JPH08181974A - 検査装置における画像処理方法及び装置 - Google Patents
検査装置における画像処理方法及び装置Info
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- JPH08181974A JPH08181974A JP6324298A JP32429894A JPH08181974A JP H08181974 A JPH08181974 A JP H08181974A JP 6324298 A JP6324298 A JP 6324298A JP 32429894 A JP32429894 A JP 32429894A JP H08181974 A JPH08181974 A JP H08181974A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 26
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 230000006870 function Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は例えばプリント基板上のパターン欠
陥をＸ線等を照射して撮像した画像から、自動検出する
画像処理装置において、Ｘ線等の光量変化に対して、安
定にパターンの欠陥を検出することを目的とする。 【構成】 本発明は上記の目的を達成するために、１画
面分の画像データの中から、最大値を求め、その最大値
が設定された基準値となるような、補正係数を画像デー
タに乗じることによって、各画面毎の画像データの最大
値が一定の基準値となるように常に補正されるため、Ｘ
線等の光量変化に対して、画像レベルを安定化する。
陥をＸ線等を照射して撮像した画像から、自動検出する
画像処理装置において、Ｘ線等の光量変化に対して、安
定にパターンの欠陥を検出することを目的とする。 【構成】 本発明は上記の目的を達成するために、１画
面分の画像データの中から、最大値を求め、その最大値
が設定された基準値となるような、補正係数を画像デー
タに乗じることによって、各画面毎の画像データの最大
値が一定の基準値となるように常に補正されるため、Ｘ
線等の光量変化に対して、画像レベルを安定化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テレビカメラ等のセン
サにより得た画像から傷、欠陥等を自動検出する画像処
理装置に関する発明で、主としてプリント基板上のパタ
ーン欠陥（細り、けずれ、断線等）をＸ線等を照射して
得られる画像から自動検出する画像処理装置の改良に関
するものである。
サにより得た画像から傷、欠陥等を自動検出する画像処
理装置に関する発明で、主としてプリント基板上のパタ
ーン欠陥（細り、けずれ、断線等）をＸ線等を照射して
得られる画像から自動検出する画像処理装置の改良に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術の一例として、Ｘ線を使
用した透視検査装置について説明する。 図４は同装置
の概略を示す図である。
用した透視検査装置について説明する。 図４は同装置
の概略を示す図である。
【０００３】１はＸ線装置、２は検査対象であるプリン
ト基板、３はＸ線蛍光倍増管、４はテレビカメラであ
る。Ｘ線装置１から放射されたＸ線はプリント基板２を
透過し、Ｘ線蛍光増倍管３によって、可視光に変換され
る。この光をテレビカメラ４により撮影し、映像信号に
変換する。
ト基板、３はＸ線蛍光倍増管、４はテレビカメラであ
る。Ｘ線装置１から放射されたＸ線はプリント基板２を
透過し、Ｘ線蛍光増倍管３によって、可視光に変換され
る。この光をテレビカメラ４により撮影し、映像信号に
変換する。
【０００４】図２にプリント基板２とＸ線光量レベルと
の関係を示す。同図において、Ａは被検査プリント基板
２の断面図で１２はプリント基板２上に形成されたパタ
ーンを示す。Ｂは該プリント基板２を透過したＸ線透過
光量レベルで、１水平同期信号期間の映像信号レベルに
相当する。照射するＸ線光量が多い場合すなわち高レベ
ルは１３、Ｘ線光量が少ない場合の低レベルは１４で示
す。破線１５は２値化レベルを示す。Ｃは照射Ｘ線光量
が多い場合の検出パターン幅。ＤはＸ線光量が少ない場
合のパターン幅を示している。
の関係を示す。同図において、Ａは被検査プリント基板
２の断面図で１２はプリント基板２上に形成されたパタ
ーンを示す。Ｂは該プリント基板２を透過したＸ線透過
光量レベルで、１水平同期信号期間の映像信号レベルに
相当する。照射するＸ線光量が多い場合すなわち高レベ
ルは１３、Ｘ線光量が少ない場合の低レベルは１４で示
す。破線１５は２値化レベルを示す。Ｃは照射Ｘ線光量
が多い場合の検出パターン幅。ＤはＸ線光量が少ない場
合のパターン幅を示している。
【０００５】このようにＸ線の光量が少なくなると、全
体の画像レベル１４が低くなり、検出パターン幅細Ｄが
細くなって、欠陥（パターンの幅不足等）と誤って検出
する欠点があった。
体の画像レベル１４が低くなり、検出パターン幅細Ｄが
細くなって、欠陥（パターンの幅不足等）と誤って検出
する欠点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこれらの欠点
を除去し、被検査体からの光量変化に対して、安定に被
検査体の欠陥を検出することを目的とする。
を除去し、被検査体からの光量変化に対して、安定に被
検査体の欠陥を検出することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、１画面分の画像データの中から、最大値
を求め、その最大値が設定された基準値となるような、
補正係数を画像データに乗じるようにしたものである。
成するために、１画面分の画像データの中から、最大値
を求め、その最大値が設定された基準値となるような、
補正係数を画像データに乗じるようにしたものである。
【０００８】
【作用】その結果、各画面毎の画像データの最大値が一
定の基準値となるように常に補正されるため、Ｘ線等の
光量変化に対して、画像レベルを常に安定させることが
できる。
定の基準値となるように常に補正されるため、Ｘ線等の
光量変化に対して、画像レベルを常に安定させることが
できる。
【０００９】
【実施例】以下、Ｘ線検査装置におけるこの発明の一実
施例を図１により説明する。
施例を図１により説明する。
【００１０】１はＸ線を放射するＸ線装置、２は被検査
体の一例として、パターンを検査する被検査プリント基
板、３はＸ線を光に変換するＸ線蛍光増倍管、４はテレ
ビカメラ、５はＡ／Ｄ変換器、６は画像メモリ、７は乗
算器、８は空間フィルタ、９は入力データを逐次前回ま
でのデータと比較して最大値を検出するピークホール
ダ、１０は補正係数ＲＯＭ、１１は欠陥判定回路であ
る。
体の一例として、パターンを検査する被検査プリント基
板、３はＸ線を光に変換するＸ線蛍光増倍管、４はテレ
ビカメラ、５はＡ／Ｄ変換器、６は画像メモリ、７は乗
算器、８は空間フィルタ、９は入力データを逐次前回ま
でのデータと比較して最大値を検出するピークホール
ダ、１０は補正係数ＲＯＭ、１１は欠陥判定回路であ
る。
【００１１】以下この動作について詳細に説明する。
【００１２】Ｘ線装置１から放射されたＸ線はプリント
基板２を透過し、Ｘ線蛍光増倍管３によって、光に変換
される。この光をテレビカメラ４により撮影し、映像信
号に変換する。
基板２を透過し、Ｘ線蛍光増倍管３によって、光に変換
される。この光をテレビカメラ４により撮影し、映像信
号に変換する。
【００１３】この映像信号をＡ／Ｄ変換器５により、デ
ィジタル画像データに変換する。この画像データを１画
面分画像メモリ６に記憶する。
ィジタル画像データに変換する。この画像データを１画
面分画像メモリ６に記憶する。
【００１４】一方、この画像データを２次元のローパス
フィルタである空間フィルタ８により、画像ノイズを除
去する。すなわち、式（１）
フィルタである空間フィルタ８により、画像ノイズを除
去する。すなわち、式（１）
【００１５】
【数１】
【００１６】Ｄｏ（ｉ，ｊ）：フィルタリング後のｉ、
ｊ番地の画素レベル Ｄｉ（ｉ，ｊ）：フィルタリング前のｉ、ｊ番地の画素
レベル Ｋ（ｉ，ｊ）：重み係数 Ｋｃ：係数 に示すように、この画像データを空間フィルタ８によ
り、隣あう画素レベルの加重平均を取ることで、フィル
タリングを行い画像のノイズを除去する。ノイズは往々
にして最大値をしめすことが多いため、ノイズを除去す
ることにより、正確な最大値を得ることができる。
ｊ番地の画素レベル Ｄｉ（ｉ，ｊ）：フィルタリング前のｉ、ｊ番地の画素
レベル Ｋ（ｉ，ｊ）：重み係数 Ｋｃ：係数 に示すように、この画像データを空間フィルタ８によ
り、隣あう画素レベルの加重平均を取ることで、フィル
タリングを行い画像のノイズを除去する。ノイズは往々
にして最大値をしめすことが多いため、ノイズを除去す
ることにより、正確な最大値を得ることができる。
【００１７】その後、ピークホルダ９により、画像全体
（例えば１フレーム）の画像データの中から、最大値を
検出する。ピークホルダ９は図示しないラッチ回路と比
較回路で構成され、順次送られてくる画像データをラッ
チ回路に記憶されている前回のデータと比較し、送られ
てきた今回のデータの方が大きければラッチ回路のデー
タを更新することにより、最大値を求める。
（例えば１フレーム）の画像データの中から、最大値を
検出する。ピークホルダ９は図示しないラッチ回路と比
較回路で構成され、順次送られてくる画像データをラッ
チ回路に記憶されている前回のデータと比較し、送られ
てきた今回のデータの方が大きければラッチ回路のデー
タを更新することにより、最大値を求める。
【００１８】補正係数ＲＯＭには式（２）に示す補正関
数をあらかじめ記憶しておき、最大値から補正係数を算
出する。
数をあらかじめ記憶しておき、最大値から補正係数を算
出する。
【００１９】Ｋａｄｊ＝Ｄｒｅｆ／Ｄｐ−ｐ …（２） Ｋａｄｊ：補正係数 Ｄｐ−ｐ：１フレーム分画像データの最大値 Ｄｒｅｆ：基準値（欠陥判定回路の入力スケール値に正
規化するための値で、数上は入力フルスケール値の９０
％を設定する。） この補正係数を画像メモリ６からの画像データに乗算器
７により乗じ、欠陥判定回路１１へ送出する。
規化するための値で、数上は入力フルスケール値の９０
％を設定する。） この補正係数を画像メモリ６からの画像データに乗算器
７により乗じ、欠陥判定回路１１へ送出する。
【００２０】すなわち、欠陥判定回路への出力データは
式（３）に示すようになり、 Ｄｏ（ｉ，ｊ）＝Ｋａｄｊ・Ｄｉ（ｉ，ｊ） …（３） Ｄｉ（ｉ，ｊ）＝（Ｄｒｅｆ／Ｄｐ−ｐ）・Ｄｉ（ｉ，
ｊ） Ｄｏ（ｉ，ｊ）：補正後のｉ、ｊ番地の画素レベル Ｄｉ（ｉ，ｊ）：補正前のｉ、ｊ番地の画素レベル Ｄｉ（ｉ，ｊ）の画素データの最大値（Ｄｐ−ｐ）が常
に基準値（Ｄｒｅｆ） すなわち、欠陥判定回路入力フルスケールの９０％値に
なるように、画面全体のレベルが補正される。このた
め、空間フィルタの影響で、多少最大値が低めに検出さ
れた場合でも、フルスケールを超えることなく欠陥判定
回路に入力できる。
式（３）に示すようになり、 Ｄｏ（ｉ，ｊ）＝Ｋａｄｊ・Ｄｉ（ｉ，ｊ） …（３） Ｄｉ（ｉ，ｊ）＝（Ｄｒｅｆ／Ｄｐ−ｐ）・Ｄｉ（ｉ，
ｊ） Ｄｏ（ｉ，ｊ）：補正後のｉ、ｊ番地の画素レベル Ｄｉ（ｉ，ｊ）：補正前のｉ、ｊ番地の画素レベル Ｄｉ（ｉ，ｊ）の画素データの最大値（Ｄｐ−ｐ）が常
に基準値（Ｄｒｅｆ） すなわち、欠陥判定回路入力フルスケールの９０％値に
なるように、画面全体のレベルが補正される。このた
め、空間フィルタの影響で、多少最大値が低めに検出さ
れた場合でも、フルスケールを超えることなく欠陥判定
回路に入力できる。
【００２１】次に補正された、データに基づきどのよう
に欠陥判定が行われるかを説明する。ただし、この技術
については既に周知であるため、以下に簡単に説明す
る。
に欠陥判定が行われるかを説明する。ただし、この技術
については既に周知であるため、以下に簡単に説明す
る。
【００２２】欠陥判定回路１１では図３に示すように比
較器１６により、画像データと予め設定されたレベル判
定値（例えば、パターン画像レベルピーク値の５０％
値）とを比較し、パターン幅を検出する。この判定値
は、測定レベルと実物との比較検討により、パターン画
像レベルピーク値の何パーセントを２値化レベルのしき
い値とすれば最も正確に実際のパターン幅に対応するか
をあらかじめ測定し、設定しておくものである。
較器１６により、画像データと予め設定されたレベル判
定値（例えば、パターン画像レベルピーク値の５０％
値）とを比較し、パターン幅を検出する。この判定値
は、測定レベルと実物との比較検討により、パターン画
像レベルピーク値の何パーセントを２値化レベルのしき
い値とすれば最も正確に実際のパターン幅に対応するか
をあらかじめ測定し、設定しておくものである。
【００２３】その後、パターン幅判定回路１７によりパ
ターン幅を測定（カウント）し、その測定値と規格値と
を比較することによってパターンの細り、パターンの断
線等の欠陥を検出する。
ターン幅を測定（カウント）し、その測定値と規格値と
を比較することによってパターンの細り、パターンの断
線等の欠陥を検出する。
【００２４】以上の実施例によれば、Ｘ線等の光量変化
に対して、画像レベルが変化した場合でも、画像レベル
に対応した最大値を１フレーム毎に検出し、その最大値
が一定値（基準値）となるように補正することができる
ため、画像レベルを安定させることができる。
に対して、画像レベルが変化した場合でも、画像レベル
に対応した最大値を１フレーム毎に検出し、その最大値
が一定値（基準値）となるように補正することができる
ため、画像レベルを安定させることができる。
【００２５】なお、以上の実施例の説明はＸ線検査装置
について行ったが、その外に可視光線、紫外線、レーザ
光線等を用いた各種検査装置においても実施できること
はいうまでもない。
について行ったが、その外に可視光線、紫外線、レーザ
光線等を用いた各種検査装置においても実施できること
はいうまでもない。
【００２６】また、検査対象もプリント基板パターンば
かりでなく、それぞれの光源の特性を生かせる物体、物
質であれば特に限定されるものではない。
かりでなく、それぞれの光源の特性を生かせる物体、物
質であれば特に限定されるものではない。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、被検査体からの光量変
化が生じ、画像レベルが変化した場合でも、画像レベル
に対応した最大値を１画面毎に検出し、その最大値が一
定値（基準値）となるように補正することができるた
め、画像レベルを安定させることができる。
化が生じ、画像レベルが変化した場合でも、画像レベル
に対応した最大値を１画面毎に検出し、その最大値が一
定値（基準値）となるように補正することができるた
め、画像レベルを安定させることができる。
【００２８】このため、欠陥検査装置等においては検査
精度を著しく向上することができることは言うまでもな
い。また、Ｘ線等の光量を厳密に管理する必要がなく、
照射光源側の制御装置が簡単になり、コスト上のメリッ
トも大きい。また、このことは関連する例えばＸ線増倍
管あるいはテレビカメラ、においてもいえることで、こ
れらを総合したメリットは非常に大きなものとなる。
精度を著しく向上することができることは言うまでもな
い。また、Ｘ線等の光量を厳密に管理する必要がなく、
照射光源側の制御装置が簡単になり、コスト上のメリッ
トも大きい。また、このことは関連する例えばＸ線増倍
管あるいはテレビカメラ、においてもいえることで、こ
れらを総合したメリットは非常に大きなものとなる。
【図１】本発明の全体構成を示すブロック図。
【図２】光量変化に伴いパターン幅の変化を表わす図。
【図３】欠陥判定回路の一例を示すブロック図。
【図４】Ｘ透視検査装置の外観構成図
１ Ｘ線装置 ２ プリント基板 ３ Ｘ線蛍光増倍管 ４ テレビカメラ ５ Ａ／Ｄ変換器 ６ 画像メモリ ７ 乗算器 ８ 空間フィルタ ９ ピークホールダ １０ 補正係数ＲＯＭ １１ 欠陥判定回路 １２ 画像レベル １３ 検出パターン幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 5/00 Ｈ０５Ｋ 13/04 Ｍ // Ｇ０６Ｔ 7/00
Claims (5)
- 【請求項１】 被検査体から得られた画像を処理し該被
検査体の検査を行う検査機における画像処理装置におい
て、被検査体から得られた画像データの中から、最大値
を求め、該最大値があらかじめ設定された基準値となる
ような、補正係数を前記画像データに乗じることを特徴
とする画像処理方法。 - 【請求項２】 被検査体から得られた画像を処理し該被
検査体の検査を行う検査機における画像処理装置におい
て、被検査体を撮像し、得られた映像信号をＡ／Ｄ変換
し、該Ａ／Ｄ変換することにより得られた画像データを
空間フィルタを通して画像ノイズを除去した後、得られ
た１画面分の画像データから、最大値を求め、該最大値
があらかじめ設定された基準値となるように、画像デー
タに補正係数を乗じることを特徴とする画像処理方法。 - 【請求項３】 Ｘ線を照射し、被検査体から得られた画
像を処理し該被検査体の検査を行うＸ線透視検査機にお
ける画像処理装置において、Ｘ線により透視された被検
査体の像を可視化し、該可視化した被検査体の像を撮像
し、得られた映像信号をＡ／Ｄ変換し、該Ａ／Ｄ変換す
ることにより得られた画像データを空間フィルタを通し
て画像ノイズを除去した後、得られた１画面分の画像デ
ータから、最大値を求め、該最大値があらかじめ設定さ
れた基準値となるように、画像データに補正係数を乗じ
ることを特徴とするＸ線検査機における画像処理方法。 - 【請求項４】 被検査体の像を撮像するテレビカメラ
と、該テレビカメラにより撮像された前記被検査体の像
をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、該Ａ／Ｄ
変換器によりデジタル化された前記被検査体の画像デー
タから画像ノイズを除去する空間フィルタと、該空間フ
ィルタを通過した前記被検査体の画像データの最大値を
検出するピークホルダと、該ピークホルダににより検出
された前記被検査体の画像データの最大値からこの最大
値に対応する補正係数を読み出す補正係数ＲＯＭと、該
補正係数ＲＯＭから得られた補正係数を前記デジタル化
された前記被検査体の透視画像データに乗算する乗算器
とを有することを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項５】 被検査体に対しＸ線を照射するＸ線装置
と、該Ｘ線装置によりＸ線を照射された前記被検査体の
透視画像を可視化するＸ線蛍光増倍管と、該Ｘ線蛍光増
倍管により可視化された前記被検査体の透視画像を撮像
するテレビカメラと、該テレビカメラにより撮像された
前記被検査体の透視画像をデジタルデータに変換するＡ
／Ｄ変換器と、該Ａ／Ｄ変換器によりデジタル化された
前記被検査体の透視画像データから画像ノイズを除去す
る空間フィルタと、該空間フィルタを通過した前記被検
査体の透視画像データの最大値を検出するピークホルダ
と、該ピークホルダににより検出された前記被検査体の
透視画像データの最大値からこの最大値に対応する補正
係数を読み出す補正係数ＲＯＭと、該補正係数ＲＯＭか
ら得られた補正係数を前記デジタル化された前記被検査
体の透視画像データに乗算する乗算器と、次段の欠陥判
定回路を有することを特徴とするＸ線検査機
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6324298A JPH08181974A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 検査装置における画像処理方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6324298A JPH08181974A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 検査装置における画像処理方法及び装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003121522A Division JP2004004061A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 画像処理方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08181974A true JPH08181974A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18164247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6324298A Pending JPH08181974A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 検査装置における画像処理方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08181974A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH118498A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 挿入穴位置データ編集方法 |
| US7809180B2 (en) | 2004-07-05 | 2010-10-05 | Panasonic Corporation | Method of generating image of component |
-
1994
- 1994-12-27 JP JP6324298A patent/JPH08181974A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH118498A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 挿入穴位置データ編集方法 |
| US7809180B2 (en) | 2004-07-05 | 2010-10-05 | Panasonic Corporation | Method of generating image of component |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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