JPH08166428A - Test circuit - Google Patents

Test circuit

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JPH08166428A
JPH08166428A JP6313382A JP31338294A JPH08166428A JP H08166428 A JPH08166428 A JP H08166428A JP 6313382 A JP6313382 A JP 6313382A JP 31338294 A JP31338294 A JP 31338294A JP H08166428 A JPH08166428 A JP H08166428A
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JP
Japan
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input
circuit
scan
output
flip
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Pending
Application number
JP6313382A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomoaki Masuda
智章 増田
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To test an arbitrary one of a plurality of propagation paths other than a preset one. CONSTITUTION: The test circuit comprises a combination circuit 30 to be tested, scan FFs 20-1,..., 20-3 for inputting a data and a scan signal to the combination circuit 30, scan FFs 20-4,..., 20-5 for outputting a data and a scan signal from the combination circuit 30, and a circuit 40 for generating clock to the the scan FFs 20-4,..., 20-5.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、試験回路に関し、特
に、高速動作するデジタルの半導体集積回路の試験回路
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test circuit, and more particularly to a test circuit for a digital semiconductor integrated circuit which operates at high speed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の半導体集積回路におけるAC特性
の試験回路としては、リング発振器を用いた方法があ
る。図5は、従来のリング発振器を用いたAC特性の試
験回路を示す図である。
2. Description of the Related Art As a conventional AC characteristic test circuit in a semiconductor integrated circuit, there is a method using a ring oscillator. FIG. 5 is a diagram showing an AC characteristic test circuit using a conventional ring oscillator.

【0003】図5に示すようにリング発振器を用いた方
法では、半導体集積回路の内部にインバータを奇数個リ
ング状に接続したリング発振器を作り込んでおき、その
発振周波数を測定することで所望の特性が作り込まれて
いるかどうかの試験を行なっていた。
In the method using a ring oscillator as shown in FIG. 5, a ring oscillator in which an odd number of inverters are connected in a ring shape is built in a semiconductor integrated circuit, and the desired oscillation frequency is measured. They were testing whether the characteristics were built in.

【0004】また、図6は、従来の半導体集積回路にお
けるAC特性の試験回路の他の例を示す図である。図6
に示す回路は、特開昭63−73170公報に開示され
ているものである。
FIG. 6 is a diagram showing another example of an AC characteristic test circuit in a conventional semiconductor integrated circuit. Figure 6
The circuit shown in (1) is disclosed in JP-A-63-73170.

【0005】図6に示す従来例は、被試験対象である組
み合せ回路330の外部に、シフトレジスタ301−i
(i=1,2,...,n)と、通常データ入力、スキ
ャン入力、データの保持および反転の機能を有する入力
スキャンフリップフロップ(以下「入力スキャンFF」
と称す)302−i(i=1,2,...,n)と、組
み合せ回路330への入力スキャンFF302−iから
の入力信号に応じた出力信号を保持および出力する出力
スキャンフリップフロップ(以下「出力スキャンFF」
と称す)304−i(i=1,2,...,n)とが組
み合せ回路330内の特定の伝搬経路300−i(i=
1,2,...,n)のそれぞれに対応して入力側また
は出力側に設けられ、さらに、入力スキャンFF302
−iに供給されるクロック信号306の周波数を1/2
に減ずるクロック制御回路305が設けられている。
In the conventional example shown in FIG. 6, a shift register 301-i is provided outside a combinational circuit 330 to be tested.
(I = 1, 2, ..., N) and an input scan flip-flop (hereinafter referred to as “input scan FF”) having normal data input, scan input, data holding and inverting functions.
302-i (i = 1, 2, ..., N) and an output scan flip-flop (holding and outputting an output signal corresponding to the input signal from the input scan FF 302-i to the combinational circuit 330). Below "output scan FF"
304-i (i = 1, 2, ..., N) and a specific propagation path 300-i (i =) in the combinational circuit 330.
1, 2 ,. . . , N) corresponding to each of the input scan FF 302 and the input scan FF 302.
-1/2 the frequency of the clock signal 306 supplied to
A clock control circuit 305 is provided to reduce the frequency.

【0006】以下に、上記の構成にて、組み合せ回路3
30内の伝搬経路のうち伝搬経路300−1のAC特性
を試験する手順について説明する。
Below, the combination circuit 3 having the above-mentioned configuration is used.
A procedure for testing the AC characteristic of the propagation path 300-1 among the propagation paths in 30 will be described.

【0007】まず、入力スキャンFF302−iの制御
モードをスキャン制御モードとし、伝搬経路300−1
および試験にあたって必要となるパスを活性化させるた
めの信号が、活性化させるパスの入力側に設けられてい
る入力スキャンFF302−iに入力信号として入力さ
れる。
First, the control mode of the input scan FF 302-i is set to the scan control mode, and the propagation path 300-1
And a signal for activating a path required for the test is input as an input signal to the input scan FF 302-i provided on the input side of the path to be activated.

【0008】次に、入力スキャンFF302−iの制御
モードを反転制御モードとし、シフトレジスタ301−
1に入力スキャンFF302−1のみの入力値を反転さ
せるための値が入力される。これにより、シフトレジス
タ301−1からの反転制御信号が論理値’1’とな
り、入力スキャンFF302−1の値が反転される。こ
れにより、入力スキャンFF302−1のみの値が反転
された出力値が組合せ回路330の出力として出力スキ
ャンFF304−iにそれぞれ取り込まれる。
Next, the control mode of the input scan FF 302-i is set to the inversion control mode, and the shift register 301-
A value for inverting the input value of only the input scan FF 302-1 is input to 1. As a result, the inversion control signal from the shift register 301-1 becomes the logical value "1", and the value of the input scan FF 302-1 is inverted. As a result, the output value obtained by inverting the value of only the input scan FF 302-1 is captured by the output scan FF 304-i as the output of the combinational circuit 330.

【0009】ここで、出力スキャンFF304−1に入
力されるクロック信号307は、クロック遅延回路(不
図示)により入力スキャンFF302−1に入力される
クロック信号306に対して伝搬経路300−1の既知
の伝搬遅延時間の最小値以上遅れて入力さることによ
り、組み合わせ回路330内を伝搬されたスキャン信号
が、入力されてから伝搬遅延時間の最小値以上遅れて出
力スキャンFF304−1から出力されて、伝搬経路3
00−1のAC特性の試験が行なわれる。
Here, the clock signal 307 input to the output scan FF 304-1 has a known propagation path 300-1 with respect to the clock signal 306 input to the input scan FF 302-1 by a clock delay circuit (not shown). By being input with a delay of the minimum value of the propagation delay time of, the scan signal propagated in the combinational circuit 330 is output from the output scan FF 304-1 with a delay of the minimum value of the propagation delay time after being input, Propagation path 3
The AC characteristics of 0-1 are tested.

【0010】また、図7は、従来の半導体集積回路にお
けるAC特性の試験回路の他の例を示す図である。図7
に示す回路は、特開昭63−175780公報に開示さ
れているものである。
FIG. 7 is a diagram showing another example of the AC characteristic test circuit in the conventional semiconductor integrated circuit. Figure 7
The circuit shown in (1) is disclosed in JP-A-63-175780.

【0011】図7に示す従来例は、図6に示した従来例
に対してシフトレジスタ301−iをカウンタ313と
デコーダ318に置き替え、入力されるクロックをカウ
ントアップすることにより、値を反転させる入力スキャ
ンFFを順次変化させていくものである。
In the conventional example shown in FIG. 7, the value is inverted by replacing the shift register 301-i with a counter 313 and a decoder 318 in comparison with the conventional example shown in FIG. 6 and counting up the input clock. The input scan FF to be changed is sequentially changed.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来の試験回路では、組み合わせ回路内において試験が
行なわれる伝搬経路があらかじめ決められており、その
伝搬経路のそれぞれに対応して入力スキャンFFおよび
出力スキャンFFが設けられ、それらに対応する伝搬遅
延時間が設定されているだけであるため、あらかじめ決
められた伝搬経路以外の伝搬経路についての試験を行な
うことができない。そのため、特定の伝搬経路以外の箇
所における不具合、例えば、コンタクトやスルーホール
の不具合のように偶発的に生じる不具合については試験
で判別することができないという問題点がある。
However, in the above-mentioned conventional test circuit, the propagation path to be tested in the combinational circuit is determined in advance, and the input scan FF and the output scan corresponding to each of the propagation paths. Since only the FFs are provided and the propagation delay times corresponding to them are set, it is not possible to test the propagation paths other than the predetermined propagation paths. Therefore, there is a problem in that it is not possible to determine by a test a defect in a place other than a specific propagation path, for example, a defect that occurs accidentally such as a defect of a contact or a through hole.

【0013】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、複数の伝搬
経路の中でもあらかじめ設定された以外の任意の伝搬経
路についての試験を行なうことができる試験回路を提供
することを目的とする。
The present invention has been made in view of the problems of the above-mentioned conventional technique, and it is possible to perform a test on an arbitrary propagation path other than a preset propagation path among a plurality of propagation paths. It is an object of the present invention to provide a test circuit capable of

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、スキャンパスを用いて内部の組み合わせ回
路に試験データを与えることによりAC特性試験を行な
う試験回路において、前記組み合わせ回路の入力側に、
通常データの入力、スキャン入力、データの保持および
反転を行なう複数の入力スキャンフリップフロップを具
備し、前記組み合わせ回路の出力側に、通常データの出
力、スキャン出力、データの保持および反転を行ない、
前記複数の入力スキャンフリップフロップのそれぞれと
組み合わせ可能な複数の出力スキャンフリップフロップ
を具備し、前記入力フリップフロップおよび前記出力フ
リップフロップの組み合わせにより該当する伝搬経路の
遅延時間を設定し前記入力フリップフロップおよび前記
出力フリップフロップにクロック信号を入力するクロッ
ク発生回路を具備することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides a test circuit for performing an AC characteristic test by supplying test data to an internal combinational circuit by using a scan path. On the side,
It is provided with a plurality of input scan flip-flops for inputting normal data, scan input, holding and inverting data, and outputting normal data, scanning output, holding and inverting data on the output side of the combinational circuit,
A plurality of output scan flip-flops that can be combined with each of the plurality of input scan flip-flops are provided, and a delay time of a corresponding propagation path is set by a combination of the input flip-flops and the output flip-flops. A clock generating circuit for inputting a clock signal to the output flip-flop is provided.

【0015】また、前記複数の入力フリップフロップお
よび前記複数の出力フリップフロップのそれぞれは、異
なるクロック信号が入力される第1および第2のラッチ
回路と、前記第2のラッチ回路の出力段に接続される選
択回路と、前記選択回路を制御するための第3のラッチ
回路とを具備することを特徴とする。
Further, each of the plurality of input flip-flops and the plurality of output flip-flops is connected to the first and second latch circuits to which different clock signals are input and the output stage of the second latch circuit. And a third latch circuit for controlling the selection circuit.

【0016】また、前記クロック発生回路は、遅延調整
用バッファ回路を具備し、それにより前記入力フリップ
フロップおよび前記出力フリップフロップの組み合わせ
に該当する伝搬経路の遅延時間を任意に設定することを
特徴とする。
Further, the clock generation circuit is provided with a delay adjustment buffer circuit, whereby the delay time of the propagation path corresponding to the combination of the input flip-flop and the output flip-flop is arbitrarily set. To do.

【0017】[0017]

【作用】上記のように構成された本発明では、伝搬経路
の試験に際し、組み合わせ回路の入力側に設けられたス
キャンフリップフロップと出力側に設けられたスキャン
フリップフロップとの組み合わせを任意に設定すること
ができ、また、設定した組み合わせに対応する伝搬経路
の遅延時間の調整も可能であるので、特定の伝搬経路に
限らず、自由に伝搬経路を選択して試験を行なうことが
できる。
According to the present invention configured as described above, when the propagation path is tested, the combination of the scan flip-flop provided on the input side and the scan flip-flop provided on the output side of the combinational circuit is arbitrarily set. Moreover, since the delay time of the propagation path corresponding to the set combination can be adjusted, the propagation path is not limited to a specific propagation path, and the propagation path can be freely selected for the test.

【0018】[0018]

【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0019】図1は、本発明の試験回路の一実施例を示
すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the test circuit of the present invention.

【0020】本実施例における試験回路は図1に示すよ
うに、被試験対象である組み合せ回路30と、組み合せ
回路30に対するデータおよびスキャン信号の入力を行
なう入力スキャンFFであるスキャンFF20−1〜2
0−3と、組み合せ回路30に対するデータおよびスキ
ャン信号の出力を行なう出力スキャンFFであるスキャ
ンFF20−4〜20−5と、各スキャンFF20−1
〜20−5に入力されるクロックを発生するクロック発
生回路40とから主に構成されている。
As shown in FIG. 1, the test circuit in this embodiment has a combinational circuit 30 to be tested and scan FFs 20-1 to 20-2 which are input scan FFs for inputting data and scan signals to the combinational circuit 30.
0-3, scan FFs 20-4 to 20-5 that are output scan FFs that output data and scan signals to the combinational circuit 30, and each scan FF 20-1.
20 to 5-5 and a clock generating circuit 40 for generating a clock.

【0021】以下に、各々の接続について述べる。Each connection will be described below.

【0022】スキャン信号の伝搬経路については、スキ
ャンFF20−1のスキャン入力端子が試験回路に対す
るスキャン信号が入力されるスキャン信号入力端子1に
接続され、前段のスキャンFF20−i(i=1,2,
3,4,5)のスキャン出力端子が順次、次段のスキャ
ンFF20−(i+1)のスキャン入力端子に接続さ
れ、スキャンFF20−5のスキャン出力端子が試験回
路のスキャン信号出力端子2に接続されている。
Regarding the propagation path of the scan signal, the scan input terminal of the scan FF 20-1 is connected to the scan signal input terminal 1 to which the scan signal for the test circuit is input, and the scan FF 20-i (i = 1, 2, 1) at the preceding stage is connected. ,
3, 4, 5) are sequentially connected to the scan input terminal of the next-stage scan FF 20- (i + 1), and the scan output terminal of the scan FF 20-5 is connected to the scan signal output terminal 2 of the test circuit. ing.

【0023】データの伝搬経路については、組み合せ回
路30の入力側に設けられたスキャンFF20−1〜2
0−3のデータ信号入力端子が試験回路のデータ信号入
力端子3−1〜3−3にそれぞれ接続され、スキャンF
F20−1〜20−3のデータ信号出力端子が組み合せ
回路30のデータ信号入力端子に接続され、組み合せ回
路30のデータ信号出力端子がスキャンFF20−4〜
20−5のデータ信号入力端子に接続され、スキャンF
F20−4〜20−5のデータ信号出力端子が試験回路
のデータ信号出力端子4−1〜4−2にそれぞれ接続さ
れている。
Regarding the data propagation path, the scan FFs 20-1 and 20-2 provided on the input side of the combinational circuit 30.
The data signal input terminals 0-3 are connected to the data signal input terminals 3-1 to 3-3 of the test circuit, respectively, and the scan F
The data signal output terminals of F20-1 to 20-3 are connected to the data signal input terminals of the combination circuit 30, and the data signal output terminals of the combination circuit 30 are scan FFs 20-4 to.
Connected to the data signal input terminal of 20-5, scan F
The data signal output terminals of F20-4 to 20-5 are connected to the data signal output terminals 4-1 to 4-2 of the test circuit, respectively.

【0024】また、スキャンFF20−1〜20−5の
スキャンモード制御端子のそれぞれには、組み合せ回路
の試験あるいは通常動作の切替制御信号が入力されるス
キャンモード切替端子7が接続されている。
Further, the scan mode control terminals of the scan flip-flops 20-1 to 20-5 are connected to the scan mode control terminals 7 to which a control signal for switching the test or the normal operation of the combinational circuit is inputted.

【0025】また、クロック発生回路40については、
位相調整端子がクロックの位相差の調整信号が入力され
るクロック位相調整端子8−1〜8−2にそれぞれ接続
され、クロック入力端子がクロック信号が入力されるク
ロック入力信号端子9に接続され、テストモード入力端
子がテストモード切替端子10に接続され、クロック1
出力端子がクロックモニタ端子11およびスキャンFF
20−1〜20−5のクロック1入力端子に接続され、
クロック2出力端子がクロックモニタ端子12およびス
キャンFF20−1〜20−5のクロック2入力端子に
接続されている。 図2は、図1に示した試験回路にお
けるスキャンFFの回路図である。
Regarding the clock generation circuit 40,
The phase adjustment terminals are connected to the clock phase adjustment terminals 8-1 to 8-2 to which the adjustment signals of the clock phase difference are input, and the clock input terminals are connected to the clock input signal terminal 9 to which the clock signal is input, The test mode input terminal is connected to the test mode switching terminal 10, and the clock 1
Output terminal is clock monitor terminal 11 and scan FF
It is connected to the clock 1 input terminal of 20-1 to 20-5,
The clock 2 output terminal is connected to the clock monitor terminal 12 and the clock 2 input terminals of the scan FFs 20-1 to 20-5. FIG. 2 is a circuit diagram of the scan FF in the test circuit shown in FIG.

【0026】本実施例におけるスキャンFF20−1〜
20−5(図1参照)のそれぞれは、図2に示すように
通常モードあるいは試験モードかを選択する2入力1出
力選択回路110と、第1のラッチ回路であるラッチ回
路108と、第2のラッチ回路であるラッチ回路109
と、第3のラッチ回路であるラッチ回路112と、1入
力2出力選択回路111とから主に構成される。
Scan FFs 20-1 to 20-1 in this embodiment
Each of 20-5 (see FIG. 1) includes a 2-input 1-output selection circuit 110 that selects the normal mode or the test mode, a latch circuit 108 that is a first latch circuit, and a second circuit as shown in FIG. Circuit 109 which is the latch circuit of
And a latch circuit 112 which is a third latch circuit and a 1-input 2-output selection circuit 111.

【0027】以下に、各々の接続について説明する。Each connection will be described below.

【0028】ラッチ回路112については、入力端子に
はスキャンモード切替端子7が接続され、クロック端子
にはクロックモニタ端子12が接続され、出力端子には
2入力1出力選択回路110の制御入力端子および1入
力2出力選択回路111の制御端子が接続されている。
In the latch circuit 112, the scan mode switching terminal 7 is connected to the input terminal, the clock monitor terminal 12 is connected to the clock terminal, and the control input terminal of the 2-input 1-output selecting circuit 110 is connected to the output terminal. The control terminal of the 1-input 2-output selection circuit 111 is connected.

【0029】2入力1出力選択回路110については、
第1の入力端子にはデータ信号入力端子3が接続され、
第2の入力端子にはスキャン信号入力端子1が接続さ
れ、出力端子にはラッチ回路108の入力端子が接続さ
れている。
Regarding the 2-input 1-output selection circuit 110,
The data signal input terminal 3 is connected to the first input terminal,
The scan signal input terminal 1 is connected to the second input terminal, and the input terminal of the latch circuit 108 is connected to the output terminal.

【0030】ラッチ回路108については、クロック端
子にはクロックモニタ端子11が接続され、出力端子に
はラッチ回路109の入力端子が接続されている。
In the latch circuit 108, the clock monitor terminal 11 is connected to the clock terminal, and the input terminal of the latch circuit 109 is connected to the output terminal.

【0031】ラッチ回路109については、クロック端
子にはクロックモニタ端子12が接続され、出力端子に
は1入力2出力選択回路111の入力端子が接続されて
いる。 1入力2出力選択回路111については、第1
の出力端子にはデータ信号出力端子4が接続され、第2
の出力端子にはスキャン信号出力端子2が接続されてい
る。
In the latch circuit 109, the clock terminal is connected to the clock terminal, and the output terminal is connected to the input terminal of the 1-input / 2-output selection circuit 111. Regarding the 1-input 2-output selection circuit 111,
The data signal output terminal 4 is connected to the output terminal of the
The scan signal output terminal 2 is connected to the output terminal of the.

【0032】図3は、図1に示した試験回路におけるク
ロック発生回路の回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram of the clock generation circuit in the test circuit shown in FIG.

【0033】本実施例におけるクロック発生回路40
(図1参照)は、図3に示すようにバッファ回路208
と、インバータ回路210と、2入力1出力選択回路2
09と、遅延調整用バッファ回路206と、4入力1出
力選択回路207とから構成されている。
The clock generation circuit 40 in this embodiment
(See FIG. 1) is a buffer circuit 208 as shown in FIG.
And an inverter circuit 210 and a 2-input 1-output selection circuit 2
09, a delay adjustment buffer circuit 206, and a 4-input 1-output selection circuit 207.

【0034】以下に、各々の接続について説明する。Each connection will be described below.

【0035】バッファ回路208については、入力端子
にはクロック信号入力端子9が接続され、出力端子には
クロックモニタ端子11が接続されている。
In the buffer circuit 208, the clock signal input terminal 9 is connected to the input terminal and the clock monitor terminal 11 is connected to the output terminal.

【0036】インバータ回路210については、入力端
子にはクロック信号入力端子9が接続され、出力端子に
は2入力1出力選択回路209の第1の入力端子が接続
されている。
The clock signal input terminal 9 is connected to the input terminal of the inverter circuit 210, and the first input terminal of the 2-input 1-output selection circuit 209 is connected to the output terminal.

【0037】2入力1出力選択回路209については、
第2の入力端子には4入力1出力選択回路207の出力
端子が接続され、制御端子にはテストモード切替端子1
0が接続されている。
Regarding the 2-input 1-output selection circuit 209,
The output terminal of the 4-input 1-output selection circuit 207 is connected to the second input terminal, and the test mode switching terminal 1 is connected to the control terminal.
0 is connected.

【0038】遅延調整用バッファ回路206について
は、入力端子にはクロック信号入力端子9が接続され、
出力端子には4入力1出力選択回路207の入力端子が
それぞれ接続されている。
In the delay adjusting buffer circuit 206, the clock signal input terminal 9 is connected to the input terminal,
The input terminals of the 4-input / 1-output selection circuit 207 are connected to the output terminals.

【0039】4入力1出力選択回路207については、
第1のクロック端子にはクロック位相調整端子8−1が
接続され、第2のクロック端子にはクロック位相調整端
子8−2が接続されている。
Regarding the 4-input 1-output selection circuit 207,
The clock phase adjustment terminal 8-1 is connected to the first clock terminal, and the clock phase adjustment terminal 8-2 is connected to the second clock terminal.

【0040】次に、クロック発生回路40(図1参照)
によるクロック発生動作について説明する。
Next, the clock generation circuit 40 (see FIG. 1)
The clock generation operation by the will be described.

【0041】図4は、図3に示したクロック発生回路に
よって発生するクロックの波形図であり、(a)は遅延
を発生させないときの波形図、(b)は遅延を発生させ
たときの波形図である。
FIG. 4 is a waveform diagram of a clock generated by the clock generation circuit shown in FIG. 3, where (a) is a waveform diagram when no delay is generated and (b) is a waveform when delay is generated. It is a figure.

【0042】テストモード切替端子10(図3参照)へ
の入力値が論理値”0”の場合は通常動作の状態とな
り、図4(a)に示すように第1の出力端子であるクロ
ックモニタ端子11(図3参照)には入力された信号と
同一の信号が、第2の出力端子であるクロックモニタ端
子12(図3参照)には入力された信号の反転信号が出
力される。
When the input value to the test mode switching terminal 10 (see FIG. 3) is the logical value "0", the normal operation state occurs, and as shown in FIG. 4 (a), the clock monitor which is the first output terminal. The same signal as the input signal is output to the terminal 11 (see FIG. 3), and an inverted signal of the input signal is output to the clock monitor terminal 12 (see FIG. 3) which is the second output terminal.

【0043】テストモード切替端子10(図3参照)へ
の入力値が論理値”1”の場合は図4(b)に示すよう
に、第1の出力端子であるクロックモニタ端子11(図
3参照)には入力された信号と同一の信号が、第2の出
力端子であるクロックモニタ端子12(図3参照)には
クロック位相調整端子8−1〜8−2(図3参照)によ
って選択された遅延量だけ入力された信号と比べて遅れ
た信号が出力される。以下に、本実施例における試験回
路の動作について説明するが、まずはじめに本実施例に
おいて試験を行なう際のフローについて説明する。
When the input value to the test mode switching terminal 10 (see FIG. 3) is the logical value "1", as shown in FIG. 4B, the clock monitor terminal 11 (FIG. 3) which is the first output terminal. The same signal as the input signal is selected by the clock phase adjusting terminals 8-1 to 8-2 (see FIG. 3) at the clock monitor terminal 12 (see FIG. 3) which is the second output terminal. A signal delayed by the input delay amount as compared with the input signal is output. The operation of the test circuit in this embodiment will be described below. First, the flow of the test in this embodiment will be described.

【0044】スキャンモード:全FFに被測定パスが
測定可能となるような値を書き込む。この時、クロック
発生回路40はテストモードとし、入力するクロックの
周波数を十分遅くし、また、遅延値も十分大きくして誤
動作が起こらないようにする。
Scan mode: Write a value such that the measured path can be measured in all FFs. At this time, the clock generation circuit 40 is set to the test mode so that the frequency of the input clock is made sufficiently slow and the delay value is made sufficiently large to prevent malfunction.

【0045】ノーマルモード:全FFからで書き込
んだ値を読み出し、組み合わせ回路30を被測定パスが
試験できるように設定する。クロック発生回路40の条
件はと同様とする。
Normal mode: The written value is read from all the FFs, and the combinational circuit 30 is set so that the measured path can be tested. The conditions of the clock generation circuit 40 are the same as.

【0046】スキャンモード:再度スキャンモードと
し、被測定パスの入力のみに対し反転させる。クロッ
ク発生回路40の条件はと同様とする。
Scan mode: The scan mode is set again, and only the input to the measured path is inverted. The conditions of the clock generation circuit 40 are the same as.

【0047】ノーマルモード:全FFから書き込んだ
値を読み出す。この時、クロック発生回路40はテスト
モードとし、入力するクロックの周波数は十分遅くす
る。しかし、遅延値は、被測定パスの規定時間となるよ
うに設定する。
Normal mode: The written value is read from all FFs. At this time, the clock generation circuit 40 is set to the test mode, and the frequency of the input clock is made sufficiently slow. However, the delay value is set to be the specified time of the measured path.

【0048】スキャンモード:FFをスキャンモード
とし、読み出した値をシフト動作させ、FFから結果を
読み出して良否を判定する。この時、クロック発生回路
40の条件はと同様とする。
Scan mode: The FF is set to the scan mode, the read value is shifted, and the result is read from the FF to determine pass / fail. At this time, the conditions of the clock generation circuit 40 are the same as.

【0049】以下に、詳細の動作について説明する。The detailed operation will be described below.

【0050】図1において通常動作を行ないたい場合
は、スキャンモード切替端子7の入力値を論理値”
1”、テストモード切替端子10の入力値を論理値”
0”とする。すると、スキャンFF20−1〜20−3
の入力はデータ入力信号端子3−1〜3−3からの入力
となり、また、クロック発生回路40の出力であるクロ
ックモニタ端子11からはクロック信号入力端子9に入
力されたクロック信号と同相のクロック信号が、クロッ
クモニタ端子12からはクロック信号入力端子9に入力
されたクロック信号と逆相のクロック信号がそれぞれ出
力されて、全FFは通常のディレイドフリップフロップ
として動作し、回路全体としても通常動作が行なわれ
る。
To perform normal operation in FIG. 1, the input value of the scan mode switching terminal 7 is set to the logical value "
1 ", the input value of the test mode switching terminal 10 is a logical value"
0 ". Then, the scan FFs 20-1 to 20-3
Is input from the data input signal terminals 3-1 to 3-3, and from the clock monitor terminal 11 which is the output of the clock generation circuit 40, the clock having the same phase as the clock signal input to the clock signal input terminal 9 is input. A signal is output from the clock monitor terminal 12 as a clock signal having a phase opposite to that of the clock signal input to the clock signal input terminal 9, and all the FFs operate as normal delayed flip-flops, and the circuit as a whole operates normally. Is performed.

【0051】次に、試験を行なう場合の手順と動作につ
いて説明する。
Next, a procedure and an operation for carrying out the test will be described.

【0052】ここで、スキャンFF20−2からスキャ
ン20−4に至る伝搬経路について試験を行なうことと
する。
Here, a test is performed on the propagation path from the scan FF 20-2 to the scan 20-4.

【0053】第1のステップとして、スキャンモード切
替端子7の入力値を論理値”0”、テストモード切替端
子10の入力値を論理値”1”とする。すると、組み合
わせ回路30の入力側FFであるスキャンFF20−1
〜20−3の入力はスキャン信号入力端子1からの入力
となり、また、クロック発生回路40の出力であるクロ
ックモニタ端子11からはクロック信号入力端子9に入
力されたクロック信号と同相のクロック信号が、クロッ
クモニタ端子12からはクロック位相調整端子8−1〜
8−2に入力された信号により決められた遅延量を有す
るクロック信号が出力される。この際、クロック信号入
力端子9からは低速でかつクロックモニタ端子11およ
びクロックモニタ端子12の出力の位相差をシフト動作
時にクロックのスキューによるホールドタイムエラーが
生じないように設定することにより、安定なシフト動作
が行なわれるようになる。この状態で、スキャン信号入
力端子1からスキャン信号が入力され、各スキャンFF
20−1〜20−5に入力された値がシフトしながら読
み込まれる。
As a first step, the input value of the scan mode switching terminal 7 is set to the logical value "0", and the input value of the test mode switching terminal 10 is set to the logical value "1". Then, the scan FF 20-1 which is the input side FF of the combinational circuit 30.
The input from the scan signal input terminals 1 to 20-3 is input from the scan signal input terminal 1, and the clock signal in phase with the clock signal input to the clock signal input terminal 9 is output from the clock monitor terminal 11 which is the output of the clock generation circuit 40. From the clock monitor terminal 12, clock phase adjustment terminals 8-1 to
A clock signal having a delay amount determined by the signal input to 8-2 is output. At this time, by setting the phase difference between the outputs of the clock monitor terminal 11 and the clock monitor terminal 12 at a low speed from the clock signal input terminal 9 so that the hold time error due to the skew of the clock does not occur during the shift operation, stable operation is achieved. The shift operation will be performed. In this state, a scan signal is input from the scan signal input terminal 1 and each scan FF
The values input to 20-1 to 20-5 are read while shifting.

【0054】第2のステップとして、スキャンモード切
替端子7の入力値を論理値”0”とする。すると、1入
力2出力選択回路111(図2参照)の動作により、ス
キャン信号がデータ信号出力端子4(図2参照)から出
力されるように設定される。第3のステップとして、再
びスキャンモード切替端子7の入力値を論理値”0”と
し、スキャンFF20−2の入力値が第1のステップに
て入力された値に対して反転の値で、しかも、スキャン
FF20−2以外のスキャンFFの入力値が第1のステ
ップにて入力された値と同一の値となるような値がスキ
ャン信号入力端子1から入力され、各スキャンFFによ
ってシフト動作されて各スキャンFF書き込まれる。
As the second step, the input value of the scan mode switching terminal 7 is set to the logical value "0". Then, the scan signal is set to be output from the data signal output terminal 4 (see FIG. 2) by the operation of the 1-input / 2-output selection circuit 111 (see FIG. 2). In the third step, the input value of the scan mode switching terminal 7 is set to the logical value “0” again, the input value of the scan FF 20-2 is the value inverted with respect to the value input in the first step, and A value such that the input value of the scan FF other than the scan FF 20-2 becomes the same value as the value input in the first step is input from the scan signal input terminal 1 and is shifted by each scan FF. Each scan FF is written.

【0055】第4のステップとして、再びスキャンモー
ド切替端子7の入力値を論理値”1”とする。さらに、
クロックモニタ端子11とクロックモニタ端子12のク
ロック位相差がスキャンFF20−2からスキャン20
−4に至る伝搬経路の最高動作周波数に相当する遅延時
間に設定され、1クロック入力されて組み合わせ回路3
0内において信号が伝搬される。遅延時間内に信号が伝
搬されるとスキャンFF20−4に正しい値が取り込ま
れ、時間内に伝搬されないと誤った値が取り込まれるこ
とになる。
As the fourth step, the input value of the scan mode switching terminal 7 is set to the logical value "1" again. further,
The clock phase difference between the clock monitor terminal 11 and the clock monitor terminal 12 changes from the scan FF 20-2 to the scan 20.
-4 is set to a delay time corresponding to the maximum operating frequency of the propagation path, and one clock is input to the combinational circuit 3
The signal is propagated in 0. If the signal is propagated within the delay time, the correct value will be captured by the scan FF 20-4, and if it is not propagated within the time, an incorrect value will be captured.

【0056】第5のステップとして、再びスキャンモー
ド切替端子7の入力値を論理値”0”とし、各スキャン
FF20−1〜20−5をシフト動作させるとスキャン
信号出力端子2から出力信号が出力される。
As a fifth step, the input value of the scan mode switching terminal 7 is set to the logical value "0" again, and when the scan FFs 20-1 to 20-5 are shifted, an output signal is output from the scan signal output terminal 2. To be done.

【0057】出力された信号をテスタで期待値と比較す
ることにより、試験が行なわれた伝搬経路が故障してい
るかどうかが判別される。
By comparing the output signal with the expected value with the tester, it is determined whether or not the propagation path tested has failed.

【0058】上述した5ステップを繰り返すことによっ
て、任意に試験を行なう伝搬経路を設定してその伝搬経
路についての実動作速度での試験が可能となる。
By repeating the above-mentioned 5 steps, it is possible to arbitrarily set a propagation path to be tested and test the propagation path at an actual operating speed.

【0059】[0059]

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0060】請求項1に記載のものにおいては、組み合
わせ回路の入力側に通常データの入力、スキャン入力、
データの保持および反転を行なう複数の入力スキャンフ
リップフロップを具備し、組み合わせ回路の出力側に、
通常データの出力、スキャン出力、データの保持および
反転を行ない、各入力スキャンフリップフロップのそれ
ぞれと組み合わせ可能な複数の出力スキャンフリップフ
ロップを具備し、さらに、入力フリップフロップおよび
出力フリップフロップの組み合わせにより該当する伝搬
経路の遅延時間を設定してクロック信号を入力するクロ
ック発生回路を具備する構成としたため、あらかじめ設
定された伝搬経路以外にも複数の経路の中から任意に伝
搬経路を選択して試験を行なうことができる。それによ
り、特定の伝搬経路以外の箇所における不具合、例え
ば、コンタクトやスルーホールの不具合のように偶発的
に生じる不具合についても試験で判別することができ
る。
According to the first aspect of the present invention, normal data input, scan input, and
Equipped with a plurality of input scan flip-flops for holding and inverting data, the output side of the combinational circuit,
Equipped with multiple output scan flip-flops that perform normal data output, scan output, data retention and inversion, and can be combined with each input scan flip-flop. Since the configuration has a clock generation circuit that sets the delay time of the propagation path and inputs the clock signal, the propagation path can be selected from multiple paths other than the preset propagation path for testing. Can be done. Thereby, it is possible to discriminate defects in places other than the specific propagation path, for example, accidental defects such as defects of contacts and through holes, in the test.

【0061】請求項2に記載のものにおいては、複数の
入力フリップフロップおよび複数の出力フリップフロッ
プのそれぞれを、異なるタイミングのクロック信号が入
力される第1および第2のラッチ回路と、第2のラッチ
回路の出力段に接続される選択回路と、選択回路を制御
するための第3のラッチ回路とを具備する構成としたた
め、請求項1に記載のものと同様に奏する。
According to another aspect of the present invention, each of the plurality of input flip-flops and the plurality of output flip-flops has a first and a second latch circuit to which clock signals of different timings are input, and a second latch circuit. Since the configuration includes the selection circuit connected to the output stage of the latch circuit and the third latch circuit for controlling the selection circuit, the same effect as that of the first aspect is achieved.

【0062】請求項3に記載のものにおいては、クロッ
ク発生回路が遅延調整用バッファ回路を具備し、それに
より入力フリップフロップおよび出力フリップフロップ
の組み合わせに該当する伝搬経路の遅延時間を任意に設
定するため、請求項1に記載のものと同様に奏する。
According to the third aspect of the present invention, the clock generation circuit includes the delay adjustment buffer circuit, whereby the delay time of the propagation path corresponding to the combination of the input flip-flop and the output flip-flop is arbitrarily set. Therefore, the same effect as that described in claim 1 is achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の試験回路の一実施例を示すブロック図
である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a test circuit of the present invention.

【図2】図1に示した試験回路におけるスキャンFFの
回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram of a scan FF in the test circuit shown in FIG.

【図3】図1に示した試験回路におけるクロック発生回
路の回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram of a clock generation circuit in the test circuit shown in FIG.

【図4】図3に示したクロック発生回路によって発生す
るクロックの波形図であり、(a)は遅延を発生させな
いときの波形図、(b)は遅延を発生させたときの波形
図である。
4 is a waveform diagram of a clock generated by the clock generation circuit shown in FIG. 3, (a) is a waveform diagram when no delay is generated, and (b) is a waveform diagram when a delay is generated. .

【図5】従来のリング発振器を用いたAC特性の試験回
路を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an AC characteristic test circuit using a conventional ring oscillator.

【図6】従来の半導体集積回路におけるAC特性の試験
回路の他の例を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing another example of an AC characteristic test circuit in a conventional semiconductor integrated circuit.

【図7】従来の半導体集積回路におけるAC特性の試験
回路の他の例を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing another example of an AC characteristic test circuit in a conventional semiconductor integrated circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スキャン信号入力端子 2 スキャン信号出力端子 3−1〜3−3 データ信号入力端子 4−1,4−2 データ信号出力端子 7 スキャンモード切替端子 8−1,8−2 クロック位相調整端子 9 クロック信号入力端子 10 テストモード切替端子 11,12 クロックモニタ端子 20−1〜20−5 スキャンフリップフロップ(ス
キャンFF) 30 組み合わせ回路 40 クロック発生回路 108,109,112 ラッチ回路 110 2入力1出力選択回路 111 1入力2出力選択回路 206 遅延調整用バッファ回路 207 4入力1出力選択回路 208 バッファ回路 209 2入力1出力選択回路 210 インバータ回路
1 scan signal input terminal 2 scan signal output terminal 3-1 to 3-3 data signal input terminal 4-1 and 4-2 data signal output terminal 7 scan mode switching terminal 8-1 and 8-2 clock phase adjustment terminal 9 clock Signal input terminal 10 Test mode switching terminal 11, 12 Clock monitor terminal 20-1 to 20-5 Scan flip-flop (scan FF) 30 Combination circuit 40 Clock generation circuit 108, 109, 112 Latch circuit 110 2 Input 1 output selection circuit 111 1-input 2-output selection circuit 206 Delay adjustment buffer circuit 207 4-input 1-output selection circuit 208 Buffer circuit 209 2-input 1-output selection circuit 210 Inverter circuit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スキャンパスを用いて内部の組み合わせ
回路に試験データを与えることによりAC特性試験を行
なう試験回路において、 前記組み合わせ回路の入力側に、通常データの入力、ス
キャン入力、データの保持および反転を行なう複数の入
力スキャンフリップフロップを具備し、 前記組み合わせ回路の出力側に、通常データの出力、ス
キャン出力、データの保持および反転を行ない、前記複
数の入力スキャンフリップフロップのそれぞれと組み合
わせ可能な複数の出力スキャンフリップフロップを具備
し、 前記入力フリップフロップおよび前記出力フリップフロ
ップの組み合わせにより該当する伝搬経路の遅延時間を
設定し前記入力フリップフロップおよび前記出力フリッ
プフロップにクロック信号を入力するクロック発生回路
を具備することを特徴とする試験回路。
1. A test circuit for performing an AC characteristic test by applying test data to an internal combinational circuit using scan lines, wherein normal data input, scan input, data retention and A plurality of input scan flip-flops that perform inversion are provided, and normal data output, scan output, data retention and inversion are performed on the output side of the combinational circuit, and it is possible to combine with each of the plurality of input scan flip-flops. A clock generation circuit that includes a plurality of output scan flip-flops, sets a delay time of a corresponding propagation path by a combination of the input flip-flops and the output flip-flops, and inputs a clock signal to the input flip-flops and the output flip-flops. The ingredients A test circuit characterized by being provided.
【請求項2】 請求項1に記載の試験回路において、 前記複数の入力フリップフロップおよび前記複数の出力
フリップフロップのそれぞれは、 異なるクロック信号が入力される第1および第2のラッ
チ回路と、 前記第2のラッチ回路の出力段に接続される選択回路
と、 前記選択回路を制御するための第3のラッチ回路とを具
備することを特徴とする試験回路。
2. The test circuit according to claim 1, wherein each of the plurality of input flip-flops and the plurality of output flip-flops includes first and second latch circuits to which different clock signals are input, and A test circuit comprising: a selection circuit connected to an output stage of a second latch circuit; and a third latch circuit for controlling the selection circuit.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の試験回
路において、 前記クロック発生回路は、遅延調整用バッファ回路を具
備し、それにより前記入力フリップフロップおよび前記
出力フリップフロップの組み合わせに該当する伝搬経路
の遅延時間を任意に設定することを特徴とする試験回
路。
3. The test circuit according to claim 1, wherein the clock generation circuit includes a delay adjustment buffer circuit, and thereby corresponds to a combination of the input flip-flop and the output flip-flop. A test circuit characterized by arbitrarily setting a delay time of a propagation path.
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