JPH08193881A - 赤外線検出装置 - Google Patents
赤外線検出装置Info
- Publication number
- JPH08193881A JPH08193881A JP3477795A JP3477795A JPH08193881A JP H08193881 A JPH08193881 A JP H08193881A JP 3477795 A JP3477795 A JP 3477795A JP 3477795 A JP3477795 A JP 3477795A JP H08193881 A JPH08193881 A JP H08193881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- light
- infrared
- thermal deformation
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 特殊な赤外線センサを用いることなく、普通
の可視光による光センサを用いて赤外線を検出できるよ
うにする。 【構成】 表面に赤外線の熱吸収層が、裏面に光反射層
が設けられ、表面に照射される赤外線の熱の吸収によっ
て変形する熱変形素子と、その熱変形素子の裏面に可視
光による参照光を照射する手段と、その熱変形素子の裏
面からの反射光を光センサにより受光して、その受光量
から熱変形素子の変形状態を検出する手段とをとるよう
にする。
の可視光による光センサを用いて赤外線を検出できるよ
うにする。 【構成】 表面に赤外線の熱吸収層が、裏面に光反射層
が設けられ、表面に照射される赤外線の熱の吸収によっ
て変形する熱変形素子と、その熱変形素子の裏面に可視
光による参照光を照射する手段と、その熱変形素子の裏
面からの反射光を光センサにより受光して、その受光量
から熱変形素子の変形状態を検出する手段とをとるよう
にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線を検出する赤外
線検出装置に関する。
線検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、「ＥＭＣ Ｎｏ．１９ 赤外線セ
ンサ（１）」（１９８９年１１月５日発行）に示される
ように、赤外線に感度を示すＩｎＳｂ，ＨｇＣｄＴｅな
どの半導体センサ素子を用いて、赤外線を直接検出する
ようにしている。
ンサ（１）」（１９８９年１１月５日発行）に示される
ように、赤外線に感度を示すＩｎＳｂ，ＨｇＣｄＴｅな
どの半導体センサ素子を用いて、赤外線を直接検出する
ようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、従来の赤外線センサは、それが暗視装置における
目としての用途などに用いられる特殊なもので、可視光
を検出する光センサのように汎用性があまりなく、セン
サ素子自体の製造がコスト高になっていることである。
点は、従来の赤外線センサは、それが暗視装置における
目としての用途などに用いられる特殊なもので、可視光
を検出する光センサのように汎用性があまりなく、セン
サ素子自体の製造がコスト高になっていることである。
【０００４】そのことは、特に、赤外線による画像情報
を得ることができるようにするために、赤外線のセンサ
素子を画素単位として、そのセンサ素子を２次元状に多
数配設する場合に問題となる。
を得ることができるようにするために、赤外線のセンサ
素子を画素単位として、そのセンサ素子を２次元状に多
数配設する場合に問題となる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、特殊な赤外線
センサを何ら用いることなく、多くの装置で汎用、量産
されている可視光の光センサを用いて赤外線を検出でき
るようにするべく、表面に赤外線の熱吸収層が、裏面に
光反射層が設けられ、表面に照射される赤外線の熱の吸
収によって変形する熱変形素子と、その熱変形素子の裏
面に可視光による参照光を照射する手段と、その熱変形
素子の裏面からの反射光を光センサにより受光して、そ
の受光量から熱変形素子の変形状態を検出する手段とを
とり、その検出された熱変形素子の変形状態からそのと
き照射されている赤外線の量を求めることができるよう
にしている。
センサを何ら用いることなく、多くの装置で汎用、量産
されている可視光の光センサを用いて赤外線を検出でき
るようにするべく、表面に赤外線の熱吸収層が、裏面に
光反射層が設けられ、表面に照射される赤外線の熱の吸
収によって変形する熱変形素子と、その熱変形素子の裏
面に可視光による参照光を照射する手段と、その熱変形
素子の裏面からの反射光を光センサにより受光して、そ
の受光量から熱変形素子の変形状態を検出する手段とを
とり、その検出された熱変形素子の変形状態からそのと
き照射されている赤外線の量を求めることができるよう
にしている。
【０００６】また、本発明は、赤外線による画像情報を
得ることができるようにするべく、１つの熱変形素子を
画素単位として、複数の熱変形素子を２次元状に配設
し、光学走査系によって参照光を２次元状に走査して、
各熱変形素子からの反射光を光センサにより順次受光し
て赤外線の２次元情報を得るようにしている。
得ることができるようにするべく、１つの熱変形素子を
画素単位として、複数の熱変形素子を２次元状に配設
し、光学走査系によって参照光を２次元状に走査して、
各熱変形素子からの反射光を光センサにより順次受光し
て赤外線の２次元情報を得るようにしている。
【０００７】
【実施例】本発明による赤外線検出装置は、その基本的
な構成が、図１に示すように、熱吸収率が良く、かつ比
較的熱膨張率の小さな材質からなる熱吸収層１、および
その熱吸収層１に重ねて設けられた可視光を反射すると
ともに、比較的熱膨張率の大きな材質からなる光反射層
２からなるバイメタル式による熱変形素子３と、光源か
らの可視光による参照光Ｐ１を、熱変形素子３の裏面の
光反射層２に照射する参照光発生部４と、参照光Ｐ１を
照射したときの光反射層２からの反射光Ｐ２を屈折させ
るハーフミラー５と、そのハーフミラー５によって屈折
された反射光Ｐ２を検出窓６１を通して光センサ６２に
より受光する光検出部６とからなっている。
な構成が、図１に示すように、熱吸収率が良く、かつ比
較的熱膨張率の小さな材質からなる熱吸収層１、および
その熱吸収層１に重ねて設けられた可視光を反射すると
ともに、比較的熱膨張率の大きな材質からなる光反射層
２からなるバイメタル式による熱変形素子３と、光源か
らの可視光による参照光Ｐ１を、熱変形素子３の裏面の
光反射層２に照射する参照光発生部４と、参照光Ｐ１を
照射したときの光反射層２からの反射光Ｐ２を屈折させ
るハーフミラー５と、そのハーフミラー５によって屈折
された反射光Ｐ２を検出窓６１を通して光センサ６２に
より受光する光検出部６とからなっている。
【０００８】このように構成されたものにあって、図２
に示すように、熱変形素子３における熱吸収層１の表面
に赤外線ＩＲを照射すると、その吸収熱量に応じて熱変
形素子３がそり返る。
に示すように、熱変形素子３における熱吸収層１の表面
に赤外線ＩＲを照射すると、その吸収熱量に応じて熱変
形素子３がそり返る。
【０００９】それにより、光反射層２の参照光Ｐ１の反
射面が凸面状になり、そのそり返りの程度に応じて反射
光Ｐ２が拡散され、ハーフミラー５によって屈折され、
検出窓６１を通して光センサ６２により受光される反射
光Ｐ２の光量が減少する。
射面が凸面状になり、そのそり返りの程度に応じて反射
光Ｐ２が拡散され、ハーフミラー５によって屈折され、
検出窓６１を通して光センサ６２により受光される反射
光Ｐ２の光量が減少する。
【００１０】なお、赤外線ＩＲが照射されず、熱変形素
子３にそりを生じていないときの光反射層２からの反射
光Ｐ２が光検出部６の光センサ６２によって受光される
ように、そのときの反射光Ｐ２の光束に合せて検出窓６
１の径が設定されている。
子３にそりを生じていないときの光反射層２からの反射
光Ｐ２が光検出部６の光センサ６２によって受光される
ように、そのときの反射光Ｐ２の光束に合せて検出窓６
１の径が設定されている。
【００１１】したがって、赤外線ＩＲを照射したときの
光検出部６によって受光される反射光Ｐ２の光量の減少
の程度をみることによって、そのとき照射されている赤
外線ＩＲの熱量を検出することができるようになる。
光検出部６によって受光される反射光Ｐ２の光量の減少
の程度をみることによって、そのとき照射されている赤
外線ＩＲの熱量を検出することができるようになる。
【００１２】具体的には、特に図示しないが、例えば、
光センサ６２の受光量に応じた出力信号と、赤外線ＩＲ
が何ら照射されていないときの光センサ６２の受光量に
応じて予め設定された基準信号とを演算増幅器によって
比較することによって得られる差信号を、赤外線ＩＲの
検出信号とする。
光センサ６２の受光量に応じた出力信号と、赤外線ＩＲ
が何ら照射されていないときの光センサ６２の受光量に
応じて予め設定された基準信号とを演算増幅器によって
比較することによって得られる差信号を、赤外線ＩＲの
検出信号とする。
【００１３】この実施例の場合、赤外線ＩＲの検出感度
は、熱変形素子３と光検出部６との間の距離に依存する
ことになる。
は、熱変形素子３と光検出部６との間の距離に依存する
ことになる。
【００１４】図３および図４は、マイクロマシニング加
工による熱変形素子３の具体的な設置構造の一例を示し
ている。
工による熱変形素子３の具体的な設置構造の一例を示し
ている。
【００１５】ここでは、ガラス基板７の上面に金黒また
はブラッククロム等の光吸収性をもった材質からなる枠
８を形成し、その枠８上に、薄膜形成される熱吸収層１
および光反射層２からなる熱変形素子３が、それに形成
されている突部３１によって部分的に接着されて、その
熱変形素子３がガラス基板７上から浮いた状態になるよ
うに設置される。
はブラッククロム等の光吸収性をもった材質からなる枠
８を形成し、その枠８上に、薄膜形成される熱吸収層１
および光反射層２からなる熱変形素子３が、それに形成
されている突部３１によって部分的に接着されて、その
熱変形素子３がガラス基板７上から浮いた状態になるよ
うに設置される。
【００１６】そして、ガラス基板７の下面には、金黒ま
たはブラッククロム等の光吸収性をもった材質からなる
枠９が形成されており、上面の枠８とあいまって参照光
Ｐ１の入射口１０を形成するとともに、ノイズ光をしゃ
断するようにしている。
たはブラッククロム等の光吸収性をもった材質からなる
枠９が形成されており、上面の枠８とあいまって参照光
Ｐ１の入射口１０を形成するとともに、ノイズ光をしゃ
断するようにしている。
【００１７】しかして、図５に示すように、熱変形素子
３の表面に赤外線ＩＲが照射されると、その熱変形素子
３はガラス基板７上でそり返るようになる。
３の表面に赤外線ＩＲが照射されると、その熱変形素子
３はガラス基板７上でそり返るようになる。
【００１８】また、図６に示すものでは、熱変形素子３
の表面に、金黒またはブラッククロム等の熱吸収性の良
い材質からなる熱吸収膜１１を形成するようにして、照
射される赤外線ＩＲの熱吸収の効率を向上させるように
している。この熱吸収膜１１は、熱変形素子３における
熱吸収層１に熱吸収率の大きな材質を用いれば、特に設
けなくてもよい。
の表面に、金黒またはブラッククロム等の熱吸収性の良
い材質からなる熱吸収膜１１を形成するようにして、照
射される赤外線ＩＲの熱吸収の効率を向上させるように
している。この熱吸収膜１１は、熱変形素子３における
熱吸収層１に熱吸収率の大きな材質を用いれば、特に設
けなくてもよい。
【００１９】熱変形素子３としては、基本的には、熱吸
収層１と光反射層２との材質に熱膨張率が異なるものを
用いればよい。具体的には、例えば、熱吸収層１にシリ
コンを、光反射層２にアルミニウムを用い、また、熱吸
収層１に酸化シリコンを、光反射層２に金を用い、ある
いはまた、熱吸収層１に窒化シリコンを、光反射層２に
白金を用いる。
収層１と光反射層２との材質に熱膨張率が異なるものを
用いればよい。具体的には、例えば、熱吸収層１にシリ
コンを、光反射層２にアルミニウムを用い、また、熱吸
収層１に酸化シリコンを、光反射層２に金を用い、ある
いはまた、熱吸収層１に窒化シリコンを、光反射層２に
白金を用いる。
【００２０】なお、前記実施例では、熱吸収層１の熱膨
張率を小さく、光反射層２の熱膨張率を大きくして、熱
変形素子３の裏面が凸状になるような向きにそり返るよ
うにしているが、それとは反対に、熱吸収層１の熱膨張
率を大きく、光反射層２の熱膨張率を小さくして、熱変
形素子３の裏面が凹状になるように逆方向にそり返るよ
うにしても、光検出部６の検出窓６１を予め小さくして
おくなどの処置を講じておけば、一定の温度範囲におい
ては使用可能である。
張率を小さく、光反射層２の熱膨張率を大きくして、熱
変形素子３の裏面が凸状になるような向きにそり返るよ
うにしているが、それとは反対に、熱吸収層１の熱膨張
率を大きく、光反射層２の熱膨張率を小さくして、熱変
形素子３の裏面が凹状になるように逆方向にそり返るよ
うにしても、光検出部６の検出窓６１を予め小さくして
おくなどの処置を講じておけば、一定の温度範囲におい
ては使用可能である。
【００２１】また、熱変形素子として、赤外線の熱吸収
によって変形し、熱吸収のないときにもとの形状に復帰
する形状記憶合金などを利用することも可能である。
によって変形し、熱吸収のないときにもとの形状に復帰
する形状記憶合金などを利用することも可能である。
【００２２】図７は、赤外線による画像情報を得るよう
にしたときの構成例を示している。
にしたときの構成例を示している。
【００２３】ここでは、図８に示すように、１つの熱変
形素子３を画素単位として、複数の熱変形素子３を２次
元状に配設した赤外線用のイメージセンサ１２を用い
て、レンズ１３を介して赤外線による画像ＩＭをとり込
み、光走査部１４およびレンズ１５からなる光学走査系
によって参照光Ｐ１をイメージセンサ１２に対して２次
元状に走査して、各熱変形素子３からの反射光Ｐ２を光
検出部６により順次受光して赤外線による画像情報を得
るようにしている。
形素子３を画素単位として、複数の熱変形素子３を２次
元状に配設した赤外線用のイメージセンサ１２を用い
て、レンズ１３を介して赤外線による画像ＩＭをとり込
み、光走査部１４およびレンズ１５からなる光学走査系
によって参照光Ｐ１をイメージセンサ１２に対して２次
元状に走査して、各熱変形素子３からの反射光Ｐ２を光
検出部６により順次受光して赤外線による画像情報を得
るようにしている。
【００２４】
【効果】以上、本発明による赤外線検出装置は、照射さ
れる赤外線の熱量に応じて熱変形素子に生ずる変形の度
合を、可視光による参照光をその熱変形素子面に反射さ
せたときの反射光の光量の変化によって検出するように
したもので、赤外線を直接検出する特殊な赤外線センサ
を用いることなく、通常の可視光を検出する光センサを
用いることにより、赤外線の検出を確実に行わせること
ができるという利点を有している。
れる赤外線の熱量に応じて熱変形素子に生ずる変形の度
合を、可視光による参照光をその熱変形素子面に反射さ
せたときの反射光の光量の変化によって検出するように
したもので、赤外線を直接検出する特殊な赤外線センサ
を用いることなく、通常の可視光を検出する光センサを
用いることにより、赤外線の検出を確実に行わせること
ができるという利点を有している。
【００２５】また、本発明によれば、特殊な赤外線セン
サを２次元状に複数配設したイメージセンサを用いて赤
外線による画像の情報を得るのではなく、画素単位によ
る熱変形素子を２次元状に複数配設することによって赤
外線による画像をとり込むイメージセンサを形成し、そ
のイメージセンサ面に対して参照光を２次元状に走査す
る可視光による光学走査系を組み込むだけの簡単な構成
により、赤外線による画像情報を得ることができるよう
になる。
サを２次元状に複数配設したイメージセンサを用いて赤
外線による画像の情報を得るのではなく、画素単位によ
る熱変形素子を２次元状に複数配設することによって赤
外線による画像をとり込むイメージセンサを形成し、そ
のイメージセンサ面に対して参照光を２次元状に走査す
る可視光による光学走査系を組み込むだけの簡単な構成
により、赤外線による画像情報を得ることができるよう
になる。
【図１】本発明による赤外線検出装置の基本的な構成例
を示す簡略図である。
を示す簡略図である。
【図２】赤外線検出装置の基本的な構成にあって、赤外
線が照射されたときの状態を示す簡略図である。
線が照射されたときの状態を示す簡略図である。
【図３】熱変形素子の具体的な設置構造の一例を示す斜
視図である。
視図である。
【図４】図３に示す熱変形素子の設置構造におけるＡ−
Ａ線に沿う断面図である。
Ａ線に沿う断面図である。
【図５】赤外線が照射されたときの熱変形素子の変形状
態を示す斜視図である。
態を示す斜視図である。
【図６】熱変形素子の具体的な設置構造の他の例を示す
断面図である。
断面図である。
【図７】赤外線による画像情報を得るようにしたときの
構成例を示す簡略図である。
構成例を示す簡略図である。
【図８】画素単位による熱変形素子を２次元状に複数配
設した赤外線による画像のイメージセンサを示す平面図
である。
設した赤外線による画像のイメージセンサを示す平面図
である。
１ 熱吸収層 ２ 光反射層 ３ 熱変形素子 ４ 参照光発生部 ５ ハーフミラー ６ 光検出部 ６１ 検出窓 ６２ 光センサ ７ ガラス基板 １１ 熱吸収膜 １２ 赤外線用イメージセンサ １４ 光走査部
Claims (5)
- 【請求項１】 表面に赤外線の熱吸収層が、裏面に光反
射層が設けられ、表面に照射される赤外線の熱の吸収に
よって変形する熱変形素子と、その熱変形素子の裏面に
可視光による参照光を照射する手段と、その熱変形素子
の裏面からの反射光を光センサにより受光して、その受
光量から熱変形素子の変形状態を検出する手段とによっ
て構成された赤外線検出装置。 - 【請求項２】 熱変形素子が、赤外線の熱を吸収する第
１の層と、その第１の層とは熱膨張率が異なる材質から
なる可視光を反射する第２の層とを重ねたバイメタル式
のものであることを特徴とする前記第１項の記載による
赤外線検出装置。 - 【請求項３】 熱変形素子が、赤外線の熱吸収によって
変形し、熱吸収のないときにもとの形状に復帰する形状
記憶合金からなることを特徴とする前記第１項の記載に
よる赤外線検出装置。 - 【請求項４】 熱吸収率の大きな材質からなる熱吸収膜
を熱変形素子の表面に設けたことを特徴とする前記第１
項の記載による赤外線検出装置。 - 【請求項５】 １つの熱変形素子を画素単位として、複
数の熱変形素子を２次元状に配設し、光学走査系によっ
て参照光を２次元状に走査して、各熱変形素子からの反
射光を光センサにより順次受光して赤外線の２次元情報
を得るようにしたことを特徴とする前記第１項の記載に
よる赤外線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3477795A JPH08193881A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 赤外線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3477795A JPH08193881A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 赤外線検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08193881A true JPH08193881A (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=12423731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3477795A Pending JPH08193881A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 赤外線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08193881A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469301B1 (en) | 1999-05-14 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Radiation detectors including thermal-type displaceable element with increased responsiveness |
| US6828557B2 (en) | 2000-06-08 | 2004-12-07 | Nikon Corporation | Radiation-detection devices |
| US6835932B2 (en) | 2000-09-05 | 2004-12-28 | Nikon Corporation | Thermal displacement element and radiation detector using the element |
| JP2007003447A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Toray Ind Inc | 曲面の検査方法および装置並びにディスプレイパネルの検査方法および装置 |
| JP2010016733A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Hitachi Maxell Ltd | 画像取得装置、変換装置、及び画像取得方法 |
| CN102175138A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-09-07 | 大连高金数控集团有限公司 | 一种高速滚珠丝杠的热变形检测方法 |
| JP2016105113A (ja) * | 2016-03-04 | 2016-06-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 赤外線検出装置 |
| CN109830491A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-05-31 | 北京科易达知识产权服务有限公司 | 一种热红外光探测器阵列、热红外成像系统及方法 |
| US10845706B2 (en) | 2017-04-12 | 2020-11-24 | Asml Netherlands B.V. | Mirror array |
-
1995
- 1995-01-11 JP JP3477795A patent/JPH08193881A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469301B1 (en) | 1999-05-14 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Radiation detectors including thermal-type displaceable element with increased responsiveness |
| US6828557B2 (en) | 2000-06-08 | 2004-12-07 | Nikon Corporation | Radiation-detection devices |
| US6835932B2 (en) | 2000-09-05 | 2004-12-28 | Nikon Corporation | Thermal displacement element and radiation detector using the element |
| JP2007003447A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Toray Ind Inc | 曲面の検査方法および装置並びにディスプレイパネルの検査方法および装置 |
| JP4705417B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2011-06-22 | 東レ株式会社 | ディスプレイパネルの検査方法および装置 |
| JP2010016733A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Hitachi Maxell Ltd | 画像取得装置、変換装置、及び画像取得方法 |
| CN102175138A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-09-07 | 大连高金数控集团有限公司 | 一种高速滚珠丝杠的热变形检测方法 |
| JP2016105113A (ja) * | 2016-03-04 | 2016-06-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 赤外線検出装置 |
| US10845706B2 (en) | 2017-04-12 | 2020-11-24 | Asml Netherlands B.V. | Mirror array |
| CN109830491A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-05-31 | 北京科易达知识产权服务有限公司 | 一种热红外光探测器阵列、热红外成像系统及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW492243B (en) | Contact image sensor with light guide | |
| JP3653284B2 (ja) | 圧力センサ | |
| US10585002B2 (en) | Micromechanical device for electromagnetic radiation sensing | |
| US5952645A (en) | Light-sensing array with wedge-like reflective optical concentrators | |
| US8624187B2 (en) | Imaging detector array with optical readout | |
| US5022725A (en) | Optical sensor | |
| JPH08193881A (ja) | 赤外線検出装置 | |
| US20040079865A1 (en) | Back side incident type image pickup sensor | |
| US5124546A (en) | Method and apparatus for refracting light to an optical detector | |
| JPH09130678A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0894438A (ja) | 赤外線センサ | |
| JPH08327317A (ja) | 熱源検知装置 | |
| JPH08122144A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JPH07301568A (ja) | 赤外線検知装置 | |
| JP2001041823A (ja) | 放射検出装置 | |
| JPS5895725A (ja) | 透過形スクリ−ン | |
| JP2668948B2 (ja) | 光センサー | |
| JPH09126899A (ja) | 熱画像検出装置 | |
| JP2002221449A (ja) | 放射検出装置 | |
| JPH09218086A (ja) | 赤外線センサ | |
| JPS58109805A (ja) | 光路の微小偏角検出装置 | |
| JPH06331435A (ja) | 簡易赤外線結像装置 | |
| JPH0639311Y2 (ja) | 熱線感知器 | |
| JPH01217221A (ja) | 赤外線センサ | |
| JPH08122143A (ja) | 赤外線検出器 |