KR950011248B1 - 칼라브라운관의 노광방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

칼라브라운관의 노광방법 및 장치

제1도는 통상의 칼라브라운관의 개략구조를 도시한 단면도.

제2도는 새도우마스크의 열팽창에 따른 미스레지스트량 비교를 나타낸 개략도.

제3(a)도는 종래의 노광공정도, 제3(b)도는 본 발명의 노광공정도.

제4도는 본 발명의 노광장치 개요도.

제5도는 종래의 미스레지스트량과 본 발명의 미스레지스트량 비교를 나타낸 도표.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 판넬 2 : 펀넬

6 : 새도우마스크 9 : 프레임

10 : 탄성지지수단 11 : 단열막

12 : 히터 13 : 판네로딩판

본 발명은 칼라브라운관의 노광방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 노광시 새도우마스크의 열변형으로 인한 미스레지스트 현상을 극소화하여 양호한 노광품위를 얻어낼 수 있도록 한 노광방법 및 장치에 관한 것이다.

일반적으로 칼라브라운관은 제1도에 도시된 바와같이 도트(dot) 또는 스트라이프(stripe)의 형태로 형광체(7)가 도포된 판넬(1)과, 직경이 축소된 넥크부(2a)를 가지고 상기 판넬(1)후부에 결합되는 펀넬(2)을 포함하고 내부를 진공상태로 한 밀봉용기로 되어 있다.

또한, 넥크부(2a)에는 R, G, B(적, 녹, 청) 3색을 나타내게 하는 전자빔을 주사시켜 주기위한 전자총(4)이 내장되어 있으며, 전자총(4)에서 주사된 전자빔(5)은 색선별역할을 하는 새도우마스크(6)의 작은 통공을 통하여 해당 형광체(7)에 랜딩되어 화상을 재현시킨다.

이때, 새도우마스크(7)의 작은 통공을 통과하지 못한 나머지 전자빔(대략 전자빔 총량의 80%)은 새도우마스크(6)벽부에 충돌하여 열에너지로 변한다. 이에 따라 새도우마스크는 열변형을 일으켜 새도우마스크전체가 둥글게 팽창변형되는 도밍(doming)현상이 발생되고, 이 때문에 새도우마스크의 작은 통공(전자빔 통과공)과 그 대응 형광체(7)의 상대적 위치가 가변되어 제2도의 ℓ로 도시한 바와같은 양의 미스랜딩(mislanding)이 발생됨으로써 화상의 색순도(purity) 특성이 저하된다.

즉, 제2도에 의거하여 상기 미스랜딩현상을 좀더 상세히 설명해 보면, 관련 브라운관이 아직 작동을 개시하지 않은 초기상태에서 전자빔의 주사가 없을 때에 새도우마스크는 아직 열변형을 일으키지 않은 콜드(cold) 상태(a)에 있게 되며, 전자빔이 주사되기 시작하고 나서 일정시간(대략 15분 정도의 시간) 경과후에는 상기 새도우마스크가 제2도의 "b"와 같이 현저한 열변형을 일으킨 핫(hot)상태로 되고, 이때 미스랜딩량(ℓ)은 최대가 된다.

이를 해소하기 위하여, 상기의 핫상태(b)에서 시간이 더욱 경과하면 새도우마스크의 열이 이를 지지한 프레임에 전달되면서 그 프레임에 설치된 바이메탈(bimetal)이 작동함으로써 새도우마스크의 도밍을 흡수 보정하여 미스랜딩량을 가능한 한 줄이도록 하는 방법이 현재 널리 채택되고 있으며, 여기에서 상기와 같이 새도우마스크 프레임상의 바이메탈이 동작하여 새도우마스크의 도밍을 흡수보정한 상태(c)는 새도우마스크프레임의 온도가 약 30℃이상으로, 새도우마스크의 온도는 약 70℃이상으로 되었을때 일어난다.

한편, 칼라브라운관의 판넬(1)내측에 새도우마스크(6)를 장착하여 노광을 실시하면 광원의 열에 의해 새도우마스크가 제2도의 "b"와 같이 열변형을 일으킨 상태에서 노광이 이루어지게 됨으로써 소위 미스레지스트(misregistration) 및 이로 인한 노광불량 내지 색순도 저하현상이 일어나게 된다.

종래의 칼라브라운관 노광방법은 제3(a)도에 도시한 바와 같이 칼라브라운관의 판넬 내측면에 형광체를 도포하는 단계와, 이 판넬에 새도우마스크를 장착하는 단계와, 광원 및 노광렌즈들을 포함하는 노광장치를 사용하여 상기 판넬내면의 형광체를 노광하는 단계로 되어 있었으나, 노광도중 새도우마스크가 앞서 설명한 바와 같이 광원의 열에 의한 열변형을 일으켜 현저한 미스레지스트 및 이로인한 노광불량 내지 색순도 저하현상을 일으키는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점인 칼라브라운관 노광상의 미스레지스트 현상을 감소시켜 색순도 저하현상이 없는 보다 양호한 노광품위를 얻어낼 수 있는 더욱 개선된 노광방법 및 장치를 제공하는데에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 판넬내면에 형광체를 도포하고, 판넬내측에는 새도우마스크-프레임 조립체를 새도우마스크 도밍 흡수보정용의 바이메탈수단을 포함하는 탄성지지수단을 통해 장착한 다음, 상기 바이메탈수단이 동작되어 새도우마스크의 열변형이 흡수보정된 상태에서 노광이 이루어지도록 프레임의 온도가 적어도 약30℃이상이 되고 동시에 새도우마스크의 온도는 적어도 약 70℃이상인 상태가 되도록 상기 새도우마스크 및 프레임을 예비가열한 후 노광을 실행토록 하는 그러한 노광방법 및 장치를 제공한다.

이하, 본 발명을 첨부도면에 의거하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 칼라브라운관의 노광방법은 제3(b)도에 도시한 바와같이 판넬(1) 내면에 형광체를 도포하는 단계와, 이 판넬(1) 내측에 새도우마스크(6)를 고정지지한 프레임(9)을 새도우마스크 열변형 흡수보정용의 바이메탈수단을 포함하는 탄성지지수단(10)을 개재하여 장착하는 단계와, 상기 바이메탈이 동작하여 새도우 마스크의 열변형이 흡수보정된 상태에서 노광이 이루어지게끔 프레임(9)의 온도가 적어도 약 30℃이상이 되고, 동시에 새도우마스크(6)의 온도는 적어도 약 70℃이상이 되도록 상기 프레임(9) 및 새도우마스크(6)를 예비가열하는 단계와, 이와같이 프레임(9) 및 새도우마스크(6)가 예비가열된 상태에서 판넬(1) 내면의 형광체에 대한 노광을 실행하는 단계를 포함한다.

이러한 본 발명의 방법을 실시하기 위한 장치는 제4도와 같이 단열막(11)과, 이 단열막(11)내부에 설치된 히터(12)와, 판넬(1)을 거치할 수 있는 판넬로딩(panel loading)판(13)을 포함하는 구성으로 된다.

도시하지는 않았으나, 상기 히터(12)에는 별도의 적합한 온도제어수단이 연결설치된다.

이와같은 본 발명의 방법 및 장치에 의하여 프레임(9) 및 새도우마스크(6)를 예비가열한 후 노광을 실시해 본 결과 노광시 새도우마스크의 열변형으로 인한 미스레지스트량이 제5도에 도시한 바와같이 종래의 약 30~40㎛(A선)에서 약 5~10㎛(B선)로 현저히 감소되는 것이 관찰되었다.

따라서, 본 발명은 칼라브라운관의 형광면 노광시 새도우마스크의 열변형으로 인한 미스레지스트 현상을 극소화하여 목적하는 바의 색순도 저하가 거의 없는 최대한 양호한 노광품위를 얻어낼 수 있고, 이로써 관련 칼라브라운관의 화질을 더욱 높일 수 있게된 효과를 지닌 것이다.

Claims (2)

1. 새도우마스크의 열변형으로 인한 노광상의 미스레지스트를 감소시키기 위한 칼라브라운관의 노광방법으로서, 판넬(1) 내면에 형광체를 도포하는 단계와, 상기 판넬(1) 내측에 새도우마스크(6)를 고정지지한 프레임(9)을 새도우마스크 열변형 흡수보정용의 바이메탈수단을 포함하는 탄성지지수단(10)을 개재하여 장착하는 단계와, 상기 바이메탈이 동작하여 새도우 마스크의 열변형이 흡수보정된 상태에서 노광이 이루어지게끔 프레임(9)의 온도가 적어도 약 30℃이상이 되고, 동시에 새도우마스크(6)의 온도는 적어도 약 70℃이상이 되도록 상기 프레임(9) 및 새도우마스크(6)를 예비가열하는 단계와, 이와같이 프레임(9) 및 새도우마스크(6)가 예비가열된 상태에서 노광을 실행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라브라운관의 노광방법.
2. 새도우마스크의 열변형으로 인한 미스레지스트를 감소시키기 위한 칼라브라운관의 노광장치로서, 새도우마스크(6)와 프레임(9)을 소정 온도로 예비가열하기 위한 히터(12)와, 상기 히터(12)를 수납하여 히터에서 나온 열을 보전하기 위한 단열막(11)과, 상기 단열막(11)의 상부에 판넬(1)을 거치할 수 있는 판넬로딩(panel loading)판(13)을 포함하여서 된 것을 특징으로 하는 칼라브라운관의 노광장치.