JPH08174408A - 平面研磨装置 - Google Patents
平面研磨装置Info
- Publication number
- JPH08174408A JPH08174408A JP33629294A JP33629294A JPH08174408A JP H08174408 A JPH08174408 A JP H08174408A JP 33629294 A JP33629294 A JP 33629294A JP 33629294 A JP33629294 A JP 33629294A JP H08174408 A JPH08174408 A JP H08174408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal gear
- carrier
- vibration
- sun gear
- gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 太陽歯車及び内歯歯車の振動を防止してキャ
リヤがうねりによるダメージを受けないようにする。 【構成】 平面研磨装置における太陽歯車４及び内歯歯
車５を流体軸受１０ａ及び１０ｂにより回転自在に支持
する。
リヤがうねりによるダメージを受けないようにする。 【構成】 平面研磨装置における太陽歯車４及び内歯歯
車５を流体軸受１０ａ及び１０ｂにより回転自在に支持
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ラッピング装置、ポリ
ッシング装置、ホーニング装置等のような平面研磨装置
に関するものである。
ッシング装置、ホーニング装置等のような平面研磨装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ラッピング装置やポリッシング装置、ホ
ーニング装置等の平面研磨装置は、一般に、研磨すべき
ワークを保持させたキャリヤを太陽歯車及び内歯歯車に
噛合させ、これら両歯車を駆動回転させてキャリヤを遊
星運動させながら、ワークを回転する上下の定盤により
両側から挟んで研磨加工するように構成されている。と
ころが、従来の平面研磨装置は、太陽歯車及び内歯歯車
が転がり軸受により支持されていたため、軸受部材の摩
耗によりがたつきを生じ易く、これが加工中の太陽歯車
及び内歯歯車に上下動や横揺れ等の振動を発生させ、そ
の振動がキャリヤにうねりなどを生じさせて、該キャリ
ヤに変形や破損等の大きなダメージを与えると共に、研
磨精度も低下させる大きな原因となっていた。特に太陽
歯車及び内歯歯車に上下方向の振動が発生した場合に
は、これらの歯車との噛合位置においてキャリヤの外周
部に浮上方向の負荷が作用し、該キャリヤ外周が上方に
反った状態のまま研磨が行われるため、キャリヤがその
ような形状に変形してしまい、ついには割れ等を生じる
ことになる。半導体ウエハの研磨においては、数分の１
ミリというような極薄のキャリヤも使用されているた
め、上記太陽歯車及び内歯歯車の振動がキャリヤに及ぼ
す影響は非常に大きい。従って、キャリヤの保護と研磨
精度の向上とを図るためには、上述した太陽歯車及び内
歯歯車の振動を防止することが望ましいが、加工時の振
動は小径の太陽歯車よりも大径の内歯歯車の方に発生し
易く、その振動幅も内歯歯車の方が大きく、しかも、研
磨装置が大型化して内歯歯車の径が大きくなる程その傾
向が顕著であるため、少なくとも内歯歯車の振動を防止
することがキャリヤの保護と研磨精度の向上とを図る上
で有効である。
ーニング装置等の平面研磨装置は、一般に、研磨すべき
ワークを保持させたキャリヤを太陽歯車及び内歯歯車に
噛合させ、これら両歯車を駆動回転させてキャリヤを遊
星運動させながら、ワークを回転する上下の定盤により
両側から挟んで研磨加工するように構成されている。と
ころが、従来の平面研磨装置は、太陽歯車及び内歯歯車
が転がり軸受により支持されていたため、軸受部材の摩
耗によりがたつきを生じ易く、これが加工中の太陽歯車
及び内歯歯車に上下動や横揺れ等の振動を発生させ、そ
の振動がキャリヤにうねりなどを生じさせて、該キャリ
ヤに変形や破損等の大きなダメージを与えると共に、研
磨精度も低下させる大きな原因となっていた。特に太陽
歯車及び内歯歯車に上下方向の振動が発生した場合に
は、これらの歯車との噛合位置においてキャリヤの外周
部に浮上方向の負荷が作用し、該キャリヤ外周が上方に
反った状態のまま研磨が行われるため、キャリヤがその
ような形状に変形してしまい、ついには割れ等を生じる
ことになる。半導体ウエハの研磨においては、数分の１
ミリというような極薄のキャリヤも使用されているた
め、上記太陽歯車及び内歯歯車の振動がキャリヤに及ぼ
す影響は非常に大きい。従って、キャリヤの保護と研磨
精度の向上とを図るためには、上述した太陽歯車及び内
歯歯車の振動を防止することが望ましいが、加工時の振
動は小径の太陽歯車よりも大径の内歯歯車の方に発生し
易く、その振動幅も内歯歯車の方が大きく、しかも、研
磨装置が大型化して内歯歯車の径が大きくなる程その傾
向が顕著であるため、少なくとも内歯歯車の振動を防止
することがキャリヤの保護と研磨精度の向上とを図る上
で有効である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、加工
中の内歯歯車の振動を防止して、キャリヤがうねりを生
じないようにすることにある。
中の内歯歯車の振動を防止して、キャリヤがうねりを生
じないようにすることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の平面研磨装置は、ワークを保持するキャリ
ヤ、該キャリヤを遊星運動させる回転自在の太陽歯車及
び内歯歯車、上記キャリヤに保持されたワークを両側か
ら挟んで研磨する回転自在の上下の定盤、上記両歯車及
び上下の定盤を駆動回転させる駆動軸を備えてなり、上
記太陽歯車及び内歯歯車のうち少なくとも内歯歯車が流
体軸受により回転自在に支持されていることを特徴とす
るものである。
め、本発明の平面研磨装置は、ワークを保持するキャリ
ヤ、該キャリヤを遊星運動させる回転自在の太陽歯車及
び内歯歯車、上記キャリヤに保持されたワークを両側か
ら挟んで研磨する回転自在の上下の定盤、上記両歯車及
び上下の定盤を駆動回転させる駆動軸を備えてなり、上
記太陽歯車及び内歯歯車のうち少なくとも内歯歯車が流
体軸受により回転自在に支持されていることを特徴とす
るものである。
【０００５】
【作用】振動が発生し易く且つ振動幅の大きい内歯歯車
が流体軸受により支持されているから、加工時に該内歯
歯車の振動が発生せず、従って、キャリヤのうねりが生
じないから、その破損や研磨精度の低下が防止される。
が流体軸受により支持されているから、加工時に該内歯
歯車の振動が発生せず、従って、キャリヤのうねりが生
じないから、その破損や研磨精度の低下が防止される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明するに、図１に示す研磨装置は、機体Ａに
取り付けられたシリンダ７のロッド７ａに吊設されて該
ロッド７ａの伸縮により昇降自在の上定盤１、該上定盤
１に対向する下定盤２、複数のキャリヤ３、これらのキ
ャリヤ３と噛合して該キャリヤ３を遊星運動させる太陽
歯車４及び内歯歯車５を備え、各キャリヤ３に保持させ
たワーク６を回転する上下の定盤１，２により両側から
挟んで研磨加工するものである。
ら詳細に説明するに、図１に示す研磨装置は、機体Ａに
取り付けられたシリンダ７のロッド７ａに吊設されて該
ロッド７ａの伸縮により昇降自在の上定盤１、該上定盤
１に対向する下定盤２、複数のキャリヤ３、これらのキ
ャリヤ３と噛合して該キャリヤ３を遊星運動させる太陽
歯車４及び内歯歯車５を備え、各キャリヤ３に保持させ
たワーク６を回転する上下の定盤１，２により両側から
挟んで研磨加工するものである。
【０００７】上記両定盤１，２及び両歯車４，５は、同
心状に位置する駆動軸１ａ，２ａ，４ａ，５ａを介して
図示しない駆動源に接続され、所定の回転方向に所定の
回転数で駆動されるようになっている。これらの駆動軸
のうち下定盤駆動軸２ａと太陽歯車駆動軸４ａ及び内歯
歯車駆動軸５ａは、それぞれ下定盤２と太陽歯車４及び
内歯歯車５に常時連結された状態にあるが、中心に位置
する上定盤駆動軸１ａは、その上端に伏せたキャップ形
をなすドライバ８を有し、上定盤１が図１の位置に下降
したときに、該上定盤１側に設けたフック９がドライバ
８の外面の溝８ａに嵌入することにより該ドライバ８を
介して上定盤１と係合し、上定盤１が上昇したときは該
上定盤１から離れるようになっている。
心状に位置する駆動軸１ａ，２ａ，４ａ，５ａを介して
図示しない駆動源に接続され、所定の回転方向に所定の
回転数で駆動されるようになっている。これらの駆動軸
のうち下定盤駆動軸２ａと太陽歯車駆動軸４ａ及び内歯
歯車駆動軸５ａは、それぞれ下定盤２と太陽歯車４及び
内歯歯車５に常時連結された状態にあるが、中心に位置
する上定盤駆動軸１ａは、その上端に伏せたキャップ形
をなすドライバ８を有し、上定盤１が図１の位置に下降
したときに、該上定盤１側に設けたフック９がドライバ
８の外面の溝８ａに嵌入することにより該ドライバ８を
介して上定盤１と係合し、上定盤１が上昇したときは該
上定盤１から離れるようになっている。
【０００８】上記上定盤１及び下定盤２は、転がり軸受
等の図示しない適宜の軸受手段により回転自在に支持さ
れ、一方、太陽歯車４及び内歯歯車５は、流体軸受１０
ａ及び１０ｂにより回転自在に支持されている。即ち、
太陽歯車４及び内歯歯車５の下面には、円筒状の回転筒
部１３ａ及び１３ｂがそれぞれ一体に形成され、これに
対して機体Ａ側には、上記回転筒部１３ａ及び１３ｂに
対応する位置に円筒状の固定軸１５ａ及び１５ｂがそれ
ぞれ形成され、該固定軸１５ａ及び１５ｂの上端に潤滑
油１７が充填された環状溝１６ａ及び１６ｂが設けられ
ており、該環状溝１６ａ及び１６ｂ内に上記回転筒部１
３ａ及び１３ｂが嵌合している。また、上記太陽歯車４
及び内歯歯車５は、上記太陽歯車駆動軸４ａ及び内歯歯
車駆動軸に対し、キー１７とキー溝１８とによって各駆
動軸の軸線方向に若干の自由度をもって連結されてい
る。
等の図示しない適宜の軸受手段により回転自在に支持さ
れ、一方、太陽歯車４及び内歯歯車５は、流体軸受１０
ａ及び１０ｂにより回転自在に支持されている。即ち、
太陽歯車４及び内歯歯車５の下面には、円筒状の回転筒
部１３ａ及び１３ｂがそれぞれ一体に形成され、これに
対して機体Ａ側には、上記回転筒部１３ａ及び１３ｂに
対応する位置に円筒状の固定軸１５ａ及び１５ｂがそれ
ぞれ形成され、該固定軸１５ａ及び１５ｂの上端に潤滑
油１７が充填された環状溝１６ａ及び１６ｂが設けられ
ており、該環状溝１６ａ及び１６ｂ内に上記回転筒部１
３ａ及び１３ｂが嵌合している。また、上記太陽歯車４
及び内歯歯車５は、上記太陽歯車駆動軸４ａ及び内歯歯
車駆動軸に対し、キー１７とキー溝１８とによって各駆
動軸の軸線方向に若干の自由度をもって連結されてい
る。
【０００９】上記構成を有する平面研磨装置は、各駆動
軸１ａ，２ａ，４ａ，５ａにより、太陽歯車４及び内歯
歯車５を所要の方向及び速度で回転させてキャリヤ３を
遊星運動させると共に、上下の定盤１，２を回転させな
がら、各キャリヤ３に保持させたワークをこれら上下の
定盤１，２により両側から挟んで研磨加工するものであ
る。
軸１ａ，２ａ，４ａ，５ａにより、太陽歯車４及び内歯
歯車５を所要の方向及び速度で回転させてキャリヤ３を
遊星運動させると共に、上下の定盤１，２を回転させな
がら、各キャリヤ３に保持させたワークをこれら上下の
定盤１，２により両側から挟んで研磨加工するものであ
る。
【００１０】このとき、太陽歯車４及び内歯歯車５を支
持する流体軸受１０ａ及び１０ｂにおいては、回転筒部
１３ａ及び１３ｂが潤滑油による油圧の作用によって環
状溝１６ａ及び１６ｂの溝底との間に一定の間隙を保っ
た状態に支持されて回転するため、これらの太陽歯車４
及び内歯歯車５には振動が発生せず、両歯車は非常に安
定した状態で回転する。このため、これらの歯車４，５
と噛合するキャリヤ３にうねりが生じることがなく、う
ねりが生じないから、うねりによるキャリヤ３の変形や
破損等が発生せず、研磨精度も向上する。上記回転筒部
１３ａ及び１３ｂが回転時に油圧の作用力によって若干
浮上する場合でも、太陽歯車４及び内歯歯車５が駆動軸
４ａ，４ｂに対して軸線方向に若干の自由度を持ってい
るため、その浮上は円滑である。
持する流体軸受１０ａ及び１０ｂにおいては、回転筒部
１３ａ及び１３ｂが潤滑油による油圧の作用によって環
状溝１６ａ及び１６ｂの溝底との間に一定の間隙を保っ
た状態に支持されて回転するため、これらの太陽歯車４
及び内歯歯車５には振動が発生せず、両歯車は非常に安
定した状態で回転する。このため、これらの歯車４，５
と噛合するキャリヤ３にうねりが生じることがなく、う
ねりが生じないから、うねりによるキャリヤ３の変形や
破損等が発生せず、研磨精度も向上する。上記回転筒部
１３ａ及び１３ｂが回転時に油圧の作用力によって若干
浮上する場合でも、太陽歯車４及び内歯歯車５が駆動軸
４ａ，４ｂに対して軸線方向に若干の自由度を持ってい
るため、その浮上は円滑である。
【００１１】上記実施例では、太陽歯車４と内歯歯車５
の両方を流体軸受１０ａ及び１０ｂにより支持させてい
るが、太陽歯車４に比べて大径で重量が大きい故に振動
し易く且つその振動幅も大きい内歯歯車５だけを流体軸
受で支持させても良い。あるいは、内歯歯車５と下定盤
２を流体軸受で支持させることも、太陽歯車４と内歯歯
車５と下定盤２とを流体軸受により支持させることもで
きる。
の両方を流体軸受１０ａ及び１０ｂにより支持させてい
るが、太陽歯車４に比べて大径で重量が大きい故に振動
し易く且つその振動幅も大きい内歯歯車５だけを流体軸
受で支持させても良い。あるいは、内歯歯車５と下定盤
２を流体軸受で支持させることも、太陽歯車４と内歯歯
車５と下定盤２とを流体軸受により支持させることもで
きる。
【００１２】
【発明の効果】このように本発明によれば、大径で振動
し易く且つその振動幅も大きい内歯歯車を流体軸受で支
持させることにより、加工中の該内歯歯車の振動を防止
して振動によるキャリヤのうねりを防ぐことができ、こ
れにより、該キャリヤの破損をなくすと共に、研磨精度
の低下を防止することができる。
し易く且つその振動幅も大きい内歯歯車を流体軸受で支
持させることにより、加工中の該内歯歯車の振動を防止
して振動によるキャリヤのうねりを防ぐことができ、こ
れにより、該キャリヤの破損をなくすと共に、研磨精度
の低下を防止することができる。
【図１】本発明に係る平面研磨装置の一実施例を示す平
面図である。
面図である。
１ 上定盤 ２ 下定盤 ３ キャリヤ ４ 太陽歯車 ５ 内歯歯車 ６ ワーク １ａ，２ａ，３ａ，４ａ 駆動軸 １０ａ，１０ｂ 流体軸受
Claims (1)
- 【請求項１】ワークを保持するキャリヤ、該キャリヤを
遊星運動させる回転自在の太陽歯車及び内歯歯車、上記
キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する
回転自在の上下の定盤、上記両歯車及び上下の定盤を駆
動回転させる駆動軸を備えてなり、上記太陽歯車及び内
歯歯車のうち少なくとも内歯歯車が流体軸受により回転
自在に支持されていることを特徴とする平面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33629294A JPH08174408A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33629294A JPH08174408A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 平面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08174408A true JPH08174408A (ja) | 1996-07-09 |
Family
ID=18297599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33629294A Withdrawn JPH08174408A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08174408A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103831712A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-04 | 宇环数控机床股份有限公司 | 一种用于双面精密磨削、研磨组合机床的下盘装置 |
| CN109848837A (zh) * | 2019-03-26 | 2019-06-07 | 平庆义 | 一种机械加工研磨设备 |
| CN110103134A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-08-09 | 应达利电子股份有限公司 | 晶片加工方法 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33629294A patent/JPH08174408A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103831712A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-04 | 宇环数控机床股份有限公司 | 一种用于双面精密磨削、研磨组合机床的下盘装置 |
| CN103831712B (zh) * | 2014-03-07 | 2016-02-10 | 宇环数控机床股份有限公司 | 一种用于双面精密磨削、研磨组合机床的下盘装置 |
| CN109848837A (zh) * | 2019-03-26 | 2019-06-07 | 平庆义 | 一种机械加工研磨设备 |
| CN110103134A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-08-09 | 应达利电子股份有限公司 | 晶片加工方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |