JPS6154544B2 - - Google Patents

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JPS6154544B2
JPS6154544B2 JP51136521A JP13652176A JPS6154544B2 JP S6154544 B2 JPS6154544 B2 JP S6154544B2 JP 51136521 A JP51136521 A JP 51136521A JP 13652176 A JP13652176 A JP 13652176A JP S6154544 B2 JPS6154544 B2 JP S6154544B2
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JP
Japan
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disk
lapping
lap
gear
workpiece
Prior art date
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Application number
JP51136521A
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English (en)
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JPS5360797A (en
Inventor
Hiroshi Sugishita
Yasuo Watanabe
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Hamai Co Ltd
Original Assignee
Hamai Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hamai Co Ltd filed Critical Hamai Co Ltd
Priority to JP13652176A priority Critical patent/JPS5360797A/ja
Publication of JPS5360797A publication Critical patent/JPS5360797A/ja
Publication of JPS6154544B2 publication Critical patent/JPS6154544B2/ja
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  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は下ラツプ円盤上に被加工物を載置し、
被加工物上に上ラツプ円盤を載置し、中心歯車と
内歯歯車とに噛合されたキヤリヤーに被加工物を
保持させ、下ラツプ円盤と上ラツプ円盤とを互に
反対方向に回転駆動させると共に、中心歯車と内
歯歯車とを互に異なる速度で回転駆動してキヤリ
ヤーを自転させつゝ公転させるように構成して成
るラツプ盤に関するものである。
周知の如くこの種ラツプ盤は、被加工物の表面
を鏡面状にラツプ仕上げするものであるが、特に
簡単な機械で極めて高精度の加工(ミクロン単位
の加工)を行なえるという点で、高い経済性が買
われている。
上記の反面この種ラツプ盤では、上下ラツプ円
盤とその間の被加工物との共摺りの原理によつて
ラツプ精度を高めているものであるために、ラツ
プ作業の時間の経過と共に、下ラツプ円盤のラツ
プ作業面がその周辺部側から次第に摩耗されて、
通常傘形(円錐形)に必ず変化し、この際上ラツ
プ円盤のラツプ作業面も下ラツプ円盤に倣つて平
行に変形することが知られている。
そして上記の如きラツプ円盤の傘形の変形が進
行するに従いラツプ精度が落ちることになり、通
常は被加工物及びラツプ円盤の材質によつても多
少異なるが、ラツプ作業をほゞ50時間位連続して
行なうと、上記傘形の変形がラツプ精度のほゞ限
界に達するものとされている。
即ちラツプ円盤を回転駆動する方式のラツプ盤
においては、ラツプ作業を行なう上で、ラツプ円
盤のラツプ作業面を水平面状態に保持することは
到底不可能であり、このラツプ作業面は通常は傘
形に変形し、また機械によつては逆傘形にも変形
する等、時間の経過と共に必ず変形する。
一方従来のこの種ラツプ盤では下ラツプ円盤を
ベアリング軸受等の機械軸受によつて回転自在に
支持させていた。しかしながら下ラツプ円盤上に
掛かる負荷が大きい為に、機械軸受は比較的早く
摩耗し、ガタツキを発生し易い。また機械軸受の
加工精度や組立精度のバラツキによつて下ラツプ
円盤の回転精度を上げ難かつた。この為従来は下
ラツプ円盤の高速回転時に、下ラツプ円盤に振
動、面振れ等が著しく発生し易く、これが上ラツ
プ円盤にも伝達されて、上下ラツプ円盤のラツプ
作業面に波状凹凸が発生し、加工精度を劣化させ
る大きな要因になつていた。
しかして従来は、上記ラツプ盤のラツプ作業面
の傘形の変形及び波状凹凸がラツプ精度の限界に
達した場合、その都度ラツプ円盤を機械から取り
外して修正機にかけ、その傘形及び波状凹凸に変
形したラツプ円盤のラツプ作業面を水平状に再研
磨するようにしている。
しかしながらこの修正作業は極めて面倒である
上に、時間の浪費が甚だしく、その修正作業中は
ラツプ作業を中断しなければならないといつた極
めて大きな問題を呈している。
本発明は上述の如き実状に鑑み発明されたもの
であつて、下ラツプ円盤駆動体を基台上に流体軸
受によつて回転自在に支持させ、その下ラツプ円
盤駆動体上に下ラツプ円盤を載置して回転駆動さ
せるように構成し、下ラツプ円盤における内側と
外側とのラツプ長の比が内側に対して外側が大と
なるような固定された標準サイクルで被加工物を
下ラツプ円盤に対して相対的に運動させる為の第
1の駆動手段と、下ラツプ円盤における内側と外
側とのラツプ長の比が内側に対して外側が小とな
るような固定された修正サイクルで被加工物を下
ラツプ円盤に対して相対的に運動させる為の第2
の駆動手段とを有し、これら第1及び第2の駆動
手段を切換え手段によつて切換え自在に構成した
ものである。このように構成することによつて、
所定の時間標準サイクルによつてラツプ作業を行
なつた後、修正サイクルに切換えることによつ
て、ラツプ円盤の振動、面振れ等を発生させない
ようにして、ラツプ作業面に波状凹凸が発生する
ことを未然に防止でき、かつまたラツプ円盤の傘
形に変形したラツプ作業面をほゞ水平面状に極め
て簡単に修正することができ、この繰返しにより
上記ラツプ作業面を再研磨することなく、極めて
長時間に亘つて連続的なラツプ作業を行なうこと
ができる。
以下本発明を適用したラツプ盤の一実施例を図
面に付き述べる。
先ずこのラツプ盤は通常二面ラツプ盤と称され
るものであつて、上下一対のラツプ円盤1,2と
中心歯車3、内歯歯車4、例えば4つのキヤリヤ
ー5とを有し、キヤリヤー5は中心歯車3の周囲
にほゞ90゜間隔で配置され、かつこれら各キヤリ
ヤー5はその外周に形成された歯車5aによつて
中心歯車3と内歯歯車4との両方に噛合されてい
る。そして各キヤリヤー5には通常複数個の被加
工物(以下ワークと記載する)6が保持されてお
り、これらのワーク6は下ラツプ円盤2上に載置
され、かつこれらのワーク6上には上ラツプ円盤
1が所定の加圧状態で押圧されている。
一方このラツプ盤は、いわゆる4ウエイ駆動方
式に構成されていて、下ラツプ円盤2、中心歯車
3及び内歯歯車4を同一方向(例えば第3図矢印
a方向)にそれぞれ所定の速度で回転駆動し、ま
た上ラツプ円盤1を上記方向とは逆方向(例えば
第3図矢印b方向)に所定の速度で回転駆動す
る。この結果キヤリヤー5は自転を伴いながら公
転し、ワーク6は互に逆回転する上下ラツプ円盤
1,2間で偏心運動(トコマイド)を行ない、共
摺り作用によつてこのワーク6の上下表面が所定
の鏡面状にラツプ仕上げされるように構成されて
いる。
次にこのラツプ盤の詳細を説明する。先ず9及
び10は互に一体に結合された上下一対の固定の
基台であり、基台9の上部には環状をなす流体軸
受11によつて下ラツプ円盤駆動体12が回転自
在に支持されている。また基台9の外側で基台1
0の上部には内歯歯車駆動体13が回転自在に支
持されている。更にまた基台9,10の中心部に
はこれらを垂直状に貫通する内外3重の軸14,
15,16がそれぞれ相対回転自在に設けられて
いる。なお前記駆動体12は前記外軸16に固着
されたキーに適当な遊びを有して係合されてい
る。そして前記下ラツプ円盤2は前記駆動体12
の上部に着脱自在な状態で水平状に載置され、か
つこの駆動体12の上部に突設された複数個の駆
動ピン18に係合されている。また前記内歯歯車
4は前記駆動体13の上部に水平状に固着されて
いる。更に前記中心歯車3は前記中間軸15の上
端に固着されている。なお中軸14の上端には前
記上ラツプ円盤1を駆動する為の回転ヘツド17
が固着されている。
一方19は支柱であり、この支柱19の上部に
は旋回アーム20が取付けられ、この旋回アーム
20には前記上ラツプ円盤1の昇降駆動用の油圧
シリンダー21が垂直状に取付けられている。そ
してこの油圧シリンダー21によつて昇降される
昇降軸22の下端には上ラツプ円盤支持体23が
回転自在に支持されており、この支持体23の下
部に前記上ラツプ円盤1が着脱自在な状態で水平
状に取付けられている。なおこの上ラツプ円盤1
の中心部の上部には前記回転ヘツド17と係合す
る為の係合ヘツド24が着脱自在に取付けられて
いる。
そして油圧シリンダー21の下降駆動によつて
上ラツプ円盤1が下降されて、ワーク6上に所定
の加圧状態で押圧されるように構成されている。
なおこの下降状態で回転ヘツド17が係合ヘツド
24内に相対的に挿入されて、これらが互に係合
される。
他方ラツプ剤はラツプ剤循環タンク26内に収
納されていて、ポンプモータ27によつて送液パ
イプ(図示せず)にて前記旋回アーム20部分に
送られ、中空軸に構成されている前記昇降軸22
内を通して前記支持体23のラツプ剤受28内に
供給される。そしてこゝに供給されたラツプ剤は
これから垂下された複数個のラツプ剤滴下管29
を通じて上ラツプ円盤1のラツプ作業面1aに供
給される。また下ラツプ円盤2のラツプ作業面2
aから排出されたラツプ剤は前記基台10の上部
外周に形成されたラツプ剤受30部分で受取ら
れ、排液パイプ31によつて前記循環タンク26
に回収されるように構成されている。なお32は
ラツプ剤の飛散防止用カバーである。
次に第2図、第10図〜第14B図によつて流
体軸受11の詳細を説明する。
先ず前記基台9の上面81には環状溝からなる
油槽82が設けられている。そしてこの油槽82
内には潤滑油(粘性流体)83が収容されてい
る。なお油槽82内の溝底84は水平面に構成さ
れている。
次に前記下ラツプ円盤駆動体12のスラスト軸
受として円筒状リング85が用いられている。そ
して円筒状リング85は油槽82の溝巾よりやゝ
小さい巾に構成されていて、油槽82内に挿入さ
れて潤滑油83上に浮かされ、この油槽82内に
て自由に水平回転出来るように構成されている。
そして下ラツプ円盤駆動体12がこの円筒状リン
グ85の上面86上に載置され、例えば3本の取
付ネジ87によつて互に一体に結合されている。
次に円筒状リング85の下面88には例えば6
等分され、互に一定の方向性を有する6個の斜面
89が設けられている。なおこれらの斜面89は
水平面に対して傾斜されているものであり、下ラ
ツプ円盤駆動体12の回転方向a側が溝底84に
対して高く、かつ回転方向aとは反対側が溝底8
4に対して低くなるような傾斜を呈している。と
ころでこの斜面89は円筒状リング85が矢印a
方向に回転した時に、その円筒状リング85を溝
底84から浮上させる為に非常に重要な要素とな
つていて、前記下ラツプ円盤2の回転速度や潤滑
油83の粘度等と関連して設計されるが通常は約
2゜〜3゜に構成されている。なお90は各斜面
89の傾斜下端側に設けられた水平面であり、9
1は各斜面89を加工する上で形成された切込み
である。
以上の如く構成された流体軸受11によれば、
先ず下ラツプ円盤駆動体12が停止している時に
は、第14A図に示す如く、円筒状リング85は
その水平面90部分において潤滑油83の膜厚9
2によつて溝底84に接している。次に第14B
図に示す如く下ラツプ円盤駆動体12が矢印a方
向に回転駆動されて、これと一体に円筒状リング
85が同方向に回転すると、その回転した円筒状
リング85の斜面89部分に付着した潤滑油83
が、その斜面89と水平な溝底84との間で作ら
れる狭いクサビ状の隙間93内に矢印a方向とは
反対方向に引き込まれて、この時に油圧が発生す
る。そして円筒状リング85はその油圧によつて
浮上され、水平面90と溝底84との間に適当な
隙間94を保つて水平状態を維持し、機械的には
全く無接触な状態で支持される。そして円筒状リ
ング85は上下方向の振動や面振れ等を発生せず
に極めて安定して回転する。そして円筒状リング
85の回転速度が高速になればなる程油圧が高ま
り、安定性が増し、上記振動や面振れは更に減少
する。
従つてこの円筒状リング85にてスラスト受け
されている下ラツプ円盤駆動体12はその円筒状
リング85と同様に振動や面振れ等を全く発生せ
ずに、高速度で極めて安定して回転駆動される。
なお下ラツプ円盤駆動体12はこれに回転駆動力
を伝達する前記外軸16のキーに適当な遊びを有
して係合されていて、下ラツプ円盤駆動体12は
その安定した回転状態を外軸12によつて何等外
乱されることなく高速度で回転駆動される。
次に4ウエイ駆動方式の駆動系を説明する。先
ず34は駆動用モータを示している。35はギヤ
ーボツクスを示しており、このギヤーボツクス3
5の入力軸36と、モータ34のモータ軸37と
はプーリ38,39及びベルト40を介して連動
されている。なおこの入力軸36は出力軸41に
ウオーム42及びウオームホイール43を介して
直角状に方向変換されている。
一方前記駆動体13の下部には歯車45が固着
され、また前記内外3重の軸14,15,16の
それぞれの下端にも歯車46,47,48が固着
されている。なお前記基台10の一側部には昇降
軸50が垂直状に配されており、この昇降軸50
はその外周に配されて基台10に回転自在に保持
された筒軸51にキー及びキー溝の係合により回
転力を相互に伝え得る状態で昇降自在に構成され
ている。そしてこの昇降軸50の上端に固着され
た歯車52が前記歯車45に噛合、離脱自在に構
成されている。またこの昇降軸50の下端側に固
着された広幅の歯車53が前記ギヤーボツクス3
5内に軸支された歯車54,55を介して前記歯
車46に常時噛合されている。更にこの昇降軸5
0の中間部に固着された歯車56が前記歯車47
に噛合、離脱自在に構成されている。更にまた前
記筒軸51の下端に固着された歯車57は前記出
力軸41に固着された歯車58と前記歯車48と
に常時噛合されている。
なお昇降軸50が第4図実線の如く上昇位置に
ある時、歯車52,56は歯車45,47に噛合
されるが、この昇降軸50が第4図鎖線の如く下
降されると、歯車52,56は歯車45,47か
らそれぞれ離脱される。
また前記基台10の他側部にも昇降軸60が垂
直状に配されている。この昇降軸60には前記歯
車45と前記歯車48に噛合された歯車61とに
噛合、離脱自在の歯車62,63が固着されてい
る。またこの昇降軸60の下端側にはアーム64
を介してロツクピン65が垂直状に保持されてい
る。そしてこの昇降軸60が第4図鎖線の如く下
降位置にある時歯車62,63は歯車45,61
から離脱され、またロツクピン65は歯車47の
下方に抜出される。なおこの昇降軸60が第4図
実線の如く上昇されると、歯車62,63が歯車
45,61にそれぞれ噛合され、またロツクピン
65が歯車47の下面に形成された複数個のロツ
ク孔66に下から選択的に挿入されて、この歯車
47をロツクするように構成されている。また前
記両昇降軸50,60の下端にはそれぞれ溝付ロ
ーラ67,68が回転自在に取付けられ、これら
両ローラ67,68には第4図に示されるような
一対の切換えレバー69,70が係合されてい
る。そしてこれら両切換えレバー69,70は1
本の切換え主レバー(図示せず)に連動されてい
て、この1本の切換え主レバーの上下切換えによ
つて、これら両切換えレバー69,70が上下互
に逆方向に切換えられ、これによつて両昇降軸5
0,60が上下互に逆方向に昇降切換えされるよ
うに構成されている。
なおこの実施例において本発明で言う第1の駆
動手段とは、昇降軸50に関連する歯車駆動系を
指し、また第2の駆動手段とは昇降軸60に関連
する歯車駆動系及びロツクピン66による歯車4
7のロツク機構を指している。また同様に切換え
手段とは、両切換えレバー69,70及び両昇降
軸50,60による歯車切換え機構を指してい
る。
次に以上述べたラツプ盤によるワーク6のラツ
プ作業要領を説明する。
先ず上下ラツプ円盤1,2、中心歯車3、内歯
歯車4は前述した要領で、かつ所定の回転比をも
つて回転駆動される。この際このラツプ盤におい
ては、通常のラツプ作業を行なう為に定められた
回転比で上記回転駆動を行なうようにした標準サ
イクルと、上下ラツプ円盤1,2のラツプ作業面
1a,2aの傘形の変形を修正する為に定められ
た別の回転比で上記回転駆動を行なうようにした
修正サイクルとの、2つのサイクルによる回転駆
動が可能となつている。
なおこゝで言う標準サイクル及び修正サイクル
は実験の結果から案出されたものであつて、標準
サイクルとしては例えば第5図の表で示された
A,B,Cの各例があり、また修正サイクルとし
ては同じく例えばD,Eの各例があるが、こゝで
は、標準サイクルとしてC例を使用し、また修正
サイクルとしてはE例を使用するものとする。
従つて標準サイクルのC例においては、上ラツ
プ円盤1:下ラツプ円盤2:内歯歯車4:中心歯
車3の回転比が−1:3:2/3:1となつてお
り、また同じく修正サイクルのE例としては、−
1:3:2:0となつている。そしてこれら標準
サイクル及び修正サイクルは通常固定されて使用
されるが、前述した歯車駆動系における歯車群を
適宜異なる直径のものと交換することによつて、
上記標準サイクル及び修正サイクルを例えばA例
やB例及びD例或いはその他の適当な回転比に任
意に変更することができるものである。
そこで先ず標準サイクルによるラツプ作業要領
を説明する。この場合は先ず、両切換えレバー6
9,70を第4図に示すP1の位置へそれぞれ切換
える。これにより一方の昇降軸50は第4図実線
の如く上昇され、歯車52,56が歯車45,4
7にそれぞれ噛合される。また他方の昇降軸60
は第4図実線の如く下降され、歯車62,63が
歯車45,61からそれぞれ離脱される。なおこ
の時ロツクピン65は歯車47の下方に抜け、こ
の歯車47のロツクは解除される。
以上によりラツプ盤は標準サイクルに切換えら
れる。
そこでこの状態でモータ34を作動させると、
モータ軸37の回転力がプーリ38、ベルト4
0、プーリ39、入力軸36、ウオーム42、ウ
オームホイール43、出力軸41を介して歯車5
8に伝動される。そしてこの回転力は更に歯車5
7、筒軸51を介して昇降軸50に伝動され、こ
の昇降軸50が回転される。これにより歯車52
により歯車45が駆動され、歯車53により歯車
54,55を介して歯車46が駆動され、歯車5
6により歯車47が駆動され、歯車57により歯
車48が駆動される。そしてこの結果中軸14、
回転ヘツド17、係合ヘツド24を介して上ラツ
プ円盤1が例えば第3図矢印b方向に所定の速度
で回転駆動される。また中間軸15を介して中心
歯車3が例えば第3図矢印a方向に所定の速度で
回転駆動される。また外軸16、駆動体12を介
して下ラツプ円盤2が例えば第3図矢印a方向に
所定の速度で回転駆動される。更にまた駆動体1
3を介して内歯歯車4が例えば第3図矢印a方向
に所定の速度で回転駆動される。
しかしてこの際駆動体2が基台9上に流体軸受
11を介して回転自在に支持され、その駆動体1
2によつて下ラツプ円盤2が回転駆動される構造
になつている為、その回転時に下ラツプ円盤2に
は振動や面振れ等が全く発生しない。従つて下ラ
ツプ円盤2及び上部に載置された上ラツプ円盤1
は振動や面振れ等が全く発生しない状態で、高精
度に安定回転する。
以上の回転駆動によりキヤリヤー5は自転を伴
いながら公転され、ワーク6は上下ラツプ円盤
1,2間で所定の偏心運動を行ない、このワーク
6の上下面は上下ラツプ円盤1,2による共摺り
作用によつて、所望の鏡面状にラツプ仕上げされ
ることになる。
そして下ラツプ円盤2は下ラツプ円盤駆動体1
2上に支持されて、その下ラツプ円盤駆動体12
と一体になつて極めて安定して回転され、その下
ラツプ円盤2にも振動や面振れ等が全く発生しな
い。従つてその下ラツプ円盤2上に載置されたワ
ーク6及びそのワーク6上に載置された上ラツプ
円盤1どうしは、相互に常に密着された安定状態
を維持してラツプ加工される。即ち下ラツプ円盤
2、ワーク6及び上ラツプ円盤1どうしが相互に
振動や面振れ等を起して、これらの密着状態に変
化(悪くなること)が生じるようなことが全くな
い。従つて上下両ラツプ円盤1,2のラツプ作業
面1a,2aは波状凹凸が発生するようなことが
全くなくて、そのラツプ作業面1a,2aは常に
平坦面状態を維持し、ワーク6は高精度にラツプ
仕上げされる。
なお下ラツプ円盤駆動体12を高速度で回転す
る程下ラツプ円盤2を安定して回転することが出
来るので、上記高精度のラツプ仕上げを高能率に
行なうことが出来る。
この際この標準サイクルにおいては前述したよ
うに上ラツプ円盤1:下ラツプ円盤2:内歯歯車
4:中心歯車3の回転比が−1:3:2/3:1と
なつており、後述するように下ラツプ円盤2にお
ける内側と外側とのラツプ長(ラツプ長とはラツ
プ円盤に対してワークが移動する長さであり、こ
こでは、下ラツプ円盤2に対してワーク6が移動
する長さのことである。)の比が内側に対して外
側が大となるように設定されている関係で、上記
ラツプ作業の進行に伴い、下ラツプ円盤2のラツ
プ作業面2aは第6A図の如く傘形に次第に変形
する。なおこの際上ラツプ円盤1のラツプ作業面
1aは従来公知の如く下ラツプ円盤2のラツプ作
業面2aに倣つてほゞ同様の傘形に変形する。そ
して実験の結果から上記ラツプ作業をほゞ50時間
位連続して行なうと、上記傘形の変形がラツプ精
度のほゞ限界に達することが見られた。
次に修正サイクルによる稼動状況を説明する。
この場合は先ず、両切換えレバー69,70を第
4図に示すP2の位置へそれぞれ切換えると、一方
の昇降軸50が第4図鎖線の如く下降され、歯車
52,56が歯車45,47からそれぞれ離脱さ
れる。また他方の昇降軸60が第4図鎖線の如く
上昇され、歯車62,63が歯車45,61にそ
れぞれ噛合される。なおこの時ロツクピン65が
歯車47のロツク孔66内に挿入されて、この歯
車47がロツクされ、その回転が停止される。
以上によりラツプ盤は修正サイクルに切換えら
れる。
そこでこの状態でモータ34を作動させると、
前述同様に昇降軸50が回転されて、歯車53に
より歯車54,55を介して歯車46が駆動され
ること及び歯車57により歯車48が駆動される
ことに関しては前述と同様であるが、今度は、歯
車48の回転力が歯車61,63を介して昇降軸
60に伝動され、歯車62を介して歯車45が駆
動される。また歯車47は回転しない。この結果
この修正サイクルにおいては、上下ラツプ円盤
1,2については標準サイクル時と全く同様に回
転駆動されるのに対して、内歯歯車4はその回転
方向については標準サイクル時と同様であるが、
標準サイクル時とは異なつた速度で回転駆動され
る。また中心歯車3は回転しない。
つまり、この修正サイクルにおいては前述した
ように上ラツプ円盤1:下ラツプ円盤2:内歯歯
車4:中心歯車3の回転比が−1:3:2:0と
なつており、後述するように下ラツプ円盤2にお
ける内側と外側とのラツプ長の比が内側に対して
外側が小となるように設定されている。
従つて今下ラツプ円盤2のラツプ作業面2aが
水平面である状態でこの修正サイクル稼動を行な
つた場合には、ラツプ作業面2aは前述した標準
サイクル時とは逆に、第6B図の如く逆傘形に変
形する。なおこの際も上ラツプ円盤1のラツプ作
業面1aは従来公知の如く下ラツプ円盤2のラツ
プ作業面2aに倣つてほゞ同様の逆傘形に変形す
る。
しかしてこのラツプ盤においては前述したよう
に標準サイクル−修正サイクルの切換えが極めて
簡単で、かつ自由である。
従つて前述したように所定の時間標準サイクル
でラツプ作業を行なつた後、修正サイクルに切換
えて稼動させることにより、標準サイクル時に傘
形に変形した上下ラツプ円盤1,2のラツプ作業
面1a,2aを、修正サイクル稼動によつて再び
水平面状になるように修正することができるので
ある。
なお実験の結果から、標準サイクルでほゞ50時
間位ラツプ作業を行なつた後、キヤリヤー5を従
来公知の修正キヤリヤーに取替えて修正サイクル
稼動を行なつた場合には、ほゞ10時間位(標準サ
イクルによるラツプ作業時間のほゞ1/5の時間)
で、上下ラツプ円盤1,2のラツプ作業面1a,
2aをほゞ水平面状に修正することができた。ま
た修正キヤリヤーに取替えることなく、ワーク6
を入れたまゝで修正サイクル稼動を行なつた場合
には、ほゞ25時間位(標準サイクルによるラツプ
作業時間のほゞ1/2の時間)で、上下ラツプ円盤
1,2のラツプ作業面1a,2aをほゞ水平面状
に修正することができた。
従つてこのラツプ盤によれば、上述の如くワー
ク6を入れたまゝで、所定の時間毎に標準サイク
ルと修正サイクルとに繰返し切換えながらラツプ
作業を行なえば、上下ラツプ円盤1,2のラツプ
作業面1a,2aを修正サイクル時に自動的に修
正させながら、極めて長時間に亘つて連続的なラ
ツプ作業を行なうことができる。
また上述のように修正サイクル時に修正キヤリ
ヤーを取替えるにしても、その取替え作業は極め
て簡単であり、しかもその修正サイクル稼動時間
は非常に短いから、上下ラツプ円盤1,2のラツ
プ作業面1a,2aの修正に要する時間、即ちラ
ツプ作業の中断時間を従来に比べて大幅に短縮で
きて、高能率のラツプ作業を行なうことができ
る。
こゝで上述したラツプ円盤のラツプ作業面の傘
形の変形と、その修正とに関する原理を説明す
る。
先ず下ラツプ円盤2に対するワーク6のラツプ
長に関して説明する。
第7図は前述した標準サイクル(−1:3:2/
3:1)での上下ラツプ円盤1,2、内歯歯車
4、中心歯車3の回転比と回転方向を示したもの
であり、A点は内歯歯車4とキヤリヤー5との接
触点、B点は中心歯車3とキヤリヤー5との接触
点を示している。
そこで今内歯歯車4が1回転する時のキヤリヤ
ー5の公転を1回転位にし、キヤリヤー5の自転
は、公転5〜6回に1回転位にして、自転は公転
に比べてずつと少なく、自転の影響を一応無視し
て考える。この状態で上ラツプ円盤1:下ラツプ
円盤2:内歯歯車4:中心歯車3の回転比が、前
述の如く−1:3:2/3:1であるとすると、中
心歯車3の回転が第7図で1だけ動いたとする
時、B点は同様に1だけ動いてB′点に移る。また
同様にA点は2/3だけ動いてA′点に移る。しかし
てこの時におけるB点とB′点との間の距離及びA
点とA′点との間の距離が、下ラツプ円盤2にお
ける内側と外側とのラツプ長となる。
なおこの内側と外側とのラツプ長に関しては、
第8図のように上下ラツプ円盤1,2、内歯歯車
4、中心歯車3の回転比のみで考えても同じとな
る。
そこでこの第8図において、前述した回転比−
1:3:2/3:1の時の下ラツプ円盤2における
内側と外側とのラツプ長の比を考えると、 内側:外側=2:21/3=6:7 となり、この比は前述した第5図の表における標
準サイクルのC例に該当する。
なお同様にして前述した修正サイクル(−1:
3:2:0)での下ラツプ円盤2の内側と外側と
のラツプ長の比を考えると、 内側:外側=3:1 となり、この比は前述した第5図の表における修
正サイクルのE例に該当する。
なお第5図の表は、標準サイクルと、修正サイ
クルとのそれぞれに関して各回転比について実験
した結果を表わしたものであつて、この実験の結
果、上記表に示された各回転比について下ラツプ
円盤2の内側と外側とのラツプ長の比に関連す
る。この下ラツプ円盤2におけるラツプ作業面2
aの傘形の変形(摩耗)が見られた。またこの際
上ラツプ円盤1については、従来同様に下ラツプ
円盤2の傘形の変形にほゞ倣つた変形(摩耗)が
見られた。
なお上述した回転比に関連したラツプ剤の流れ
についても実験したところ、次のような結果が得
られた。
即ちキヤリヤー6の公転数が内歯歯車4の1回
転に対し、ほゞ1回転で、かつその公転数に対し
て自転数が少なく、しかも中心歯車3と内歯歯車
4との回転比を変えることで、キヤリヤー6の自
転の方向が変わるように、回転比を選ぶと、第9
A図及び第9B図に示されたようなラツプ剤の流
れを証明できた。
つまり第9A図は標準サイクルにおけるラツプ
剤の流れ(矢印c)を示しており、この時にはラ
ツプ剤は下ラツプ円盤2の外側へ流れる傾向にあ
る。また第9B図は修正サイクルにおけるラツプ
剤の流れ(矢印d)を示しており、この時にはラ
ツプ剤は下ラツプ円盤2の内側へ流れる傾向にあ
る。
これは前述のラツプ長の比に関連して、その比
の大きい方、即ち標準サイクルでは下ラツプ円盤
2の外側、また修正サイクルでは下ラツプ円盤2
の内側へうまくラツプ剤が流れ込むことを示して
おり、そのラツプ剤の流れ込む区域側のラツプ能
率を上げていることを証明している。
以上の実験結果から、前述した各回転比と、ラ
ツプ剤の流れをコントロールすることにより、標
準サイクルでラツプ作業を行なつた後の上下ラツ
プ円盤1,2の傘形に変形したラツプ作業面1
a,2aを、修正サイクルによつて逆傘形に修正
することが可能となつた。
本発明は上述の如く下ラツプ円盤における内側
と外側とのラツプ長の比が内側に対して外側が大
きいことによつて、下ラツプ円盤のラツプ作業面
がラツプ作業の進行に伴い傘形に変形するような
固定された標準サイクルと、下ラツプ円盤におけ
る上記ラツプ長の比が内側に対して外側が小さい
ことによつて、上記ラツプ作業面が逆傘形に変形
するような固定された修正サイクルとを有し、こ
れらを簡単に切換え得るように構成したものであ
るから、所定の時間標準サイクルによつてラツプ
作業を行なつた後、修正サイクルに切換えること
によつて、ラツプ円盤の傘形に変形したラツプ作
業面をほゞ水平面状に極めて簡単に修正すること
ができる。従つて標準サイクルと修正サイクルと
を交互に繰返しながらラツプ作業を行なうことに
より、ラツプ円盤のラツプ作業面を再研磨するこ
となく、極めて長時間に亘つて連続的なラツプ作
業を行なうことができる。そしてラツプ円盤を再
研磨する必要が一切ないことから、この再研磨の
為の面倒な作業、大幅な時間の浪費を一切無くす
ることができて、ラツプ作業能率を飛躍的に向上
させることができる。
しかして本発明は上記構造のラツプ盤におい
て、特に、下ラツプ円盤駆動体を基台上に流体軸
受によつて回転自在に支持させ、その下ラツプ円
盤駆動体上に下ラツプ円盤を載置して回転駆動さ
せるように構成して、上下ラツプ円盤を振動や面
振れ等が全く発生しない状態で、高精度に安定回
転できるように構成したので、上下ラツプ円盤の
ラツプ作業面に波状凹凸が全く発生しない。従つ
てラツプ作業面を常に平坦面状に維持させた状態
で、上記傘形の変形並びに水平面状への修正を極
めて高精度に行なえて、極めて高い加工精度が得
られる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明を適用したラツプ盤の一実施例を
示したものであつて、第1図は全体の縦断面図、
第2図は要部の拡大縦断面図、第3図は第1図
−線矢視状態の平面図、第4図は駆動系を示し
た概略図、第5図は回転比とラツプ長との関係を
示した表、第6A図及び第6B図はラツプ円盤の
変形状況を示した断面図、第7図及び第8図はラ
ツプ長の比を説明する図面、第9A図及び第9B
図はラツプ剤の流れを説明する概略図、第10図
は流体軸受部分の分解斜視図、第11図は同上の
円筒状リングの下面図、第12図は第11図XII−
XII線断面図、第13図は流体軸受部分の平面図、
第14A図及び第14B図は流体軸受による油圧
浮上動作を説明する要部の断面図である。 また図面に用いられた符号において、1は上ラ
ツプ円盤、2は下ラツプ円盤、3は中心歯車、4
は内歯歯車、5はキヤリヤー、6は被加工物、3
4は駆動用モータ、50,60は昇降軸、52,
53,62,63は歯車、65はロツクピン、6
9,70は切換えレバー、82は油槽、83は潤
滑油、84は溝底、85は円筒状リング、89は
斜面、93はクサビ状の隙間である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 下ラツプ円盤上に被加工物を載置し、被加工
    物上に上ラツプ円盤を載置し、中心歯車と内歯歯
    車とに噛合されたキヤリヤーに被加工物を保持さ
    せ、下ラツプ円盤と上ラツプ円盤とを互に反対方
    向に回転駆動させると共に、中心歯車と内歯歯車
    とを互に異なる速度で回転駆動してキヤリヤーを
    自転させつつ公転させるように構成して成るラツ
    プ盤において、下ラツプ円盤駆動体をその真下に
    配置されている基台上に環状の流体軸受によつて
    回転自在に支持させ、その下ラツプ円盤駆動体上
    に下ラツプ円盤を載置して回転駆動させるように
    構成し、下ラツプ円盤における内側と外側とのラ
    ツプ長の比が内側に対して外側が大となるような
    固定された標準サイクルで被加工物を下ラツプ円
    盤に対して相対的に連動させる為の第1の駆動手
    段と、下ラツプ円盤における内側と外側とのラツ
    プ長の比が内側に対して外側が小となるような固
    定された修正サイクルで被加工物を下ラツプ円盤
    に対して相対的に運動させる為の第2の駆動手段
    とを有し、これら第1及び第2の駆動手段を切換
    え手段によつて切換え自在に構成したことを特徴
    とするラツプ盤。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013113412A (ja) * 2011-11-30 2013-06-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd スラスト軸受及び回転機械
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52103799A (en) * 1976-02-26 1977-08-31 Chikanobu Ichikawa Device for correcting lapping machine

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52103799A (en) * 1976-02-26 1977-08-31 Chikanobu Ichikawa Device for correcting lapping machine

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013113412A (ja) * 2011-11-30 2013-06-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd スラスト軸受及び回転機械
WO2019088091A1 (ja) 2017-10-31 2019-05-09 株式会社Ihi 三次元造形装置及び三次元造形方法
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