JPH08184855A - 液晶表示装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents

液晶表示装置の製造方法及び製造装置

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JPH08184855A
JPH08184855A JP32759594A JP32759594A JPH08184855A JP H08184855 A JPH08184855 A JP H08184855A JP 32759594 A JP32759594 A JP 32759594A JP 32759594 A JP32759594 A JP 32759594A JP H08184855 A JPH08184855 A JP H08184855A
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JP
Japan
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liquid crystal
electrode wiring
wiring terminal
source electrode
gate electrode
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JP32759594A
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English (en)
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Masayuki Yokomizo
政幸 横溝
Kenichi Niki
憲一 仁木
Kazuki Inoue
一樹 井上
Shigeki Watamura
茂樹 綿村
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Mitsubishi Electric Corp
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶パネル内部に静電気によって帯電した電
荷を除去して、帯電電荷によって発生する液晶の劣化な
どによる表示の線欠陥をなくす。 【構成】 液晶パネル1の周辺において露出したゲート
電極配線端子18とソース電極配線端子18に、揮発性
有機溶剤22を滴下する吹き付けノズル21を備えた構
成である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マトリクス型の液晶表
示装置の製造方法及び製造装置に関し、特に製造工程中
の液晶パネルと呼ばれるTFT(薄膜トランジスタ)ア
レイ基板と対向基板で液晶を挟持した状態での静電気に
よる表示品位の劣化及びTFT破壊の防止に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】マトリクス型の液晶表示装置は、一般的
に、図5(a)に示すように、一方のガラス板からなる
基板10上に複数のゲート電極配線11と複数のソース
電極配線12とを交差させ、この交差部にスイッチング
素子13を設け、ガラス基板外周にゲート電極配線11
とソース電極配線12とを電気的に接続するショートリ
ング14を形成し、図5(b)に示すように、透明電極
16を有する他方のガラス基板からなる対向基板15を
一方のガラス基板10に対向させ、この間に液晶17を
挟持させ、この後、ショートリング14を除去して液晶
パネル1を製造した後、液晶パネル1の点灯検査を行
い、周辺駆動IC、回路及びバックライトユニットなど
を装着して製造される。
【0003】ショートリング14はゲート電極配線11
とソース電極配線12とを電気的に接続して、静電気に
よるTFTの破壊や表示特性の劣化などを防止するもの
であるが、点灯検査工程から駆動ICおよび回路の実装
工程の間は上記のようにショートリング14が除去さ
れ、静電気の影響を受けやすい状態にあり、ゲート電極
配線11およびソース電極配線12および対向基板15
と透明電極16との間に電荷が滞留し、そのままの状態
が続くと液晶の閾値電圧が上記滞留部分のみ変化してD
C成分による液晶の焼き付きが生じて画面表示において
線欠陥を引き起こすことがある。
【0004】図6は、特開平5―330859号に示さ
れた静電気防止機構を有するアンローダ装置の斜視図で
ある。
【0005】図において、1は液晶パネル、2はフォー
ク、3は窒素ガス、4はイオン発生器、5はイオン風、
6は液晶パネル1を収納するカセット、7は装置電源、
8は上記1〜7の構成になるローダ装置、9は洗浄装置
である。
【0006】上記構成において、洗浄装置9で洗浄され
た液晶パネル1は、電源7で起動されたローダ装置8の
フォーク2に載置し、フォーク2上の液晶パネル1をイ
オン発生器4の下をくぐらせてカセット6に収納する。
この時、窒素ガス3をイオン発生器4でイオン化して発
生したイオン風5が帯電した液晶パネル1にぶつかり、
帯電している電荷と逆極性のイオンは引き寄せられ、同
極性のイオンは反発し、引き寄せられたイオンによって
液晶パネルの電荷が中和されて静電気が除去される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来の液晶表示装置の製造法では、液晶パネル1に帯電
した静電気の除去にイオン発生器4から発生したイオン
風5を使用しており、液晶パネル1表面に帯電した静電
気の除去はできるが、ソース電極配線12および対向基
板15と透明電極16との間の例に示されるように液晶
パネル内部に帯電した電荷を除去することができず、静
電気の除去が不完全なために静電気による線欠陥などに
よる表示品位の劣化や歩留りの低下を引き起こすといっ
た問題があった。
【0008】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、ショートリングが除去された後
の工程において、静電気によって液晶パネル内部に帯電
したを電荷を速やかに放電させ、部分的な帯電による線
欠陥の発生を防止し、表示品位および歩留りを向上する
ことができる液晶表示装置の製造方法及び製造装置を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
周辺において露出したゲート電極配線端子とソース電極
配線端子とを有する基板とこの基板に対向して配設され
た対向基板との間に液晶を封入した液晶封入部を有する
液晶パネルの上記ゲート電極配線端子およびソース電極
配線端子を揮発性有機溶剤で電気的に接続して、静電気
による電荷を除去する液晶表示装置の製造方法である。
【0010】請求項2に係る発明は、請求項1記載の液
晶表示装置の製造方法において、液晶パネルの搬送途中
に揮発性有機溶剤を滴下する滴下機構を設け、ゲート電
極配線端子およびソース電極配線端子に上記滴下機構か
ら上記揮発性有機溶剤を滴下するものである。
【0011】請求項3に係る発明は、請求項1記載の液
晶表示装置の製造方法において、周辺において露出した
ゲート電極配線端子とソース電極配線端子とを有する基
板とこの基板に対向して配設された対向基板との間に液
晶を封入した液晶封入部を有する液晶表示パネルを収納
するカセットに揮発性有機溶剤を注入し滴下するための
注入口および滴下口を設け、この滴下口から上記カセッ
トに収納した上記液晶パネルのゲート電極配線端子およ
びソース電極配線端子に上記揮発性有機溶剤を滴下する
ものである。
【0012】請求項4に係る発明は、請求項1、2また
は3のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法におい
て、揮発性有機溶剤の蒸気圧が、20℃で80mmHg
以上であるものである。
【0013】請求項5に係る発明は、周辺において露出
したゲート電極配線端子とソース電極配線端子とを有す
る基板とこの基板に対向して配設された対向基板との間
に液晶を封入した液晶封入部を有する液晶表示パネルを
収納するカセットに導電性ブラシを設け、この導電性ブ
ラシを上記のゲート電極配線端子およびソース電極配線
端子に接触させて静電気による電荷を除去する液晶表示
装置の製造方法である。
【0014】請求項6に係る発明は、請求項5記載の液
晶表示装置の製造方法において、導電性ブラシをカーボ
ンファイバーあるいは金属ファイバーとするものであ
る。
【0015】請求項7に係る発明は、周辺において露出
したゲート電極配線端子とソース電極配線端子とを有す
る基板とこの基板に対向して配設された対向基板との間
に液晶を封入した液晶封入部を有する液晶パネルの上記
ゲート電極配線端子およびソース電極配線端子に、揮発
性有機溶剤を滴下する滴下機構を備えた液晶表示装置の
製造装置である。
【0016】請求項8に係る発明は、請求項7記載の液
晶表示装置の製造装置において、液晶パネルを搬送する
搬送機構を備え、この搬送機構に揮発性有機溶剤を滴下
する滴下機構を設けたものである。
【0017】請求項9に係る発明は、請求項7記載の液
晶表示装置の製造装置において、周辺において露出した
ゲート電極配線端子とソース電極配線端子とを有する基
板とこの基板に対向して配設された対向基板との間に液
晶を封入した液晶封入部を有する液晶表示パネルを収納
するカセットに、揮発性有機溶剤を注入する注入口と上
記ゲート電極配線端子とソース電極配線端子に注入され
た上記揮発性有機溶剤を滴下するおよび滴下口を設けた
ものである。
【0018】請求項10に係る発明は、請求項7、8ま
たは9のいずれかに記載の液晶表示装置の製造装置にお
いて、揮発性有機溶剤の蒸気圧が、20℃で80mmH
g以上であるものである。
【0019】請求項11に係る発明は、周辺において露
出したゲート電極配線端子とソース電極配線端子とを有
する基板とこの基板に対向して配設された対向基板との
間に液晶を封入した液晶封入部を有する液晶表示パネル
を収納するカセットに、上記ゲート電極配線端子とソー
ス電極配線端子に接触させる導電性ブラシを設けたもの
である。
【0020】請求項12に係る発明は、請求項11記載
の液晶表示装置の製造装置において、導電性ブラシがカ
ーボンファイバーあるいは金属ファイバーからなるもの
である。
【0021】
【作用】請求項1〜4および請求項7〜10に係る発明
によれば、液晶パネルのゲート電極配線端子およびソー
ス電極配線端子に揮発性有機溶剤を吹き付けると、揮発
性有機溶剤が広がり、ゲート電極配線端子間、ソース電
極配線端子間及びゲート電極配線端子とソース電極配線
端子は絶縁耐圧が小さい揮発性有機溶剤による電気的接
続部が形成されたことになり、上記電気的接続部で徐々
に帯電電荷が減衰し、ショートリングを形成したものと
同等の効果が得られ、線欠陥の発生を抑制することがで
きる。
【0022】また、揮発性有機溶剤は、時間の経過とと
もに蒸発してなくなるので、ゲート電極配線端子および
ソース電極配線端子の腐食などに悪影響を及ぼすことは
ない。
【0023】請求項3および9に係る発明によれば、カ
セット部に帯電電荷が完全に放出され静電気を除去する
ことができる。
【0024】請求項5および6並びに請求項11および
12に係る発明によれば、ゲート電極配線端子およびソ
ース電極配線端子間を導電ブラシが電気的に接続し、導
電ブラシがショートリングになるとともに、カセット部
に帯電電荷が完全に放出され静電気が除去されるので、
線欠陥の発生を抑制することができる。
【0025】
【実施例】
実施例1.図1は本発明の一実施例になる液晶表示装置
の製造装置における主要部の構成を示す斜視図である。
図において、1は液晶パネルで、周辺において露出した
ゲート電極配線端子18とソース電極配線端子19とを
有する基板10と対向基板15との間に液晶封入部20
を有する。23は点灯検査が終了した液晶パネル1をア
ンローダ部に搬送するための搬送機構、21は揮発性有
機溶剤22をゲート電極配線端子18およびソース電極
配線端子19に吹き付けるために搬送機構23の適当な
箇所に設けた吹き付けノズルである。
【0026】上記液晶表示装置の製造装置は、点灯検査
が終了した液晶パネル1は搬送機構23によってアンロ
ーダ部に搬送される間に、搬送機構23に設けた吹き付
けノズル21からゲート電極配線端子18およびソース
電極配線端子19に揮発性有機溶剤22を吹き付けるも
のである。
【0027】液晶パネル1は搬送機構23によってアン
ローダ部に搬送される間に静電気により帯電するが、搬
送機構23に設けた吹き付けノズル21からゲート電極
配線端子18およびソース電極配線端子19に揮発性有
機溶剤22を吹き付けると、基板10の周辺部全面に揮
発性有機溶剤22が広がり、ゲート電極配線端子18
間、ソース電極配線端子19間及びゲート電極配線端子
18とソース電極配線端子19は絶縁耐圧が小さい揮発
性有機溶剤22による電気的接続部が形成されたことに
なり、上記電気的接続部で徐々に帯電電荷が減衰し、シ
ョートリングを形成したものと同等の効果が得られ、線
欠陥の発生を抑制することができる。
【0028】揮発性有機溶剤22は、時間の経過ととも
に蒸発しなくなるが、アンローダ部にアンロードされる
まで上記電気的接続部としてその効果を有し、アンロー
ド後は完全に蒸発してなくなるので、ゲート電極配線端
子18およびソース電極配線端子19の腐食などに悪影
響を及ぼすことはない。
【0029】本実施例及び後述の実施例2において使用
する揮発性有機溶剤22は、エタノール、メタノール、
アセトンおよびイソプロピルアルコールなど、20℃、
1atmで80mmHg以上の蒸気圧を有する有機溶剤
であれば使用することができる。
【0030】また、図2の斜視図は、アンローダ部のカ
セット6に液晶パネル1をアンロードアーム24で収納
する様子を示すものであるが、液晶パネル1をカセット
6に収納する直前に、アンロードアーム上の液晶パネル
にノズル21から揮発性有機溶剤22を吹き付けてもよ
い。
【0031】実施例2.図3は本発明の第二の実施例を
示し、(a)は平面図、(b)は平面図(a)のA─A
断面図である。図において、6はアンローダ部のカセッ
トで、カセット6の上面に揮発性有機溶剤を注入するた
めの注入口25と、注入口25に連結された滴下口26
が液晶パネル1を支持する支持板27に設けられ、さら
に、底部にドレイン口28が設けられている。
【0032】上記構成において、別に設けた図示しない
揮発性有機溶剤の収納容器からポンプなどによって注入
口25に揮発性有機溶剤を注入し滴下口26から液晶パ
ネル1の電極線端子18、19に滴下し、余分の揮発性
有機溶剤はドレイン口28から排出する。
【0033】滴下された揮発性有機溶剤は液晶パネル1
の周辺部全面に広がり、電極配線端子18および19間
は絶縁耐圧が小さい揮発性有機溶剤による電気的接続部
が形成されたことになり、上記電気的接続部で徐々に帯
電電荷が減衰し、ショートリングを形成したものと同等
の効果が得られるとともに、カセット6部に帯電電荷が
放出され静電気が除去されるので、線欠陥の発生を抑制
することができる。
【0034】実施例3.図4は本発明の第三の実施例を
示し、(a)は平面図、(b)は平面図(a)のA─A
断面図である。図において、6はアンローダ部のカセッ
トで、カセット6の液晶パネルを支持する支持板27に
カーボンファイバーあるいは金属ファイバーなどからな
る導電ブラシが設けられている。
【0035】本実施例においては、ゲートおよびソース
電極配線端子18および19間を導電ブラシ29が電気
的に接続し、導電ブラシ29がショートリングになると
ともに、カセット6部に帯電電荷が放出され静電気が除
去されるので、線欠陥の発生を抑制することができる。
【0036】なお、本実施例において、導電性ゴムを支
持板27の間で上下動可能に配設し、上記導電性ゴムを
電極配線端子18および19に押し付けて、電極配線端
子18および19間を電気的に接続してもよい。このと
き、上記導電性ゴムとカセット6との間も電気的に接続
することによって、カセット6部に帯電電荷を放出し静
電気を除去することができる。
【0037】
【発明の効果】請求項1〜4および請求項7〜10に係
る発明によれば、ゲート電極配線端子間、ソース電極配
線端子間及びゲート電極配線端子とソース電極配線端子
は絶縁耐圧が小さい揮発性有機溶剤による電気的接続部
が形成されたことになり、上記電気的接続部で徐々に帯
電電荷が減衰し、ショートリングを形成したものと同等
の効果が得られ、線欠陥の発生を抑制することができ
る。
【0038】また、揮発性有機溶剤は、時間の経過とと
もに蒸発してなくなるので、ゲート電極配線端子および
ソース電極配線端子の腐食などに悪影響を及ぼすことは
ない。
【0039】請求項3および9に係る発明によれば、カ
セット部に帯電電荷が完全に放出され静電気を除去する
ことができる。
【0040】請求項5および6並びに請求項11および
12に係る発明によれば、ゲート電極配線端子およびソ
ース電極配線端子間を導電ブラシが電気的に接続し、導
電ブラシがショートリングになるとともに、カセット部
に帯電電荷が完全に放出され静電気が除去されるので、
線欠陥の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第一の実施例を示す斜視図である。
【図2】 本発明の第一の実施例の変形例を示す斜視図
である。
【図3】 本発明の第二の実施例を示す斜視図である。
【図4】 本発明の第三の実施例を示す斜視図である。
【図5】 液晶表示装置の構成を説明する平面図(a)
及び断面図(b)である。
【図6】 従来の静電気を除去する方法を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
1 液晶パネル、2 フォーク、3 窒素、4 イオン
発生器、5 イオン風、6 カセット、7 電源、8
ローダ装置、9 洗浄装置、10 基板、11ゲート電
極配線、12 ソース電極配線、13 スイッチング素
子、14 ショートリング、15 対向基板、16 透
明電極、17 液晶、18 ゲート電極配線端子、19
ソース電極配線端子、20 液晶封入部、21 吹き
付けノズル、22 揮発有機溶剤、23 搬送機構、2
4 アンロードアーム、25 注入口、26 滴下口、
27 支持板、28 ドレイン口
フロントページの続き (72)発明者 井上 一樹 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株 式会社アドバンスト・ディスプレイ内 (72)発明者 綿村 茂樹 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株 式会社アドバンスト・ディスプレイ内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周辺において露出したゲート電極配線端
    子とソース電極配線端子とを有する基板とこの基板に対
    向して配設された対向基板との間に液晶を封入した液晶
    封入部を有する液晶パネルの上記ゲート電極配線端子お
    よびソース電極配線端子を揮発性有機溶剤で電気的に接
    続して、静電気による電荷を除去することを特徴とする
    液晶表示装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 液晶パネルの搬送途中に揮発性有機溶剤
    を滴下する滴下機構を設け、ゲート電極配線端子および
    ソース電極配線端子に上記滴下機構から上記揮発性有機
    溶剤を滴下することを特徴とする請求項1記載の液晶表
    示装置の製造方法。
  3. 【請求項3】 周辺において露出したゲート電極配線端
    子とソース電極配線端子とを有する基板とこの基板に対
    向して配設された対向基板との間に液晶を封入した液晶
    封入部を有する液晶表示パネルを収納するカセットに揮
    発性有機溶剤を注入し滴下するための注入口および滴下
    口を設け、この滴下口から上記カセットに収納した上記
    液晶パネルのゲート電極配線端子およびソース電極配線
    端子に上記揮発性有機溶剤を滴下することを特徴とする
    請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。
  4. 【請求項4】 揮発性有機溶剤の蒸気圧が、20℃で8
    0mmHg以上であることを特徴とする請求項1、2ま
    たは3のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
  5. 【請求項5】 周辺において露出したゲート電極配線端
    子とソース電極配線端子とを有する基板とこの基板に対
    向して配設された対向基板との間に液晶を封入した液晶
    封入部を有する液晶表示パネルを収納するカセットに導
    電性ブラシを設け、この導電性ブラシを上記のゲート電
    極配線端子およびソース電極配線端子に接触させて静電
    気による電荷を除去することを特徴とする液晶表示装置
    の製造方法。
  6. 【請求項6】 導電性ブラシをカーボンファイバーある
    いは金属ファイバーとすることを特徴とする請求項5記
    載の液晶表示装置の製造方法。
  7. 【請求項7】 周辺において露出したゲート電極配線端
    子とソース電極配線端子とを有する基板とこの基板に対
    向して配設された対向基板との間に液晶を封入した液晶
    封入部を有する液晶パネルの上記ゲート電極配線端子お
    よびソース電極配線端子に、揮発性有機溶剤を滴下する
    滴下機構を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造
    装置。
  8. 【請求項8】 液晶パネルを搬送する搬送機構を備え、
    この搬送機構に揮発性有機溶剤を滴下する滴下機構を設
    けたことを特徴とする請求項7記載の液晶表示装置の製
    造装置。
  9. 【請求項9】 周辺において露出したゲート電極配線端
    子とソース電極配線端子とを有する基板とこの基板に対
    向して配設された対向基板との間に液晶を封入した液晶
    封入部を有する液晶表示パネルを収納するカセットに、
    揮発性有機溶剤を注入する注入口と上記ゲート電極配線
    端子とソース電極配線端子に注入された上記揮発性有機
    溶剤を滴下するおよび滴下口を設けたことを特徴とする
    請求項7記載の液晶表示装置の製造装置。
  10. 【請求項10】 揮発性有機溶剤の蒸気圧が、20℃で
    80mmHg以上であることを特徴とする請求項7、8
    または9のいずれかに記載の液晶表示装置の製造装置。
  11. 【請求項11】 周辺において露出したゲート電極配線
    端子とソース電極配線端子とを有する基板とこの基板に
    対向して配設された対向基板との間に液晶を封入した液
    晶封入部を有する液晶表示パネルを収納するカセット
    に、上記ゲート電極配線端子とソース電極配線端子に接
    触させる導電性ブラシを設けたことを特徴とする液晶表
    示装置の製造装置。
  12. 【請求項12】 導電性ブラシがカーボンファイバーあ
    るいは金属ファイバーからなることを特徴とする請求項
    11記載の液晶表示装置の製造装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6246253B1 (en) 1998-06-18 2001-06-12 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. System for testing liquid crystal and end seal of LCD cell
JP5896256B1 (ja) * 2014-12-30 2016-03-30 日東電工株式会社 液晶パネルの除電装置
CN108476582A (zh) * 2015-12-24 2018-08-31 堺显示器制品株式会社 除静电刷、除静电装置和除静电方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6246253B1 (en) 1998-06-18 2001-06-12 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. System for testing liquid crystal and end seal of LCD cell
JP5896256B1 (ja) * 2014-12-30 2016-03-30 日東電工株式会社 液晶パネルの除電装置
WO2016108260A1 (ja) * 2014-12-30 2016-07-07 日東電工株式会社 液晶パネルの除電装置
JP2016126996A (ja) * 2014-12-30 2016-07-11 日東電工株式会社 液晶パネルの除電装置
TWI594044B (zh) * 2014-12-30 2017-08-01 日東電工股份有限公司 液晶面板的除電裝置
CN108476582A (zh) * 2015-12-24 2018-08-31 堺显示器制品株式会社 除静电刷、除静电装置和除静电方法

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