JPH08159973A - 火花放電発光分析装置 - Google Patents
火花放電発光分析装置Info
- Publication number
- JPH08159973A JPH08159973A JP32953494A JP32953494A JPH08159973A JP H08159973 A JPH08159973 A JP H08159973A JP 32953494 A JP32953494 A JP 32953494A JP 32953494 A JP32953494 A JP 32953494A JP H08159973 A JPH08159973 A JP H08159973A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- sample
- circuit
- peak
- analysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 火花放電発光分析で前処理放電なしで直接発
光分析にかゝれるようにする。 【構成】 電極２と試料１との火花間隙に複数段の放電
回路を接続し、一回の放電において、複数の放電ピーク
が形成されるようにし、初ピークを除いたタイミングで
発光分析を行うようにした。 【効果】 一回の放電の間は火花は試料上の同一点に飛
んでいるので、放電の初回ピークで試料面の前処理がな
され、引続く放電で分析を行うので、別途前処理放電を
行わなくてもよい。
光分析にかゝれるようにする。 【構成】 電極２と試料１との火花間隙に複数段の放電
回路を接続し、一回の放電において、複数の放電ピーク
が形成されるようにし、初ピークを除いたタイミングで
発光分析を行うようにした。 【効果】 一回の放電の間は火花は試料上の同一点に飛
んでいるので、放電の初回ピークで試料面の前処理がな
され、引続く放電で分析を行うので、別途前処理放電を
行わなくてもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は試料と対向電極との間に
火花放電を飛ばして、その発光光を分光することにより
試料の分析を行う装置に関する。
火花放電を飛ばして、その発光光を分光することにより
試料の分析を行う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】火花放電発光分析装置による分析では一
回の放電毎に試料の異なる点に火花が飛ぶため、一放電
毎に試料面の分析点は異なっている。一般にこの分析装
置による分析では毎秒４００回程度の放電を行い数秒間
をかけて一回の分析を行う。このようにして比較的小さ
な一定領域の元素組成の平均分析を行う。所で試料面は
付着物があったり、ピンホールとか傷があるので、分析
を行う前に試料面を浄化しておく必要がある。このため
従来は分析にかかる前に１０秒以上をかけて試料と対向
電極間で高エネルギー放電を行い、試料面の異物とか尖
った部分等を蒸発させ試料面を浄化していた。ここで何
故１０秒も前処理放電を行うかと云うと、前述したよう
に火花放電は一回毎に試料面の異なる点に飛ぶので、数
秒間の分析期間中に火花が飛ぶ可能性のある領域に隙間
なく火花を飛ばすためである。このようなわけで従来の
火花放電発光分析装置では分析前の予備放電に多くの時
間を費やしていたのである。
回の放電毎に試料の異なる点に火花が飛ぶため、一放電
毎に試料面の分析点は異なっている。一般にこの分析装
置による分析では毎秒４００回程度の放電を行い数秒間
をかけて一回の分析を行う。このようにして比較的小さ
な一定領域の元素組成の平均分析を行う。所で試料面は
付着物があったり、ピンホールとか傷があるので、分析
を行う前に試料面を浄化しておく必要がある。このため
従来は分析にかかる前に１０秒以上をかけて試料と対向
電極間で高エネルギー放電を行い、試料面の異物とか尖
った部分等を蒸発させ試料面を浄化していた。ここで何
故１０秒も前処理放電を行うかと云うと、前述したよう
に火花放電は一回毎に試料面の異なる点に飛ぶので、数
秒間の分析期間中に火花が飛ぶ可能性のある領域に隙間
なく火花を飛ばすためである。このようなわけで従来の
火花放電発光分析装置では分析前の予備放電に多くの時
間を費やしていたのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は火花放電発光
分析において上述した予備放電を不要にして分析能率の
向上を計るものである。
分析において上述した予備放電を不要にして分析能率の
向上を計るものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】試料と対向電極とに複数
の放電回路を接続し、それらの放電回路の一つを放電さ
せると、他の放電回路が引続いて順次放電して一回の放
電を終わるようにし、分光測光を行うタイミングを制御
する手段を設けて、一回の放電毎に初回の放電電流のピ
ーク期間を外して分光測光を行うようにした。
の放電回路を接続し、それらの放電回路の一つを放電さ
せると、他の放電回路が引続いて順次放電して一回の放
電を終わるようにし、分光測光を行うタイミングを制御
する手段を設けて、一回の放電毎に初回の放電電流のピ
ーク期間を外して分光測光を行うようにした。
【０００５】
【作用】火花放電で一放電毎に試料の異なる点に火花が
飛ぶのは一回の放電で放電径路に沿って形成されていた
イオンが消滅するから、一回毎に新しく対向電極と試料
との間の空気をイオン化して放電径路を作り直さねばな
らないためである。従って放電が終わっても放電径路上
のイオンが消滅しないうちに次の放電を行うと消えかけ
た放電径路が再開されて試料面の同じ場所に火花が飛
ぶ。本発明では複数段の放電回路で最初の放電で後段の
放電回路の蓄積エネルギーが順次開放され、一回の放電
における放電電流は、図２に示すように複数のピークを
持った形となる。このような放電で各ピークはつながっ
ているので、一回の放電の間、火花（プラズマ）は終始
対向電極と試料面の一点との間をつないでいる。従って
初回ピーク時に試料面の火花が飛んだ点の浄化が行われ
ることになり、引続く放電はその場所に飛んでいるので
一放電毎に分析点の浄化と分析が行われることになり、
予め何秒かをかけて予備放電を行う必要がなくなるので
ある。
飛ぶのは一回の放電で放電径路に沿って形成されていた
イオンが消滅するから、一回毎に新しく対向電極と試料
との間の空気をイオン化して放電径路を作り直さねばな
らないためである。従って放電が終わっても放電径路上
のイオンが消滅しないうちに次の放電を行うと消えかけ
た放電径路が再開されて試料面の同じ場所に火花が飛
ぶ。本発明では複数段の放電回路で最初の放電で後段の
放電回路の蓄積エネルギーが順次開放され、一回の放電
における放電電流は、図２に示すように複数のピークを
持った形となる。このような放電で各ピークはつながっ
ているので、一回の放電の間、火花（プラズマ）は終始
対向電極と試料面の一点との間をつないでいる。従って
初回ピーク時に試料面の火花が飛んだ点の浄化が行われ
ることになり、引続く放電はその場所に飛んでいるので
一放電毎に分析点の浄化と分析が行われることになり、
予め何秒かをかけて予備放電を行う必要がなくなるので
ある。
【０００６】
【実施例】図１に本発明の一実施例装置の回路構成を示
す。１は試料で２が対向電極でＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４
は放電エネルギーを蓄積するコンデンサであり、３はこ
れらのコンデンサを充電する直流電源である。４はイグ
ナイタ回路でトリガパルスを発生して対向電極２と試料
１との間に火花放電を起こさせる。５は分光器で試料１
と対向電極２との間の火花放電の光が入射さしめられて
これを分光する。６は測光回路で分光器５で分光された
光を受光し測光する。７は測光回路６の動作のタイミン
グを制御する制御回路である。
す。１は試料で２が対向電極でＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４
は放電エネルギーを蓄積するコンデンサであり、３はこ
れらのコンデンサを充電する直流電源である。４はイグ
ナイタ回路でトリガパルスを発生して対向電極２と試料
１との間に火花放電を起こさせる。５は分光器で試料１
と対向電極２との間の火花放電の光が入射さしめられて
これを分光する。６は測光回路で分光器５で分光された
光を受光し測光する。７は測光回路６の動作のタイミン
グを制御する制御回路である。
【０００７】今図１でコンデンサＣ１から左側の回路を
考えないことにして、Ｃ１が所定電圧に充電されている
とする。試料１と対向電極２とはコンデンサＣ１に接続
されていると共にトリガギャップｇを介してイグナイタ
回路４に接続されているので、イグナイタ回路が高圧の
トリガパルスを発生するとギャップｇの絶縁が破れて対
向電極２と試料１間にトリガパルスの高圧がかかって
１，２間の絶縁が破られ、そのことによってコンデンサ
Ｃ１の充電電荷が対向電極と試料との間を通して放電さ
れ、ここに火花放電が起こる。この放電が終わるとコン
デンサＣ１は再び充電され、次のトリガパルスが印加さ
れるのを待ち、かくして１秒間に４００回程度の火花放
電が繰返されるのである。
考えないことにして、Ｃ１が所定電圧に充電されている
とする。試料１と対向電極２とはコンデンサＣ１に接続
されていると共にトリガギャップｇを介してイグナイタ
回路４に接続されているので、イグナイタ回路が高圧の
トリガパルスを発生するとギャップｇの絶縁が破れて対
向電極２と試料１間にトリガパルスの高圧がかかって
１，２間の絶縁が破られ、そのことによってコンデンサ
Ｃ１の充電電荷が対向電極と試料との間を通して放電さ
れ、ここに火花放電が起こる。この放電が終わるとコン
デンサＣ１は再び充電され、次のトリガパルスが印加さ
れるのを待ち、かくして１秒間に４００回程度の火花放
電が繰返されるのである。
【０００８】コンデンサＣ１と直流電源３とで第１段の
放電回路が構成されており、同様にしてコンデンサＣ２
と充電回路３とで第２段の放電回路を構成し、このよう
にしてこの実施例では放電回路が４段になっている。各
段の放電回路の間はインダクタンスＬ２，Ｌ３，Ｌ４が
挿入してある。この構成で各コンデンサＣ１〜Ｃ４は同
じ充電電圧に充電されているが、上述したようにして試
料１と対向電極２との間に火花が発生してコンデンサＣ
１が放電するとコンデンサＣ１の上端電圧は急に下がる
が、インダクタンスＬ２があるためコンデンサＣ２以下
各段のコンデンサは殆ど放電しない。Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４
の各コンデンサの放電は夫々のコンデンサと対向電極と
の間に入るインダクタンスの大きさに応じて放電の立上
がりが遅れるため順に放電して、放電電流は図２に示す
ように４個のピークを現わし、一回の火花放電を完了す
る。
放電回路が構成されており、同様にしてコンデンサＣ２
と充電回路３とで第２段の放電回路を構成し、このよう
にしてこの実施例では放電回路が４段になっている。各
段の放電回路の間はインダクタンスＬ２，Ｌ３，Ｌ４が
挿入してある。この構成で各コンデンサＣ１〜Ｃ４は同
じ充電電圧に充電されているが、上述したようにして試
料１と対向電極２との間に火花が発生してコンデンサＣ
１が放電するとコンデンサＣ１の上端電圧は急に下がる
が、インダクタンスＬ２があるためコンデンサＣ２以下
各段のコンデンサは殆ど放電しない。Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４
の各コンデンサの放電は夫々のコンデンサと対向電極と
の間に入るインダクタンスの大きさに応じて放電の立上
がりが遅れるため順に放電して、放電電流は図２に示す
ように４個のピークを現わし、一回の火花放電を完了す
る。
【０００９】図２で放電電流のピークの高さは各コンデ
ンサとインダクタンスＬ２，Ｌ３，Ｌ４の大きさで決ま
り、この実施例では各段のコンデンサの容量を３μＦ、
インダクタンスＬ２，Ｌ３，Ｌ４を順に４μＨ，２０μ
Ｈ，１４０μＨで、初回ピークＩ１のピーク電流２５０
Ａ、Ｉ２のピーク電流１００Ａ、Ｉ３のピーク電流８０
Ａ、Ｉ４のピーク電流５０Ａである。そして初回ピーク
Ｉ１で試料面の浄化を行い、第２ピークＩ２で試料を蒸
発させ、第３，第４のピークで分析を行う。第３ピーク
で分析を行うか第４ピークで分析を行うかは試料成分の
種類により放電の初期によく蒸発する成分は第３のピー
クで分析を行い、放電の後期で良く蒸発する成分は第４
のピークで分析を行う。
ンサとインダクタンスＬ２，Ｌ３，Ｌ４の大きさで決ま
り、この実施例では各段のコンデンサの容量を３μＦ、
インダクタンスＬ２，Ｌ３，Ｌ４を順に４μＨ，２０μ
Ｈ，１４０μＨで、初回ピークＩ１のピーク電流２５０
Ａ、Ｉ２のピーク電流１００Ａ、Ｉ３のピーク電流８０
Ａ、Ｉ４のピーク電流５０Ａである。そして初回ピーク
Ｉ１で試料面の浄化を行い、第２ピークＩ２で試料を蒸
発させ、第３，第４のピークで分析を行う。第３ピーク
で分析を行うか第４ピークで分析を行うかは試料成分の
種類により放電の初期によく蒸発する成分は第３のピー
クで分析を行い、放電の後期で良く蒸発する成分は第４
のピークで分析を行う。
【００１０】制御回路７は上述した分析のタイミングを
制御するものである。測光回路６は分光器５のスペクト
ル像面の検出定量しようとする元素の輝線位置に配置さ
れた１〜複数の受光素子６１，６２等と夫々のアンプと
積分回路Ｓ１，Ｓ２等とそれらの積分用コンデンサを短
絡する短絡回路Ｇ１，Ｇ２等よりなっており、Ｇ１，Ｇ
２の開閉のタイミングを制御回路７が制御するのであ
る。
制御するものである。測光回路６は分光器５のスペクト
ル像面の検出定量しようとする元素の輝線位置に配置さ
れた１〜複数の受光素子６１，６２等と夫々のアンプと
積分回路Ｓ１，Ｓ２等とそれらの積分用コンデンサを短
絡する短絡回路Ｇ１，Ｇ２等よりなっており、Ｇ１，Ｇ
２の開閉のタイミングを制御回路７が制御するのであ
る。
【００１１】制御回路７はトリガギャップｇに対向させ
た光検出素子７１とその出力パルスを受け取って計時動
作を開始し、予め設定された時間に予め設定された時間
幅のパルスを出力する計時回路７２とよりなっている。
計時回路７２は分析装置全体を制御しているコンピュー
タの一作業として行わせることができる。試料１と対向
電極２間の一回の火花放電はトリガギャップｇに火花放
電が飛ぶことによってスタートするので、光検出器７１
はその光を検出して一つのパルスを出力する。従ってこ
のパルスを受取って計時を開始することによって一回の
放電毎に分析のタイミングを図２のピークＩ３とかＩ４
に合わせることができるのである。積分回路Ｓ１等は短
絡回路Ｇ１等が遮断状態である間積分動作を行い、積分
出力はサンプルホールド回路Ｈ１，Ｈ２等に保持され、
その出力がデータ処理回路８に読込まれる。一回の放電
が終わると各サンプルホールド回路Ｈ１の出力のデータ
処理回路８への読込み完了を待って制御回路７からサン
プルホールド回路Ｈ１等にリセット信号が出力され、こ
れで一回の火花放電による分析動作を終わり、次回の放
電を待つ。かくして１秒間に数百回の割合で数秒間分析
動作が続けられる。
た光検出素子７１とその出力パルスを受け取って計時動
作を開始し、予め設定された時間に予め設定された時間
幅のパルスを出力する計時回路７２とよりなっている。
計時回路７２は分析装置全体を制御しているコンピュー
タの一作業として行わせることができる。試料１と対向
電極２間の一回の火花放電はトリガギャップｇに火花放
電が飛ぶことによってスタートするので、光検出器７１
はその光を検出して一つのパルスを出力する。従ってこ
のパルスを受取って計時を開始することによって一回の
放電毎に分析のタイミングを図２のピークＩ３とかＩ４
に合わせることができるのである。積分回路Ｓ１等は短
絡回路Ｇ１等が遮断状態である間積分動作を行い、積分
出力はサンプルホールド回路Ｈ１，Ｈ２等に保持され、
その出力がデータ処理回路８に読込まれる。一回の放電
が終わると各サンプルホールド回路Ｈ１の出力のデータ
処理回路８への読込み完了を待って制御回路７からサン
プルホールド回路Ｈ１等にリセット信号が出力され、こ
れで一回の火花放電による分析動作を終わり、次回の放
電を待つ。かくして１秒間に数百回の割合で数秒間分析
動作が続けられる。
【００１２】図３は上述した制御動作のタイムチャート
の一例で２元素定量の場合を示し、Ｐは光検出器７１の
トリガ放電の発光検出出力のパルスであり、Ａは図２の
ピークＩ３にタイミングを合わせた元素Ａの分析期間を
与えるパルスであり、このパルスが短絡回路Ｇ１に印加
されて、その間だけ短絡回路が遮断される。Ｂは分析期
間を図２のピークＩ４に合わせた元素Ｂの分析用パルス
で、このパルスが短絡回路Ｇ２に印加されて、その間だ
けＧ２が遮断される。Ｑは各サンプルホールド回路Ｈ
１，Ｈ２に共通に印加されるリセットパルスで、火花放
電の周期は図３にＴで示される。
の一例で２元素定量の場合を示し、Ｐは光検出器７１の
トリガ放電の発光検出出力のパルスであり、Ａは図２の
ピークＩ３にタイミングを合わせた元素Ａの分析期間を
与えるパルスであり、このパルスが短絡回路Ｇ１に印加
されて、その間だけ短絡回路が遮断される。Ｂは分析期
間を図２のピークＩ４に合わせた元素Ｂの分析用パルス
で、このパルスが短絡回路Ｇ２に印加されて、その間だ
けＧ２が遮断される。Ｑは各サンプルホールド回路Ｈ
１，Ｈ２に共通に印加されるリセットパルスで、火花放
電の周期は図３にＴで示される。
【００１３】上述実施例では複数の放電回路は間にイン
ダクタンスを入れて梯子状に接続してあるが、これは図
４に示すように試料１と対向電極２とを中心に扇状に複
数の放電回路を接続した形としてもよい。このとき放電
回路同士の間は各放電回路と対向電極１との間に挿入さ
れたインダクタンスＬ２等が挿入されたことになってい
る。この接続の場合インダクタンスＬ２，Ｌ３等はＬ２
〈Ｌ３〈Ｌ４の関係にしておく。また上例では放電電流
の２回目のピーク期間も分析のタイミングから外してい
るが、試料と元素との関係で、２回目のピーク期間に測
定を行ってもよい場合には、もちろん２回目のピーク期
間も分析に用い得るものである。
ダクタンスを入れて梯子状に接続してあるが、これは図
４に示すように試料１と対向電極２とを中心に扇状に複
数の放電回路を接続した形としてもよい。このとき放電
回路同士の間は各放電回路と対向電極１との間に挿入さ
れたインダクタンスＬ２等が挿入されたことになってい
る。この接続の場合インダクタンスＬ２，Ｌ３等はＬ２
〈Ｌ３〈Ｌ４の関係にしておく。また上例では放電電流
の２回目のピーク期間も分析のタイミングから外してい
るが、試料と元素との関係で、２回目のピーク期間に測
定を行ってもよい場合には、もちろん２回目のピーク期
間も分析に用い得るものである。
【００１４】
【発明の効果】本発明は上述したような構成で一回の火
花放電の中で最初に試料面の浄化を行ってから分析を行
うことができるので、一放電毎に確実に浄化された点の
分析を行うことが可能となり、それによって全分析所要
時間よりも長時間にわたる予備放電が不要となり、しか
も浄化もれの点なしに全放電とも必ず浄化された点の分
析を行っているので分析精度も向上することになり、分
析の能率化，精度の向上と云う一石二鳥の効果を挙げる
ことができた。
花放電の中で最初に試料面の浄化を行ってから分析を行
うことができるので、一放電毎に確実に浄化された点の
分析を行うことが可能となり、それによって全分析所要
時間よりも長時間にわたる予備放電が不要となり、しか
も浄化もれの点なしに全放電とも必ず浄化された点の分
析を行っているので分析精度も向上することになり、分
析の能率化，精度の向上と云う一石二鳥の効果を挙げる
ことができた。
【図１】本発明の一実施例装置の回路構成図。
【図２】上記装置における一回の火花放電の放電電流と
時間との関係を示すグラフ。
時間との関係を示すグラフ。
【図３】上記装置の動作のタイムチャート。
【図４】他の実施例の放電回路の回路図。
１ 試料 ２ 対向電極 ３ 直流電源 ４ イグナイタ回路 ５ 分光器 ６ 測光回路 ７ 制御回路 ８ データ処理回路 Ｓ１，Ｓ２…… 積分回路 Ｇ１，Ｇ２…… 短絡回路 Ｈ１，Ｈ２…… サンプルホールド回路 ６１，６２…… 受光素子 ７１ 光検出素子 ｇ トリガギャップ
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に火花間隙を設けて対向させた対
向電極と試料との間に複数の放電回路を、放電回路同士
の間にはインダクタンスを介在させて接続し、一回の火
花放電毎に放電初回の放電電流のピーク期間を外して火
花放電の発光を分光測定するタイミング制御手段を設け
たことを特徴とする火花放電発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32953494A JP3511707B2 (ja) | 1994-12-03 | 1994-12-03 | 火花放電発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32953494A JP3511707B2 (ja) | 1994-12-03 | 1994-12-03 | 火花放電発光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08159973A true JPH08159973A (ja) | 1996-06-21 |
| JP3511707B2 JP3511707B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=18222446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32953494A Expired - Fee Related JP3511707B2 (ja) | 1994-12-03 | 1994-12-03 | 火花放電発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3511707B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285946A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | 発光分析装置 |
| GB2466198A (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | Thermo Fisher Scient | Spark generator for optical emission spectroscopy |
| JP2011141293A (ja) * | 2003-12-17 | 2011-07-21 | Heraeus Electro-Nite Internatl Nv | 溶融金属の分析のための装置及び浸漬センサ及び方法 |
-
1994
- 1994-12-03 JP JP32953494A patent/JP3511707B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011141293A (ja) * | 2003-12-17 | 2011-07-21 | Heraeus Electro-Nite Internatl Nv | 溶融金属の分析のための装置及び浸漬センサ及び方法 |
| JP2007285946A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | 発光分析装置 |
| JP4635949B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-02-23 | 株式会社島津製作所 | 発光分析装置 |
| GB2466198A (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | Thermo Fisher Scient | Spark generator for optical emission spectroscopy |
| WO2010066644A1 (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-17 | Thermo Fisher Scientific (Ecublens) Sarl | Apparatus and methods for optical emission spectroscopy |
| GB2466198B (en) * | 2008-12-10 | 2011-03-30 | Thermo Fisher Scient | Apparatus and methods for optical emission spectroscopy |
| JP2012511848A (ja) * | 2008-12-10 | 2012-05-24 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック （エキュブラン） エスアーエールエル | 発光分光測定のための装置及び方法 |
| US8873044B2 (en) | 2008-12-10 | 2014-10-28 | Thermo Fisher Scientific (Ecublens) Sarl | Apparatus and methods for optical emission spectroscopy |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3511707B2 (ja) | 2004-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3386048B2 (ja) | イオントラップ型質量分析装置 | |
| EP0265764A1 (en) | Method and apparatus for radiation induced dry chemical etching | |
| JP4267898B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| RU2000117336A (ru) | Способ получения коротковолнового излучения из газоразрядной плазмы и устройство для его реализации | |
| JP2603998B2 (ja) | 発光分光分析装置 | |
| JPH0676967B2 (ja) | 発光分析装置 | |
| US20200303174A1 (en) | Mass spectrometer | |
| JPH08159973A (ja) | 火花放電発光分析装置 | |
| JPS6341091A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JP2011216425A (ja) | Ｍｓ／ｍｓ型質量分析装置 | |
| JP5150824B2 (ja) | 燃料濃度計測装置及び燃料濃度計測方法、並びに、そのための較正曲線の準備方法 | |
| Magnusson et al. | Laser-enhanced ionization detection of trace elements in a graphite furnace | |
| US7408151B2 (en) | Dynamic biasing of ion optics in a mass spectrometer | |
| JP6885512B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
| JPH07325020A (ja) | イオン分析装置の試料導入装置 | |
| CA2571728A1 (en) | Dynamic biasing of ion optics in a mass spectrometer | |
| KR100816081B1 (ko) | 리액션 셀에 이온을 저장/농축하여 감도를 향상시킨유도결합플라즈마 질량분석기 | |
| JP2005183280A (ja) | イオントラップ装置 | |
| JP2002203510A (ja) | 小型飛行時間型二次イオン質量分析装置 | |
| Kusama et al. | Laser-triggered low timing jitter coaxial Marx generator | |
| JPH0340358A (ja) | 荷電粒子の計数方法 | |
| US11990326B2 (en) | Mass spectrometer with charge up determiner using ion intensity signal | |
| JPH05180767A (ja) | 発光分光分析装置 | |
| JP2004333323A (ja) | 発光分光分析装置 | |
| JPS5960856A (ja) | 四重極質量分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031229 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080116 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110116 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140116 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |