JPH08179340A

JPH08179340A - 配線付き基板

Info

Publication number: JPH08179340A
Application number: JP31707894A
Authority: JP
Inventors: Hidenori Otokoto; 秀則音琴; Hiroki Nishino; 浩己西野
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1994-12-20
Filing date: 1994-12-20
Publication date: 1996-07-12
Anticipated expiration: 2015-08-28
Also published as: JP3081125B2

Abstract

(57)【要約】【構成】バス配線の断線不良を修正する機能を備えた
液晶表示装置の表示電極基板であり、表示電極基板で
は、透明基板の上に２本の予備配線が形成されている。
これら予備配線４ａ（４ｂ）の上には、第１絶縁膜７、
第２絶縁膜８が形成され、さらにこの第２絶縁膜８の上
に、第１及び第２のソースバス配線３ａ・３ｂが形成さ
れている。そして、これら各ソースバス配線３ａ・３ｂ
における予備配線４ａ（４ｂ）との交差部Ｐａ（Ｐｂ）
には、断面がテーパー状を成す円形状の凹部６がフォト
リソグラフィによる配線のパターニング時に同時にパタ
ーニングされている。【効果】不良のソースバス配線３ａと予備配線４ａ
（４ｂ）との電気的接続を低レーザ出力で実施して、断
線不良を修正することによる歩留り向上効果を上げて、
コストダウンを図ることが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示装置等
のマトリクス型表示装置に用いられる、バス配線の断線
を修正する機能を備えた表示電極基板等の配線付き基板
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＣＲＴに代わる画像表示装置として、液
晶、ＥＬ発光体、プラズマ発光体等を用いたマトリクス
型表示装置があり、中でも液晶を用いた液晶表示装置
は、携帯用テレビ、ワードプロセッサ、パーソナルコン
ピュータ等に広く用いられている。

【０００３】これらの機器に用いられる表示装置には、
より高精細で大型のものが望まれており、高精細な画像
を表示するためには、マトリクスを構成する絵素の大き
さを非常に小さくし、しかも非常に多くの絵素を用いる
必要がある。しかしながら、絵素数を増大すると、それ
に伴って走査線及び信号線として機能するバス配線の数
も多くなる。バス配線の数が多くなるに従い、断線によ
る不良が生じ易くなる。その上、装置の大型化に伴って
バス配線の長さはさらに長くなり、断線のないバス配線
を作製することは益々困難となっている。

【０００４】そこで、このような不具合を解消すべく、
バス配線の断線不良を修正する機能を備えたマトリクス
型表示装置が開発されている。特に本願出願人が先に出
願しているマトリクス型表示装置（特開平３−２３４２
５号公報）では、修正後の不良バス配線の負荷容量及び
電気的抵抗を殆ど増大させることなく断線部分を修正す
ることが可能であり、その結果、修正によってドライバ
ＩＣ（Integrated Circuit) の負荷が増大することもな
く、不良バス配線上に信号遅延も生じない。

【０００５】上記公報に開示されている断線修正機能を
有するマトリクス型表示装置に用いられる表示電極基板
の一例を、本発明の実施例の説明図である図２を参照す
ると共に、図５（ａ)(ｂ）を用いて説明する。

【０００６】表示電極基板は、図２に示すように、透明
基板１の上に、一方向に並行する多数のゲートバス配線
２と、これらゲートバス配線２に直交して多数のソース
バス配線２０とを有している。ソースバス配線２０は、
第１ソースバス配線２０ａと第２ソースバス配線２０ｂ
との２本で１組となっており、これら第１及び第２のソ
ースバス配線２０ａ・２０ｂは、それぞれ図示しない異
なるドライバＩＣに接続されている。そして、上記ゲー
トバス配線２とソースバス配線２０とは、図示しない絶
縁膜を介して、非導通状態で交差している。

【０００７】また、透明基板１上にマトリクス状に配列
された、ゲートバス配線２とソースバス配線２０（２０
ａ・２０ｂ）とで囲まれた矩形の各領域には、図示しな
い絵素電極とスイッチング素子としてのＴＦＴ（Thin F
ilm Transistor) とがそれぞれ設けられている。そし
て、これら絵素電極と対向電極との間に液晶が封入され
ることで、マトリクス状に配列された絵素を有するマト
リクス型液晶表示装置が構成される。

【０００８】一方、透明基板１上における第１及び第２
のソースバス配線２０ａ・２０ｂの両端部には、２本の
予備配線４ａ・４ｂが、図示しない絶縁膜を介して各交
差部Ｐａ・Ｐｂで交差しており、これら予備配線４ａ・
４ｂには、それぞれ引き出し線５ａ・５ｂが電気的に接
続されている。

【０００９】図５（ａ）に、予備配線４ａの形成部分を
透明基板１側から見た裏面図を示し、また、同図（ｂ）
に、この裏面図におけるＺ−Ｚ線矢視断面図を示す。
尚、予備配線４ｂ側も同様であるので、説明の便宜上、
ここでは説明を省略する。

【００１０】同図（ｂ）から分かるように、透明基板１
の上には、まず予備配線４ａが形成され、その予備配線
４ａの表面が陽極酸化されて第１絶縁膜７が形成されて
いる。そして、この第１絶縁膜７を覆うように、透明基
板１の全面にわたり第２絶縁膜８が形成され、その上に
第１及び第２のソースバス配線２０ａ・２０ｂが形成さ
れている。

【００１１】このような構成の表示電極基板において、
例えば図２に示すように、第２ソースバス配線２０ｂに
断線Ｄが生じると、この不良ソースバス配線２０ｂと予
備配線４ａとを交差部Ｐａ（図中●で示す）において電
気的に接続すると共に、不良ソースバス配線２０ｂと予
備配線４ｂとを交差部Ｐｂ（図中●で示す）において電
気的に接続する。そしてさらに、図示しないＦＰＣ（Fl
exible printed Circuts) を介して回路基板上におい
て、予備配線４ａ・４ｂに接続された二つの接続用配線
を互いに電気的に接続する。このように３か所で電気的
接続を行なうことにより、不良ソースバス配線２０ｂに
おける断線Ｄの両端の部分が、回路基板上の接続用配線
を介して電気的に接続されることとなる。

【００１２】この場合、予備配線４ａ・４ｂは必要最小
限の長さであるので、予備配線４ａ・４ｂを用いて修正
されたバス配線全体の負荷容量は極端に大きくなるよう
なことはない。したがって、ドライバＩＣの能力不足が
生じることもなく、信号が遅延することもないという上
述の効果が得られる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来から、
不良ソースバス配線２０ｂと予備配線４ａ或いは予備配
線４ｂとの電気的接続にはレーザが用いられている。具
体的には、図５（ｂ）に示すように、交差部Ｐａ（Ｐ
ｂ）に透明基板１側からレーザ光Ｌを照射する。これに
より、予備配線４ａ（４ｂ）と不良ソースバス配線２０
ｂとが溶融されると共に、第１絶縁膜７と第２絶縁膜８
とが破られ、予備配線４ａ（４ｂ）の溶融金属が不良ソ
ースバス配線２０ｂの溶融部分にエッジ接続するように
なっている。

【００１４】しかしながら、従来の表示電極基板の場
合、ソースバス配線２０の膜厚は、全体的に均一に形成
されており、予備配線４ａ（４ｂ）との交差部Ｐａ（Ｐ
ｂ）も、他の部分と同様の膜厚を有している。したがっ
て、不良ソースバス配線２０ｂと予備配線４ａ（４ｂ）
との交差部Ｐａ（Ｐｂ）にレーザ光Ｌを照射して上記の
ように両者を電気的にエッジ接続させるには、ある程度
大きなレーザ出力が必要となっており、そのため、交差
部Ｐａ（Ｐｂ）にレーザ光Ｌを照射したとき、不良ソー
スバス配線２０ｂのレーザ照射領域が、昇華或いは膜片
として照射部分から消滅する現象が起こり、特に、不良
ソースバス配線２０ｂにおけるレーザ照射領域以外の部
分が膜片化すると、予備配線４ａ（４ｂ）の溶融金属
が、不良ソースバス配線２０ｂのレーザ照射領域周囲で
のエッジ接続をする上で接続ができないといった事態が
招来されている。

【００１５】その結果、従来の表示電極基板では、バス
配線の断線不良を修正することによる歩留り向上の効果
が思うように得られていないのが実情である。

【００１６】本発明の配線付き基板は、上記の課題に鑑
みて成されたもので、その目的は、例えば断線修正機能
付きのマトリクス型表示装置における、不良バス配線と
予備配線との接続を低レーザ出力で実施して、バス配線
の断線不良を修正することによる歩留り向上効果を上げ
て、効果的にコストダウンを図ることにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
配線付き基板は、上記の課題を解決するために、透光性
の基板上に、通常使用される主配線と、この主配線と絶
縁膜を介して交差している、主配線の異常時に使用され
る副配線とが形成された配線付き基板であって、上記主
配線及び副配線のうちの基板に対して上方に形成された
配線におけるもう一方の配線との交差部分には、少なく
とも一か所、配線の膜を除去するようなパターニングが
施されていることを特徴としている。

【００１８】本発明の請求項２記載の配線付き基板は、
上記の課題を解決するために、上記請求項１記載の表示
電極基板において、上記交差部分のパターニングは、テ
ーパー部を有するように成されていることを特徴として
いる。

【００１９】

【作用】上記請求項１の構成によれば、主配線及び副配
線のうちの透光性の基板に対して上方に形成された配線
におけるもう一方の配線との交差部分には、少なくとも
一か所、配線の膜を除去するようなパターニングが施さ
れている。したがって、主配線に断線等の異常が生じ、
副配線と電気的に接続すべく基板の裏面側から配線同士
の交差部分にレーザ光を照射した際、基板に対して上方
に位置する配線の膜は既に一部除去された状態であるの
で、従来に比べて低いレーザ出力で主配線と副配線との
エッジ接続を行ない得る。したがって、従来よりもレー
ザ出力を低くできるので、レーザ衝撃により透光性基板
に対して上方に位置する配線の膜が膜片化して周囲に吹
き飛ぶような事態は起こり難くなる。

【００２０】上記請求項２の構成によれば、透光性基板
に対して上方に位置する配線の交差部分のパターニング
は、テーパー部を有するように成されているので、主配
線と副配線との電気的接続時、下方に位置する配線の溶
融金属が、上方に位置する配線のこのテーパー部に容易
に接続することが可能であり、主配線と副回線との電気
的接続が容易に行ない得る。

【００２１】

【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図３に
基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００２２】本実施例に係る配線付き基板である、断線
修正機能を有する液晶表示装置の表示電極基板は、図２
に示すように、透明基板（透光性基板）１を有してお
り、この透明基板１上に、一方向に並行する多数のゲー
トバス配線２が形成されると共に、これらのゲートバス
配線２に直交する多数のソースバス配線（主配線）３が
形成されている。上記ソースバス配線３は、２組の第１
ソースバス配線３ａと第２ソースバス配線３ｂとからな
り、これら第１及び第２のソースバス配線３ａ・３ｂ
は、それぞれ異なった図示しないドライバＩＣに接続さ
れている。そして、上記ゲートバス配線２とソースバス
配線３とは、図示しない絶縁膜を介して、非導通状態で
交差している。

【００２３】また、透明基板１上にマトリクス状に配列
された、ゲートバス配線２とソースバス配線３（３ａ・
３ｂ）とで囲まれた矩形の各領域には、図３に示すよう
に、絵素電極１２が設けられ、この絵素電極１２と図示
しない対向基板との間に液晶が封入されることで液晶セ
ル１６が形成されている。各絵素電極１２には、スイッ
チング素子としてＴＦＴ１１が接続されており、ＴＦＴ
１１のゲート電極１３及びソース電極１４は、それぞれ
ゲートバス配線２及び第１或いは第２ソースバス配線３
ａ・３ｂに接続されている。また、ＴＦＴ１１のドレイ
ン電極１５は、絵素電極１２に接続されている。

【００２４】一方、透明基板１上におけるソースバス配
線３の両端部には、図２に示すように、二つの予備配線
４ａ・４ｂが、後述する絶縁膜を介して各交差部Ｐａ・
Ｐｂで交差しており、これら予備配線４ａ・４ｂには、
それぞれ引き出し線５ａ・５ｂが電気的に接続されてい
る。

【００２５】ここで、予備配線４ａ（４ｂ）が形成され
ている部分の構成を、透明基板１の裏面側からみた要部
の裏面図である図１（ａ）と、この裏面図のＸ−Ｘ線矢
視断面図である同図（ｂ）を用いて詳細に説明する。
尚、同図（ａ）では、透明基板１等については省略し、
配線部分のみ示している。

【００２６】図１（ａ)(ｂ）に示すように、透明基板１
の上には、まず予備配線４ａ（４ｂ）が形成されてお
り、この予備配線４ａ（４ｂ）の表面が陽極酸化される
ことで、Ｔａ₂Ｏ₅等からなる第１絶縁膜７が形成され
ている。次に、この第１絶縁膜７が形成された透明基板
１の全面に、ＳｉＯ₂やＳｉＮｘ等からなる第２絶縁膜
８が、２０００〜１００００Åの厚さに形成されてお
り、さらにこの第２絶縁膜８の上に、第１及び第２のソ
ースバス配線３ａ・３ｂが形成されている。

【００２７】そして、本実施例の表示電極基板では、第
１及び第２のソースバス配線３ａ・３ｂにおける予備配
線４ａ（４ｂ）との交差部Ｐａ（Ｐｂ）に、配線の膜を
除去して成る、断面がテーパー状を成す円形状の凹部６
が形成されている。これら凹部６は、第１及び第２のソ
ースバス配線３ａ・３ｂがフォトリソグラフィにより所
定の配線パターンにパターニングされる際に、同時にパ
ターニングされている。尚、第１及び第２のソースバス
配線３ａ・３ｂが形成された表示電極基板上の全面に
は、図示しない保護膜及び配向膜が形成されている。

【００２８】このような構成の表示電極基板において、
図２に示すように、第２ソースバス配線３ｂに断線Ｄが
生じると、この不良ソースバス配線３ｂと予備配線４ａ
とを交差部Ｐａ（図中●で示す）において電気的に接続
すると共に、不良ソースバス配線３ｂと予備配線４ｂと
を交差部Ｐｂ（図中●で示す）において電気的に接続
し、さらに、図示しないＦＰＣ（Flexible printed Cir
cuts) を介して回路基板上において、予備配線４ａ・４
ｂに接続された二つの接続用配線を互いに電気的に接続
する。このように３か所で電気的接続を行なうことによ
り、不良ソースバス配線３ｂにおける断線Ｄの両端の部
分が、回路基板上の接続用配線を介して電気的に接続さ
れることとなる。

【００２９】上記の不良ソースバス配線３ｂと予備配線
４ａ・４ｂとの電気的接続は、透明基板１の裏面側から
各交差部Ｐａ・Ｐｂにレーザ光Ｌを照射することによ
り、不良ソースバス配線３ｂ及び予備配線４ａ・４ｂを
溶融させると共に、介在する第１絶縁膜７及び第２絶縁
膜８の絶縁破壊を生じさせることでなされる。

【００３０】この場合、交差部Ｐａ・Ｐｂにおけるソー
スバス配線３には、上述したように、配線の膜を除去し
て成る凹部６が形成されているので、従来に比べて低い
レーザ出力で不良ソースバス配線３ｂと予備配線４ａ・
４ｂとのエッジ接続を行ない得る。したがって、従来よ
りもレーザ出力を低くできるので、レーザ衝撃により不
良ソースバス配線３ｂの膜がレーザ光Ｌにより膜片化し
て周囲に吹き飛ぶような事態は、従来の構成の表示電極
基板に比べて起こり難くなる。

【００３１】しかも、ソースバス配線３に形成されてい
る凹部６は、断面がテーパー状を成す円形状に形成され
ているので、不良ソースバス配線３ｂと予備配線４ａ・
４ｂとの電気的接続時、予備配線４ａ・４ｂの溶融金属
が、不良ソースバス配線３ｂのテーパー部に容易に接続
することができ、不良ソースバス配線３ｂと予備配線４
ａ・４ｂとの接続が容易に行ない得る。

【００３２】さらに、この場合、予備配線４ａ・４ｂは
必要最小限の長さであるので、予備配線４ａ・４ｂを用
いて修正されたバス配線全体の負荷容量は極端に大きく
なることはない。したがって、ドライバＩＣの能力不足
が生じることもなく、信号が遅延することもないという
効果が得られる。

【００３３】尚、凹部６は、図１（ａ)(ｂ）に示したよ
うに、交差部Ｐａ・Ｐｂの一か所に形成するものに限る
必要はなく、例えば図４（ａ)(ｂ）に示すソースバス配
線１０（１０ａ・１０ｂ）のように、４箇所と複数箇所
設けた構成でもよく、この場合は、各々の凹部６にレー
ザ光Ｌを照射する。

【００３４】このような構成とすれば、上記の凹部６を
一か所設けた構成よりも、接続箇所が増えるので、接続
率の向上が期待できる。

【００３５】尚、上記の各実施例においては、ソースバ
ス配線３に予備配線４ａ（４ｂ）を接続する構成を例示
したが、ゲートバス配線２の両端部に予備配線を設けた
表示電極基板の場合も予備配線とゲートバス配線２との
交差部に上記同様の凹部６を設けることで、低いレーザ
出力で容易に接続が可能であることは言うまでもない。

【００３６】また、上記実施例においては、スイッチン
グ素子として、ＴＦＴを用いたアクティブマトリクス型
液晶表示装置について説明したが、本発明は何らこれに
限定されるものではなく、ＭＩＭ素子、ダイオード、バ
リスタ等のスイッチング素子を用いた広範囲の表示装置
にも適用可能である。

【００３７】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の配線付き基板
は、以上のように、透光性の基板上に、通常使用される
主配線と、この主配線と絶縁膜を介して交差している、
主配線の異常時に使用される副配線とが形成された配線
付き基板であって、上記主配線及び副配線のうちの基板
に対して上方に形成された配線におけるもう一方の配線
との交差部分には、少なくとも一か所、配線の膜を除去
するようなパターニングが施されている構成である。

【００３８】これにより、主配線に断線等の異常が生
じ、副配線と電気的に接続すべく基板の裏面側から配線
同士の交差部分にレーザ光を照射した際、基板に対して
上方に位置する配線の膜は既に一部除去された状態であ
るので、従来に比べて低いレーザ出力で主配線と副配線
とのエッジ接続を行ない得る。したがって、従来よりも
レーザ出力を低くできるので、レーザ衝撃により透光性
基板に対して上方に位置する配線の膜が膜片化して周囲
に吹き飛ぶような事態は起こり難くなる。

【００３９】その結果、例えば本発明の構成を、断線修
正機能付きの液晶表示装置等の表示電極基板に採り入れ
ることで、不良バス配線と予備配線との接続を低レーザ
出力で実施して、断線不良を修正することによる歩留り
向上効果を上げて、コストダウンを図ることが可能にな
るという効果を奏する。

【００４０】本発明の請求項２記載の配線付き基板は、
以上のように、上記請求項１記載の表示電極基板におい
て、上記交差部分のパターニングは、テーパー部を有す
るように成されている構成である。

【００４１】これにより、主配線と副配線との電気的接
続時、下方に位置する配線の溶融金属が、上方に位置す
る配線のこのテーパー部に容易に接続することが可能で
あり、主配線と副回線との電気的接続が容易に行ない得
る。

【００４２】その結果、例えば本発明の構成を、断線修
正機能付きの液晶表示装置等の表示電極基板に採り入れ
ることで、上記請求項１による効果に加えて、不良バス
配線と予備配線との接続を容易に実施できるという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すもので、（ａ）はソー
スバス配線と予備配線とを透明基板側からみた要部概略
平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＸ−Ｘ線矢視断
面図である。

【図２】上記表示電極基板の概略平面図である。

【図３】上記表示電極基板の回路図である。

【図４】本発明の他の実施例を示すもので、（ａ）はソ
ースバス配線と予備配線とを透明基板側からみた要部概
略平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＹ−Ｙ線矢視
断面図である。

【図５】従来の表示電極基板を示すもので、（ａ）はソ
ースバス配線と予備配線とを透明基板側からみた要部概
略平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＺ−Ｚ線矢視
断面図である。

【符号の説明】

１透明基板（透光性の基板）２ゲートバス配線３ソースバス配線（主配線）４ａ予備配線（副配線）４ｂ予備配線（副配線）６凹部７第１絶縁膜（絶縁膜）８第２絶縁膜（絶縁膜）Ｐａ交差部Ｐｂ交差部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透光性の基板上に、通常使用される主配線
と、この主配線と絶縁膜を介して交差している、主配線
の異常時に使用される副配線とが形成された配線付き基
板であって、上記主配線及び副配線のうちの基板に対し
て上方に形成された配線における、もう一方の配線との
交差部分には、少なくとも一か所、配線の膜を除去する
ようなパターニングが施されていることを特徴とする配
線付き基板。
【請求項２】上記交差部分のパターニングは、テーパー
部を有するように成されていることを特徴とする上記請
求項１記載の配線付き基板。