JPH08162788A - ファン付きヒートシンク - Google Patents
ファン付きヒートシンクInfo
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- JPH08162788A JPH08162788A JP29857794A JP29857794A JPH08162788A JP H08162788 A JPH08162788 A JP H08162788A JP 29857794 A JP29857794 A JP 29857794A JP 29857794 A JP29857794 A JP 29857794A JP H08162788 A JPH08162788 A JP H08162788A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ファン付きヒートシンクに関し、実装高さを増
加させることなく発熱素子の冷却が可能で、かつ、ファ
ン装置のみを交換可能とすることを目的とする。 【構成】表面に複数の放熱フィン１０を立設したヒート
シンク本体２０と、ヒートシンク本体２０に形成された
放熱フィン１０により周囲を包囲されるようにしてヒー
トシンク本体２０に固定されるファン装置３０とを有
し、前記ファン装置３０は、底部に設けた取付部４０に
おいてヒートシンク本体２０に着脱可能に固定して構成
する。
加させることなく発熱素子の冷却が可能で、かつ、ファ
ン装置のみを交換可能とすることを目的とする。 【構成】表面に複数の放熱フィン１０を立設したヒート
シンク本体２０と、ヒートシンク本体２０に形成された
放熱フィン１０により周囲を包囲されるようにしてヒー
トシンク本体２０に固定されるファン装置３０とを有
し、前記ファン装置３０は、底部に設けた取付部４０に
おいてヒートシンク本体２０に着脱可能に固定して構成
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ファン付きヒートシン
クに関するものである。
クに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、発熱量が増加傾向にある半導体素
子を効率的に冷却する手法として、ターゲットの半導体
素子をスポット的に冷却することが行われており、この
ようなスポット冷却に適したヒートシンクとしてファン
付きヒートシンクが多用される。
子を効率的に冷却する手法として、ターゲットの半導体
素子をスポット的に冷却することが行われており、この
ようなスポット冷却に適したヒートシンクとしてファン
付きヒートシンクが多用される。
【０００３】ファン付きヒートシンクは、アルミニウム
等、熱伝導性の良好な材料により形成されるヒートシン
ク本体にファン装置を装着して構成され、発熱素子のヒ
ートシンク面に固定して使用される。
等、熱伝導性の良好な材料により形成されるヒートシン
ク本体にファン装置を装着して構成され、発熱素子のヒ
ートシンク面に固定して使用される。
【０００４】一方、ファン付きヒートシンクの採用によ
る実装高さの増加は好ましくないために、図１に示すよ
うに、ヒートシンクに対してファン装置３０を一体的に
組み込むことが望ましい。
る実装高さの増加は好ましくないために、図１に示すよ
うに、ヒートシンクに対してファン装置３０を一体的に
組み込むことが望ましい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ファン装置３
０を一体的にヒートシンクに組み込んだ場合には、以下
の問題が発生する。すなわち、ファン装置３０は回転フ
ァン３１という駆動部を有するために電子部品と比較し
て故障の確率が高い上に、寿命も一般的に短いが、ファ
ン付きヒートシンクを発熱素子に接着等で固定してしま
うと、ファン装置３０の故障等が発生した場合、発熱素
子ごと交換する必要が生じてしまう。
０を一体的にヒートシンクに組み込んだ場合には、以下
の問題が発生する。すなわち、ファン装置３０は回転フ
ァン３１という駆動部を有するために電子部品と比較し
て故障の確率が高い上に、寿命も一般的に短いが、ファ
ン付きヒートシンクを発熱素子に接着等で固定してしま
うと、ファン装置３０の故障等が発生した場合、発熱素
子ごと交換する必要が生じてしまう。
【０００６】本発明は、以上の欠点を解消するためにな
されたもので、実装高さを増加させることなく発熱素子
の冷却が可能で、かつ、ファン装置のみを交換可能とし
たファン付きヒートシンクを提供することを目的とす
る。
されたもので、実装高さを増加させることなく発熱素子
の冷却が可能で、かつ、ファン装置のみを交換可能とし
たファン付きヒートシンクを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば上記目的
は、図１に示すように、表面に複数の放熱フィン１０を
立設したヒートシンク本体２０と、ヒートシンク本体２
０に形成された放熱フィン１０により周囲を包囲される
ようにしてヒートシンク本体２０に固定されるファン装
置３０とを有し、前記ファン装置３０は、底部に設けた
取付部４０においてヒートシンク本体２０に着脱可能に
固定されるファン付きヒートシンクを提供することによ
り達成される。
は、図１に示すように、表面に複数の放熱フィン１０を
立設したヒートシンク本体２０と、ヒートシンク本体２
０に形成された放熱フィン１０により周囲を包囲される
ようにしてヒートシンク本体２０に固定されるファン装
置３０とを有し、前記ファン装置３０は、底部に設けた
取付部４０においてヒートシンク本体２０に着脱可能に
固定されるファン付きヒートシンクを提供することによ
り達成される。
【０００８】
【作用】ファン装置３０は底部に取付部４０を有してお
り、ヒートシンク本体２０に着脱自在に装着される。フ
ァン装置３０が故障した際には、取付部４０から取り外
すことが可能であり、ファン付きヒートシンクが発熱素
子に接着等の手段で固着されている場合であっても、フ
ァン装置３０のみの交換が可能となる。
り、ヒートシンク本体２０に着脱自在に装着される。フ
ァン装置３０が故障した際には、取付部４０から取り外
すことが可能であり、ファン付きヒートシンクが発熱素
子に接着等の手段で固着されている場合であっても、フ
ァン装置３０のみの交換が可能となる。
【０００９】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。ファン付きヒ
ートシンクは、アルミニウム等の熱伝導性の良好な材料
により形成されるヒートシンク本体２０と、ファン装置
３０と、カバー部材８０とから構成される。
ートシンクは、アルミニウム等の熱伝導性の良好な材料
により形成されるヒートシンク本体２０と、ファン装置
３０と、カバー部材８０とから構成される。
【００１０】ヒートシンク本体２０は、中心部に装着さ
れるファン装置３０を取り囲むように配置される複数の
ピン型の放熱フィン１０、１０・・を有しており、その
上部開放部にカバー部材８０がビス等の止着子８１によ
り止着される。カバー部材８０は中心に導風開口８２を
備えており、ファン装置３０を駆動させることにより、
ヒートシンク本体２０の側部、すなわち放熱フィン１
０、１０間の間隙から冷却風を導入して導風開口８２か
ら排気したり、あるいは導風開口８２から冷却風を導入
して側部から排気することによって高熱部の冷却が行わ
れる。なお、図１において２３は止着子６０を螺入する
ためにヒートシンク本体２０の四隅に穿孔された孔を示
す。
れるファン装置３０を取り囲むように配置される複数の
ピン型の放熱フィン１０、１０・・を有しており、その
上部開放部にカバー部材８０がビス等の止着子８１によ
り止着される。カバー部材８０は中心に導風開口８２を
備えており、ファン装置３０を駆動させることにより、
ヒートシンク本体２０の側部、すなわち放熱フィン１
０、１０間の間隙から冷却風を導入して導風開口８２か
ら排気したり、あるいは導風開口８２から冷却風を導入
して側部から排気することによって高熱部の冷却が行わ
れる。なお、図１において２３は止着子６０を螺入する
ためにヒートシンク本体２０の四隅に穿孔された孔を示
す。
【００１１】ファン装置３０は、図２に示すように、ベ
アリング３２により回転自在に支持される回転ファン３
１と、ベアリング３２を支持するベアリングハウス５０
とから構成される。回転軸３３の傾動を防止するため
に、ベアリング３２は回転軸３３の上下端部に適宜間隔
をおいて配置されており、下部のベアリング３２をベア
リングハウス５０の下方への延設部において支持するこ
とにより、回転ファン３１から上方への寸法増加を防止
している。なお、図２において３４はモータを構成する
磁石、７０は制御用基板を示す。
アリング３２により回転自在に支持される回転ファン３
１と、ベアリング３２を支持するベアリングハウス５０
とから構成される。回転軸３３の傾動を防止するため
に、ベアリング３２は回転軸３３の上下端部に適宜間隔
をおいて配置されており、下部のベアリング３２をベア
リングハウス５０の下方への延設部において支持するこ
とにより、回転ファン３１から上方への寸法増加を防止
している。なお、図２において３４はモータを構成する
磁石、７０は制御用基板を示す。
【００１２】また、ベアリングハウス５０の側方には固
定用アーム（取付部４０）が突設されており、ファン装
置３０のヒートシンク本体２０への固定は、ベアリング
ハウス５０の延設部（挿入部５１）をヒートシンク本体
２０の中心に開設した挿入孔２１に挿入し、固定用アー
ム４０を止着子６０によりネジ止めすることにより行わ
れる。固定用アーム４０は、ヒートシンク本体２０の上
面に直接固定することも可能であるが、図２に示すよう
に、ヒートシンク本体２０の表面に凹設した嵌合溝２２
内に収容してヒートシンク本体２０の表面からの飛び出
しを防止することにより風切り音等の発生を防ぐことが
できる。
定用アーム（取付部４０）が突設されており、ファン装
置３０のヒートシンク本体２０への固定は、ベアリング
ハウス５０の延設部（挿入部５１）をヒートシンク本体
２０の中心に開設した挿入孔２１に挿入し、固定用アー
ム４０を止着子６０によりネジ止めすることにより行わ
れる。固定用アーム４０は、ヒートシンク本体２０の上
面に直接固定することも可能であるが、図２に示すよう
に、ヒートシンク本体２０の表面に凹設した嵌合溝２２
内に収容してヒートシンク本体２０の表面からの飛び出
しを防止することにより風切り音等の発生を防ぐことが
できる。
【００１３】したがってこの実施例において、ファン装
置３０の交換は、先ず止着子８１を外してカバー部材８
０を取り除き、次いで、固定用アーム４０の固定を解除
することにより行うことが可能である。
置３０の交換は、先ず止着子８１を外してカバー部材８
０を取り除き、次いで、固定用アーム４０の固定を解除
することにより行うことが可能である。
【００１４】図３に固定用アーム４０の止着位置の変形
例を示す。なお、本図以下ではカバー部材８０を取り除
いた状態を示し、さらに、上述した実施例と同一の構成
要素は、図中に同一の符号を付して説明を省略する。図
１に示した実施例において、固定用アーム４０は回転フ
ァン３１の回転領域の外方において止着されて作業スペ
ースが確保されているが、本変形例において、固定用ア
ーム４０は回転ファン３１の回転領域内に配置される。
使用される止着子６０のサイズ、特に頭部の大きさは、
回転ファン３１の隙間から露出する程度のものが選択さ
れる。この変形例は、回転ファン３１の間隔が比較的広
いファン装置３０の装着に特に有効であり、止着子６０
の止着、取り外し作業は回転ファン３１の隙間からドラ
イバ等の工具を挿入して行われ、ファン装置３０の着脱
に際してカバー部材８０の取り外しが不要になる。
例を示す。なお、本図以下ではカバー部材８０を取り除
いた状態を示し、さらに、上述した実施例と同一の構成
要素は、図中に同一の符号を付して説明を省略する。図
１に示した実施例において、固定用アーム４０は回転フ
ァン３１の回転領域の外方において止着されて作業スペ
ースが確保されているが、本変形例において、固定用ア
ーム４０は回転ファン３１の回転領域内に配置される。
使用される止着子６０のサイズ、特に頭部の大きさは、
回転ファン３１の隙間から露出する程度のものが選択さ
れる。この変形例は、回転ファン３１の間隔が比較的広
いファン装置３０の装着に特に有効であり、止着子６０
の止着、取り外し作業は回転ファン３１の隙間からドラ
イバ等の工具を挿入して行われ、ファン装置３０の着脱
に際してカバー部材８０の取り外しが不要になる。
【００１５】ベアリングハウス５０へのヒートシンクか
らの伝熱を阻止することは、ファン装置３０の寿命を長
くする上で重要であり、伝熱阻止のために、ベアリング
ハウス５０は合成樹脂等の熱伝導性の低い材料により形
成するのが望ましい。また、図４に示すように、ベアリ
ングハウス５０の挿入部５１をヒートシンク本体２０の
挿入孔２１に遊嵌することにより、ヒートシンク本体２
０の挿入孔２１の内壁面との間にエアギャップ２４を形
成することも伝熱阻止のために有効な変形である。
らの伝熱を阻止することは、ファン装置３０の寿命を長
くする上で重要であり、伝熱阻止のために、ベアリング
ハウス５０は合成樹脂等の熱伝導性の低い材料により形
成するのが望ましい。また、図４に示すように、ベアリ
ングハウス５０の挿入部５１をヒートシンク本体２０の
挿入孔２１に遊嵌することにより、ヒートシンク本体２
０の挿入孔２１の内壁面との間にエアギャップ２４を形
成することも伝熱阻止のために有効な変形である。
【００１６】取付部４０のヒートシンク本体２０への固
定方法は、止着によるもののほか種々の手段によること
が可能であり、例えば、図５に示すように、取付部４０
をヒートシンク本体２０側に係止させるように構成する
ことができる。すなわち、図５に示す変形例において、
固定用アーム４０の先端には一側に開放部４１を有する
係止リング４２が設けられるとともに、ヒートシンク本
体２０側には先端に抜け止め頭部３５を備えた係止ピン
３６が立設される。
定方法は、止着によるもののほか種々の手段によること
が可能であり、例えば、図５に示すように、取付部４０
をヒートシンク本体２０側に係止させるように構成する
ことができる。すなわち、図５に示す変形例において、
固定用アーム４０の先端には一側に開放部４１を有する
係止リング４２が設けられるとともに、ヒートシンク本
体２０側には先端に抜け止め頭部３５を備えた係止ピン
３６が立設される。
【００１７】したがってこの変形例において、カバー部
材８０を取り外した後、固定用アーム４０を反時計回り
に回転させて係止リング４２を係止ピン３６の軸部３７
に弾発的に係止させることによりファン装置３０の装着
がなされ、時計回りに回転させることにより取り外しが
行われる。
材８０を取り外した後、固定用アーム４０を反時計回り
に回転させて係止リング４２を係止ピン３６の軸部３７
に弾発的に係止させることによりファン装置３０の装着
がなされ、時計回りに回転させることにより取り外しが
行われる。
【００１８】図６に本発明の第２の実施例を示す。本実
施例において、取付部４０はファン装置３０の制御基板
７０を兼用するように構成される。制御基板７０を兼ね
る取付部４０の形成は、例えば制御基板７０に止着子６
０の挿通孔等を形成し、該制御基板７０をベアリングハ
ウス５０に接着等の手段で一体化することにより可能で
あり、制御基板７０の裏面、すなわちヒートシンク側に
向く面側に実装部品７１が実装される場合には、該実装
部品７１との干渉を防止するために、ヒートシンク本体
２０の表面に収容溝２５が凹設される。
施例において、取付部４０はファン装置３０の制御基板
７０を兼用するように構成される。制御基板７０を兼ね
る取付部４０の形成は、例えば制御基板７０に止着子６
０の挿通孔等を形成し、該制御基板７０をベアリングハ
ウス５０に接着等の手段で一体化することにより可能で
あり、制御基板７０の裏面、すなわちヒートシンク側に
向く面側に実装部品７１が実装される場合には、該実装
部品７１との干渉を防止するために、ヒートシンク本体
２０の表面に収容溝２５が凹設される。
【００１９】図７に本発明の第３の実施例を示す。この
実施例において、上記ベアリングハウス５０の挿入部５
１には雄ねじが刻設されており、該雄ねじをヒートシン
ク本体２０に形成された雌ねじに螺合させることにより
ファン装置３０の装着が行われる。ベアリングハウス５
０にねじ込みのための回転トルクを付与することができ
るように、ベアリングハウス５０には操作杆５２が突設
されており、該操作杆５２を適宜手段により把持して回
転させることによりファン装置３０の装着が行われる。
実施例において、上記ベアリングハウス５０の挿入部５
１には雄ねじが刻設されており、該雄ねじをヒートシン
ク本体２０に形成された雌ねじに螺合させることにより
ファン装置３０の装着が行われる。ベアリングハウス５
０にねじ込みのための回転トルクを付与することができ
るように、ベアリングハウス５０には操作杆５２が突設
されており、該操作杆５２を適宜手段により把持して回
転させることによりファン装置３０の装着が行われる。
【００２０】なお、ファン装置３０の回転動作に伴うネ
ジの緩みを防止するために、雄ねじ部、雌ねじ部のねじ
切り方向は回転ファン３１の回転方向と逆方向にするの
が望ましい。
ジの緩みを防止するために、雄ねじ部、雌ねじ部のねじ
切り方向は回転ファン３１の回転方向と逆方向にするの
が望ましい。
【００２１】操作杆５２の形状は、例えば、図１、３に
示した固定用アーム４０と同様の形状にすることも可能
であるが、回転操作の便宜を考慮して図８に示すような
形状とすることが望ましい。すなわち、操作杆５２はヒ
ートシンク本体２０から放射状に突設され、先端に形成
した治具挿入孔５２ａに治具９０を挿入させて回転操作
が行われる。
示した固定用アーム４０と同様の形状にすることも可能
であるが、回転操作の便宜を考慮して図８に示すような
形状とすることが望ましい。すなわち、操作杆５２はヒ
ートシンク本体２０から放射状に突設され、先端に形成
した治具挿入孔５２ａに治具９０を挿入させて回転操作
が行われる。
【００２２】なお、以上の説明においては、放熱フィン
１０はピン状のものが示されているが、プレート状等、
種々のタイプのものであってよい。
１０はピン状のものが示されているが、プレート状等、
種々のタイプのものであってよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、発熱素子の交換をすることなくファン装置の
交換を行うことができるために、メンテナンス性能を向
上させることができる。
によれば、発熱素子の交換をすることなくファン装置の
交換を行うことができるために、メンテナンス性能を向
上させることができる。
【図１】本発明の実施例を示す図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。
（ｂ）は側面図である。
【図２】ファン装置の固定状態を示す図である。
【図３】図１の変形例を示す図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は要部断面図である。
（ｂ）は要部断面図である。
【図４】図１の他の変形例を示す図である。
【図５】図１のさらに他の変形例を示す図で、（ａ）は
平面図、（ｂ）は要部斜視図である。
平面図、（ｂ）は要部斜視図である。
【図６】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図７】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図８】図７の変形例を示す図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。
（ｂ）は側面図である。
１０ 放熱フィン ２０ ヒートシンク本体 ２１ 挿入孔 ２２ 嵌合溝 ２５ 収容溝 ３０ ファン装置 ３１ 回転ファン ４０ 取付部 ５０ ベアリングハウス ５１ 挿入部 ６０ 止着子 ７０ 制御基板 ７１ 実装部品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/467
Claims (13)
- 【請求項１】表面に複数の放熱フィンを立設したヒート
シンク本体と、 ヒートシンク本体に形成された放熱フィンにより周囲を
包囲されるようにしてヒートシンク本体に固定されるフ
ァン装置とを有し、 前記ファン装置は、底部に設けた取付部においてヒート
シンク本体に着脱可能に固定されるファン付きヒートシ
ンク。 - 【請求項２】表面に複数の放熱フィンを立設したヒート
シンク本体と、 回転ファンのベアリングハウスの下部をヒートシンク本
体に挿入してヒートシンク本体に装着されるファン装置
を有し、 前記ファン装置のヒートシンク本体への装着は、ベアリ
ングハウスから突設される取付部をヒートシンク本体に
着脱可能に固定して行われるファン付きヒートシンク。 - 【請求項３】前記取付部はベアリングハウスと一体形成
される請求項２記載のファン付きヒートシンク。 - 【請求項４】前記ベアリングハウスのヒートシンク本体
への挿入部は、ヒートシンク本体側の挿入孔に遊嵌され
る請求項２または３記載のファン付きヒートシンク。 - 【請求項５】前記取付部は回転ファン間の隙間から装着
可能な止着子によりヒートシンク本体に止着される請求
項１ないし４のいずれかに記載のファン付きヒートシン
ク。 - 【請求項６】前記取付部は、回転ファンの回転エリアの
外方においてヒートシンク本体に止着される請求項１な
いし４のいずれかに記載のファン付きヒートシンク。 - 【請求項７】前記取付部は、ヒートシンク本体の表面に
凹設した嵌合溝内に収容されてヒートシンク本体の表面
上への突出が防止される請求項１ないし６のいずれかに
記載のファン付きヒートシンク。 - 【請求項８】前記取付部は、ファン装置の制御基板を兼
用する請求項１ないし７のいずれかに記載のファン付き
ヒートシンク。 - 【請求項９】前記制御基板の裏面には実装部品が実装さ
れており、かつ、ヒートシンク本体には、実装部品の干
渉を防止する収容溝が凹設される請求項８記載のファン
付きヒートシンク。 - 【請求項１０】前記取付部は、熱伝導性の低い材料によ
り形成される請求項１ないし９のいずれかに記載のファ
ン付きヒートシンク。 - 【請求項１１】表面に複数の放熱フィンを立設したヒー
トシンク本体と、 回転ファンのベアリングハウスの下部をヒートシンク本
体に挿入してヒートシンク本体に装着されるファン装置
を有し、 前記ファン装置のヒートシンク本体への装着は、ベアリ
ングハウスの下部に刻設した雄ねじ部をヒートシンク本
体に螺入して行われるファン付きヒートシンク。 - 【請求項１２】前記雄ねじ部は、回転ファンの回転方向
と逆方向ネジである請求項１１記載のファン付きヒート
シンク。 - 【請求項１３】前記ベアリングハウスは熱伝導性の低い
材料により形成される請求項２ないし１２のいずれかに
記載のファン付きヒートシンク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29857794A JP3255260B2 (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | ファン付きヒートシンク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29857794A JP3255260B2 (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | ファン付きヒートシンク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08162788A true JPH08162788A (ja) | 1996-06-21 |
| JP3255260B2 JP3255260B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=17861550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29857794A Expired - Fee Related JP3255260B2 (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | ファン付きヒートシンク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3255260B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006350237A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Sharp Corp | 光源装置、ランプハウジング、ランプユニット、及び投影型画像表示装置 |
| JP2009121469A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Snecma | ターボ機械にロータを支持するベアリングを取り付ける方法 |
| JP2013055096A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Panasonic Corp | ペースト塗布装置 |
| WO2022201883A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 富士フイルム株式会社 | 冷却装置、および電子機器システム |
-
1994
- 1994-12-01 JP JP29857794A patent/JP3255260B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006350237A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Sharp Corp | 光源装置、ランプハウジング、ランプユニット、及び投影型画像表示装置 |
| JP2009121469A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Snecma | ターボ機械にロータを支持するベアリングを取り付ける方法 |
| JP2013055096A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Panasonic Corp | ペースト塗布装置 |
| WO2022201883A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 富士フイルム株式会社 | 冷却装置、および電子機器システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3255260B2 (ja) | 2002-02-12 |
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Legal Events
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
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