため、好適である。ま
た、湿式法により得た繊維ウエブと、乾式法により得た
繊維ウエブとを積層したり、繊度、繊維長、組成、或い
は配合比など、種類の異なる繊維ウエブを積層しても良
い。
後に、水流又はニードルで絡合して不織布を得る。この
繊維ウエブを形成する方法として、例えば、湿式法や、
カード法、エアレイ法などの乾式法などの方法がある。
湿式法は均一で、しかも緻密な構造の不織布を形成で
き、乾式法は、強度的により優れた不織布を形成でき
る。なお、カード法により繊維ウエブを形成する場合、
繊維ウエブの流れ方向に対して交差する交差ウエブを含
ませると、より繊維同士が絡みやすく、しかも横方向の
強度に優れる不織布を形成できるため、好適である。ま
た、湿式法により得た繊維ウエブと、乾式法により得た
繊維ウエブとを積層したり、繊度、繊維長、組成、或い
は配合比など、種類の異なる繊維ウエブを積層しても良
い。
【０００９】本発明の絡合方法としては水流による方法
と、ニードルによる方法とがあるが、前者の方がより緻
密に繊維を絡ませることができ、強度的にもより優れ、
しかも容易に凸部と凹部とを有する不織布を形成できる
ため、より好ましい。本発明のスパッタシートは凸部と
凹部とを形成しているため、凸部と凹部との境界で屈曲
しやすく、ドアミラーなどの小さい部材に沿って変形さ
せて被覆することができ、保護作用に優れている。
と、ニードルによる方法とがあるが、前者の方がより緻
密に繊維を絡ませることができ、強度的にもより優れ、
しかも容易に凸部と凹部とを有する不織布を形成できる
ため、より好ましい。本発明のスパッタシートは凸部と
凹部とを形成しているため、凸部と凹部との境界で屈曲
しやすく、ドアミラーなどの小さい部材に沿って変形さ
せて被覆することができ、保護作用に優れている。
【００１０】この凸部と凹部とはスパッタシートの一方
向に連続して形成しても良いし、点状又は線状に部分的
に形成しても良いが、前者の方がより屈曲性に優れてい
るため、より好適である。一方向に連続して形成する方
法としては、例えば、水流を噴出するノズルのピッチを
長く、具体的には、１.０〜１０.０mmとしたり、繊維ウ
エブの支持体として、主として繊維ウエブの流れ方向に
連続した孔を長いピッチをおいて有する多孔板、具体的
には、１.０〜３.０mmの幅を有する孔を、１.０〜１０.
０mmのピッチで配置する方法がある。前者の方法は、よ
り繊維を絡合しやすいため、より好適な方法である。他
方、点状又は線状に形成する方法としては、例えば、一
方向に連続して形成する方法と同様にして水流を作用さ
せる際に、ノズルと繊維ウエブとの間に邪魔板を設置
し、水流の作用しない領域を形成する方法がある。な
お、この凸部と凹部はスパッタシートの少なくとも片面
にあれば良い。
向に連続して形成しても良いし、点状又は線状に部分的
に形成しても良いが、前者の方がより屈曲性に優れてい
るため、より好適である。一方向に連続して形成する方
法としては、例えば、水流を噴出するノズルのピッチを
長く、具体的には、１.０〜１０.０mmとしたり、繊維ウ
エブの支持体として、主として繊維ウエブの流れ方向に
連続した孔を長いピッチをおいて有する多孔板、具体的
には、１.０〜３.０mmの幅を有する孔を、１.０〜１０.
０mmのピッチで配置する方法がある。前者の方法は、よ
り繊維を絡合しやすいため、より好適な方法である。他
方、点状又は線状に形成する方法としては、例えば、一
方向に連続して形成する方法と同様にして水流を作用さ
せる際に、ノズルと繊維ウエブとの間に邪魔板を設置
し、水流の作用しない領域を形成する方法がある。な
お、この凸部と凹部はスパッタシートの少なくとも片面
にあれば良い。
【００１１】なお、前記の水流絡合条件以外の条件とし
ては、例えば、ノズル径０.０５〜０.３mm、噴出圧力１
０〜３００kg/cm2で作用させれば良い。また、処理回数
も１回である必要はなく、２回以上処理しても良いし、
処理面も片面である必要はなく、両面を処理しても良
い。
ては、例えば、ノズル径０.０５〜０.３mm、噴出圧力１
０〜３００kg/cm2で作用させれば良い。また、処理回数
も１回である必要はなく、２回以上処理しても良いし、
処理面も片面である必要はなく、両面を処理しても良
い。
【００１２】このスパッタシートにおける凸部の幅（一
方向に連続している場合には、不連続方向）は、１〜１
０mmであるのが好ましい。１mm未満であっても、１０mm
を越えても、屈曲性が低下するためである。
方向に連続している場合には、不連続方向）は、１〜１
０mmであるのが好ましい。１mm未満であっても、１０mm
を越えても、屈曲性が低下するためである。
【００１３】本発明の絡合不織布は絡合度合が高く、少
量の繊維でも強度及び保護作用に優れているため、１０
０〜３５０g/m2という低目付とすることが可能となり、
作業性に優れたものとなった。より好ましい目付は、１
２０〜２５０g/m2である。また、凸部の厚さは瞬時の断
熱性に優れるように０.８mm以上で、屈曲性を損わない
ように５mm以下であるのが好ましく、１〜２mmであるの
がより好ましい。
量の繊維でも強度及び保護作用に優れているため、１０
０〜３５０g/m2という低目付とすることが可能となり、
作業性に優れたものとなった。より好ましい目付は、１
２０〜２５０g/m2である。また、凸部の厚さは瞬時の断
熱性に優れるように０.８mm以上で、屈曲性を損わない
ように５mm以下であるのが好ましく、１〜２mmであるの
がより好ましい。
【００１４】本発明のスパッタシートはこの絡合不織布
の片面に易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体を接合する
ことによって、より作業性を向上させたものである。こ
の易密着性かつ易剥離性とは、密着と剥離とを１０回繰
り返した後の、密着させた物体との９０゜ピール接着力
が、常温において１０〜５０ｇ／5cm幅であることをい
う。この易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体としては、
例えば、発泡樹脂の表面に微孔を有し、吸盤のように密
着するものが好ましく、より好ましくは、表面のみなら
ず内部にも微孔を有し、この内部の微孔と表面の微孔及
び他の内部の微孔とが繋がったもの、最も好ましくは、
前記内部の微孔が表面の微孔よりも大きいものである。
の片面に易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体を接合する
ことによって、より作業性を向上させたものである。こ
の易密着性かつ易剥離性とは、密着と剥離とを１０回繰
り返した後の、密着させた物体との９０゜ピール接着力
が、常温において１０〜５０ｇ／5cm幅であることをい
う。この易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体としては、
例えば、発泡樹脂の表面に微孔を有し、吸盤のように密
着するものが好ましく、より好ましくは、表面のみなら
ず内部にも微孔を有し、この内部の微孔と表面の微孔及
び他の内部の微孔とが繋がったもの、最も好ましくは、
前記内部の微孔が表面の微孔よりも大きいものである。
【００１５】この発泡樹脂体を構成する樹脂としては、
例えば、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹
脂、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、フッ素樹
脂、ポリアセタール樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹
脂、ブタジエン系合成ゴムを単独で、又は混合して使用
できる。これらの中でも、ウレタン樹脂を含む発泡樹脂
は繰り返し密着させることができ、しかも容易に剥離す
ることができるので好適に使用できる。この発泡樹脂体
は機械的に発泡して得ることができるが、必要であれ
ば、起泡剤などを使用しても良い。
例えば、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹
脂、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、フッ素樹
脂、ポリアセタール樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹
脂、ブタジエン系合成ゴムを単独で、又は混合して使用
できる。これらの中でも、ウレタン樹脂を含む発泡樹脂
は繰り返し密着させることができ、しかも容易に剥離す
ることができるので好適に使用できる。この発泡樹脂体
は機械的に発泡して得ることができるが、必要であれ
ば、起泡剤などを使用しても良い。
【００１６】この発泡樹脂体の厚さは被密着面が曲面で
あっても密着できるように、１００〜５００μmである
のが好ましい。また、この発泡樹脂体は全体的に接合し
ても良いが、部分的、例えば、絡合不織布の両端に接合
すれば、絡合不織布の屈曲性を損わないので、より好ま
しい。
あっても密着できるように、１００〜５００μmである
のが好ましい。また、この発泡樹脂体は全体的に接合し
ても良いが、部分的、例えば、絡合不織布の両端に接合
すれば、絡合不織布の屈曲性を損わないので、より好ま
しい。
【００１７】この発泡樹脂体と絡合不織布の接合方法と
しては、接着剤を塗布して接着しても良いし、両面テー
プなどで接合しても良い。
しては、接着剤を塗布して接着しても良いし、両面テー
プなどで接合しても良い。
【００１８】本発明のスパッタシートは発泡樹脂体を溶
接又は溶断部以外の保護する必要のある箇所に密着させ
て使用するが、屈曲性に優れているため、これらの形状
に沿って覆って保護することができ、軽く、発泡樹脂体
で容易に密着及び剥離できるため、作業性にも優れてい
る。そのため、本発明のスパッタシートは溶接又は溶断
作業により発生するノロ、スパッタ或いは火花から保護
する必要のある箇所、例えば、自動車、住宅、船などの
溶接又は溶断工程を伴う補修箇所周辺に使用することの
できるものである。なお、本発明のスパッタシートは不
織布であり、しかも絡合の度合が高いため、裁断して
も、編物のように、端部から解れるという問題も生じな
いので、適当な大きさに裁断して使用できる汎用性の高
いものである。
接又は溶断部以外の保護する必要のある箇所に密着させ
て使用するが、屈曲性に優れているため、これらの形状
に沿って覆って保護することができ、軽く、発泡樹脂体
で容易に密着及び剥離できるため、作業性にも優れてい
る。そのため、本発明のスパッタシートは溶接又は溶断
作業により発生するノロ、スパッタ或いは火花から保護
する必要のある箇所、例えば、自動車、住宅、船などの
溶接又は溶断工程を伴う補修箇所周辺に使用することの
できるものである。なお、本発明のスパッタシートは不
織布であり、しかも絡合の度合が高いため、裁断して
も、編物のように、端部から解れるという問題も生じな
いので、適当な大きさに裁断して使用できる汎用性の高
いものである。
【００１９】
（実施例）耐熱性繊維として酸化アクリル繊維（ＬＯＩ
値５０〜６０、瞬間耐熱温度１,０００℃、繊度２デニ
ール、繊維長５１mm）をカード機により開繊した繊維ウ
エブをクロスレイヤーで交差させて繊維ウエブを得た。
次いで、この繊維ウエブを５ｍ／分で移動する８０メッ
シュのネット上に載せ、孔径０.１８mm、ピッチ２.４mm
で一列に配列したノズルから圧力９０kg/cm2、繊維ウエ
ブに対する角度９０゜で水流を噴出した後、反転させ
て、孔径０.１２mm、ピッチ０.６mmで一列に配列したノ
ズルから圧力９０kg/cm2、繊維ウエブに対する角度９０
゜で水流を噴出して繊維ウエブを絡合し、凸部と凹部と
を片面に一方向に連続して形成した、凸部の厚さ１.５m
m、凸部の幅２mm、凹部の幅０.５mm、目付２００g/m2の
絡合不織布を得た。次いで、この絡合不織布の幅方向両
端に、５cm幅の両面テープ（大日本インキ化学工業
（株）製、ダイタック）を粘着した後、表面及び内面に
微孔を有し、内面の微孔は表面の微孔よりも大きく、し
かも内面の微孔は表面の微孔及び他の内面の微孔と繋が
った、ウレタン樹脂を主成分とする、密着と剥離とを１
０回繰り返した後の、常温におけるアクリル塗装板との
９０゜ピール接着力２０g/5cmの発泡樹脂テープ（幅５c
m、厚さ４００μm、大日本インキ化学工業（株）製、パ
ピラルＢ−００４Ｌ）を貼着してスパッタシートを得
た。このスパッタシートを自動車のフェンダー溶接を伴
う補修箇所周辺に使用したところ、車体に沿って補修箇
所周辺を覆って固定することができ、軽く、容易に密着
及び剥離することができるので作業性に優れ、しかもノ
ロ、スパッタ及び火花から容易に保護することができ
た。
値５０〜６０、瞬間耐熱温度１,０００℃、繊度２デニ
ール、繊維長５１mm）をカード機により開繊した繊維ウ
エブをクロスレイヤーで交差させて繊維ウエブを得た。
次いで、この繊維ウエブを５ｍ／分で移動する８０メッ
シュのネット上に載せ、孔径０.１８mm、ピッチ２.４mm
で一列に配列したノズルから圧力９０kg/cm2、繊維ウエ
ブに対する角度９０゜で水流を噴出した後、反転させ
て、孔径０.１２mm、ピッチ０.６mmで一列に配列したノ
ズルから圧力９０kg/cm2、繊維ウエブに対する角度９０
゜で水流を噴出して繊維ウエブを絡合し、凸部と凹部と
を片面に一方向に連続して形成した、凸部の厚さ１.５m
m、凸部の幅２mm、凹部の幅０.５mm、目付２００g/m2の
絡合不織布を得た。次いで、この絡合不織布の幅方向両
端に、５cm幅の両面テープ（大日本インキ化学工業
（株）製、ダイタック）を粘着した後、表面及び内面に
微孔を有し、内面の微孔は表面の微孔よりも大きく、し
かも内面の微孔は表面の微孔及び他の内面の微孔と繋が
った、ウレタン樹脂を主成分とする、密着と剥離とを１
０回繰り返した後の、常温におけるアクリル塗装板との
９０゜ピール接着力２０g/5cmの発泡樹脂テープ（幅５c
m、厚さ４００μm、大日本インキ化学工業（株）製、パ
ピラルＢ−００４Ｌ）を貼着してスパッタシートを得
た。このスパッタシートを自動車のフェンダー溶接を伴
う補修箇所周辺に使用したところ、車体に沿って補修箇
所周辺を覆って固定することができ、軽く、容易に密着
及び剥離することができるので作業性に優れ、しかもノ
ロ、スパッタ及び火花から容易に保護することができ
た。
【００２０】（比較例）レーヨン系酸化繊維からなる織
物にシリコーン樹脂を含浸したスパッタシート（クレト
イシ（株）製、タイエンテックスＴＲ−７６２）を自動
車のフェンダー溶接を伴う補修箇所周辺に使用しようと
したが、剛直で、しかも重く、粘着テープで固定するこ
とができなかった。
物にシリコーン樹脂を含浸したスパッタシート（クレト
イシ（株）製、タイエンテックスＴＲ−７６２）を自動
車のフェンダー溶接を伴う補修箇所周辺に使用しようと
したが、剛直で、しかも重く、粘着テープで固定するこ
とができなかった。
【００２１】
【発明の効果】本発明のスパッタ用耐熱シートは、耐熱
性繊維からなる、凸部と凹部とを有する、目付１００〜
３５０g/m2の絡合不織布の片面に、易密着性かつ易剥離
性の発泡樹脂体を有しているため、屈曲性及び作業性に
優れたものである。
性繊維からなる、凸部と凹部とを有する、目付１００〜
３５０g/m2の絡合不織布の片面に、易密着性かつ易剥離
性の発泡樹脂体を有しているため、屈曲性及び作業性に
優れたものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｄ０４Ｈ 1/42 Ｚ
Claims (1)
- 【請求項１】 耐熱性繊維からなる、凸部と凹部とを有
する、目付１００〜３５０g/m2の絡合不織布の片面に、
易密着性かつ易剥離性の発泡樹脂体を有することを特徴
とするスパッタ用耐熱シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02624295A JP3436820B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | スパッタ用耐熱シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02624295A JP3436820B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | スパッタ用耐熱シート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08199458A true JPH08199458A (ja) | 1996-08-06 |
| JP3436820B2 JP3436820B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=12187841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02624295A Expired - Fee Related JP3436820B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | スパッタ用耐熱シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3436820B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1995
- 1995-01-19 JP JP02624295A patent/JP3436820B2/ja not_active Expired - Fee Related
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