JPH08118056A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH08118056A JPH08118056A JP6254898A JP25489894A JPH08118056A JP H08118056 A JPH08118056 A JP H08118056A JP 6254898 A JP6254898 A JP 6254898A JP 25489894 A JP25489894 A JP 25489894A JP H08118056 A JPH08118056 A JP H08118056A
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- Japan
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- damper
- laser
- incident angle
- laser beam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ダンパーの小型化を図りつつ入射角の調整可能
範囲を大幅に拡大できかつ三次元的走査運転や連続運転
も可能とする安全で取扱容易なレーザ加工装置を提供す
る。 【構成】本装置は、レーザ加工用ノズル１０とダンパー
３０とをレーザビームＢｉの加工面１に対する入射角θ
ｉが所定範囲内で変化した場合でも当該ダンパー３０の
受光面３１で当該レーザ反射光Ｂｏを受光可能かつ一定
の相対位置関係を保持可能に連結し、かつ当該ダンパー
３０を冷却流体を用いて強制冷却可能に構成されてい
る。
範囲を大幅に拡大できかつ三次元的走査運転や連続運転
も可能とする安全で取扱容易なレーザ加工装置を提供す
る。 【構成】本装置は、レーザ加工用ノズル１０とダンパー
３０とをレーザビームＢｉの加工面１に対する入射角θ
ｉが所定範囲内で変化した場合でも当該ダンパー３０の
受光面３１で当該レーザ反射光Ｂｏを受光可能かつ一定
の相対位置関係を保持可能に連結し、かつ当該ダンパー
３０を冷却流体を用いて強制冷却可能に構成されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加工面に入射角を持っ
てレーザビームを照射するレーザ加工用ノズルと、加工
面から反射されたレーザ反射光を吸収減衰するダンパー
とを具備するレーザ加工装置に関する。
てレーザビームを照射するレーザ加工用ノズルと、加工
面から反射されたレーザ反射光を吸収減衰するダンパー
とを具備するレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４において、レーザ加工用ノズル１０
は、レーザ発振器から発生されたレーザビームＢｉを、
加工面１に入射角θｉを持って照射しつつ当該加工面１
を加工（例えば、レーザ焼き入れ）する。また、アシス
トガス供給装置１７から供給されたアシストガスも、レ
ーザ照射点２に向けて噴流する。ダンパー３０は、加工
面１から反射されたレーザ反射光Ｂｏをレーザ吸収剤が
コーティングされた受光面３１で受けて吸収減衰するも
ので、反射角θｏ（入射角θｉ）に対応させた位置に固
定配設されている。
は、レーザ発振器から発生されたレーザビームＢｉを、
加工面１に入射角θｉを持って照射しつつ当該加工面１
を加工（例えば、レーザ焼き入れ）する。また、アシス
トガス供給装置１７から供給されたアシストガスも、レ
ーザ照射点２に向けて噴流する。ダンパー３０は、加工
面１から反射されたレーザ反射光Ｂｏをレーザ吸収剤が
コーティングされた受光面３１で受けて吸収減衰するも
ので、反射角θｏ（入射角θｉ）に対応させた位置に固
定配設されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、レーザ加工
態様の多様化の要請、例えばある入射角を設定して三次
元的曲面をレーザ焼入れするといった加工に伴うレーザ
ビームＢｉの入射角θｉの調整範囲の拡大や複雑な三次
元加工を行いたいとの要請を、かかる従来装置（１０，
３０）では満すことができない。
態様の多様化の要請、例えばある入射角を設定して三次
元的曲面をレーザ焼入れするといった加工に伴うレーザ
ビームＢｉの入射角θｉの調整範囲の拡大や複雑な三次
元加工を行いたいとの要請を、かかる従来装置（１０，
３０）では満すことができない。
【０００４】すなわち、ダンパー３０は、レーザ照射点
２を通る垂直軸線Ｚに対する固定的な入射角θｉ（反射
角θｏ）に対応させて固定配設されている。したがっ
て、この前提をなす入射角θｉが調整変化されると、レ
ーザ反射光Ｂｏがダンパー３０の受光面３１から外れて
しまうので、レーザ反射光Ｂｏを吸収できなくなる。ま
た、三次元加工は加工面１を走査することで可能である
が、加工物を複雑に動かす必要があるため非現実的であ
る。そこで、レーザビームＢｉを走査すると、とたんに
レーザ反射光Ｂｏがダンパー３０の受光面３１から大き
く外れてしまい一層吸収できなくなってしまう。この吸
収できなくなってしまう現象をを回避するには、ダンパ
ー３０を大型化するかレーザビームＢｉの入射角θｉや
走査方向Ｘに合わせて移動させなければならない。しか
し、これらの方法は、装置全体の大型化とコスト高、そ
してレイアウトの自由度の制限を受け現実的ではない。
２を通る垂直軸線Ｚに対する固定的な入射角θｉ（反射
角θｏ）に対応させて固定配設されている。したがっ
て、この前提をなす入射角θｉが調整変化されると、レ
ーザ反射光Ｂｏがダンパー３０の受光面３１から外れて
しまうので、レーザ反射光Ｂｏを吸収できなくなる。ま
た、三次元加工は加工面１を走査することで可能である
が、加工物を複雑に動かす必要があるため非現実的であ
る。そこで、レーザビームＢｉを走査すると、とたんに
レーザ反射光Ｂｏがダンパー３０の受光面３１から大き
く外れてしまい一層吸収できなくなってしまう。この吸
収できなくなってしまう現象をを回避するには、ダンパ
ー３０を大型化するかレーザビームＢｉの入射角θｉや
走査方向Ｘに合わせて移動させなければならない。しか
し、これらの方法は、装置全体の大型化とコスト高、そ
してレイアウトの自由度の制限を受け現実的ではない。
【０００５】本発明の目的は、ダンパーの小型化を図り
つつ入射角の調整可能範囲を大幅に拡大でき、かつ三次
元的な走査運転や連続運転も可能とする安全で、取扱容
易なレーザ加工装置を提供することにある。
つつ入射角の調整可能範囲を大幅に拡大でき、かつ三次
元的な走査運転や連続運転も可能とする安全で、取扱容
易なレーザ加工装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザビーム
の入射角が変化しても、当該レーザ反射光とダンパーの
受光面との相対位置関係を一定の範囲内に保持可能で三
次元的走査運転を可能にし、かつダンパーの小型化を図
りつつ強制冷却の導入によって連続運転を可能に構成
し、前記課題を解消するものである。
の入射角が変化しても、当該レーザ反射光とダンパーの
受光面との相対位置関係を一定の範囲内に保持可能で三
次元的走査運転を可能にし、かつダンパーの小型化を図
りつつ強制冷却の導入によって連続運転を可能に構成
し、前記課題を解消するものである。
【０００７】詳しくは、本発明に係るレーザ加工装置
は、加工面に入射角をもってレーザビームを照射するレ
ーザ加工用ノズルと、加工面から反射されたレーザ反射
光を吸収減衰するダンパーとを具備するレーザ加工装置
において、前記レーザ加工用ノズルと前記ダンパーと
を、前記レーザビームの加工面に対する入射角が所定範
囲内で変化した場合でも当該ダンパーの受光面で当該レ
ーザ反射光を受光可能かつ一定の相対位置関係を保持可
能に連結し、かつ当該ダンパーを冷却流体を用いて強制
冷却可能に形成した、ことを特徴とする。
は、加工面に入射角をもってレーザビームを照射するレ
ーザ加工用ノズルと、加工面から反射されたレーザ反射
光を吸収減衰するダンパーとを具備するレーザ加工装置
において、前記レーザ加工用ノズルと前記ダンパーと
を、前記レーザビームの加工面に対する入射角が所定範
囲内で変化した場合でも当該ダンパーの受光面で当該レ
ーザ反射光を受光可能かつ一定の相対位置関係を保持可
能に連結し、かつ当該ダンパーを冷却流体を用いて強制
冷却可能に形成した、ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記構成による本発明の場合、レーザ加工用ノ
ズルとダンパーとが、レーザビームの加工面に対する入
射角が一定範囲内で調整変化された場合でも、当該レー
ザ反射光を受光面で受光可能に連結されているので、レ
ーザ加工態様を拡大でき、かつレーザ加工用ノズルとダ
ンパーとの水平方向の相対位置関係が一定であるから、
走査運転も可能となり取扱いも非常に容易である。
ズルとダンパーとが、レーザビームの加工面に対する入
射角が一定範囲内で調整変化された場合でも、当該レー
ザ反射光を受光面で受光可能に連結されているので、レ
ーザ加工態様を拡大でき、かつレーザ加工用ノズルとダ
ンパーとの水平方向の相対位置関係が一定であるから、
走査運転も可能となり取扱いも非常に容易である。
【０００９】また、ダンパーが小型であっても、冷却流
体を用いて強制冷却されるので、連続運転やレーザビー
ムのパワーの増大によるレーザ加工態様の拡大が図れ、
かつ装置全体を小型にできる。
体を用いて強制冷却されるので、連続運転やレーザビー
ムのパワーの増大によるレーザ加工態様の拡大が図れ、
かつ装置全体を小型にできる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。 （第１実施例）本レーザ加工装置は、図１に示す如く、
レーザ加工用ノズル１０とダンパー３０とを相対位置関
係が一定となるように連結するとともに、ダンパー３０
を冷却流体（水）で強制冷却可能に構成されている。
する。 （第１実施例）本レーザ加工装置は、図１に示す如く、
レーザ加工用ノズル１０とダンパー３０とを相対位置関
係が一定となるように連結するとともに、ダンパー３０
を冷却流体（水）で強制冷却可能に構成されている。
【００１１】レーザ加工用ノズル１０のケーシング１１
とダンパー３０を保持するケーシング２０とは、一体形
成されるとともに、常態において直垂軸線Ｚに対するレ
ーザビームＢｉの入射角θｉとレーザ反射光Ｂｏの反射
角θｏとが等しく、かつ反射角θｏをもって反射される
レーザ反射光Ｂｏがダンパー３０の受光面３１の中央部
に入射されるように構成してある。
とダンパー３０を保持するケーシング２０とは、一体形
成されるとともに、常態において直垂軸線Ｚに対するレ
ーザビームＢｉの入射角θｉとレーザ反射光Ｂｏの反射
角θｏとが等しく、かつ反射角θｏをもって反射される
レーザ反射光Ｂｏがダンパー３０の受光面３１の中央部
に入射されるように構成してある。
【００１２】したがって、レーザビームＢｉの入射角θ
ｉを調整変化させても、レーザ加工用ノズル１０とダン
パー３０との水平方向の相対位置関係が不変であるか
ら、レーザ反射光Ｂｏが受光面３１から外れてしまうこ
とがなく、入射角θｉの調整に際する取扱いも簡単であ
る。また、レーザビームＢｉをＸ方向に走査した運転が
できる。図には示されていないが、レーザビームＢｉの
入射角θｉが所定範囲内に保った他方向の走査も可能で
ある。
ｉを調整変化させても、レーザ加工用ノズル１０とダン
パー３０との水平方向の相対位置関係が不変であるか
ら、レーザ反射光Ｂｏが受光面３１から外れてしまうこ
とがなく、入射角θｉの調整に際する取扱いも簡単であ
る。また、レーザビームＢｉをＸ方向に走査した運転が
できる。図には示されていないが、レーザビームＢｉの
入射角θｉが所定範囲内に保った他方向の走査も可能で
ある。
【００１３】また、ケーシング２０にガイド部２２が設
けられているので、入射角θｉを大きく変化させてもレ
ーザ反射光Ｂｏが外に漏れなく、ガイド部２２の先端２
５がレーザ加工用ノズル１０のケーシング１１の先端１
５と合わせられているので、アシストガスによるシール
ド効果を一段と向上させることができる。なお、アシス
トガスには、アシストガス供給装置１７から供給口１２
を通して供給される。
けられているので、入射角θｉを大きく変化させてもレ
ーザ反射光Ｂｏが外に漏れなく、ガイド部２２の先端２
５がレーザ加工用ノズル１０のケーシング１１の先端１
５と合わせられているので、アシストガスによるシール
ド効果を一段と向上させることができる。なお、アシス
トガスには、アシストガス供給装置１７から供給口１２
を通して供給される。
【００１４】さて、ダンパー３０とケーシング２０と
は、一体に形成されており、かつ受光面３１は凹凸形状
とされレーザ反射光Ｂｏを多重反射させて減衰すること
ができる。また、受光面３１には、レーザ光吸収剤がコ
ーティングされているので、吸収減衰する。また、受光
面３１の上方内部には冷却室（クーラ）３２が設けられ
ているので、ダンパー３０の発熱を防止できるから、レ
ーザ反射光Ｂｏの吸収減衰を連続して良好に保てるとと
もに、レーザ加工の連続運転が可能となる。
は、一体に形成されており、かつ受光面３１は凹凸形状
とされレーザ反射光Ｂｏを多重反射させて減衰すること
ができる。また、受光面３１には、レーザ光吸収剤がコ
ーティングされているので、吸収減衰する。また、受光
面３１の上方内部には冷却室（クーラ）３２が設けられ
ているので、ダンパー３０の発熱を防止できるから、レ
ーザ反射光Ｂｏの吸収減衰を連続して良好に保てるとと
もに、レーザ加工の連続運転が可能となる。
【００１５】なお、この冷却室３２には、水冷却装置３
５からの冷水が入口３３を通して供給されかつ出口３４
を通して排出される。したがって、ダンパー３０を高効
率で強制冷却できる。
５からの冷水が入口３３を通して供給されかつ出口３４
を通して排出される。したがって、ダンパー３０を高効
率で強制冷却できる。
【００１６】また、この実施例では、ダンパー３０のエ
ネルギー吸収状況を把握可能な温度測定装置４５とモニ
タ５０とが設けられている。すなわち、温度測定装置４
５は、入口３３に取付けられた温度検出センサ（例え
ば、サーミスタ、サーモカップル）４６と，出口３４に
取付けられた温度検出センサ（例えば、サーミスタ、サ
ーモカップル）４７とから、冷水の入口温度Ｔｉと出口
温度Ｔｏとを測定するとともに、その温度差△Ｔ（＝Ｔ
ｉ−Ｔｏ）を求めモニタ５０に表示可能に形成されてい
る。
ネルギー吸収状況を把握可能な温度測定装置４５とモニ
タ５０とが設けられている。すなわち、温度測定装置４
５は、入口３３に取付けられた温度検出センサ（例え
ば、サーミスタ、サーモカップル）４６と，出口３４に
取付けられた温度検出センサ（例えば、サーミスタ、サ
ーモカップル）４７とから、冷水の入口温度Ｔｉと出口
温度Ｔｏとを測定するとともに、その温度差△Ｔ（＝Ｔ
ｉ−Ｔｏ）を求めモニタ５０に表示可能に形成されてい
る。
【００１７】なお、温度測定装置４５またはモニタ５０
に、温度差△Ｔにエネルギー換算定数を乗算して吸収エ
ネルギー量を求める換算機能を設け、この吸収エネルギ
ー量をもモニタ５０に表示可能に形成することができ
る。このようにすれば、一段とレーザ照射点２のエネル
ギー状態を簡単に把握できるので、加工品質管理を容易
化できかつ加工品質を大幅に向上でき得る。
に、温度差△Ｔにエネルギー換算定数を乗算して吸収エ
ネルギー量を求める換算機能を設け、この吸収エネルギ
ー量をもモニタ５０に表示可能に形成することができ
る。このようにすれば、一段とレーザ照射点２のエネル
ギー状態を簡単に把握できるので、加工品質管理を容易
化できかつ加工品質を大幅に向上でき得る。
【００１８】しかして、この第１実施例によれば、レー
ザ加工用ノズル１０とダンパー３０とをレーザビームＢ
ｉの加工面１に対する入射角θｉが所定範囲内で変化し
た場合でも当該ダンパー３０の受光面３１で当該レーザ
反射光Ｂｏを受光可能かつ一定の相対位置関係を保持可
能に連結し、かつ当該ダンパー３０を冷却流体を用いて
強制冷却可能に構成されているので、ダンパー３０の小
型化とレーザビームＢｉのパワーアップとを図りつつ、
入射角θｉの調整可能範囲を大幅に拡大できるとともに
三次元的走査運転も可能で安全、かつ取扱いが極めて容
易である。
ザ加工用ノズル１０とダンパー３０とをレーザビームＢ
ｉの加工面１に対する入射角θｉが所定範囲内で変化し
た場合でも当該ダンパー３０の受光面３１で当該レーザ
反射光Ｂｏを受光可能かつ一定の相対位置関係を保持可
能に連結し、かつ当該ダンパー３０を冷却流体を用いて
強制冷却可能に構成されているので、ダンパー３０の小
型化とレーザビームＢｉのパワーアップとを図りつつ、
入射角θｉの調整可能範囲を大幅に拡大できるとともに
三次元的走査運転も可能で安全、かつ取扱いが極めて容
易である。
【００１９】また、レーザ加工用ノズル１０とダンパー
３０とが、両ケーシング１１，２０を介して一体に形成
されているので、両者１０，３０の相対位置関係を一段
と確実に一定化保持できる。したがって、入射角θｉを
調整変化させたり走査運転をする際の取扱いが一段と容
易である。
３０とが、両ケーシング１１，２０を介して一体に形成
されているので、両者１０，３０の相対位置関係を一段
と確実に一定化保持できる。したがって、入射角θｉを
調整変化させたり走査運転をする際の取扱いが一段と容
易である。
【００２０】また、ケーシング１１，２０の各先端１
５，２５がレーザ照射点２を覆うように形成されている
ので、アシストガスによるシールド効果を一段と向上で
き、かつアシストガスの消費量を大幅に削減できコスト
的にも有利である。
５，２５がレーザ照射点２を覆うように形成されている
ので、アシストガスによるシールド効果を一段と向上で
き、かつアシストガスの消費量を大幅に削減できコスト
的にも有利である。
【００２１】また、ダンパー３０と一体でかつその上方
内部に冷却室３２が設けられているので、受光面３１を
高能率で冷却できる。つまり、レーザ反射光Ｂｏの吸収
能率を最高的に、かつ安定して保持できる。
内部に冷却室３２が設けられているので、受光面３１を
高能率で冷却できる。つまり、レーザ反射光Ｂｏの吸収
能率を最高的に、かつ安定して保持できる。
【００２２】また、受光面３１がレーザ吸収剤でコーテ
ィングされるとともに凸凹形状とされているので、吸収
減衰と多重反射減衰とにより、レーザ反射光Ｂｏを高能
率で減衰させられるから、一段とレーザビームＢｉのパ
ワーアップを図った各種レーザ加工が可能である。
ィングされるとともに凸凹形状とされているので、吸収
減衰と多重反射減衰とにより、レーザ反射光Ｂｏを高能
率で減衰させられるから、一段とレーザビームＢｉのパ
ワーアップを図った各種レーザ加工が可能である。
【００２３】さらに、温度測定装置４５とモニタ５０と
を設け、冷却室３２への冷水出入口温度Ｔｉ，Ｔｏを検
出しつつレーザ照射点２のエネルギー状況を簡単に把握
できるように形成されているので、レーザ加工品質管理
を容易に行えかつ品質を大幅に向上できる。
を設け、冷却室３２への冷水出入口温度Ｔｉ，Ｔｏを検
出しつつレーザ照射点２のエネルギー状況を簡単に把握
できるように形成されているので、レーザ加工品質管理
を容易に行えかつ品質を大幅に向上できる。
【００２４】（第２実施例）第２実施例は、図２に示さ
れる。この実施例の基本的構造（１０，２０，３０等）
は、第１実施例（図１）の場合と同様とされているが、
さらに、ケーシング２０のガイド部２２の内面２１をレ
ーザ反射光Ｂｏの有効反射面として利用し、レーザビー
ムＢｉの入射角θｉを大きく変化させても、レーザ反射
光Ｂｏがより確実に受光面３１に到達可能に構成してあ
る。
れる。この実施例の基本的構造（１０，２０，３０等）
は、第１実施例（図１）の場合と同様とされているが、
さらに、ケーシング２０のガイド部２２の内面２１をレ
ーザ反射光Ｂｏの有効反射面として利用し、レーザビー
ムＢｉの入射角θｉを大きく変化させても、レーザ反射
光Ｂｏがより確実に受光面３１に到達可能に構成してあ
る。
【００２５】また、有効反射面（内面２１）にもレーザ
吸収剤をコーティングしてレーザ反射光Ｂｏの吸収減衰
を促進可能に形成してある。したがって、受光面３１の
実質的受光面積を拡大できる。
吸収剤をコーティングしてレーザ反射光Ｂｏの吸収減衰
を促進可能に形成してある。したがって、受光面３１の
実質的受光面積を拡大できる。
【００２６】さらに、この有効反射面（２１）が設けら
れているので、ケーシング２０と一体のダンパー３０等
をレーザ照射点２に垂直な軸線Ｚ上に配設できる。よっ
て、水平方向Ｘの寸法をより狭小化し大幅な小型化を図
れるとともに、入射角θｉの調整可能範囲を著しく拡大
できかつ取扱いが一段と容易となる。
れているので、ケーシング２０と一体のダンパー３０等
をレーザ照射点２に垂直な軸線Ｚ上に配設できる。よっ
て、水平方向Ｘの寸法をより狭小化し大幅な小型化を図
れるとともに、入射角θｉの調整可能範囲を著しく拡大
できかつ取扱いが一段と容易となる。
【００２７】しかして、この第２実施例によれば、第１
実施例の場合と同様な作用効果を奏することができる
他、さらに、入射角θｉの調整可能範囲の拡大化、小型
化、取扱容易化等を大幅に向上させることができる。
実施例の場合と同様な作用効果を奏することができる
他、さらに、入射角θｉの調整可能範囲の拡大化、小型
化、取扱容易化等を大幅に向上させることができる。
【００２８】（第３実施例）この第３実施例は、第２実
施例が特に入射角θｉの調整範囲が大きな場合に有用に
構築されているのに対して、レーザ照射点２の近傍に大
きな空間を形成しノズル先端１５が干渉し易い加工面
（物）１にも適用可能に構成したものである。
施例が特に入射角θｉの調整範囲が大きな場合に有用に
構築されているのに対して、レーザ照射点２の近傍に大
きな空間を形成しノズル先端１５が干渉し易い加工面
（物）１にも適用可能に構成したものである。
【００２９】図３において、レーザ加工用ノズル１０と
ダンパー３０とを、リンク機構（ピン１８，第１リンク
１９，ピン３８，第２リンク３９）で、相対位置関係不
変に連結してある。この応用として、図示していないが
レーザ加工用ノズル１０とダンパー３０の相対位置関係
を、入射角θｉと反射角θｏが等しくなるように、自動
的に設定できる駆動機構を付加することにより操作性向
上に役立てることも考えられる。
ダンパー３０とを、リンク機構（ピン１８，第１リンク
１９，ピン３８，第２リンク３９）で、相対位置関係不
変に連結してある。この応用として、図示していないが
レーザ加工用ノズル１０とダンパー３０の相対位置関係
を、入射角θｉと反射角θｏが等しくなるように、自動
的に設定できる駆動機構を付加することにより操作性向
上に役立てることも考えられる。
【００３０】かくして、この第３実施例によれば、第１
実施例の場合と同様な作用効果を奏することができる
他、さらに、各種各様の加工物（面）１に干渉なく適用
でき、かつ構造簡単で低コストである。
実施例の場合と同様な作用効果を奏することができる
他、さらに、各種各様の加工物（面）１に干渉なく適用
でき、かつ構造簡単で低コストである。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、レーザ加工用ノズルと
ダンパーとをレーザビームの加工面に対する入射角が所
定範囲内で変化した場合でも当該ダンパーの受光面で当
該レーザ反射光を受光可能かつ一定の相対位置関係を保
持可能に連結し、かつ当該ダンパーを冷却流体を用いて
強制冷却可能に構成されているので、ダンパーの小型化
を図りつつ入射角の調整可能範囲を大幅に拡大できると
ともに三次元的走査運転や連続運転も可能で安全かつ取
扱いが極めて容易である。
ダンパーとをレーザビームの加工面に対する入射角が所
定範囲内で変化した場合でも当該ダンパーの受光面で当
該レーザ反射光を受光可能かつ一定の相対位置関係を保
持可能に連結し、かつ当該ダンパーを冷却流体を用いて
強制冷却可能に構成されているので、ダンパーの小型化
を図りつつ入射角の調整可能範囲を大幅に拡大できると
ともに三次元的走査運転や連続運転も可能で安全かつ取
扱いが極めて容易である。
【図１】本発明の第１実施例を示す全体構成図である。
【図２】第２実施例を示す全体構成図である。
【図３】第３実施例を示す全体構成図である。
【図４】従来例を説明するための図である。
１ 加工面 ２ レーザ照射点 １０ レーザ加工用ノズル １１ ケーシング １２ 供給口 １５ 先端 １７ アシストガス供給装置 １８ ピン １９ 第１リンク ２０ ケーシング ２１ 内面 ２２ ガイド部 ２５ 先端 ３０ ダンパー ３１ 受光面 ３２ 冷却室 ３３ 入口 ３４ 出口 ３５ 水冷却装置 ３８ ピン ３９ 第２リンク ４５ 温度測定装置 ４６，４７ 温度検出センサ ５０ モニタ Ｂｉ レーザビーム θｉ 入射角 Ｂｏ レーザ反射光 θｏ 反射角
Claims (1)
- 【請求項１】 加工面に入射角をもってレーザビームを
照射するレーザ加工用ノズルと、加工面から反射された
レーザ反射光を吸収減衰するダンパーとを具備するレー
ザ加工装置において、 前記レーザ加工用ノズルと前記ダンパーとを、前記レー
ザビームの加工面に対する入射角が所定範囲内で変化し
た場合でも当該ダンパーの受光面で当該レーザ反射光を
受光可能かつ一定の相対位置関係を保持可能に連結し、
かつ当該ダンパーを冷却流体を用いて強制冷却可能に形
成した、ことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6254898A JPH08118056A (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6254898A JPH08118056A (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08118056A true JPH08118056A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=17271381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6254898A Pending JPH08118056A (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08118056A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6107597A (en) * | 1997-08-20 | 2000-08-22 | Alcatel | Laser beam welding device with radiation trap |
| JP2002524263A (ja) * | 1998-09-08 | 2002-08-06 | ハイデルベルガー ドルツクマシーネン アクチエンゲゼルシヤフト | レーザ照射源 |
| US7605345B2 (en) * | 2002-03-14 | 2009-10-20 | Hitachi Zosen Corporation | Method and device for prevention of adhesion of dirt and contamination on optical parts in laser beam machine |
| JP2021010923A (ja) * | 2019-07-05 | 2021-02-04 | 株式会社デンソー | レーザ加工装置 |
-
1994
- 1994-10-20 JP JP6254898A patent/JPH08118056A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6107597A (en) * | 1997-08-20 | 2000-08-22 | Alcatel | Laser beam welding device with radiation trap |
| JP2002524263A (ja) * | 1998-09-08 | 2002-08-06 | ハイデルベルガー ドルツクマシーネン アクチエンゲゼルシヤフト | レーザ照射源 |
| US7605345B2 (en) * | 2002-03-14 | 2009-10-20 | Hitachi Zosen Corporation | Method and device for prevention of adhesion of dirt and contamination on optical parts in laser beam machine |
| JP2021010923A (ja) * | 2019-07-05 | 2021-02-04 | 株式会社デンソー | レーザ加工装置 |
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