JPH08160068A - 加速度計及びその製造方法 - Google Patents
加速度計及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH08160068A JPH08160068A JP29729594A JP29729594A JPH08160068A JP H08160068 A JPH08160068 A JP H08160068A JP 29729594 A JP29729594 A JP 29729594A JP 29729594 A JP29729594 A JP 29729594A JP H08160068 A JPH08160068 A JP H08160068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- accelerometer
- lid
- support member
- manufacturing
- accelerometer according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 22
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 18
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度、衝撃、長時間の使用等によって出力信
号に誤差が生ずることがない加速度計を提供することを
目的とする。 【構成】 梁１１及び支持部材１３は１枚の板材より形
成される。支持部材１３は梁１１の周囲を囲むように延
在し、梁１１は支持部材１３の固定部１３Ａにて片持ち
支持されている。梁１１及び支持部材１３の上側及び下
側にそれぞれスペーサ１９Ａ、１９Ｂを介して上蓋４１
Ａ及び下蓋４１Ｂが装着されている。密閉空間４５内に
は乾燥した不活性ガスが封入されており、斯かるガスは
梁１１の振動を減衰させるためのスクィーズダンパとし
て機能する。
号に誤差が生ずることがない加速度計を提供することを
目的とする。 【構成】 梁１１及び支持部材１３は１枚の板材より形
成される。支持部材１３は梁１１の周囲を囲むように延
在し、梁１１は支持部材１３の固定部１３Ａにて片持ち
支持されている。梁１１及び支持部材１３の上側及び下
側にそれぞれスペーサ１９Ａ、１９Ｂを介して上蓋４１
Ａ及び下蓋４１Ｂが装着されている。密閉空間４５内に
は乾燥した不活性ガスが封入されており、斯かるガスは
梁１１の振動を減衰させるためのスクィーズダンパとし
て機能する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は梁の変形を利用した共振
型の加速度計に関し、特に、表面弾性波（SURFACE ACOU
STIC WAVE ：ＳＡＷ）を利用した加速度計に関する。
型の加速度計に関し、特に、表面弾性波（SURFACE ACOU
STIC WAVE ：ＳＡＷ）を利用した加速度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５を参照して従来の表面弾性波（ＳＡ
Ｗ）を利用した加速度計の例を説明する。加速度計は固
定壁に片持ち支持された弾性体、例えば梁１１と斯かる
梁１１の上面１１Ａ及び下面１１Ｂに配置されたＳＡＷ
共振系を有する。梁１１は、例えば、水晶、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウム等の圧電材単結晶によって
構成され、特に温度特性を重視する場合にはＳＴカット
水晶の単結晶が使用される。
Ｗ）を利用した加速度計の例を説明する。加速度計は固
定壁に片持ち支持された弾性体、例えば梁１１と斯かる
梁１１の上面１１Ａ及び下面１１Ｂに配置されたＳＡＷ
共振系を有する。梁１１は、例えば、水晶、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウム等の圧電材単結晶によって
構成され、特に温度特性を重視する場合にはＳＴカット
水晶の単結晶が使用される。
【０００３】梁１１の固定側には支持部材１３が装着さ
れ自由端側には重り１５が装着されている。支持部材１
３及び重り１５と梁１１の上面１１Ａ及び下面１１Ｂが
交差する位置に適当な表面弾性波吸収剤が装着されてよ
い。表面弾性波吸収剤によって、好ましくない反射波が
表面弾性波の伝播経路に進入することが防止される。
尚、表面弾性波吸収剤の詳細については例えば、本願出
願人と同一の出願人によって出願された特開平２−２２
８５３０号を参照されたい。
れ自由端側には重り１５が装着されている。支持部材１
３及び重り１５と梁１１の上面１１Ａ及び下面１１Ｂが
交差する位置に適当な表面弾性波吸収剤が装着されてよ
い。表面弾性波吸収剤によって、好ましくない反射波が
表面弾性波の伝播経路に進入することが防止される。
尚、表面弾性波吸収剤の詳細については例えば、本願出
願人と同一の出願人によって出願された特開平２−２２
８５３０号を参照されたい。
【０００４】上側のＳＡＷ共振系２０Ａと下側のＳＡＷ
共振系２０Ｂとは同一構成を有するので、上側のＳＡＷ
共振系２０Ａについて説明する。
共振系２０Ｂとは同一構成を有するので、上側のＳＡＷ
共振系２０Ａについて説明する。
【０００５】上側のＳＡＷ共振系２０Ａは梁１１の上面
１１Ａに装着された共振器２１Ａと電源端子２３及び増
幅器２５Ａとを有する。共振器２１Ａは入力電極２１−
１Ａ及び出力電極２１−２Ａと（図示しない）反射器と
を有する。共振器２１Ａは、例えば、フォトリソグラフ
ィ法によって形成される。斯かるＳＡＷ共振系２０Ａは
梁１１の上面１１Ａに表面弾性波を生成するための共振
器を構成する。
１１Ａに装着された共振器２１Ａと電源端子２３及び増
幅器２５Ａとを有する。共振器２１Ａは入力電極２１−
１Ａ及び出力電極２１−２Ａと（図示しない）反射器と
を有する。共振器２１Ａは、例えば、フォトリソグラフ
ィ法によって形成される。斯かるＳＡＷ共振系２０Ａは
梁１１の上面１１Ａに表面弾性波を生成するための共振
器を構成する。
【０００６】加速度計は更に２つのＳＡＷ共振系２０
Ａ、２０Ｂの出力信号を入力するバッファアンプ２７
Ａ、２７Ｂとミキサ３１とフィルタ３３とを有する。
Ａ、２０Ｂの出力信号を入力するバッファアンプ２７
Ａ、２７Ｂとミキサ３１とフィルタ３３とを有する。
【０００７】電源端子２３より電源が供給されると、入
力電極２１−１Ａを経由して梁１１の上面１１Ａに振動
が付与される。それによって梁１１の上面１１Ａに表面
弾性波が生成される。斯かる表面弾性波は出力電極２１
−２Ａによって検出され、増幅器２５Ａに供給される。
増幅器２５Ａによって増幅された受信信号はバッファア
ンプ２７Ａに供給され、同時に入力電極２１−１Ａにフ
ィードバックされる。バッファアンプ２７Ａ、２７Ｂ
は、ミキサ３１の負荷変動によって各ＳＡＷ共振系２０
Ａ、２０Ｂの振動特性が影響を受けないように機能す
る。
力電極２１−１Ａを経由して梁１１の上面１１Ａに振動
が付与される。それによって梁１１の上面１１Ａに表面
弾性波が生成される。斯かる表面弾性波は出力電極２１
−２Ａによって検出され、増幅器２５Ａに供給される。
増幅器２５Ａによって増幅された受信信号はバッファア
ンプ２７Ａに供給され、同時に入力電極２１−１Ａにフ
ィードバックされる。バッファアンプ２７Ａ、２７Ｂ
は、ミキサ３１の負荷変動によって各ＳＡＷ共振系２０
Ａ、２０Ｂの振動特性が影響を受けないように機能す
る。
【０００８】下側のＳＡＷ共振系２０Ｂの動作も同様で
ある。従って、２つのＳＡＷ共振系２０Ａ、２０Ｂの出
力信号はミキサ３１に供給される。ミキサ３１は各ＳＡ
Ｗ共振系２０Ａ、２０Ｂより出力された発振周波数の和
と差を演算する。ミキサ３１の出力信号はフィルタ３３
に供給され、フィルタ３３は発振周波数の和と差より発
振周波数の差Δｆのみを取り出す。
ある。従って、２つのＳＡＷ共振系２０Ａ、２０Ｂの出
力信号はミキサ３１に供給される。ミキサ３１は各ＳＡ
Ｗ共振系２０Ａ、２０Ｂより出力された発振周波数の和
と差を演算する。ミキサ３１の出力信号はフィルタ３３
に供給され、フィルタ３３は発振周波数の和と差より発
振周波数の差Δｆのみを取り出す。
【０００９】
【数１】Δｆ＝ｆ1 −ｆ2
【００１０】ここに、ｆ1 は上側のＳＡＷ共振系２０Ａ
によって生成された表面弾性波の発振周波数、ｆ2 は下
側のＳＡＷ共振系２０Ｂによって生成された表面弾性波
の発振周波数である。上側のＳＡＷ共振系２０Ａと下側
のＳＡＷ共振系２０Ｂの構成を同一とし共振周波数を同
一とすると、加速度Ａ又は外力Ｆが作用しないとき発振
周波数の差Δｆはゼロとなる。
によって生成された表面弾性波の発振周波数、ｆ2 は下
側のＳＡＷ共振系２０Ｂによって生成された表面弾性波
の発振周波数である。上側のＳＡＷ共振系２０Ａと下側
のＳＡＷ共振系２０Ｂの構成を同一とし共振周波数を同
一とすると、加速度Ａ又は外力Ｆが作用しないとき発振
周波数の差Δｆはゼロとなる。
【００１１】加速度計に矢印方向に沿って加速度Ａ又は
外力Ｆが作用すると梁１１は撓み、２面１１Ａ、１１Ｂ
の一方の面は伸び他方の面は縮む。このため、上面１１
Ａ及び下面１１Ｂに生成された表面弾性波の発振周波数
は、弾性変形によって変化する。即ち、各ＳＡＷ共振系
２０Ａ、２０Ｂより出力される発振周波数は変化する。
従って、フィルタ３３より出力される発振周波数の差Δ
ｆが変化する。これより入力加速度Ａ又は外力Ｆは発振
周波数の差Δｆの関数として検出することできる。
外力Ｆが作用すると梁１１は撓み、２面１１Ａ、１１Ｂ
の一方の面は伸び他方の面は縮む。このため、上面１１
Ａ及び下面１１Ｂに生成された表面弾性波の発振周波数
は、弾性変形によって変化する。即ち、各ＳＡＷ共振系
２０Ａ、２０Ｂより出力される発振周波数は変化する。
従って、フィルタ３３より出力される発振周波数の差Δ
ｆが変化する。これより入力加速度Ａ又は外力Ｆは発振
周波数の差Δｆの関数として検出することできる。
【００１２】
【数２】Ａ＝Ｋ×（ΔｆB ±Δｆ）
【００１３】ここに、Ａは加速度、Ｋは比例定数、Δｆ
B はバイアス周波数である。発振周波数の差Δｆの符号
±は加速度Ａ又は外力Ｆの方向によって決まる。
B はバイアス周波数である。発振周波数の差Δｆの符号
±は加速度Ａ又は外力Ｆの方向によって決まる。
【００１４】上述のように、上側のＳＡＷ共振系２０Ａ
と下側のＳＡＷ共振系２０Ｂの構成を同一とし、共振周
波数を一致させると、加速度Ａ又は外力Ｆが作用しない
とき発振周波数の差Δｆはゼロとなる。しかしながら、
実際には、以下に述べるように加速度Ａ又は外力Ｆがゼ
ロの場合であっても、発振周波数の差Δｆがゼロとなら
ないように、予め２つの発振周波数ｆ1 、ｆ2 に差を設
けてある。加速度Ａ又は外力Ｆがゼロの場合にフィルタ
３３より出力される発振周波数の差ΔｆB をバイアス周
波数と称する。
と下側のＳＡＷ共振系２０Ｂの構成を同一とし、共振周
波数を一致させると、加速度Ａ又は外力Ｆが作用しない
とき発振周波数の差Δｆはゼロとなる。しかしながら、
実際には、以下に述べるように加速度Ａ又は外力Ｆがゼ
ロの場合であっても、発振周波数の差Δｆがゼロとなら
ないように、予め２つの発振周波数ｆ1 、ｆ2 に差を設
けてある。加速度Ａ又は外力Ｆがゼロの場合にフィルタ
３３より出力される発振周波数の差ΔｆB をバイアス周
波数と称する。
【００１５】一般に、加速度計において、所定の大きさ
のバイアス周波数ΔｆB を設けることによって次のよう
な効果がある。
のバイアス周波数ΔｆB を設けることによって次のよう
な効果がある。
【００１６】（１）加速度Ａ又は外力Ｆの方向を判別す
ることができる。 （２）加速度Ａ又は外力Ｆの値が小さい場合でも、加速
度計の測定周波数のレンジを任意に設定することができ
る。 （３）加速度Ａ又は外力Ｆの値が小さい場合に、２つの
ＳＡＷ共振系の発振周波数の値が近づき吸い込み現象
（ロックイン）が生ずることを防止する。
ることができる。 （２）加速度Ａ又は外力Ｆの値が小さい場合でも、加速
度計の測定周波数のレンジを任意に設定することができ
る。 （３）加速度Ａ又は外力Ｆの値が小さい場合に、２つの
ＳＡＷ共振系の発振周波数の値が近づき吸い込み現象
（ロックイン）が生ずることを防止する。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】従来の表面弾性波型加
速度計では、図５に示すように、梁１１、支持部材１
３、重り１５及び固定壁は別個の部材として用意され、
これらを接合し又は組み立てることによって加速度計が
製造される。従って、製造工程が多く且つ複雑となる欠
点があった。また、加速度計の精度及び感度にバラツキ
が生ずる欠点があった。
速度計では、図５に示すように、梁１１、支持部材１
３、重り１５及び固定壁は別個の部材として用意され、
これらを接合し又は組み立てることによって加速度計が
製造される。従って、製造工程が多く且つ複雑となる欠
点があった。また、加速度計の精度及び感度にバラツキ
が生ずる欠点があった。
【００１８】従来の表面弾性波型加速度計では、図５に
示すように、梁１１は支持部材１３を介して固定壁に片
持ち支持されていた。従って、温度、衝撃、長時間の使
用等によって、梁１１と支持部材１３の間の接続面に変
化が生じ、それが加速度計の出力信号において、再現性
の欠如、ヒステリシス、スケールファクタ誤差の発生等
の原因となった。
示すように、梁１１は支持部材１３を介して固定壁に片
持ち支持されていた。従って、温度、衝撃、長時間の使
用等によって、梁１１と支持部材１３の間の接続面に変
化が生じ、それが加速度計の出力信号において、再現性
の欠如、ヒステリシス、スケールファクタ誤差の発生等
の原因となった。
【００１９】従来の表面弾性波型加速度計では、図５に
示すように、梁１１に装着された共振器２１は固定部に
装着された電源端子２３、増幅器２５Ａ、２５Ｂ、バッ
ファアンプ２７Ａ、２７Ｂ、ミキサ３１及びフィルタ３
３に電路によって接続されている。斯かる電路として例
えばボンディング線が使用される。従って、その変形又
はそれに発生した応力が加速度計のバイアス誤差の原因
となった。
示すように、梁１１に装着された共振器２１は固定部に
装着された電源端子２３、増幅器２５Ａ、２５Ｂ、バッ
ファアンプ２７Ａ、２７Ｂ、ミキサ３１及びフィルタ３
３に電路によって接続されている。斯かる電路として例
えばボンディング線が使用される。従って、その変形又
はそれに発生した応力が加速度計のバイアス誤差の原因
となった。
【００２０】本発明は斯かる点に鑑み、簡単な製造工程
によって均一な精度及び感度の加速度計を製造すること
を目的とする。
によって均一な精度及び感度の加速度計を製造すること
を目的とする。
【００２１】本発明は斯かる点に鑑み、温度、衝撃、長
時間の使用等によって出力信号に誤差が生ずることがな
い加速度計を提供することを目的とする。
時間の使用等によって出力信号に誤差が生ずることがな
い加速度計を提供することを目的とする。
【００２２】本発明は斯かる点に鑑み、ボンディング線
等の電路の変形又はそれに発生した応力によってバイア
ス誤差が生ずることがない加速度計を提供することを目
的とする。
等の電路の変形又はそれに発生した応力によってバイア
ス誤差が生ずることがない加速度計を提供することを目
的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明によると、例えば
図１に示すように、外力によって弾性変形可能な梁と、
該梁を片持ち支持する支持部材と、上記梁の変形を共振
周波数の変化として検出するための検出部とを有し、上
記梁の変形を検出することによって加速度を求めるよう
に構成された加速度計において、上記梁と上記支持部材
は一体物として１枚の板材より形成されたことを特徴と
する。
図１に示すように、外力によって弾性変形可能な梁と、
該梁を片持ち支持する支持部材と、上記梁の変形を共振
周波数の変化として検出するための検出部とを有し、上
記梁の変形を検出することによって加速度を求めるよう
に構成された加速度計において、上記梁と上記支持部材
は一体物として１枚の板材より形成されたことを特徴と
する。
【００２４】本発明によると、加速度計において、上記
支持部材は上記梁を囲むように形成され、上記梁は上記
支持部材の中にて片持ち支持されていることを特徴とす
る。
支持部材は上記梁を囲むように形成され、上記梁は上記
支持部材の中にて片持ち支持されていることを特徴とす
る。
【００２５】本発明によると、例えば図２に示すよう
に、加速度計において、上記梁及び支持部材を上側及び
下側から挟むように上蓋と下蓋が配置され、上記支持部
材と上記上蓋と下蓋の間にはそれぞれスペーサが配置さ
れ、それによって上記梁と上記上蓋及び下蓋の間には互
いに接触しないように間隙が形成されていることを特徴
とする。
に、加速度計において、上記梁及び支持部材を上側及び
下側から挟むように上蓋と下蓋が配置され、上記支持部
材と上記上蓋と下蓋の間にはそれぞれスペーサが配置さ
れ、それによって上記梁と上記上蓋及び下蓋の間には互
いに接触しないように間隙が形成されていることを特徴
とする。
【００２６】本発明によると、加速度計において、上記
梁及び支持部材を上側及び下側から挟むように上蓋と下
蓋が配置され、上記梁の肉厚を薄くし又は上記上蓋及び
下蓋に溝部を設け、それによって上記梁と上記上蓋及び
下蓋の間には互いに接触しないように間隙が形成されて
いることを特徴とする。
梁及び支持部材を上側及び下側から挟むように上蓋と下
蓋が配置され、上記梁の肉厚を薄くし又は上記上蓋及び
下蓋に溝部を設け、それによって上記梁と上記上蓋及び
下蓋の間には互いに接触しないように間隙が形成されて
いることを特徴とする。
【００２７】本発明によると、加速度計において、上記
スペーサ又は上記上蓋及び下蓋は上記支持部材の周囲に
沿って連続的に延在しそれによって上記間隙は密閉さ
れ、上記間隙には乾燥した不活性気体が封入されている
ことを特徴とする。
スペーサ又は上記上蓋及び下蓋は上記支持部材の周囲に
沿って連続的に延在しそれによって上記間隙は密閉さ
れ、上記間隙には乾燥した不活性気体が封入されている
ことを特徴とする。
【００２８】本発明によると、加速度計において、上記
検出器はリソグラフィ法によって上記板材の表面に所定
のパターンを形成することによって製造されていること
を特徴とする。
検出器はリソグラフィ法によって上記板材の表面に所定
のパターンを形成することによって製造されていること
を特徴とする。
【００２９】本発明によると、加速度計において、上記
梁の自由端の近くに重りが設けられていることを特徴と
する。
梁の自由端の近くに重りが設けられていることを特徴と
する。
【００３０】本発明によると、加速度計において、上記
重りは上記梁の自由端を含む部分の幅を大きくすること
によって形成されていることを特徴とする。
重りは上記梁の自由端を含む部分の幅を大きくすること
によって形成されていることを特徴とする。
【００３１】本発明によると、加速度計において、上記
梁の根元部の肉厚が小さくなっていることを特徴とす
る。
梁の根元部の肉厚が小さくなっていることを特徴とす
る。
【００３２】本発明によると、加速度計において、上記
検出器は上記梁に表面弾性波を生成しその発振周波数を
検出する共振器であることを特徴とする。
検出器は上記梁に表面弾性波を生成しその発振周波数を
検出する共振器であることを特徴とする。
【００３３】本発明によると、加速度計の製造方法にお
いて、１枚の板材の上面及び下面に梁の変形を共振周波
数の変化として検出するための検出器を形成すること
と、上記板材よりくり抜き部を形成することによって支
持部材と該支持部材によって片持ち支持された梁とを一
体的に形成することと、を含む。
いて、１枚の板材の上面及び下面に梁の変形を共振周波
数の変化として検出するための検出器を形成すること
と、上記板材よりくり抜き部を形成することによって支
持部材と該支持部材によって片持ち支持された梁とを一
体的に形成することと、を含む。
【００３４】本発明によると、加速度計の製造方法にお
いて、上記支持部材は上記梁を囲み、上記梁は上記支持
部材の中にて片持ち支持されるように構成されているこ
とを特徴とする。
いて、上記支持部材は上記梁を囲み、上記梁は上記支持
部材の中にて片持ち支持されるように構成されているこ
とを特徴とする。
【００３５】本発明によると、加速度計において、上記
支持部材の上面及び下面にそれぞれ上記支持部材の周囲
に沿って延在するスペーサを配置することと、上記スペ
ーサの上にそれぞれ上蓋及び下蓋を装着し、該上蓋及び
下蓋が上記梁及び支持部材に接触しないように配置する
ことと、を含むことを特徴とする。
支持部材の上面及び下面にそれぞれ上記支持部材の周囲
に沿って延在するスペーサを配置することと、上記スペ
ーサの上にそれぞれ上蓋及び下蓋を装着し、該上蓋及び
下蓋が上記梁及び支持部材に接触しないように配置する
ことと、を含むことを特徴とする。
【００３６】本発明によると、加速度計の製造方法にお
いて、上記上蓋及び下蓋と上記支持部材及び梁の間に形
成され間隙を上記スペーサによって密閉することと、上
記間隙に乾燥した不活性気体を封入することと、を含む
ことを特徴とする。
いて、上記上蓋及び下蓋と上記支持部材及び梁の間に形
成され間隙を上記スペーサによって密閉することと、上
記間隙に乾燥した不活性気体を封入することと、を含む
ことを特徴とする。
【００３７】本発明によると、加速度計の製造方法にお
いて、上記検出器はリソグラフィ法によって上記板材の
表面に所定のパターンを形成することによって製造する
ことを特徴とする。
いて、上記検出器はリソグラフィ法によって上記板材の
表面に所定のパターンを形成することによって製造する
ことを特徴とする。
【００３８】本発明によると、加速度計の製造方法にお
いて、比較的大きい１枚の板材の上面及び下面に多数の
上記検出器を形成することと、上記板材より多数の上記
くり抜き部を形成することによって多数の上記支持部材
及び梁とを形成することと、を含む。
いて、比較的大きい１枚の板材の上面及び下面に多数の
上記検出器を形成することと、上記板材より多数の上記
くり抜き部を形成することによって多数の上記支持部材
及び梁とを形成することと、を含む。
【００３９】
【作用】本発明によると、加速度計は梁１１及び支持部
材１３を含む主要部を有し、斯かる主要部は１枚の板材
より形成される。１枚の板材の上面及び下面に共振器２
１Ａ、２１Ｂをそれぞれ形成し、くり抜き部１７を形成
することによって梁１１及び支持部材１３は形成され
る。共振器２１Ａ、２１Ｂは例えばフォトリソグラフィ
法によって形成され、くり抜き部１７は例えばエッチン
グ法によって形成される。
材１３を含む主要部を有し、斯かる主要部は１枚の板材
より形成される。１枚の板材の上面及び下面に共振器２
１Ａ、２１Ｂをそれぞれ形成し、くり抜き部１７を形成
することによって梁１１及び支持部材１３は形成され
る。共振器２１Ａ、２１Ｂは例えばフォトリソグラフィ
法によって形成され、くり抜き部１７は例えばエッチン
グ法によって形成される。
【００４０】支持部材１３は梁１１の周囲を囲むように
延在し、梁１１は支持部材１３の固定部１３Ａにて片持
ち支持されている。
延在し、梁１１は支持部材１３の固定部１３Ａにて片持
ち支持されている。
【００４１】主要部の上側及び下側にそれぞれスペーサ
１９Ａ、１９Ｂを介して上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂが装
着され、それによって密閉空間４５が形成される。梁１
１は密閉空間４５内にて上蓋４１Ａと下蓋４１Ｂに接触
しないように振動又は変形する。密閉空間４５内には乾
燥した不活性ガスが封入されており、斯かるガスは梁１
１の振動を減衰させるためのスクィーズダンパとして機
能する。
１９Ａ、１９Ｂを介して上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂが装
着され、それによって密閉空間４５が形成される。梁１
１は密閉空間４５内にて上蓋４１Ａと下蓋４１Ｂに接触
しないように振動又は変形する。密閉空間４５内には乾
燥した不活性ガスが封入されており、斯かるガスは梁１
１の振動を減衰させるためのスクィーズダンパとして機
能する。
【００４２】
【実施例】以下に図１〜図４を参照して本発明の実施例
について説明する。尚図１〜図４において図５の対応す
る部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明は省
略する。
について説明する。尚図１〜図４において図５の対応す
る部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明は省
略する。
【００４３】図１に本発明による加速度計の主要部を示
す。図１Ａはその平面構成を示し、図１Ｂはその切断面
Ｂ−Ｂに沿って切断した断面構成を示す。本例による
と、斯かる主要部は矩形の梁１１と斯かる梁１１を囲む
ように延在するロの字形の支持部材１３とを有する。図
示のように、梁１１はロの字形の支持部材１３の一部、
即ち、固定部１３Ａによって片持ち支持されている。
す。図１Ａはその平面構成を示し、図１Ｂはその切断面
Ｂ−Ｂに沿って切断した断面構成を示す。本例による
と、斯かる主要部は矩形の梁１１と斯かる梁１１を囲む
ように延在するロの字形の支持部材１３とを有する。図
示のように、梁１１はロの字形の支持部材１３の一部、
即ち、固定部１３Ａによって片持ち支持されている。
【００４４】本発明によると、斯かる梁１１及び支持部
材１３を含む主要部は、１枚の板材より形成される。即
ち、１枚の板材に、図示のようにコの字形のくり抜き部
１７を形成することによって、梁１１及び支持部材１３
が形成される。コの字形のくり抜き部１７はエッチング
によって形成されてよい。
材１３を含む主要部は、１枚の板材より形成される。即
ち、１枚の板材に、図示のようにコの字形のくり抜き部
１７を形成することによって、梁１１及び支持部材１３
が形成される。コの字形のくり抜き部１７はエッチング
によって形成されてよい。
【００４５】梁１１及び支持部材１３は水晶、ニオブ酸
リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）、タンタル酸リチウム（Ｌｉ
ＴａＯ3 ）等の圧電材単結晶によって構成され、特に温
度特性を重視する場合にはＳＴカット水晶の単結晶が使
用される。
リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）、タンタル酸リチウム（Ｌｉ
ＴａＯ3 ）等の圧電材単結晶によって構成され、特に温
度特性を重視する場合にはＳＴカット水晶の単結晶が使
用される。
【００４６】梁１１及び支持部材１３の上面及び下面に
はそれぞれ共振器２１Ａ、２１Ｂ及び重り１５Ａ、１５
Ｂが配置されている。共振器２１Ａ、２１Ｂは表面弾性
波を生成してそれを検出するように構成されており、重
り１５Ａ、１５Ｂは梁１１の変形量を増加させそれによ
って感度を増加させるために設けられている。尚、重り
１５Ａ、１５Ｂを設けるかわりに、梁１１の根元部分の
厚さを薄くし、それによって梁１１の変形量を増加させ
てもよい。
はそれぞれ共振器２１Ａ、２１Ｂ及び重り１５Ａ、１５
Ｂが配置されている。共振器２１Ａ、２１Ｂは表面弾性
波を生成してそれを検出するように構成されており、重
り１５Ａ、１５Ｂは梁１１の変形量を増加させそれによ
って感度を増加させるために設けられている。尚、重り
１５Ａ、１５Ｂを設けるかわりに、梁１１の根元部分の
厚さを薄くし、それによって梁１１の変形量を増加させ
てもよい。
【００４７】図１Ａに示すように、上面の共振器２１Ａ
は入力電極２１−１と出力電極２１−２と２つの反射器
２１−３、２１−４と引き出し電極２１−５とを含む。
２つの電極２１−１、２１−２と２つの反射器２１−
３、２１−４は梁１１の固定端側１３Ａに配置される。
は入力電極２１−１と出力電極２１−２と２つの反射器
２１−３、２１−４と引き出し電極２１−５とを含む。
２つの電極２１−１、２１−２と２つの反射器２１−
３、２１−４は梁１１の固定端側１３Ａに配置される。
【００４８】共振器２１Ａ、２１Ｂは適当な方法によっ
て形成されてよいが、好ましくはフォトリソグラフィ法
によって形成される。重り１５は、例えば金属板を接着
剤によって接合することによって、又はメタルアディテ
ィブ法によって形成してよい。
て形成されてよいが、好ましくはフォトリソグラフィ法
によって形成される。重り１５は、例えば金属板を接着
剤によって接合することによって、又はメタルアディテ
ィブ法によって形成してよい。
【００４９】梁１１及び支持部材１３の下面にも同様な
共振器２１Ｂ及び重り１５Ｂが配置されている。しかし
ながら、バイアス周波数ΔｆB を設ける場合には、上面
の共振器２１Ａと下面の共振器共振器２１Ｂは形状又は
寸法が異なるように形成される。
共振器２１Ｂ及び重り１５Ｂが配置されている。しかし
ながら、バイアス周波数ΔｆB を設ける場合には、上面
の共振器２１Ａと下面の共振器共振器２１Ｂは形状又は
寸法が異なるように形成される。
【００５０】図２は本発明による加速度計が組み立てら
れた状態を示す。本例によると、梁１１及び支持部材１
３の上側及び下側にそれぞれ上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂ
が配置されている。斯かる上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂと
支持部材１３の間にはそれぞれスペーサ１９Ａ、１９Ｂ
が配置されている。スペーサ１９Ａ、１９Ｂは適当な板
材又は接着剤層によって形成されてよく、又はＳｉＯ2
等をスパッタリングして形成してよい。
れた状態を示す。本例によると、梁１１及び支持部材１
３の上側及び下側にそれぞれ上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂ
が配置されている。斯かる上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂと
支持部材１３の間にはそれぞれスペーサ１９Ａ、１９Ｂ
が配置されている。スペーサ１９Ａ、１９Ｂは適当な板
材又は接着剤層によって形成されてよく、又はＳｉＯ2
等をスパッタリングして形成してよい。
【００５１】スペーサ１９Ａ、１９Ｂによって、上蓋４
１Ａ及び下蓋４１Ｂと支持部材１３及び梁１１が互いに
隔置され接触しないように構成されている。即ち、梁１
１が変形しても、梁１１及び梁１１に装着された共振器
１２Ａ、１２Ｂ及び重り１５Ａ、１５Ｂが上蓋４１Ａ又
は下蓋４１Ｂに接触しないように、スペーサ１９Ａ、１
９Ｂの厚さは適当に設定される。尚、図２Ｂに示すよう
に、上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂの内面に、重り１５Ａ、
１５Ｂの位置に対応して凹部４３Ａ、４３Ｂが設けられ
てよく、それによって重り１５Ａ、１５Ｂの厚さが大き
い場合であっても、重り１５Ａ、１５Ｂが上蓋４１Ａ又
は下蓋４１Ｂに接触しない。
１Ａ及び下蓋４１Ｂと支持部材１３及び梁１１が互いに
隔置され接触しないように構成されている。即ち、梁１
１が変形しても、梁１１及び梁１１に装着された共振器
１２Ａ、１２Ｂ及び重り１５Ａ、１５Ｂが上蓋４１Ａ又
は下蓋４１Ｂに接触しないように、スペーサ１９Ａ、１
９Ｂの厚さは適当に設定される。尚、図２Ｂに示すよう
に、上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂの内面に、重り１５Ａ、
１５Ｂの位置に対応して凹部４３Ａ、４３Ｂが設けられ
てよく、それによって重り１５Ａ、１５Ｂの厚さが大き
い場合であっても、重り１５Ａ、１５Ｂが上蓋４１Ａ又
は下蓋４１Ｂに接触しない。
【００５２】図２Ａに示すように、スペーサ１９Ａ、１
９Ｂは支持部材１３の周囲に沿って連続的に延在してい
る。こうして、図２Ｂに示すように、上蓋４１Ａ及び下
蓋４１Ｂの内面とスペーサ１９Ａ、１９Ｂと支持部材１
３とによって密閉した空間４５が形成される。
９Ｂは支持部材１３の周囲に沿って連続的に延在してい
る。こうして、図２Ｂに示すように、上蓋４１Ａ及び下
蓋４１Ｂの内面とスペーサ１９Ａ、１９Ｂと支持部材１
３とによって密閉した空間４５が形成される。
【００５３】また、上記の例では、支持部材１３と上蓋
４１Ａ及び下蓋４１Ｂの間に、それぞれスペーサ１９
Ａ、１９Ｂを設けたが、スペーサ１９Ａ、１９Ｂを使用
しないで、梁１１と上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂの間に間
隙を設けてもよい。例えば、上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂ
の内面をエッチング等によってくり抜き、内面の内側部
分の肉厚を薄くして、梁１１との間に間隙４５を形成し
てもよい。あるいは、梁１１の両面をエッチング等によ
って削り、梁１１の肉厚が薄くなるようにして、梁１１
と上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂの間に間隙４５を形成して
もよい。
４１Ａ及び下蓋４１Ｂの間に、それぞれスペーサ１９
Ａ、１９Ｂを設けたが、スペーサ１９Ａ、１９Ｂを使用
しないで、梁１１と上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂの間に間
隙を設けてもよい。例えば、上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂ
の内面をエッチング等によってくり抜き、内面の内側部
分の肉厚を薄くして、梁１１との間に間隙４５を形成し
てもよい。あるいは、梁１１の両面をエッチング等によ
って削り、梁１１の肉厚が薄くなるようにして、梁１１
と上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂの間に間隙４５を形成して
もよい。
【００５４】好ましくは、斯かる空間４５に乾燥した不
活性ガス、例えば乾燥窒素が封入される。空間４５に封
入された乾燥気体は、梁１１の振動又は変形に対する減
衰装置又はスクィーズダンパとして機能する。
活性ガス、例えば乾燥窒素が封入される。空間４５に封
入された乾燥気体は、梁１１の振動又は変形に対する減
衰装置又はスクィーズダンパとして機能する。
【００５５】図３を参照して本発明による加速度計の他
の例を説明する。図３は、図１と同様に、加速度計の主
要部、即ち梁１１及び支持部材１３のみを示す。図３Ａ
に示す例では、梁１１は根元部にて括れている。即ち、
梁１１は支持部材１３の固定部１３Ａとの接続部にて幅
が狭くなっている。図３Ｂに示す例では、梁１１の自由
端の部分の幅が大きくなっている。
の例を説明する。図３は、図１と同様に、加速度計の主
要部、即ち梁１１及び支持部材１３のみを示す。図３Ａ
に示す例では、梁１１は根元部にて括れている。即ち、
梁１１は支持部材１３の固定部１３Ａとの接続部にて幅
が狭くなっている。図３Ｂに示す例では、梁１１の自由
端の部分の幅が大きくなっている。
【００５６】こうして、梁１１の根元部の幅を狭くし又
は梁１１の自由端の部分の幅を大きくすることによっ
て、梁１１の剛性は小さくなり、加速度に対する梁１１
の変形量が大きくなる。加速度に対する梁１１の変形量
が十分大きい場合には、梁１１の先端に重り１５を装着
する必要がなくなる。
は梁１１の自由端の部分の幅を大きくすることによっ
て、梁１１の剛性は小さくなり、加速度に対する梁１１
の変形量が大きくなる。加速度に対する梁１１の変形量
が十分大きい場合には、梁１１の先端に重り１５を装着
する必要がなくなる。
【００５７】尚、加速度に対する梁１１の変形量を増大
させるために、図３の破線で示すように、梁１１の根元
部１１Ｃの肉厚を薄くしてもよい。
させるために、図３の破線で示すように、梁１１の根元
部１１Ｃの肉厚を薄くしてもよい。
【００５８】図３は梁１１の形状の一例を示したが、梁
１１の形状として様々のものが考えられる。例えば、多
角形、円形、楕円等も可能である。図３は梁１１及び支
持部材１３のみを示したが、本例では図２に示した如き
上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂが使用される。
１１の形状として様々のものが考えられる。例えば、多
角形、円形、楕円等も可能である。図３は梁１１及び支
持部材１３のみを示したが、本例では図２に示した如き
上蓋４１Ａ及び下蓋４１Ｂが使用される。
【００５９】図４を参照して本発明による加速度計、特
に梁１１及び支持部材１３からなる主要部５３の製造方
法の例を説明する。本例によると先ず薄い板材５１が用
意される。斯かる板材５１は１枚より多数の主要部５３
を製造することができるように十分大きい寸法を有す
る。図の破線は切断線を示す。この例では１０×６＝６
０個の主要部５３を同時に製造することができる。
に梁１１及び支持部材１３からなる主要部５３の製造方
法の例を説明する。本例によると先ず薄い板材５１が用
意される。斯かる板材５１は１枚より多数の主要部５３
を製造することができるように十分大きい寸法を有す
る。図の破線は切断線を示す。この例では１０×６＝６
０個の主要部５３を同時に製造することができる。
【００６０】次に各主要部５３に相当する部分に共振器
２１Ａ（図示なし）を形成する。次に板材１１を裏返し
て同様に各主要部５３に相当する部分に共振器２１Ｂ
（図示なし）を形成する。上述のように、バイアス周波
数ΔｆB を設ける場合には、２つの共振器２１Ａ、２１
Ｂが同一形状又は同一寸法とならないように形成する。
斯かる共振器２１Ａ、２１Ｂは、好ましくはフォトリソ
グラフィ法によって形成される。
２１Ａ（図示なし）を形成する。次に板材１１を裏返し
て同様に各主要部５３に相当する部分に共振器２１Ｂ
（図示なし）を形成する。上述のように、バイアス周波
数ΔｆB を設ける場合には、２つの共振器２１Ａ、２１
Ｂが同一形状又は同一寸法とならないように形成する。
斯かる共振器２１Ａ、２１Ｂは、好ましくはフォトリソ
グラフィ法によって形成される。
【００６１】次に必要な場合には重り１３Ａ、１３Ｂを
装着する。次に、梁１１を形成するために各主要部５３
に相当する部分にくり抜き部１７を形成する。最後に、
切断線に沿って切断する。抜き部１７を形成し切断線に
沿って切断する作業には、例えばエッチングが使用され
る。
装着する。次に、梁１１を形成するために各主要部５３
に相当する部分にくり抜き部１７を形成する。最後に、
切断線に沿って切断する。抜き部１７を形成し切断線に
沿って切断する作業には、例えばエッチングが使用され
る。
【００６２】こうして、多数の主要部５３を同時に且つ
均一な精度にて容易に製造することができる。
均一な精度にて容易に製造することができる。
【００６３】以上本発明の実施例について詳細に説明し
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
【００６４】例えば、表面弾性波型加速度計の例を説明
した。しかしながら、共振器２１Ａ、２１Ｂの代わりに
適当な歪み検出器又は応力検出器を装着することによっ
て共振型加速度計を構成することができる。本発明は表
面弾性波型加速度計に限定されることなく一般に梁の変
形を利用した共振型加速度計に適用される。
した。しかしながら、共振器２１Ａ、２１Ｂの代わりに
適当な歪み検出器又は応力検出器を装着することによっ
て共振型加速度計を構成することができる。本発明は表
面弾性波型加速度計に限定されることなく一般に梁の変
形を利用した共振型加速度計に適用される。
【００６５】
【発明の効果】本発明によると、簡単な製造工程によっ
て均一な精度及び感度の加速度計を製造することができ
る利点がある。
て均一な精度及び感度の加速度計を製造することができ
る利点がある。
【００６６】本発明によると、温度、衝撃、長時間の使
用等によって出力信号に誤差が生ずることがない加速度
計を提供することができる利点がある。
用等によって出力信号に誤差が生ずることがない加速度
計を提供することができる利点がある。
【００６７】本発明によると、ボンディング線等の電路
の変形又はそれに発生した応力によってバイアス誤差が
生ずることがない加速度計を提供することができる利点
がある。
の変形又はそれに発生した応力によってバイアス誤差が
生ずることがない加速度計を提供することができる利点
がある。
【図１】本発明による加速度計の主要部の例を示す説明
図である。
図である。
【図２】本発明による加速度計の構成例を示す説明図で
ある。
ある。
【図３】本発明による加速度計の主要部の他の例を示す
図である。
図である。
【図４】本発明による加速度計の製造方法の例を説明す
るための説明図である。
るための説明図である。
【図５】従来の加速度計の構成例を示す図である。
１１ 弾性体、梁 １１−１、１１−２ 梁 １１Ａ 上面 １１Ｂ 下面 １１Ｃ 溝部 １３ 支持部材 １３Ａ 固定部 １５Ａ、１５Ｂ 重り １７ くり抜き部 １９Ａ、１９Ｂ スペーサ ２０Ａ、２０Ｂ ＳＡＷ共振系 ２１Ａ、２１Ｂ 共振器 ２１−１Ａ、２１−１Ｂ 入力電極 ２１−２Ａ、２１−２Ｂ 出力電極 ２３ 電源端子 ２５Ａ、２５Ｂ 増幅器 ２７Ａ、２７Ｂ バッファアンプ ３１ ミキサ ３３ フィルタ ４１Ａ 上蓋 ４１Ｂ 下蓋 ４５ 間隙
Claims (16)
- 【請求項１】 外力によって弾性変形可能な梁と、該梁
を片持ち支持する支持部材と、上記梁の変形を共振周波
数の変化として検出するための検出部とを有し、上記梁
の変形を検出することによって加速度を求めるように構
成された加速度計において、 上記梁と上記支持部材は一体物として１枚の板材より形
成されたことを特徴とする加速度計。 - 【請求項２】 請求項１記載の加速度計において、 上記支持部材は上記梁を囲むように形成され、上記梁は
上記支持部材の中にて片持ち支持されていることを特徴
とする加速度計。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の加速度計におい
て、 上記梁及び支持部材を上側及び下側から挟むように上蓋
と下蓋が配置され、上記支持部材と上記上蓋と下蓋の間
にはそれぞれスペーサが配置され、それによって上記梁
と上記上蓋及び下蓋の間には互いに接触しないように間
隙が形成されていることを特徴とする加速度計。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の加速度計にお
いて、 上記梁及び支持部材を上側及び下側から挟むように上蓋
と下蓋が配置され、上記梁の肉厚を薄くし又は上記上蓋
及び下蓋に溝部を設け、それによって上記梁と上記上蓋
及び下蓋の間には互いに接触しないように間隙が形成さ
れていることを特徴とする加速度計。 - 【請求項５】 請求項１、２、３又は４記載の加速度計
において、 上記スペーサ又は上記上蓋及び下蓋は上記支持部材の周
囲に沿って連続的に延在しそれによって上記間隙は密閉
され、上記間隙には乾燥した不活性気体が封入されてい
ることを特徴とする加速度計。 - 【請求項６】 請求項１、２、３、４又は５記載の加速
度計において、 上記検出器はリソグラフィ法によって上記板材の表面に
所定のパターンを形成することによって製造されている
ことを特徴とする加速度計。 - 【請求項７】 請求項１、２、３、４、５又は６記載の
加速度計において、 上記梁の自由端の近くに重りが設けられていることを特
徴とする加速度計。 - 【請求項８】 請求項７記載の加速度計において、 上記重りは上記梁の自由端を含む部分の幅を大きくする
ことによって形成されていることを特徴とする加速度
計。 - 【請求項９】 請求項１、２、３、４、５又は６記載の
加速度計において、 上記梁の根元部の肉厚が小さくなっていることを特徴と
する加速度計。 - 【請求項１０】 請求項１、２、３、４、５、６、７、
８又は９記載の加速度計において、 上記検出器は上記梁に表面弾性波を生成しその発振周波
数を検出する表面弾性波共振器であることを特徴とする
加速度計。 - 【請求項１１】 １枚の板材の上面及び下面に梁の変形
を共振周波数の変化として検出するための検出器を形成
することと、 上記板材よりくり抜き部を形成することによって支持部
材と該支持部材によって片持ち支持された梁とを一体的
に形成することと、を含む加速度計の製造方法。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の加速度計の製造方法
において、 上記支持部材は上記梁を囲み、上記梁は上記支持部材の
中にて片持ち支持されるように構成されていることを特
徴とする加速度計の製造方法。 - 【請求項１３】 請求項１１又は１２記載の加速度計に
おいて、 上記支持部材の上面及び下面にそれぞれ上記支持部材の
周囲に沿って延在するスペーサを配置することと、 上記スペーサの上にそれぞれ上蓋及び下蓋を装着し、該
上蓋及び下蓋が上記梁及び支持部材に接触しないように
配置することと、 を含むことを特徴とする加速度計の製造方法。 - 【請求項１４】 請求項１１、１２又は１３記載の加速
度計の製造方法において、 上記上蓋及び下蓋と上記支持部材及び梁の間に形成され
間隙を上記スペーサによって密閉することと、 上記間隙に乾燥した不活性気体を封入することと、 を含むことを特徴とする加速度計の製造方法。 - 【請求項１５】 請求項１１、１２、１３又は１４記載
の加速度計の製造方法において、 上記検出器はリソグラフィ法によって上記板材の表面に
所定のパターンを形成することによって製造することを
特徴とする加速度計の製造方法。 - 【請求項１６】 請求項１１又は１２記載の加速度計の
製造方法において、 比較的大きい１枚の板材の上面及び下面に多数の上記検
出器を形成することと、 上記板材より多数の上記くり抜き部を形成することによ
って多数の上記支持部材及び梁とを形成することと、 を含む加速度計の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29729594A JPH08160068A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 加速度計及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29729594A JPH08160068A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 加速度計及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160068A true JPH08160068A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=17844666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29729594A Pending JPH08160068A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 加速度計及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08160068A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258766A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波センサ |
| JP2009053138A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | Ｓａｗセンサおよびｓａｗセンサ素子 |
| CN102193001A (zh) * | 2011-05-18 | 2011-09-21 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | Saw-mems加速度传感器及制作方法 |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP29729594A patent/JPH08160068A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258766A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波センサ |
| JP2009053138A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | Ｓａｗセンサおよびｓａｗセンサ素子 |
| CN102193001A (zh) * | 2011-05-18 | 2011-09-21 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | Saw-mems加速度传感器及制作方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4306456A (en) | Elastic wave accelerometer | |
| US5635642A (en) | Vibration-sensing device method of adjusting the same and angular velocity sensor taking advantage of the same | |
| EP0649002B1 (en) | Vibration-sensing gyro | |
| JP5375624B2 (ja) | 加速度センサー、及び加速度検出装置 | |
| US8939027B2 (en) | Acceleration sensor | |
| US6311556B1 (en) | Micro-accelerometer with capacitive resonator | |
| US4658175A (en) | Vibrating beam force transducer with A-frame beam root and frequency adjusting means | |
| JPWO2005012922A1 (ja) | 加速度センサ | |
| EP3835795B1 (en) | Vibrating beam accelerometer with pressure damping | |
| JPH0599676A (ja) | ジヤイロスコープ | |
| EP1909079A1 (en) | Oscillatory wave detecting apparatus | |
| JP2011226941A (ja) | 振動型力検出センサー、及び振動型力検出装置 | |
| JP2004132913A (ja) | 感圧素子、及びこれを用いた圧力センサ | |
| US6803698B2 (en) | Acceleration sensor | |
| US5315874A (en) | Monolithic quartz resonator accelerometer | |
| JP3446732B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP2000201391A (ja) | 音響振動センサ | |
| JPH08160068A (ja) | 加速度計及びその製造方法 | |
| CN113740560B (zh) | 一种弱耦合谐振式加速度传感器 | |
| JP2011169671A (ja) | 慣性センサー及び慣性センサー装置 | |
| JPH10267663A (ja) | 角速度センサ | |
| JP2000121660A (ja) | 加速度計 | |
| JP2000121659A (ja) | 加速度計 | |
| JP2011153836A (ja) | 加速度センサー、及び加速度計 | |
| JPH0980069A (ja) | 加速度センサ |