JPH0818126A - レーザ発振器の出力検出装置 - Google Patents
レーザ発振器の出力検出装置Info
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- JPH0818126A JPH0818126A JP16626594A JP16626594A JPH0818126A JP H0818126 A JPH0818126 A JP H0818126A JP 16626594 A JP16626594 A JP 16626594A JP 16626594 A JP16626594 A JP 16626594A JP H0818126 A JPH0818126 A JP H0818126A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 リヤミラー３を透過したレーザ光線Ｒの出力
を検出するリヤ検出器９と、フロントミラー４から放射
されるレーザ光線Ｌの出力を検出するフロント検出器８
とを備えている。上記リヤミラー３やフロントミラー４
の交換時には、上記リヤ検出器９で検出された検出値か
ら、フロントミラー４から放射されるレーザ光線Ｌの出
力値を換算するための換算式又は換算表が手動又は自動
により作成されて換算手段３５Ａに保持される。 【効果】 従来のように校正用の出力検出器を設けるこ
となく、上記換算式又は換算表を容易に得ることができ
る。そしてレーザ加工を行なう際には、リヤ検出器９で
検出された検出値に上記換算式又は換算表を用いること
により、フロントミラー４から放射されるレーザ光線Ｌ
の出力値を間接的に検出することができる。
を検出するリヤ検出器９と、フロントミラー４から放射
されるレーザ光線Ｌの出力を検出するフロント検出器８
とを備えている。上記リヤミラー３やフロントミラー４
の交換時には、上記リヤ検出器９で検出された検出値か
ら、フロントミラー４から放射されるレーザ光線Ｌの出
力値を換算するための換算式又は換算表が手動又は自動
により作成されて換算手段３５Ａに保持される。 【効果】 従来のように校正用の出力検出器を設けるこ
となく、上記換算式又は換算表を容易に得ることができ
る。そしてレーザ加工を行なう際には、リヤ検出器９で
検出された検出値に上記換算式又は換算表を用いること
により、フロントミラー４から放射されるレーザ光線Ｌ
の出力値を間接的に検出することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器から出力
されるレーザ光線の出力を検出する出力検出装置に関す
る。
されるレーザ光線の出力を検出する出力検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ発振器の出力検出装置とし
て、フロントミラーから出力されたレーザ光線の光軸上
に挿脱自在に設けられ、レーザ光線の光軸上に挿入され
た際に所定方向にレーザ光線を反射する可動ミラーと、
上記可動ミラーで反射されたレーザ光線の出力を検出す
る検出器とを備えたものが知られている（特公昭６０−
３７６３６号公報）。またその他の出力検出装置とし
て、微小な透過率を有するリヤミラーと、このリヤミラ
ーを透過したレーザ光線の出力を検出する検出器とを備
え、該リヤミラーを透過したレーザ光線の出力によっ
て、フロントミラーから出力されたレーザ光線の出力を
検出するようにしたものも知られてる（特開昭５８−２
１８１８６号公報）。
て、フロントミラーから出力されたレーザ光線の光軸上
に挿脱自在に設けられ、レーザ光線の光軸上に挿入され
た際に所定方向にレーザ光線を反射する可動ミラーと、
上記可動ミラーで反射されたレーザ光線の出力を検出す
る検出器とを備えたものが知られている（特公昭６０−
３７６３６号公報）。またその他の出力検出装置とし
て、微小な透過率を有するリヤミラーと、このリヤミラ
ーを透過したレーザ光線の出力を検出する検出器とを備
え、該リヤミラーを透過したレーザ光線の出力によっ
て、フロントミラーから出力されたレーザ光線の出力を
検出するようにしたものも知られてる（特開昭５８−２
１８１８６号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前者の出力検出装置に
おいては、フロントミラーから出力されているレーザ光
線を取出して出力値を検出しているので、実際のレーザ
光線の出力を検出することができるという利点がある。
しかしながらその反面、レーザ加工時にレーザ光線の出
力を検出することができず、レーザ加工中にレーザ光線
の出力変動があってもそれを検出することができないと
いう欠点がある。これに対し、後者の出力検出装置にお
いては、リヤミラーを透過したレーザ光線によって出力
値を検出するようにしているので、レーザ加工中であっ
てもレーザ光線の出力変動を検出することができ、それ
によってレーザ光線の出力を一定に維持する制御を行な
ったり、異常時に警報を発したりすることができる。し
かしながら、フロントミラーやリヤミラーを交換した場
合には、各ミラーの透過率がミラー毎に異なるので、そ
の都度、フロントミラーから出力されているレーザ光線
の出力を検出する校正用の出力検出器を設けて、リヤミ
ラーを透過したレーザ光線の出力値とフロントミラーを
透過したレーザ光線の出力値とがどのような関係にある
のかを計測しなければならず、その作業が煩雑であっ
た。本発明はそのような事情に鑑み、レーザ加工中であ
ってもレーザ光線の出力変動を検出することができるよ
うにするとともに、フロントミラーやリヤミラーを交換
した場合には、容易にリヤミラーを透過したレーザ光線
の出力値とフロントミラーを透過したレーザ光線の出力
値とがどのような関係にあるかを計測することができる
ようにしたレーザ発振器の出力検出装置を提供するもの
である。
おいては、フロントミラーから出力されているレーザ光
線を取出して出力値を検出しているので、実際のレーザ
光線の出力を検出することができるという利点がある。
しかしながらその反面、レーザ加工時にレーザ光線の出
力を検出することができず、レーザ加工中にレーザ光線
の出力変動があってもそれを検出することができないと
いう欠点がある。これに対し、後者の出力検出装置にお
いては、リヤミラーを透過したレーザ光線によって出力
値を検出するようにしているので、レーザ加工中であっ
てもレーザ光線の出力変動を検出することができ、それ
によってレーザ光線の出力を一定に維持する制御を行な
ったり、異常時に警報を発したりすることができる。し
かしながら、フロントミラーやリヤミラーを交換した場
合には、各ミラーの透過率がミラー毎に異なるので、そ
の都度、フロントミラーから出力されているレーザ光線
の出力を検出する校正用の出力検出器を設けて、リヤミ
ラーを透過したレーザ光線の出力値とフロントミラーを
透過したレーザ光線の出力値とがどのような関係にある
のかを計測しなければならず、その作業が煩雑であっ
た。本発明はそのような事情に鑑み、レーザ加工中であ
ってもレーザ光線の出力変動を検出することができるよ
うにするとともに、フロントミラーやリヤミラーを交換
した場合には、容易にリヤミラーを透過したレーザ光線
の出力値とフロントミラーを透過したレーザ光線の出力
値とがどのような関係にあるかを計測することができる
ようにしたレーザ発振器の出力検出装置を提供するもの
である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、微小
な透過率を有するリヤミラーと、このリヤミラーとの間
で共振されたレーザ光線を出力するフロントミラーと、
上記リヤミラーを透過したレーザ光線の出力を検出する
リヤ検出器と、上記フロントミラーから放射されるレー
ザ光線の光軸上に挿脱自在に設けられ、レーザ光線の光
軸上に挿入された際にレーザ光線を所定方向に反射する
可動ミラーと、上記可動ミラーで反射されたレーザ光線
の出力を検出するフロント検出器と、上記リヤ検出器お
よびフロント検出器で同時に検出した検出値から、リヤ
検出器で検出されたリヤ検出値とフロント検出器で検出
されたフロント検出値とを換算する換算式又は換算表を
保持する換算手段とを設けたものである。
な透過率を有するリヤミラーと、このリヤミラーとの間
で共振されたレーザ光線を出力するフロントミラーと、
上記リヤミラーを透過したレーザ光線の出力を検出する
リヤ検出器と、上記フロントミラーから放射されるレー
ザ光線の光軸上に挿脱自在に設けられ、レーザ光線の光
軸上に挿入された際にレーザ光線を所定方向に反射する
可動ミラーと、上記可動ミラーで反射されたレーザ光線
の出力を検出するフロント検出器と、上記リヤ検出器お
よびフロント検出器で同時に検出した検出値から、リヤ
検出器で検出されたリヤ検出値とフロント検出器で検出
されたフロント検出値とを換算する換算式又は換算表を
保持する換算手段とを設けたものである。
【０００５】
【作用】上述した構成によれば、通常はフロントミラー
から放射されるレーザ光線によってレーザ加工等を行な
うことができ、この間、リヤ検出器によりリヤミラーを
透過したレーザ光線の出力を検出することにより、フロ
ントミラーから放射されるレーザ光線の出力を間接的に
検出することができる。したがって、例えばリヤ検出器
によって検出されたレーザ光線の出力が一定となるよう
にレーザ発振器を制御することにより、フロントミラー
から放射されるレーザ光線の出力を一定に維持すること
ができる。そして上記フロントミラーやリヤミラーを交
換した際には、従来のように校正用の出力検出器を設け
ることなく、リヤ検出器で検出されたレーザ光線の出力
値とフロント検出器で検出されたレーザ光線の出力値と
によってその換算式又は換算表を容易に作成することが
でき、したがってその作業を容易なものとすることがで
きる。
から放射されるレーザ光線によってレーザ加工等を行な
うことができ、この間、リヤ検出器によりリヤミラーを
透過したレーザ光線の出力を検出することにより、フロ
ントミラーから放射されるレーザ光線の出力を間接的に
検出することができる。したがって、例えばリヤ検出器
によって検出されたレーザ光線の出力が一定となるよう
にレーザ発振器を制御することにより、フロントミラー
から放射されるレーザ光線の出力を一定に維持すること
ができる。そして上記フロントミラーやリヤミラーを交
換した際には、従来のように校正用の出力検出器を設け
ることなく、リヤ検出器で検出されたレーザ光線の出力
値とフロント検出器で検出されたレーザ光線の出力値と
によってその換算式又は換算表を容易に作成することが
でき、したがってその作業を容易なものとすることがで
きる。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１において、レーザ発振器１は概略円筒状に形成
されたレーザチューブ２を備えており、このレーザチュ
ーブ２の一方の端部にリヤミラー３を設け、また他方の
端部にフロントミラー４を設けている。上記リヤミラー
３とフロントミラー４とはレーザチューブ２の軸線上に
対向させて設けてあり、これら一対のミラー３、４で共
振されたレーザ光線を上記フロントミラー４から左側に
向けて放射することができるようになっている。上記リ
ヤミラー３は例えば０．１〜０．５％の透過率を有して
おり、したがって０．５％の透過率を有している場合、
９９．５％のレーザ光線を反射し、残り０．５％のレー
ザ光線をリヤ側に向けて透過するようになる。また上記
フロントミラー４は、両ミラー３、４間で共振されるレ
ーザ光線のエネルギが所定値を越えたときに該レーザ光
線をフロント側に向けて透過させるようになっている。
上記フロントミラー４から放射されたレーザ光線Ｌは、
従来周知の図示しないフォーカスヘッドで集光されると
ともに、このフォーカスヘッドから図示しない被加工物
へ照射されて切断加工が行なわれるようになっている。
そして、上記レーザ発振器１のフロント側にはシリンダ
５を設けてあり、このシリンダ５には上記レーザ光線Ｌ
の光軸上に挿脱される可動ミラー７を設けている。上記
可動ミラー７は、通常はレーザ光線Ｌの光軸上から脱出
した状態となっており（図示せず）、この状態では前述
したように被加工物の切断加工が行なわれるようになっ
ている。これに対して、上記可動ミラー７がレーザ光線
Ｌの光軸上に挿入されているときには、該可動ミラー７
によって反射されたレーザ光線Ｌは所定位置に配設した
フロント検出器８に照射されるようになっており、該フ
ロント検出器８によってレーザ光線Ｌの出力を検出する
ことができるようになっている。他方、上記レーザ発振
器１のリヤ側には、上記リヤミラー３から透過されたレ
ーザ光線Ｒの光軸上にリヤ検出器９を設けてあり、該リ
ヤ検出器９によって上記レーザ光線Ｒの出力を検出する
ことができるようになっている。次に、図２において、
上記レーザチューブ２の左端部はマニホールド１０によ
って支持してあり、このマニホールド１０よりもフロン
ト側先端部に支持部材１１を設けている。そしてこの支
持部材１１に上述したシリンダ５を固定し、そのシリン
ダロッド５ａの下端部に上記可動ミラー７を取付けてい
る。上記フロント検出器８は、上記可動ミラー７によっ
て反射されたレーザ光線Ｌが照射される光軸上に配置し
た円錐形状のダンパーミラー１２と、このダンパーミラ
ー１２で反射されたレーザ光線Ｌが照射される概略筒状
の吸熱部材１４とを備えている。上記吸熱部材１４の内
周面には円周方向に沿って複数のＶ字状の環状溝１４ｂ
を形成してあり、これによってレーザ光線Ｌが照射され
る部分の表面積を大きくしている。上記ダンパーミラー
１２内および吸熱部材１４内に冷却流体を流通させるた
めの冷却通路１２Ａ、１４Ａをそれぞれ形成してあり、
冷却流体供給パイプ１５から冷却通路１２Ａ内に供給さ
れた冷却流体を、冷却通路１４Ａを介して冷却流体排出
パイプ１６から外部に排出できるようにしている。そし
て図示しないが、上記冷却流体供給パイプ１５に供給前
の冷却流体の温度を測定する第１温度センサを、また上
記冷却流体排出パイプ１６に排出後の冷却流体の温度を
測定する第２温度センサをそれぞれ設けてあり、これら
温度センサで測定した冷却流体の温度差からフロントミ
ラー４から放射されているレーザ光線Ｌの出力を検出す
ることができるようにしている。図３はレーザ発振器１
の右端部の構造を示したもので、上記レーザチューブ２
の右端部はマニホールド２０によって支持されており、
このマニホールド２０はフレーム２１にボルト２２によ
って固定されているスライド部材２３上に載置されて、
レーザチューブ２が軸方向に熱膨張した際に、該マニホ
ールド２０が軸方向へ変位されるようになっている。上
記リヤ検出器９は、リヤミラー３より透過されたレーザ
光線Ｒが照射される円板状の吸熱部材２５を備えてい
る。この吸熱部材２５は有底の筒状部材２６の底部に固
定してあり、また筒状部材２６はフレーム７に固定した
支持部材２７に取付けている。上記吸熱部材２５の内部
に冷却通路２８を形成してあり、図３、図４に示すよう
に、吸熱部材２５の中心位置に冷却通路２８に連通する
供給口２８ａを、また吸熱部材２５の外周の左斜め上方
に冷却通路２８に連通する排出口２８ｂをそれぞれ開口
させ、冷却流体供給パイプ３０から供給された冷却流体
を上記供給口２８ａから冷却通路２８に流通させ、さら
に排出口２８ｂを介して冷却流体排出パイプ３１に排出
することができるようにしている。さらに、上記冷却流
体供給パイプ３０に供給前の冷却流体の温度を測定する
第３温度センサ３３Ａを、また冷却流体排出パイプ３１
に供給後の冷却流体の温度を測定する第４温度センサ３
３Ｂを設けてあり、これら温度センサ３３Ａ、３３Ｂの
温度差によってリヤミラー３から放射されるレーザ光線
Ｒの出力を検出することができるようにしている。次
に、図１において、上記フロント検出器８で検出された
検出値とリヤ検出器９で検出された検出値とは制御装置
３５に入力されるようになっており、この制御装置３５
は、オペレータからの指示により、上記リヤ検出器９お
よびフロント検出器８で同時に検出した検出値から、リ
ヤ検出器９で検出されたリヤ検出値とフロント検出器８
で検出されたフロント検出値とを換算する換算式又は換
算表を作成する換算手段３５Ａを備えている。上記換算
式を求める場合には、先ず上記可動ミラー７をレーザ光
線Ｌの光軸上に位置させるとともに、フロント検出器８
の冷却通路１２Ａ、１４Ａとリヤ検出器９の冷却通路２
８にそれぞれ一定の流量で冷却流体を流通させる。この
状態で、先ずレーザ発振器１を低い出力で起動し、フロ
ント検出器８の冷却通路１２Ａ、１４Ａとリヤ検出器９
の冷却通路２８のそれぞれの入口温度と出口温度とを計
測する。それらの温度は上記制御装置３５に入力され、
制御装置３５は上記各入口温度と出口温度との温度変化
が安定したら、それぞれの温度差から、フロントミラー
４から放射されているレーザ光線Ｌの出力値と、リヤミ
ラー３を透過したレーザ光線Ｒの出力値とをそれぞれ算
出する。このようにして計測した第１回目のリヤ検出器
９の検出値をａｘ、フロント検出器８の検出値をａｙと
する。次に、上記レーザ発振器１の出力を必要量だけ増
大させ、上述したのと同様にして、各レーザ光線Ｌ、Ｒ
の出力値を測定する。このようにして計測した第２回目
のリヤ検出器９の検出値をｂｘ、フロント検出器８の検
出値をｂｙとする。そしてさらに、上記各検出値を一般
式ｙ＝Ａｘ＋Ｂにそれぞれ代入してその連立方程式を解
けば、Ａ＝（ａｙ−ｂｙ）／（ａｘ−ｂｘ）、Ｂ＝ａｙ
／Ａ・ａｘが得られる。より具体的には、例えば第１回
目の検出時にリヤ検出器９の検出値が０．５ワット、フ
ロント検出器８の検出値が１００ワットであり、また第
２回目の検出時にリヤ検出器９の検出値が０．７ワッ
ト、フロント検出器８の検出値が１４０ワットである場
合には、Ａ＝２００、Ｂ＝０となるので、その２回の検
出値の間では、ｙ＝２００ｘという換算式が求められ
る。したがって、例えばリヤ検出器９の検出値が０．６
ワットであったときには、上記換算式から、上記フロン
トミラー４から左側に向けて放射されるレーザ光線Ｌは
１２０ワットであると求めることができる。このよう
に、レーザ発振器１の出力を徐々に変更しながらフロン
ト検出器８とリヤ検出器９とでそれぞれの出力値を多数
回検出して、隣接した検出値間で上述した換算式をそれ
ぞれ作成して記憶しておけば、レーザ加工中にリヤミラ
ー３を透過したレーザ光線Ｒの出力値を検出することに
より、フロントミラー４から放射されるレーザ光線Ｌの
出力値を間接的に検出することができる。また他の実施
例として、図５に示すように、上記多数回の検出により
換算表を作成しておき、この換算表とリヤ検出器８で検
出された検出値から、フロントミラー４から放射される
レーザ光線Ｌの出力値を換算するようにしてもよい。さ
らに上記換算式又は換算表の作成を人手によって行な
い、その換算結果を換算手段３５Ａに入力させてもよ
い。
と、図１において、レーザ発振器１は概略円筒状に形成
されたレーザチューブ２を備えており、このレーザチュ
ーブ２の一方の端部にリヤミラー３を設け、また他方の
端部にフロントミラー４を設けている。上記リヤミラー
３とフロントミラー４とはレーザチューブ２の軸線上に
対向させて設けてあり、これら一対のミラー３、４で共
振されたレーザ光線を上記フロントミラー４から左側に
向けて放射することができるようになっている。上記リ
ヤミラー３は例えば０．１〜０．５％の透過率を有して
おり、したがって０．５％の透過率を有している場合、
９９．５％のレーザ光線を反射し、残り０．５％のレー
ザ光線をリヤ側に向けて透過するようになる。また上記
フロントミラー４は、両ミラー３、４間で共振されるレ
ーザ光線のエネルギが所定値を越えたときに該レーザ光
線をフロント側に向けて透過させるようになっている。
上記フロントミラー４から放射されたレーザ光線Ｌは、
従来周知の図示しないフォーカスヘッドで集光されると
ともに、このフォーカスヘッドから図示しない被加工物
へ照射されて切断加工が行なわれるようになっている。
そして、上記レーザ発振器１のフロント側にはシリンダ
５を設けてあり、このシリンダ５には上記レーザ光線Ｌ
の光軸上に挿脱される可動ミラー７を設けている。上記
可動ミラー７は、通常はレーザ光線Ｌの光軸上から脱出
した状態となっており（図示せず）、この状態では前述
したように被加工物の切断加工が行なわれるようになっ
ている。これに対して、上記可動ミラー７がレーザ光線
Ｌの光軸上に挿入されているときには、該可動ミラー７
によって反射されたレーザ光線Ｌは所定位置に配設した
フロント検出器８に照射されるようになっており、該フ
ロント検出器８によってレーザ光線Ｌの出力を検出する
ことができるようになっている。他方、上記レーザ発振
器１のリヤ側には、上記リヤミラー３から透過されたレ
ーザ光線Ｒの光軸上にリヤ検出器９を設けてあり、該リ
ヤ検出器９によって上記レーザ光線Ｒの出力を検出する
ことができるようになっている。次に、図２において、
上記レーザチューブ２の左端部はマニホールド１０によ
って支持してあり、このマニホールド１０よりもフロン
ト側先端部に支持部材１１を設けている。そしてこの支
持部材１１に上述したシリンダ５を固定し、そのシリン
ダロッド５ａの下端部に上記可動ミラー７を取付けてい
る。上記フロント検出器８は、上記可動ミラー７によっ
て反射されたレーザ光線Ｌが照射される光軸上に配置し
た円錐形状のダンパーミラー１２と、このダンパーミラ
ー１２で反射されたレーザ光線Ｌが照射される概略筒状
の吸熱部材１４とを備えている。上記吸熱部材１４の内
周面には円周方向に沿って複数のＶ字状の環状溝１４ｂ
を形成してあり、これによってレーザ光線Ｌが照射され
る部分の表面積を大きくしている。上記ダンパーミラー
１２内および吸熱部材１４内に冷却流体を流通させるた
めの冷却通路１２Ａ、１４Ａをそれぞれ形成してあり、
冷却流体供給パイプ１５から冷却通路１２Ａ内に供給さ
れた冷却流体を、冷却通路１４Ａを介して冷却流体排出
パイプ１６から外部に排出できるようにしている。そし
て図示しないが、上記冷却流体供給パイプ１５に供給前
の冷却流体の温度を測定する第１温度センサを、また上
記冷却流体排出パイプ１６に排出後の冷却流体の温度を
測定する第２温度センサをそれぞれ設けてあり、これら
温度センサで測定した冷却流体の温度差からフロントミ
ラー４から放射されているレーザ光線Ｌの出力を検出す
ることができるようにしている。図３はレーザ発振器１
の右端部の構造を示したもので、上記レーザチューブ２
の右端部はマニホールド２０によって支持されており、
このマニホールド２０はフレーム２１にボルト２２によ
って固定されているスライド部材２３上に載置されて、
レーザチューブ２が軸方向に熱膨張した際に、該マニホ
ールド２０が軸方向へ変位されるようになっている。上
記リヤ検出器９は、リヤミラー３より透過されたレーザ
光線Ｒが照射される円板状の吸熱部材２５を備えてい
る。この吸熱部材２５は有底の筒状部材２６の底部に固
定してあり、また筒状部材２６はフレーム７に固定した
支持部材２７に取付けている。上記吸熱部材２５の内部
に冷却通路２８を形成してあり、図３、図４に示すよう
に、吸熱部材２５の中心位置に冷却通路２８に連通する
供給口２８ａを、また吸熱部材２５の外周の左斜め上方
に冷却通路２８に連通する排出口２８ｂをそれぞれ開口
させ、冷却流体供給パイプ３０から供給された冷却流体
を上記供給口２８ａから冷却通路２８に流通させ、さら
に排出口２８ｂを介して冷却流体排出パイプ３１に排出
することができるようにしている。さらに、上記冷却流
体供給パイプ３０に供給前の冷却流体の温度を測定する
第３温度センサ３３Ａを、また冷却流体排出パイプ３１
に供給後の冷却流体の温度を測定する第４温度センサ３
３Ｂを設けてあり、これら温度センサ３３Ａ、３３Ｂの
温度差によってリヤミラー３から放射されるレーザ光線
Ｒの出力を検出することができるようにしている。次
に、図１において、上記フロント検出器８で検出された
検出値とリヤ検出器９で検出された検出値とは制御装置
３５に入力されるようになっており、この制御装置３５
は、オペレータからの指示により、上記リヤ検出器９お
よびフロント検出器８で同時に検出した検出値から、リ
ヤ検出器９で検出されたリヤ検出値とフロント検出器８
で検出されたフロント検出値とを換算する換算式又は換
算表を作成する換算手段３５Ａを備えている。上記換算
式を求める場合には、先ず上記可動ミラー７をレーザ光
線Ｌの光軸上に位置させるとともに、フロント検出器８
の冷却通路１２Ａ、１４Ａとリヤ検出器９の冷却通路２
８にそれぞれ一定の流量で冷却流体を流通させる。この
状態で、先ずレーザ発振器１を低い出力で起動し、フロ
ント検出器８の冷却通路１２Ａ、１４Ａとリヤ検出器９
の冷却通路２８のそれぞれの入口温度と出口温度とを計
測する。それらの温度は上記制御装置３５に入力され、
制御装置３５は上記各入口温度と出口温度との温度変化
が安定したら、それぞれの温度差から、フロントミラー
４から放射されているレーザ光線Ｌの出力値と、リヤミ
ラー３を透過したレーザ光線Ｒの出力値とをそれぞれ算
出する。このようにして計測した第１回目のリヤ検出器
９の検出値をａｘ、フロント検出器８の検出値をａｙと
する。次に、上記レーザ発振器１の出力を必要量だけ増
大させ、上述したのと同様にして、各レーザ光線Ｌ、Ｒ
の出力値を測定する。このようにして計測した第２回目
のリヤ検出器９の検出値をｂｘ、フロント検出器８の検
出値をｂｙとする。そしてさらに、上記各検出値を一般
式ｙ＝Ａｘ＋Ｂにそれぞれ代入してその連立方程式を解
けば、Ａ＝（ａｙ−ｂｙ）／（ａｘ−ｂｘ）、Ｂ＝ａｙ
／Ａ・ａｘが得られる。より具体的には、例えば第１回
目の検出時にリヤ検出器９の検出値が０．５ワット、フ
ロント検出器８の検出値が１００ワットであり、また第
２回目の検出時にリヤ検出器９の検出値が０．７ワッ
ト、フロント検出器８の検出値が１４０ワットである場
合には、Ａ＝２００、Ｂ＝０となるので、その２回の検
出値の間では、ｙ＝２００ｘという換算式が求められ
る。したがって、例えばリヤ検出器９の検出値が０．６
ワットであったときには、上記換算式から、上記フロン
トミラー４から左側に向けて放射されるレーザ光線Ｌは
１２０ワットであると求めることができる。このよう
に、レーザ発振器１の出力を徐々に変更しながらフロン
ト検出器８とリヤ検出器９とでそれぞれの出力値を多数
回検出して、隣接した検出値間で上述した換算式をそれ
ぞれ作成して記憶しておけば、レーザ加工中にリヤミラ
ー３を透過したレーザ光線Ｒの出力値を検出することに
より、フロントミラー４から放射されるレーザ光線Ｌの
出力値を間接的に検出することができる。また他の実施
例として、図５に示すように、上記多数回の検出により
換算表を作成しておき、この換算表とリヤ検出器８で検
出された検出値から、フロントミラー４から放射される
レーザ光線Ｌの出力値を換算するようにしてもよい。さ
らに上記換算式又は換算表の作成を人手によって行な
い、その換算結果を換算手段３５Ａに入力させてもよ
い。
【０００７】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、フロン
トミラーやリヤミラーの交換時には、従来のように校正
用の出力検出器を設けることなく、リヤ検出器で検出さ
れたレーザ光線Ｒの出力値とフロント検出器で検出され
たレーザ光線Ｌの出力値との換算式又は換算表を容易に
作成することができるので、その作業を容易なものとす
ることができる。そして上記換算式又は換算表を換算手
段に保持させれば、フロントミラーから放射されるレー
ザ光線によってレーザ加工等を行なう際に、リヤ検出器
によりリヤミラーを透過したレーザ光線の出力を検出す
ることにより、フロントミラーから放射されるレーザ光
線の出力を間接的に検出することができ、したがって例
えばリヤ検出器によって検出されたレーザ光線の出力が
一定となるようにレーザ発振器を制御することにより、
フロントミラーから放射されるレーザ光線の出力を一定
に維持することができる。
トミラーやリヤミラーの交換時には、従来のように校正
用の出力検出器を設けることなく、リヤ検出器で検出さ
れたレーザ光線Ｒの出力値とフロント検出器で検出され
たレーザ光線Ｌの出力値との換算式又は換算表を容易に
作成することができるので、その作業を容易なものとす
ることができる。そして上記換算式又は換算表を換算手
段に保持させれば、フロントミラーから放射されるレー
ザ光線によってレーザ加工等を行なう際に、リヤ検出器
によりリヤミラーを透過したレーザ光線の出力を検出す
ることにより、フロントミラーから放射されるレーザ光
線の出力を間接的に検出することができ、したがって例
えばリヤ検出器によって検出されたレーザ光線の出力が
一定となるようにレーザ発振器を制御することにより、
フロントミラーから放射されるレーザ光線の出力を一定
に維持することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略構成図。
【図２】図１の左端部の具体的構成を示す断面図。
【図３】図１の右端部の具体的構成を示す断面図。
【図４】図３の右側面図。
【図５】換算表を示した図。
１…レーザ発振器 ３…リヤミラー ４…フロントミラー ７…可動ミラー ８…フロント検出器 ９…リヤ検出器 ３３Ａ…第３温度センサ ３３Ｂ…第４温
度センサ ３５…制御装置 ３５Ａ…換算手段
度センサ ３５…制御装置 ３５Ａ…換算手段
Claims (1)
- 【請求項１】 微小な透過率を有するリヤミラーと、こ
のリヤミラーとの間で共振されたレーザ光線を出力する
フロントミラーと、上記リヤミラーを透過したレーザ光
線の出力を検出するリヤ検出器と、上記フロントミラー
から放射されるレーザ光線の光軸上に挿脱自在に設けら
れ、レーザ光線の光軸上に挿入された際にレーザ光線を
所定方向に反射する可動ミラーと、上記可動ミラーで反
射されたレーザ光線の出力を検出するフロント検出器
と、上記リヤ検出器およびフロント検出器で同時に検出
した検出値から、リヤ検出器で検出されたリヤ検出値と
フロント検出器で検出されたフロント検出値とを換算す
る換算式又は換算表を保持する換算手段とを備えること
を特徴とするレーザ発振器の出力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16626594A JPH0818126A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | レーザ発振器の出力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16626594A JPH0818126A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | レーザ発振器の出力検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0818126A true JPH0818126A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15828183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16626594A Pending JPH0818126A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | レーザ発振器の出力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818126A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016147752A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 日産自動車株式会社 | 光減衰装置 |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP16626594A patent/JPH0818126A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016147752A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 日産自動車株式会社 | 光減衰装置 |
| CN107431327A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-12-01 | 日产自动车株式会社 | 光衰减装置 |
| JPWO2016147752A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2017-12-21 | 日産自動車株式会社 | 光減衰装置 |
| US10094707B2 (en) | 2015-03-13 | 2018-10-09 | Nissan Motor Co., Ltd. | Optical attenuator |
| CN107431327B (zh) * | 2015-03-13 | 2018-10-30 | 日产自动车株式会社 | 光衰减装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990714 |