JPH08190862A - カラー受像管の熱吸収膜形成方法および熱吸収膜形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数個の蒸着源でカラー受像管の熱吸収膜を
形成する場合でも、カラー受像管の輝度ムラを発生させ
ることなく熱吸収膜を形成することができる。 【構成】 パネル受台１４０となる開口端部を有する真
空槽１１０を備え、真空槽１１０の内部に、熱吸収膜形
成用で、両端が電源（不図示）に接続されたフィラメン
トヒータ１２０ａ，１２０ｂが設けられ、フィラメント
ヒータ１２０ａと１２０ｂの中間にはフィラメントヒー
タ１２０ａと１２０ｂとの間を均等に仕切る仕切板１３
０が設けられている。さらに、仕切板１３０内をノズル
１５０が通って、真空槽１１０の外部に導出されてい
る。真空槽１１０外部のノズル１５０には、真空槽１１
０内部への外気の導入制御を行なうための電磁弁１６
０、リークバルブ１７０およびフィルター１８０が装着
されており、ノズル１５０の端部である外気導入口１９
０から外気が導入可能となっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管のパネル
内面に蒸着されるメタルバック膜上に熱吸収膜を形成す
る熱吸収膜形成方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より一般的なカラー受像管の蛍光面
の構造は、受像管の管体の一部を構成するパネルの内面
に被着した蛍光体膜上に、この蛍光体膜から発した光を
有効にカラー受像管前方へ取り出すための光反射性金属
膜を蒸着したいわゆるメタルバック構造からなる。

【０００３】図３は、一般的なカラー受像管の構成を簡
略的に示す断面図である。

【０００４】カラー受像管は、図３に示すように、主に
ファンネル３１０ｂとパネル３１０ａで構成される。

【０００５】パネル３１０ａ内面のブラックマトリック
ス膜３２０と呼ばれる黒鉛からなる黒色膜上の所定の位
置に、緑、青および赤の各々の蛍光体からなる微小ドッ
トの蛍光体膜３３０が形成される。そして、蛍光体膜３
３０の表面を平滑にするために有機性エマルジョンから
なるフィルミング膜３４０が形成され、蛍光体膜３３０
を覆うようにメタルバック膜３５０が蒸着されており、
メタルバック膜３５０から一定間隔離して多数の微小孔
を有するシャドウマスク３７０が配置されている。ま
た、ファルネル３１０ｂの通常ネック部３１０ｃと呼ば
れる部分に電子銃３８０が配置されており、電子銃３８
０から発射される多くの電子ビームがシャドウマスク３
７０に衝突する。

【０００６】電子銃３８０から発射される電子ビームが
シャドウマスク３７０の微小孔で選択、通過することに
よってカラー画像が形成されるが、シャドウマスク３７
０を通過できなかった電子ビームがシャドウマスク３７
０に衝突すると、その衝突エネルギーが熱となりシャド
ウマスク３７０の温度を上昇させる。その結果、シャド
ウマスク３７０が熱膨張して微小孔位置が移動してしま
い、電子ビームが蛍光面を発光させる位置がずれてしま
う（この現象をドーミング現象という）。

【０００７】そこで、従来ドーミング現象を軽減するた
めにメタルバック膜３５０上、つまり電子銃３８０側に
熱吸収膜を形成することにより、シャドウマスク３７０
の発熱を吸収して熱膨張を抑えることが行なわれてい
る。この熱吸収膜としては黒化アルミニウム膜を用いる
ことが一般的である。

【０００８】図４は、従来のカラー受像管における熱吸
収膜の形成方法を説明するための図である。

【０００９】図４に示すカラー受像管における黒化アル
ミニウム膜の形成方法は、蒸着物質を挿入するための蒸
着物質自動挿入器４１０および蒸着物質を加熱するため
の窒化硼素加熱体４３０をそれぞれ１個ずつ有する真空
外囲器４５０内の所定の位置にメタルバック膜３５０等
が蒸着されたパネル３１０ａを、１．３３×１０〜１．
３３［Ｐａ］の真空下で保持し、窒化硼素加熱体４３０
の温度を上昇させることで蒸着物質自動挿入器４１０か
ら挿入されるアルミニウムペレット材４２０を溶融蒸発
させて、黒化アルミニウム膜を熱吸収膜３６０としてメ
タルバック膜３５０に蒸着させるというものである。

【００１０】しかし、上述したカラー受像管における黒
化アルミニウム膜の形成方法では、黒化アルミニウム膜
による熱吸収膜３６０の膜厚分布が加熱性蒸着源である
蒸着物質自動挿入器４１０に近いパネル３１０ａの中央
部側では厚く、蒸着物質自動挿入器４１０から遠い周辺
部側では薄くなってしまい、カラー受像管の輝度ムラを
誘発してしまうという問題点があった。

【００１１】図５は、図４に示した熱吸収膜の形成方法
で熱吸収膜の膜厚分布を等しくさせること考慮した熱吸
収膜の形成方法を示す図である。

【００１２】図５に示すカラー受像管における熱吸収膜
の形成方法は、パネル３１０ａに蒸着されたメタルバッ
ク膜３５０と窒化硼素加熱体４３０との間を一定の距離
に保ち、これらの中間に円弧形状のステンレス板製遮蔽
物４４０を、その遮蔽物４４０の凸面を窒化硼素加熱体
４３０側に向けて配置し、図４に示した形成方法と同様
にして黒化アルミニウム膜を熱吸収膜３６０としてメタ
ルバック膜３５０に蒸着させるものである。

【００１３】このようにして、パネル３１０ａの中央部
側に多く蒸発飛散するアルミニウム材の一部がステンレ
ス板製遮蔽物４４０に附着阻止されて他は分散されて蒸
着されるため、膜厚分布の等しい熱吸収膜を形成するこ
とができる（特開昭６１−５３８１６公報参照）。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示したような従来のカラー受像管の熱吸収膜形成方法で
は、加熱性蒸着源が複数個設定される場合、パネル内面
の隣り合う蒸着源の中間部分に相対する個所はそれぞれ
の蒸着源からの影響を受けるため、熱吸収膜厚が厚くな
り易く、膜厚分布の均一性が損なわれる虞れがある。そ
のため、熱吸収膜の厚い部分ではカラー受像管の輝度が
低下して、カラー受像管全体においては輝度ムラが発生
してしまうという問題点がある。

【００１５】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、複数個の蒸
着源でカラー受像管の熱吸収膜を形成する場合でも、カ
ラー受像管の輝度ムラを発生させることなく熱吸収膜を
形成することができるカラー受像管の熱吸収膜形成方法
および装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、真空下で、メタルバック構造を有するパネ
ル内面にさらに複数の加熱性蒸着源により熱吸収膜を蒸
着させるカラー受像管の熱吸収膜形成方法において、前
記各加熱性蒸着源の間をそれぞれ均等に仕切部材で仕切
り、該各仕切部材の前記パネル内面側の端部より外気を
噴射させることを特徴とする。

【００１７】また、前記パネル内面側へ噴射させる気体
を窒素とすることを特徴とする。

【００１８】また、前記パネル内面側へ噴射させる気体
を不活性ガスとすることを特徴とする。

【００１９】また、パネル受台となる開口端部を有する
真空槽の内部に複数の加熱性蒸着源が設けられ、メタル
バック構造を有するパネルを前記パネル受台上に載せ前
記複数の加熱性蒸着源により前記パネル内面に熱吸収膜
を形成する熱吸収膜形成装置であって、前記真空槽の内
部に設けられた、前記各加熱性蒸着源の間を均等に仕切
る仕切部材と、前記仕切部材の前記パネル内面側の端部
に設けられた、外気を噴射させるための噴射口とを備え
たことを特徴とする。

【００２０】また、前記噴射口から外気を噴射させるタ
イミングを決定する遅延タイマー回路を有することを特
徴とする。

【００２１】

【作用】上記のように構成された本発明では、複数の加
熱性蒸着源の間をそれぞれ均等に仕切る仕切板のパネル
内面側の端部に噴射口が設けられ、その噴射口から外気
がパネル内面に噴射されながら、加熱性蒸着源によって
メタルバック薄膜上に熱吸収膜が蒸着されるので、噴射
口から外気が噴射されるパネル内面では蒸着源からの蒸
着物質が分散される。そのため、蒸着源同士による干渉
を発生させずに略均一に熱吸収膜が形成される。

【００２２】

【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。

【００２３】図１は、本発明によるカラー受像管の熱吸
収膜形成方法の一実施例に好適な熱吸収膜形成装置の模
式的断面図である。

【００２４】図２は、図１に示したカラー受像管の熱吸
収膜形成方法において作製されたパネルの断面図であ
る。

【００２５】図１に示すカラー受像管の熱吸収膜形成装
置は、パネル受台１４０となる開口端部を有する真空槽
１１０を備え、真空槽１１０の内部に、両端が電源（不
図示）に接続された加熱性蒸着源であるフィラメントヒ
ータ１２０ａ，１２０ｂが設けられている。また、フィ
ラメントヒータ１２０ａと１２０ｂの中間には仕切板１
３０が設けられている。ここで、仕切板１３０はフィラ
メントヒータ１２０ａと１２０ｂとの間を均等に仕切る
位置に設置される。さらに、仕切板１３０内をノズル１
５０が通って、真空槽１１０の外部に導出されている。
真空槽１１０外部のノズル１５０には、真空槽１１０内
部への外気の導入制御を行なうための電磁弁１６０、リ
ークバルブ１７０およびフィルター１８０が装着されて
おり、ノズル１５０の端部である外気導入口１９０から
外気が導入可能となっている。電磁弁１６０は、不図示
の遅延タイマー回路によりフィラメントヒータ１２０ａ
と１２０ｂが通電されてから所定時間後に外気を導入す
るものである。

【００２６】上記の装置によりパネル１００内面に熱吸
収膜を形成するには、まず、フィラメントヒータ１２０
ａと１２０ｂにアルミニウム材を供給した後、パネル１
００を、真空槽１１０を形成するパネル受台１４０の所
定の位置に載せる。

【００２７】パネル１００をパネル受台１４０の所定の
位置に載せた後、真空槽１１０の内圧を１．３３×１０
〜１．３３［Ｐａ］にするために回転ポンプ（不図示）
によって真空槽１１０内部の空気を外部に排気する。

【００２８】真空槽１１０の内圧が１．３３×１０〜
１．３３［Ｐａ］になったら、フィラメントヒータ１２
０ａおよび１２０ｂを通電させて、その通電信号を遅延
タイマー回路（不図示）を経由して電磁弁１６０に送
り、電磁弁１６０をフィラメントヒータ１２０ａおよび
１２０ｂの通電開始に対して遅延させて作動させる。

【００２９】上述した動作により、ノズル１５０の先端
のノズル噴射口１５５よりパネル１００内面の、加熱性
蒸着源であるフィラメントヒータ１２０ａおよび１２０
ｂの中間部分に相対する個所へ外気が噴霧されながら熱
吸収膜となるアルミニウム材の蒸着が行なわれ、ノズル
噴射口１５５より外気が噴射されるパネル１００内面で
は蒸着源からの蒸着物質が分散されるため、図２に示す
ように加熱性蒸着源どうしによる干渉を発生させずに略
均一に熱吸収膜が形成される。

【００３０】以下に、２０インチサイズのパネルに熱吸
収膜を形成する例について述べる。

【００３１】まず、フィラメントヒータ１個につき１５
０［ｍｇ］程度のアルミニウム材をシリンダー形状でフ
ィラメントヒータ１２０ａおよび１２０ｂの内部に挿入
する。

【００３２】そして、メタルバック膜形成済のパネル１
００をパネル受台１４０に載せ、真空槽１１０内を１．
３３×１０〜１．３３［Ｐａ］になるまで排気した後、
フィラメントヒータ１２０ａおよび１２０ｂに１００
［Ａ］程度の電流が流れるように電圧印加する。

【００３３】電圧印加開始と同時に電磁弁１６０に接続
された遅延タイマー回路を作動させ、それによりフィラ
メントヒータ１２０ａおよび１２０ｂが完全に赤化する
１〜２秒後に電磁弁１６０を開き外気を導入する。

【００３４】リークバルブ１７０で回転ポンプの排気速
度の０．１〜０．５［％］程度に外気導入量を調整し
て、熱吸収膜を形成する。

【００３５】蒸着完了後、真空槽１１０内を大気圧に戻
して、フィルミング膜などの有機物を分解する焼成工程
以降の工程へ送る。

【００３６】また、導入気体として窒素もしくは不活性
ガスを使用すれば、フィラメントヒータの酸化が抑制さ
れ、フィラメントヒータの寿命が延びて交換回数を減少
させることができる。

【００３７】上記実施例は、２個のフィラメントヒータ
１２０ａ、１２０ｂが設けられているものであるが、本
発明において、フィラメントヒータの数は２個に限られ
るものではなく、複数個設定されていれば実施可能であ
る。また、ノズル１５０が仕切板１３０内を通っている
が、ノズル１５０を仕切板１３０の側面に沿って設け各
加熱性蒸着からの距離が均等になるように外気の噴出口
を設けたものでも良い。

【００３８】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００３９】請求項１に記載のものおいては、複数の加
熱性蒸着源のそれぞれの間を均等に仕切る仕切板を配置
し、各仕切板内に外気を導入するためのノズルを設けて
ノズルの先端に設けられたノズル噴射口から外気をパネ
ル内面に噴射させながら加熱性蒸着源によりメタルバッ
ク膜上に熱吸収膜を蒸着するため、ノズル噴射口から外
気が噴射される個所では蒸着源からの蒸着物質が分散さ
れる。これにより、蒸着源同士による干渉を発生させず
に略均一に熱吸収膜を形成することができ、蒸着源が複
数個設定された場合でも、カラー受像管の輝度ムラを発
生させない熱吸収膜を形成することができる。

【００４０】請求項２に記載のものにおいては、ノズル
噴射口からパネル内面側に噴射させる気体を窒素とする
ことにより、加熱性蒸着源の酸化を抑制し、加熱性蒸着
源の寿命が延びて交換回数が減少する。このため、加熱
性蒸着源の交換のための手間と時間を減少させることが
できる。

【００４１】請求項３に記載のものにおいては、ノズル
噴射口からパネル内面側に噴射させる気体を不活性ガス
とすることにより、請求項２に記載のものと同様に奏す
る。

【００４２】請求項４に記載のものにおいては、真空槽
の内部に各加熱性蒸着源の間を均等に仕切る仕切部材を
具備し、仕切部材の前記パネル内面側の端部に外気を噴
射させるための噴射口を設けることにより請求項１に記
載のものと同様に奏する。

【００４３】請求項５に記載のものにおいては、ノズル
噴射口から外気を噴射させるタイミングを決定する遅延
タイマー回路を設けることによりさらに精度良く略均一
に熱吸収膜を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるカラー受像管の熱吸収膜形成方法
の一実施例に好適な熱吸収膜形成装置の模式的断面図で
ある。

【図２】図１に示したカラー受像管熱吸収膜形成方法に
おいて作製されたパネルの断面図である。

【図３】一般的なカラー受像管の構成を簡略的に示す断
面図である。

【図４】従来のカラー受像管における熱吸収膜の形成方
法を説明するための図である。

【図５】図４に示した熱吸収膜の形成方法で熱吸収膜の
膜厚分布を等しくさせること考慮した熱吸収膜の形成方
法を示す図である。

【符号の説明】

１０ パネル ２０ ブラックマトリックス膜 ３０ 蛍光体層 ４０ フィルミング膜 ５０ メタルバック薄膜 ６０ 熱吸収膜 １００ パネル １１０ 真空槽 １２０ フィラメントヒータ １３０ 仕切板 １４０ パネル受台 １５０ ノズル １５５ ノズル噴射口 １６０ 電磁弁 １７０ リークバルブ １８０ フィルター １９０ 外気導入口

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空下で、メタルバック構造を有するパ
   ネル内面にさらに複数の加熱性蒸着源により熱吸収膜を
   蒸着させるカラー受像管の熱吸収膜形成方法において、 前記各加熱性蒸着源の間をそれぞれ均等に仕切部材で仕
   切り、該各仕切部材の前記パネル内面側の端部より外気
   を噴射させることを特徴とするカラー受像管の熱吸収膜
   形成方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のカラー受像管の熱吸収
   膜形成方法において、 前記パネル内面側へ噴射させる気体を窒素とすることを
   特徴とするカラー受像管の熱吸収膜形成方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のカラー受像管の熱吸収
   膜形成方法において、 前記パネル内面側へ噴射させる気体を不活性ガスとする
   ことを特徴とするカラー受像管の熱吸収膜形成方法。
4. 【請求項４】 パネル受台となる開口端部を有する真空
   槽の内部に複数の加熱性蒸着源が設けられ、メタルバッ
   ク構造を有するパネルを前記パネル受台上に載せ前記複
   数の加熱性蒸着源により前記パネル内面に熱吸収膜を形
   成する熱吸収膜形成装置であって、 前記真空槽の内部に設けられた、前記各加熱性蒸着源の
   間を均等に仕切る仕切部材と、 前記仕切部材の前記パネル内面側の端部に設けられた、
   外気を噴射させるための噴射口とを備えたことを特徴と
   する熱吸収膜形成装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の熱吸収膜形成装置にお
   いて、 前記噴射口から外気を噴射させるタイミングを決定する
   遅延タイマー回路を有することを特徴とする熱吸収膜形
   成装置。