JPH08166330A - 回転機械の異常摺動診断方法とその装置、及び非接触型スクリュー圧縮機の異常摺動診断方法とその装置 - Google Patents

回転機械の異常摺動診断方法とその装置、及び非接触型スクリュー圧縮機の異常摺動診断方法とその装置

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JPH08166330A
JPH08166330A JP6311844A JP31184494A JPH08166330A JP H08166330 A JPH08166330 A JP H08166330A JP 6311844 A JP6311844 A JP 6311844A JP 31184494 A JP31184494 A JP 31184494A JP H08166330 A JPH08166330 A JP H08166330A
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sliding
abnormal
abnormal sliding
signal
frequency band
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JP6311844A
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Yoshifumi Yamaguchi
好文 山口
Yutaka Muta
豊 牟田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転機械からのAE信号から異常摺動位置の
評定と異常摺動程度の評価を行う。 【構成】 回転機械のAE信号をAEセンサ2で検出
し、周波数解析部5で解析して周波数分布を求める。異
常部位判定部6は、この周波数分布の大きな振幅になっ
た周波数から、異常摺動の有無とその部位判定を行い、
摺動状態判定部7は、周波数分布の時間的推移から異常
摺動程度の判定を行う。 【効果】 異常摺動位置評定と異常摺動の初期・中期・
後期状態判定が可能となり、運転安全性と故障前対策が
確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、摺動部あるいはわずか
な隙間を保ちながら相対運動をする部分を1箇所または
複数箇有する回転機械からAE(アコーステイック・エ
ミッション)波を検出して、そのAE信号から摺動部ま
たは相対運動部の異常摺動の有無を判定し、異常摺動の
存在が認められたときには異常摺動の発生している位置
を評定し、さらには異常摺動の状態(程度)を判定し
て、異常摺動の診断および監視のできる回転機械の異常
摺動診断方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】圧縮機などの回転機械において代表的な
摺動部として軸受やギヤ等がある。さらに、軸封のため
の部品であるメカニカルシールやフロートリングシール
などは、回転するロ−タと常時接触するか、或いはわず
かな隙間を保つことによりそのシール機能を果たしてい
る。また、平行な雄、雌2つのスクリューロ−タ同志が
微小な隙間を保ちながら回転する回転機械もある。この
ような回転機械において、例えば摺動部の間隙にごみが
入ったり、あるいは潤滑不良が生じて異常摺動を起こし
たような場合に、ロ−タと支持部材またはロ−タと軸封
部品が固着して、ロ−タがロック(回転停止)してしま
うこともある。またロ−タ同志の異常接触による異常摺
動の場合も同様な事故を招く。
【0003】この対策として、AE計測法は回転機械の
摺動部の異常や相対運動部の異常接触を早期検出できる
手段として注目されている。これらのAE計測法を用い
た回転機械の摺動部材の異常摺動判定法の従来例として
は、特開昭63−304129、特開平3−16032
6、特開平4−81655号公報などが挙げられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例のいずれ
も、回転機械の摺動部材の異常摺動検出の対象は1個の
支持部材のみである。従って異常摺動診断の対象となる
回転機械に支持部材などの複数の異常摺動診断・監視対
象部があった場合に、どの異常摺動対象部が異常な接触
や異常摺動を起こしているのかを評定することは困難で
ある。また上記したそれぞれの従来例でも、AE信号の
特定の周波数帯域に着目している。しかし、ノイズ除去
のため、あるいは高精度で1個の支持部材の異常摺動を
判定するために特定の周波数帯域に着目しているのであ
り、異常摺動の存在する位置の標定に使用するものでは
ない。さらに、AE信号の周波数分布の時間的推移から
異常摺動の状態(程度)を判定することについては特に
配慮されていないなどの問題があった。
【0005】本発明の目的は、回転機械である非接触型
スクリュー圧縮機等のAE信号の周波数分布状態に着目
し、該AE信号の周波数分布状態から異常摺動の存在す
る位置を標定し、さらにAE信号の周波数分布の時間的
推移から異常摺動の程度を判定して、異常摺動診断およ
び監視を行うことのできる回転機械の異常摺動診断方法
およびその装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的は、摺動部また
はおよび小隙間相対運動部を有する回転機械の異常摺動
診断方法において、回転機械からAE信号を測定し、該
AE信号の周波数分布状態から、上記各部の異常摺動位
置の標定を行うことにより達成され、とくに上記周波数
分布の、予め定められた周波数帯域の成分の振幅が予め
設定された基準値を超えている場合に異常摺動が当該周
波数帯域対応の位置に存在すると判定することにより達
成され、また、上記周波数分布の振幅が前記基準値を越
える周波数帯域の時間的推移を調べることにより、その
異常摺動程度の評価を行うことにより達成される。
【0007】
【作用】回転機械において常時に摺動運動をする軸受や
変速ギヤ、メカニカルシール等の摺動部に異常摺動が発
生するとAE波が発生する。また、わずかな隙間を保ち
ながら相対運動をすることで機能を果たしているフロー
トリングシールや非接触型のメカニカルシール等の小隙
間相対運動部がなんらかの異常により接触して異常摺動
運動をする場合にもAE波が発生する。これらの摺動部
および小隙間相対運動部の異常摺動時のAE波をAEセ
ンサにより測定したAE信号を増幅器で増幅して周波数
解析部で周波数分析すると、特定の周波数帯域に振幅の
大きな周波数成分が集中的に分布しており、しかも異常
摺動の存在する部位位置により振幅の大きな成分の集中
する周波数帯域が異なることを本発明者らは見い出し
た。これは、主に摺動運動をする部位の両部材の材質及
び形状、寸法などの組み合わせによるものと考えられる
が、このことを利用して異常摺動の存在する部位位置を
特定することができる。すなわち、あらかじめ上記摺動
部および小隙間相対運動部の各部位で異常摺動が生じた
ときに発生するAE波のAE信号に対して、振幅の大き
な成分が集中的に現われる周波数帯域とその振幅を調査
し、これからそれぞれの異常摺動部位位置に対する基準
帯域及び基準値(レベル)を設定する。そして実際に運
転中の回転機械になんらかの異常摺動が認められたとき
に発生するAE波をAEセンサにより測定し、そのAE
信号を周波数分析し、上記基準帯域の成分の振幅がその
帯域対応に定めた基準値を越えているかを判定すること
によって、異常摺動の有無とその部位位置を特定評定す
る。
【0008】また、異常摺動を起こしている部位位置の
一方または両方の部材にコーティング加工等により薄膜
層が形成されている場合に、その異常摺動の進行に伴い
薄膜層が削りとられ、ついには薄膜層が完全になくなる
に至る場合がある。このとき、その薄膜層が削りとられ
る前後において、測定されるAE信号の周波数分布が異
なることを本発明者らは見い出した。このことから、A
E信号の周波数分析により異常摺動部位位置が特定(評
定)された後、その基準値を超える周波数帯域の時間的
推移を連続的に調べることにより、異常摺動の状態(程
度)および異常摺動の進行状況を知ることができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例を回転機械の非接触
型スクリュー圧縮機に適用した実施例について図1から
図7により説明する。図2は、図1の非接触型スクリュ
ー圧縮機1において、気体を圧縮する雄ロ−タ、雌ロ−
タの1対のロ−タを中心とするエアブロック1A、1B
の例えば2段エアブロック1B部の縦断面図である。図
2において、11は雄ロ−タ、12は雌ロ−タで、これ
らのロ−タ11、12とケ−シング13とにより形成さ
れる空間に存在する空気を、両ロ−タ11、12および
ケ−シング13がそれぞれわずかな隙間を保ったまま両
ロ−タ11、12が高速で回転することにより圧縮す
る。14は軸受等で潤滑のために用いられている油が圧
縮空気側に混入するのを封じるためのねじシール、15
は圧縮空気の外部への流出を封じるためのカーボンリン
グシールである。16は雄ロ−タ11と雌ロ−タ12を
一定の比で回転させるためのタイミングギヤ、17は雄
ロ−タ11と雌ロ−タ12の各両側シャフトをそれぞれ
支える転がり軸受である。これらのうちで、常時に摺動
運動をしている部位位置としてはタイミングギヤ16と
転がり軸受17がある。またねじシール14やカーボン
リングシール15は、ロ−タ11、12とわずかな隙間
を保ちながら該ロ−タ11、12と相対運動をすること
でその機能を果たしている。また、前記のように、雄ロ
−タ11と雌ロ−タ12はそれぞれがケ−シング13お
よび相対するロ−タとわずかな隙間を保ちながら回転し
ている。これらの各部位(位置)はロ−タ回転中に異常
摺動を引き起こす可能性があり、この異常摺動検出の対
象となる箇所をまとめると、図3のようになる。
【0010】図3は、図2の非接触型スクリュー圧縮機
1のエアブロック部1Bの異常摺動検出対象箇所の説明
図である。図3において、異常摺動検出対象箇所の部位
番号は雄ロータ11と雌ロータ12の間、部位はロ
ータ11、12とケーシング13の間、部位はロータ
11、12のシャフトとねじシール14の間、部位は
ロータ11、12のシャフトとカーボンリングシール1
5の間、部位はタイミングギヤ16、16の間、部位
は転がり軸受17の内輪、転動体、外輪間の部位であ
る。本発明を非接触型スクリュー圧縮機1に適用するこ
とにより、異常摺動の監視と図3に示したような部位番
号からの異常摺動部位(位置)の特定(評定)を行
うことができる。なお図1の非接触型スクリュー圧縮機
1の1段エアブロック部1Aにも同様に適用される。
【0011】図1は、本発明の一実施例を示す非接触型
スクリュー圧縮機の異常摺動診断装置の構成図である。
図1において、1は非接触型スクリュー圧縮機、2は圧
縮機1からのAE波を検出するAEセンサ、3はAEセ
ンサ2からのAE信号を増幅してS/N比を向上させる
プリアンプ、4はプリアンプ3からのAE信号を所要の
振幅の大きさに増幅するメインアンプ、5はメインアン
プ4からのAE信号をFFT(高速フーリエ変換)によ
り周波数解析する周波数解析部、6は周波数解析部5の
周波数解析結果をもとに異常摺動の有無の判定および異
常摺動部位(位置)を特定(評定)する異常部位判定
部、7は異常部位判定部6により特定される異常摺動部
位の異常摺動の程度を判定する摺動状態判定部、8は異
常部位判定部6、摺動状態判定部7での判定をもとに、
異常摺動の有無、異常摺動部位(位置)、異常摺動程度
を表示する表示部である。なお図1の非接触型スクリュ
ー圧縮機1において、1Aは1段エアブロック、1Bは
2段エアブロック、1Cはインタークーラ、1Dは駆動
モータである。上記構成でAEセンサ2を非接触型スク
リュー圧縮機1のエアブロック1A、1B部にそれぞれ
取付け、そのエアブロック1A、1B内部で発生し、そ
のケーシングを伝わってきたAE波を電気信号(AE信
号)へと変換する。このAEセンサ2出力のAE信号は
プリアンプ3で増幅した後に、メインアンプ4でゲイン
の調整を行い所定の増幅率に設定する。なお、図1では
AEセンサ2を例えば2段エアブロック1Bに取付けた
もののみ図示しているが、1段エアブロック1Aにも同
様に取付けられる。
【0012】図4は、図1の非接触型スクリュー圧縮機
1から測定されてメインアンプ4により増幅されたAE
信号を周波数解析部5で解析した結果の一例の周波数分
布図である。図4において、図4(a)は、図2の雄ロ
−タ11と雌ロ−タ12の間(図3の部位番号)に異
常摺動が生じたときの異常摺動後期に測定されたAE信
号の周波数分析結果の周波数分布図であり、図4(b)
は図2のロータ11、12のシャフトとねじシール14
の間(図3の部位番号)に、また図4(c)は図2の
ロータ11、12のシャフトとカーボンリングシール1
5の間(図3の部位番号)にそれぞれ異常摺動が生じ
たときに測定されたAE信号の周波数分析結果の周波数
分布図である。まず、図4(a)の雄ロ−タ11と雌ロ
−タ12の間の部位の異常摺動後期では、周波数50
kHz前後の周波数帯域に集中的に振幅の大きな成分が
現われている。同様に、図4(b)のロータ11、12
のシャフトとねじシール14の間の部位の異常摺動後
期では周波数30kHz前後に、また、図4(c)のロ
ータ11、12のシャフトとカーボンリングシール15
の間の異常摺動後期では70kHz前後に集中的に振
幅の大きな成分が現われている。そこで、図1の異常部
位判定部6では、予めこのように集中的に振幅の大きな
成分が現われる周波数帯域を基準帯域とし、例えば図4
(a)の雄ロ−タ11と雌ロ−タ12の間の異常摺動
後期では、周波数帯域(50±α)kHz(αは適当な
値を設定する)というように設定しておく。そして、こ
の基準帯域をもとに、図1の異常判定部6で、実際の運
転状態の非接触型スクリュー圧縮機1において、異常摺
動の有無および異常摺動の存在が認められたときにはそ
の異常摺動位置を判定する。すなわち、それぞれ図3の
異常摺動部位からに対応した上記部位、、と
同様の基準帯域において、予め設定された基準値以上の
振幅の大きな周波数成分が存在するときに、その部位
(位置)に異常摺動が存在すると判定する。
【0013】図5は、図1の異常部位判定部6での判定
方法の手順を示すフローチャートである。図5におい
て、まずステップS51で各異常検出対象箇所(位置)
に対応した基準帯域B1、B2、…BN(1、2、…Nは
各異常検出対象箇所に対する番号)を設定し、ステップ
S52でそれぞれの基準帯域の異常判定基準値(判定
値)C1、C2、…CNを設定する。ステップS53で異
常部位判定部6へ周波数解析部5での周波数解析結果の
データを取り込み、ステップS54ではその周波数解析
データから各基準帯域Bn(nは1からNまでの任意の
整数)に現れるピーク値Pn(k)を算出する。但し測
定回数をKとし、k(≦K)は第k回目の測定値である
ことを示すパラメータである。ステップS55ではK回
の測定におけるピーク値Pn(k)の平均値m(Pn)の
算出を行い、ステップS56で平均値m(Pn)が基準
値Cnより大きい場合に異常摺動が存在すると判定し、
ステップS57でその異常摺動部位を表示部8に表示す
る。以上ステップS53〜S57の判定手順を各基準帯
域B1、B2、…BNに対して行う。上記の一連の異常部
位判定を一定時間間隔で連続的に繰り返し行い、異常摺
動の有無および、異常摺動が認められたときにはその異
常摺動部位を表示部8に表示する。
【0014】つぎに、上記異常摺動の時間的進行の程度
と基準帯域との関係の一例について、図3の部位番号
の雄ロータ11と雌ロータ12の間の部位の場合を説明
する。なお図3の他の部位番号からの部位の場合も
同様である。図6は、図1の非接触型スクリュー圧縮機
のロ−タ間接触の異常摺動程度と基準帯域の一例を示す
説明図である。これは、図2の雄ロータ11および雌ロ
ータ12が基材となる鋼材S45C上にテフロンコーテ
ィングが施されている場合の例で、この両ロータ11、
12間の異常摺動の進行と共に振幅が大きくなる周波数
成分が図6の様に変化することを示している。すなわ
ち、異常摺動程度の初期、中期、及び後期において、振
幅が大きくなる周波数成分は90kHz、50kHzと
90kHz、及び50kHzの近傍となる。これは異常
摺動の進行に伴いテフロンコーティングが徐々に削れ、
異常摺動を引き起こす両材質の組み合せが変化するため
である。以下の説明では、これらの周波数を中心とする
周波数帯域を基準帯域Bi(90±βkHz)、Bj(5
0±αkHz)で表し、かつこれらの帯域の周波数成分
がその値を越えたら基準周波数帯域に対応する異常振動
が発生したと判定するための振幅値を基準値Ci、Cj
で表す。但しα、βはそれぞれ基準帯域の幅に対応した
定数である。
【0015】図1の摺動状態判定部7は、この両ロータ
11、12間の異常摺動の進行の度合を下記のようにし
て判定する。図7は、摺動状態判定部7での判定方法の
手順を示すフローチャートで、これは図2の雄ロータ1
1および雌ロータ12が基材となる鋼材S45C上にテ
フロンコーティングが施されている場合の例である。同
図に於て、まず、ステップS71で、異常部位判定部6
から図6の雄ロータ11と雌ロータ12の間の異常摺動
程度の初期の基準帯域Bi((90±β)kHz)にお
いて、振幅のピーク値Piの平均値m(Pi)が基準値C
i以上となったとき、ステップS72で、その雄ロータ
11と雌ロータ12の間に異常摺動が発生したと判定
し、表示部8に表示する。その後、ステップS73で、
図6の雄ロータ11と雌ロータ12の間の異常摺動程度
の中期の基準帯域Bj((50±α)kHz)及びB
i((90±β)kHz)の両帯域において、振幅のピ
ーク値Pj、Piの平均値m(Pj)、m(Pi)がそれぞ
れ基準値Cj、Ci以上となったとき、ステップS74で
異常摺動程度が中期に移行したと判定し表示部8に表示
する。さらに、ステップS75で、異常摺動程度が後期
の基準帯域Bi((50±α)kHz)の周波数帯域に
おいてのみ振幅のピーク値Pjの平均値m(Pj)が基準
値Cj以上となったとき、ステップS76で異常摺動の
程度が後期に移行したと判定し表示部8に表示する。以
上のように、ステップS72、74、76では、非接触
型スクリュー圧縮機1のロータ11、12間の異常摺動
程度が初期、中期、後期に進行するごとに判定し、その
都度に判定結果の内容を図8の表示部8に表示するの
で、これにより異常の程度を確実に判断することができ
る。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、摺動部またおよび小隙
間相対運動部分を有する回転機械において、なんらかの
異常摺動が発生した場合に、非破壊的にあるいは分解す
ることなしに異常摺動位置を標定でき、また運転中の回
転機械を停止することなく診断できる。また、即座に異
常摺動の発生および異常摺動位置を標定することができ
るから、回転機械が致命的な故障に至る以前に停止等の
対策をとることができる。また、異常摺動位置の標定に
加えて異常摺動程度の評価を行うことができ、より詳細
な異常摺動診断が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す非接触型スクリュー圧
縮機の異常摺動診断装置の構成図である。
【図2】図1の非接触型スクリュー圧縮機のエアブロッ
ク部の縦断面図である。
【図3】図2の非接触型スクリュー圧縮機の異常摺動検
出対象箇所の説明図である。
【図4】図1の非接触型スクリュー圧縮機から測定され
たAE信号を周波数解析部で解析した結果の一例の周波
数分布図である。
【図5】図1の異常部位判定部での判定方法の手順を示
すフローチャートである。
【図6】図1の非接触型スクリュー圧縮機のロ−タ間接
触の異常摺動程度と基準帯域の一例を示す説明図であ
る。
【図7】図1の摺動状態判定部での判定方法の手順を示
すフローチャートである。
【符号の説明】
1 非接触型スクリュー圧縮機 1A 1段エアブロック 1B 2段エアブロック 1C インタークーラ 1D モータ 2 AEセンサ 3 プリアンプ 4 メイアンプ 5 周波数解析部 6 異常部位判定部 7 摺動状態判定部 8 表示部 11 雄ロータ 12 雌ロータ 13 ケーシング 14 ねじシール 15 カーボンリングシール 16 タイミングギヤ 17 転がり軸受

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 摺動部またはおよび小隙間相対運動部を
    有する回転機械の異常摺動診断方法において、回転機械
    からAE信号を測定し、該AE信号の周波数分布状態か
    ら、上記各部の異常摺動位置の標定を行うことを特徴と
    する回転機械の異常摺動診断方法。
  2. 【請求項2】 摺動部またはおよび小隙間相対運動部を
    有する回転機械の異常摺動診断方法において、回転機械
    からAE信号を測定し、該AE信号の周波数分布を調
    べ、その予め定められた周波数帯域の成分の振幅が予め
    設定された基準値を超えている場合に異常摺動が当該周
    波数帯域対応の位置に存在すると判定することを特徴と
    する回転機械の異常摺動診断方法。
  3. 【請求項3】 摺動部またはおよび小隙間相対運動部を
    有する回転機械の異常摺動判定方法において、運転員に
    より異常音または振動から異常摺動が認められた場合
    に、回転機械からAE信号を測定し、該AE信号の周波
    数分布を調べ、その予め定められた周波数帯域の成分の
    振幅が予め設定された基準値を超えている場合に異常摺
    動が当該周波数帯域対応の位置に存在すると判定するこ
    とを特徴とする回転機械の異常摺動診断方法。
  4. 【請求項4】 摺動部またはおよび小隙間相対運動部を
    有する回転機械の異常摺動判定方法において、回転機械
    から常時にAE信号を測定し、該AE信号の周波数分布
    を調べ、その予め定められた周波数帯域の成分の振幅が
    予め設定された基準値を超えている場合に異常摺動が当
    該周波数帯域対応の位置に存在すると判定してこの判定
    結果を表示し、異常摺動を監視することを特徴とする回
    転機械の異常摺動診断方法。
  5. 【請求項5】 前記予め定められた周波数帯域の成分の
    振幅が予め設定された基準値を超えているかどうかの判
    定を、上記周波数帯域の成分の複数回測定結果の平均値
    と上記基準値とを比較することにより行うことを特徴と
    する請求項2ないし4の内の1つに記載の回転機械の異
    常摺動診断方法。
  6. 【請求項6】 前記周波数分布の振幅が前記基準値を越
    える周波数帯域の時間的推移を調べることにより、その
    異常摺動程度の評価を行うことを特徴とする請求項2な
    いし5の内の1つに記載の回転機械の異常摺動診断方
    法。
  7. 【請求項7】 摺動部またはおよび小隙間相対運動部を
    有する回転機械の異常摺動診断装置において、回転機械
    からAE信号を測定するAEセンサと、該AEセンサか
    らのAE信号を増幅する増幅器と、上記AE信号を周波
    数分析する周波数解析手段と、該手段により求められた
    周波数分布状態から回転機械の異常摺動の存在判定及び
    異常摺動位置の評定を行う異常部位判定手段と、上記異
    常摺動の程度を判定する摺動状態判定手段と、上記異常
    部位判定手段及び摺動状態判定手段の判定結果を出力す
    る表示手段とを備え、上記異常部位判定手段は、上記A
    E信号の周波数分布を調べてその予め定められた周波数
    帯域の成分の振幅が予め設定された基準値を超えている
    場合に異常摺動が当該周波数帯域対応の位置に存在する
    と判定し、上記摺動状態判定手段は、上記基準値を超え
    る周波数帯域の時間的推移を調べることにより異常摺動
    程度の評価を行う、ことを特徴とする回転機械の異常摺
    動診断装置。
  8. 【請求項8】 非接触型スクリュー圧縮機の異常摺動診
    断方法において、該圧縮機から運転時のAE信号を測定
    し、該AE信号の周波数分布を調べ、その予め定められ
    た周波数帯域の成分の振幅が予め設定された基準値を超
    えている場合に異常摺動が当該周波数帯域対応の位置に
    存在すると判定し、さらに上記基準値を超える周波数帯
    域の時間的推移から異常摺動程度の評価を行うことを特
    徴とする非接触型スクリュー圧縮機の異常摺動診断方
    法。
  9. 【請求項9】 非接触型スクリュー圧縮機からAE信号
    を測定するAEセンサと、該AEセンサからのAE信号
    を増幅する増幅器と、上記AE信号を周波数分析する周
    波数解析手段と、該手段により求められた周波数分布状
    態から回転機械の異常摺動の存在判定及び異常摺動位置
    の評定を行う異常部位判定手段と、上記異常摺動の程度
    を判定する摺動状態判定手段と、上記異常部位判定手段
    及び摺動状態判定手段の判定結果を出力する表示手段と
    を備え、上記異常部位判定手段は、上記AE信号の周波
    数分布を調べてその予め定められた周波数帯域の成分の
    振幅が予め設定された基準値を超えている場合に異常摺
    動が当該周波数帯域対応の位置に存在すると判定し、上
    記摺動状態判定手段は、上記基準値を超える周波数帯域
    の時間的推移を調べることにより異常摺動程度の評価を
    行う、ことを特徴とする非接触型スクリュー圧縮機の異
    常摺動診断装置。
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