JPH08159724A

JPH08159724A - 回転面測定装置

Info

Publication number: JPH08159724A
Application number: JP29749394A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Suhara; 浩之須原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1994-11-30
Filing date: 1994-11-30
Publication date: 1996-06-21

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、干渉を利用した回転面の測定にお
いて、被検面を回転面の創成に使用した回転軸に沿って
走査したときに、干渉縞像を常にラインセンサ上に結像
できる装置を提供することを目的としている。【構成】参照面と回転面からなる被検面から反射され
る参照波と被検波とを重畳してセンサ上に干渉縞の像を
結像させ、被検面を回転面の創成に使用した回転軸に沿
って走査して回転面の測定を行う回転面測定装置におい
て、センサに照射される参照波と被検波の１部を反射さ
せる反射光学手段と、反射光学手段を移動させる移動手
段と、反射光学手段によって反射されて結像される干渉
縞を検出する複数のラインセンサと、複数のラインセン
サを２分割し、２分割したラインセンサより出力される
信号に基づいて前記移動手段を駆動する駆動手段と、を
備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、参照面と、回転面から
なる参照面とに可干渉光を照射して、反射される参照波
と被検波を重畳して干渉させ、干渉縞の像をセンサ上に
結像させて面形状や面精度を測定する技術に関するもの
であり、特に、被検面の走査に合わせて干渉縞像が結像
面内を移動するのを追従する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザビーム等の可干渉光を利用して干
渉縞を作り、トロイダル面の面形状や面精度を波長以下
の高精度で測定できる技術として、本発明の出願人は、
先願の特開平４−２６９６０９号公報で、図１３
（ａ），（ｂ）に示すトロイダル面の測定装置を提案し
ている。

【０００３】同図において、１は光源で、可干渉性の高
いガスレーザ又は半導体レーザ等が使用される。２，５
はビームエクスパンダで、光源１からの狭い光束を適当
な大きさに拡げるためのものである。３は空間フィルタ
で、ゴースト光や反射光等の不要な光をカットする。４
は光アイソレータでビームスプリッタ４ａ、λ／４板４
ｂ及び反射面４ｃを有する。

【０００４】ビームエクスパンダ２，５で拡大された光
束は、対物レンズ６を経て、被検体７の被検面７ａに達
する。被検面７ａは樽型トロイダル面で、この面は、頂
点で直交する曲率半径の相違する主径線のうち、一方の
主径線ＡＢを母線として回転軸１２の回りに回転して形
成した回転面である。

【０００５】対物レンズ６の最終面は、半透鏡としての
参照面６ａとなっており、その曲率中心は、回転軸１２
上に一致する位置に配置される。また、この参照面６ａ
又はトロイダル面７ａは、干渉縞を形成させるために若
干シフト及び／又はチルト可能に配置される。

【０００６】８は併進台で、被検体７を固定しており、
図示しないＤＣサーボモータやステッピングモータ等に
よって回転軸１２に沿って被検面７ａを走査する。光源
１から発された可干渉光は、参照面６ａ及び被検面７ａ
で反射されて参照波と被検波となり、来た光路を戻り重
畳され、光アイソレータ４の反射面４ｃで反射され、結
像レンズ９によって図１４に示すようにスリット状の干
渉縞像１１をセンサ１０上に結像する。

【０００７】図１５は、被検面７ａと参照面６ａ及び回
転軸１２との関係を示す図である。併進台８の移動によ
って、参照面６ａは被検面７ａに対して移動するが、そ
の移動する状態を３か所で例示している。この移動にお
いて、参照面６ａの曲率中心Ｏ″は常に回転軸１２上に
重なり、さらに対物レンズ６から射出された可干渉光は
この回転軸上の点Ｏ″に集束するように設定されてい
る。点Ｏ′は被検面７ａの曲率中心を示す。

【０００８】参照面６ａが被検面の中心線１４から上又
は下にずれると、参照波と被検波が重なり干渉を起こす
光線は、図の矢印を付した光線となり、参照面の中心か
らずれる。また、干渉縞像１１の長さも測定断面の曲率
半径の変化に伴って変化する。すなわち、参照面６ａが
被検面７ａ上を走査すると、図１６に示すように干渉縞
像１１は結像面１３内の仮想線１１′で示す範囲内を移
動する。

【０００９】そこで、併進台８で走査しつつ、被検面７
ａの個々の測定断面について干渉縞像を作り、各干渉縞
像をつなぎ合わせれば、回転面全体の面精度を測定でき
ることになる。その場合、結像面１３にエリアセンサを
配置すれば、都合が良い。なお、上記の装置は、ドーナ
ツ型等の他のトロイダル面および母線が非球面の回転面
や球面等を含む各種の回転面の測定が可能である。

【００１０】ところで、併進台８を回転軸１２に沿って
走査すると、図１５からも分かるように、各測定断面と
参照面との間の距離が変化する。この距離の変化を干渉
縞像で観察すると、干渉縞が図１４において、ｘ軸方向
に流れて見える。そこで、干渉縞像に一定の観測点を定
め、その観測点を通過する縞の本数をカウントすれば、
可干渉光の波長から測定断面と参照面との距離の変化を
測定できる。すなわち、回転面の母線ＡＢの形状、すな
わち、面形状を知ることができる。この場合、センサ１
０はラインセンサの方がカウントし易い。なお、この測
定については、本願の出願人による先願、特願平４−３
４７００１号で説明している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の回転面
を測定する場合、特に、ラインセンサにより面形状を測
定する場合、図１６で説明したように干渉縞像が結像面
内を移動するので、ラインセンサを干渉縞像の位置に追
従させる必要がある。

【００１２】本発明は、この要請に応じたもので、回転
面の測定において、干渉縞像を常にラインセンサ上に結
像できる回転面測定装置を提供することを目的としてい
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために本発明が採用した手段を説明する。同一光源から
の可干渉光を参照面と回転面からなる被検面とに照射
し、これら両面から反射される参照波と被検波とを重畳
してセンサ上に干渉縞の像を結像させ、被検面を回転面
の創成に使用した回転軸に沿って走査して連続的に前記
干渉縞像を形成して回転面の測定を行う回転面測定装置
において、前記センサに照射される参照波と被検波の１
部を反射させる反射光学手段と、前記反射光学手段を移
動させる移動手段と、前記反射光学手段によって反射さ
れた参照波と被検波によって結像される干渉縞を検出す
る複数のラインセンサと、前記複数のラインセンサを２
分割し、２分割したラインセンサより出力される信号に
基づいて前記移動手段を駆動する駆動手段と、を備えた
ことを特徴とする。

【００１４】また、干渉縞をカウントして被検面の光軸
方向の変位量を測定するためのラインセンサを前記複数
のラインセンサの中央に設ける。また、前記反射光学手
段を移動させる移動手段が、前記反射光学手段を前記セ
ンサに照射される光軸に対して垂直または水平方向、ま
たは回転させるように移動するようにする。

【００１５】また、前記反射光学手段は固定し、前記移
動手段が前記複数のラインセンサを移動するようにす
る。また、前記駆動手段が２分割されたラインセンサよ
り出力される信号の差が０になるよう前記移動手段を駆
動するようにする。

【００１６】また、前記２分割されたラインセンサより
出力される信号として平均強度を出力するようにする。
また、前記２分割されたラインセンサより出力される信
号として最大強度と最低強度との差を出力するようにす
る。

【００１７】また、前記２分割されたラインセンサより
出力される信号として交流振幅量を出力するようにす
る。また、前記ラインセンサをＣＣＤで構成する。

【００１８】

【作用】反射光学手段はセンサに照射される参照波と被
検波の１部を反射させて分離する。反射光学手段で反射
された参照波と被検波は複数のラインセンサ上に干渉縞
を結像する。

【００１９】駆動手段は、複数のラインセンサを２分割
したセンサより出力される信号に基づいて移動手段を駆
動して反射光学手段を移動させる。また、複数のライン
センサの中央に干渉縞をカウントするためのラインセン
サを設けて干渉縞をカウントする。

【００２０】また、移動手段は、反射光学手段を、セン
サに照射される光軸に対して垂直方向または水平方向、
または回転させるように移動する。また、反射光学手段
は移動させずに、移動手段は複数のセンサを移動させ
る。また、駆動手段は２分割されたラインセンサより出
力される信号の差が０になるよう移動手段を駆動する。

【００２１】また、２分割されたラインセンサより出力
される信号とし平均強度を出力する。また、２分割され
たラインセンサより出力される信号として最大強度と最
低強度との差を出力する。

【００２２】また、２分割されたラインセンサより出力
される信号として交流振幅量を出力する。また、ライン
センサをＣＣＤで構成する。以上のように、センサに照
射される参照波と被検波の１部を反射させて複数のライ
ンセンサ上に干渉縞を結像させ、複数のラインセンサを
２分割したラインセンサより出力される信号に基づいて
参照波と被検波の１部を反射させる手段を移動させるよ
うにしたので、被検面を回転させても複数のラインセン
サ上に干渉縞像を常に結像させることができる。

【００２３】また、干渉縞をカウントするラインセンサ
を複数のラインセンサの中央に設けるようにしたので、
高Ｓ／Ｎが得られ確実に干渉縞をカウントすることがで
きる。また、参照波と被検波の１部を反射させる手段を
光軸に対して垂直方向または水平方向、または回転させ
るようにしたので、容易に複数のラインセンサ上に干渉
縞を結像させることができる。

【００２４】また、複数のラインセンサを移動するよう
にしたので、容易に複数のラインセンサ上に干渉縞を結
像させることができる。また、２分割されたラインセン
サより出力される信号の差が０になるよう移動するよう
にしたので、駆動信号を容易に得ることができ、また確
実に複数のラインセンサ上に干渉縞を結像させることが
できる。

【００２５】また、２分割されたラインセンサより出力
する信号として、平均強度，最大強度と最低強度との差
または交流振幅量を出力するようにしたのでＳ／Ｎの良
い信号を出力することができる。また、複数のラインセ
ンサをＣＣＤで構成するようにしたので、容易にセンサ
を構成することができる。

【００２６】

【実施例】本発明の実施例を図面を用いて以下に説明す
る。図１は、本発明における測定装置の構成の一実施例
を示すものであるが、その大部分は図１３で説明した従
来例の装置と同じである。そこで、相違点を中心に以下
に構成の説明をする。なお、図示の干渉計と異なるタイ
プの干渉計を使用してもよい。

【００２７】本発明の装置は、結像レンズ９から射出さ
れた平行な光束内に、反射光学手段としてのビームスプ
リッタ１５を設けている。ビームスプリッタ１５として
は、ハーフミラーやハーフプリズム等を使用できる。こ
のビームスプリッタ１５は結像レンズ９からの光束を２
つに分割し、その一方をエリアセンサ１０に、他方をラ
インセンサ１０′に射出し、それぞれのセンサ上に干渉
縞像を結像させる。エリアセンサやラインセンサには、
ＣＣＤやフォトダイオードアレイ等を使用することがで
きる。そして、エリアセンサ１０に結像した干渉縞像の
強度信号から面精度情報を得、ラインセンサ１０′の強
度信号から面形状の情報を得る。

【００２８】ビームスプリッタ１５は、移動装置１６上
に固定され、移動装置１６は図示しないステッピングモ
ータ等によりｙ軸方向（又はｚ軸方向）に移動できるよ
うになっている。リニアセンサ１０′に結像した干渉縞
像は、併進台８の走査に伴い結像面内で移動するが、駆
動装置１７によりその移動量に応じた信号が移動装置１
６に送られる。

【００２９】図２（ａ）は、ビームスプリッタ１５によ
り干渉縞像を追従する様子を説明する図である。入射光
線は、当初Ｉから入射し、実線で示すビームスプリッタ
１５でＰ₁とＰ₂とに分けられている。併進台８の走査
によって、入射光線がＩ′に移動し、ビームスプリッタ
１５が実線の位置に止まっていると、今度はＰ₁′とＰ
₂′とに分けられる。Ｐ₂からＰ₂′への移動はエリア
センサ１０内での移動でないので問題ないが、Ｐ₁から
Ｐ₁′への移動は、ラインセンサ１０′を外れてしま
い、干渉縞の縞をカウントすることができなくなる。

【００３０】そこで、図１に示す駆動装置１７でＰ₂，
Ｐ₂′間の距離ｄに対応して移動台１６即ちビームスプ
リッタ１５を光軸と直交するｙ軸方向にｅだけ移動して
Ｐ₁′をＰ₁に重ねる。なお、図２（ｂ）に示すよう
に、ビームスプリッタ１５を光軸（ｚ軸）方向にｅ′だ
け移動する構成としてもよい。

【００３１】図３は、本発明の第２の実施例の構成を示
す図である。第１の実施例では、移動装置１６はビーム
スプリッタ１５を移動するようにしていたが、第２の実
施例ではラインセンサ１０′を移動するようにしてい
る。すなわち、第２の実施例では、図４で示すように、
ラインセンサ１０′をｚ軸方向にｅ′移動させてもＰ′
をＰに一致させる。

【００３２】図５は、本発明の第３実施例の構成を示す
図である。この実施例では、反射光学系としてのビーム
スプリッタ１５を、光アイソレータ４から射出された光
束が集束する位置に配置している。また、移動装置１８
は回転台で、その回動により干渉縞の移動に追従するよ
うにしている。

【００３３】図６に示すように、入射光線は、当初Ｉの
方向から入射する。ビームスプリッタ１５は当初は実線
で示す位置にあって入射光線をＰ₁とＰ₂とに分ける。
併進台８の走査によって、入射光線がＩ′の方向から移
動すると、Ｐ₁′とＰ₂′とに分ける。そこで、リニア
センサ１０′により干渉縞像の移動距離ｄに対応して回
転台１８を回転し、Ｐ₁′をＰに重ねる。

【００３４】つぎに、図７を参照して、駆動装置１７を
説明する。まず、リニアセンサ１０′はＣＣＤで構成さ
れる３個のラインセンサＬ₁〜Ｌ ₃で構成され、その中
のラインセンサＬ₁とＬ₃の出力が駆動装置１７に入力
され、中央のラインセンサＬ₂は干渉縞をカウントする
縞カウント装置３０に入力される。

【００３５】併進台８の走査によって、リニアセンサ１
０′に結像する干渉縞は、図１６で示すように移動す
る。干渉縞が移動すると、ラインセンサＬ₁とＬ₃に照
射される光の強度が変化する。すなわち、例えば干渉縞
が左に移動すると、ラインセンサＬ₁に照射される強度
は強くなり、Ｌ₃に照射される強度は弱くなる。

【００３６】本発明では、ラインセンサＬ₁とＬ₂との
照射強度の差を移動装置１６に帰還して移動装置１６を
移動して、Ｌ₁とＬ₃との差が０になるよう制御を行な
うようにしている。図７の演算回路１７１ａおよびｂで
は、それぞれラインセンサＬ₃およびＬ₁で記録されて
いる照射強度に対応した電圧値を順次読出してその平均
値を算出して比較回路１７３に出力する。

【００３７】比較回路１７３は演算回路１７１ａおよび
ｂより出力される平均強度の差を出力し、位置ずれ量算
出回路１７４は、比較回路１７３より出力される差値よ
り移動装置１６を移動させる位置ずれ量を算出して出力
する。なお、上述した実施例では、演算回路１７１は、
ラインセンサＬ₁およびＬ₂の出力より平均強度を算出
して出力するようにしていたが、Ｌ₁およびＬ₃より出
力される信号の最大強度と最低強度との差を演算して出
力するようにしても良く、また、Ｌ₁およびＬ₃より出
力される信号の交流振幅量を演算して出力するようにし
ても良い。

【００３８】なお実施例では２本のラインセンサＬ₁お
よびＬ₃で駆動信号を得るようにしていたが、Ｌ₁およ
びＬ₃を複数本で構成するようにしても良い。つぎに、
図８を参照して、縞カウント装置３０について説明す
る。図８は、干渉縞像の明暗の変化が小さい場合に適し
た実施例を示す図である。センサとしては、前述したよ
うに、ＣＣＤのリニアセンサを使用している。図９
（ａ）は、リニアセンサＬ₂の各素子の出力を曲線でつ
ないで表したもので、干渉縞に対応した正弦波を描いて
いる。

【００３９】サンプル信号発生回路３１が、図９（ｂ）
から（ｅ）に示すように、位相差がπ／２に相当する間
隔をおいてサンプル＆ホールド信号を与える。これによ
って、リニアセンサＬ₂上に、干渉縞の位相にしてほぼ
π／２づつずれた素子が観測点として４つ以上取り出さ
れ（この実施例では、０，π／２，π，……７π／２の
８個を取り出している）、各素子の信号は、サンプル＆
ホールド回路１９-1から１９-8によりホールドされる。

【００４０】被検面を光軸方向に移動すると、干渉縞は
矢符号ａ又はｂの方向に流れ、各観測点における信号強
度は、図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように正弦波状に
変化する。すなわち、Ｉｂは位相０の観測点（図９
（ｂ））、Ｉｃは位相π／２の観測点（図９（ｃ））、
Ｉｄはπの観測点（図９（ｄ））、Ｉｅは３π／２（図
９（ｅ））の観測点における信号強度の変化を示す。

【００４１】サンプル＆ホールド回路１９-1から１９-8
の出力は、加算回路３２-1から３２-4に入力され、加算
回路３２-1から３２-4の出力は、それぞれ対応する比較
演算回路３３-1，３３-2に入力する。加算回路の説明は
後述するとして、比較演算回路３３-1，３３-2では、位
相差がπ離れた各サンプル＆ホールド回路の出力の差信
号が算出される。図１１（ａ）はＩｂ−Ｉｄの差信号、
（ｂ）はＩｃ−Ｉｅの差信号を線図にしたものである。
このように差信号を求めることにより、差信号を求めな
い時と比べて２倍の強弱差を有することとなり、信号強
度の変化が小さい場合にも、明確な強弱差を得ることが
できる。

【００４２】比較演算回路３３-1，３３-2から出力され
た差信号は、パルス波変換回路３７-1，３７-2により、
図１１に示すように方形パルスに変換される。この場
合、０をスレッシュホールドとして使用できるので、強
度変化が小さくても、安定した変換が可能になる。図１
１（ｃ）は同図（ａ）の正弦波を方形のパルス波に変換
した状態、（ｄ）は（ｂ）の正弦波を方形のパルス波に
変換した状態である。

【００４３】パルス波の立ち上がりのタイミングで、パ
ルスカウント回路３８は、パルス数をカウントし、通過
する縞の数をカウントする。次に、加算回路３２-1〜３
２-4について説明する。各加算回路には、位相が２π相
違する素子におけるサンプル＆ホールド回路の出力が入
力され、加算又は平均化する。すなわち、サンプル＆ホ
ールド回路１９-1と１９-5の出力信号は、加算回路３２
-1で、１９-2と１９-6の出力信号は、３２-2で、また１
９-3と１９-7は、３２-3で、１９-4と１９-8は、３２-4
でそれぞれ加算又は平均化される。

【００４４】このような構成とすれば、ゴーストやノイ
ズ等によって発生する異常値の影響を低減してＳ／Ｎ比
を向上させ、カウントエラーを防止することができる。
次に、位相差π／２の基準となる干渉縞の間隔の求め方
を説明する。被検面が理想的な回転体形状で、かつ設置
誤差が０に近い場合、回転軸１に沿って操作しても縞の
間隔自体は変化しないため既知データをもとに間隔を求
める方法もある。しかしながら、被検面がうねりやねじ
れといった形状誤差や設置誤差があると、操作中に縞の
間隔が変化する可能性がある。

【００４５】そこで、干渉縞の縞間隔を算出するため
に、図８のフーリエ変換回路３４、ピーク検知回路３５
及び干渉縞間隔演算回路３６を設けて測定中にサンプル
＆ホールド信号を変化させる方法も有効である。縞間隔
は、次のようにして算出される。

【００４６】リニアセンサ１８の全素子の出力は、フー
リエ変換回路３４に入力され、ここでＦＦＴ処理がされ
る。リニアセンサからの干渉縞強度は、ほぼ等間隔であ
るため、フーリエ変換像は、図１２に示すように３本の
ピークを生じる。この３本のピーク間隔ｆｏは、干渉縞
の間隔に反比例しているため、ピークを検出することに
より干渉縞の間隔が算出でき、この間隔を基にして前述
したサンプル＆ホールド信号発生回路３１から位相差が
π／２のサンプル＆ホールド信号を出すことができるこ
とになる。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。セ
ンサに照射される参照波と被検波の１部を反射させて複
数のラインセンサ上に干渉縞を結像させ、複数のライン
センサを２分割したラインセンサより出力される信号に
基づいて参照波と被検波の１部を反射させる手段を移動
させるようにしたので、被検面を回転させても複数のラ
インセンサ上に干渉縞像を常に結像させることができ
る。

【００４８】また、干渉縞をカウントするラインセンサ
を複数のラインセンサの中央に設けるようにしたので、
高Ｓ／Ｎが得られ確実に干渉縞をカウントすることがで
きる。また、参照波と被検波の１部を反射させる手段を
光軸に対して垂直方向または水平方向、または回転させ
るようにしたので、容易に複数のラインセンサ上に干渉
縞を結像させることができる。

【００４９】また、複数のラインセンサを移動するよう
にしたので、容易に複数のラインセンサ上に干渉縞を結
像させることができる。また、２分割されたラインセン
サより出力される信号の差が０になるよう移動するよう
にしたので、駆動信号を容易に得ることができ、また確
実に複数のラインセンサ上に干渉縞を結像させることが
できる。

【００５０】また、２分割されたラインセンサより出力
する信号として、平均強度，最大強度と最低強度との差
または交流振幅量を出力するようにしたのでＳ／Ｎの良
い信号を出力することができる。また、複数のラインセ
ンサをＣＣＤで構成するようにしたので、容易にセンサ
を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の構成を示す図である。

【図２】ビームスプリッタによる追従原理を説明する図
で、（ａ）はｙ軸方向に移動する場合、（ｂ）はｚ軸方
向に移動する場合を示す。

【図３】本発明の第２の実施例の構成を示す図である。

【図４】図３の追従原理を説明する図である。

【図５】本発明の第３の実施例の構成を示す図である。

【図６】図６の追従原理を説明する図である。

【図７】駆動装置の具体的構成を示す図である。

【図８】縞カウント装置の具体的構成を示す図である。

【図９】（ａ）は、干渉縞像を結像したリニアセンサの
各素子の出力を曲線でつないだ線図で、（ｂ）から
（ｅ）は、π／２の間隔でサンプル＆ホールド信号を各
観測点に与えるタイミングチャートである。

【図１０】（ａ），（ｂ）は、各観測点における強度分
布を示す線図である。

【図１１】（ａ），（ｂ）は、位相差がπ相違する観測
点の差信号を示す線図で、（ｃ），（ｄ）は、差信号を
方形のパルス波に変換した状態を示す図である。

【図１２】干渉縞の強度分布のフーリエ変換像を示す図
である。

【図１３】従来の回転面の測定装置の構成を示す図で、
（ａ）はｙ−ｚ面図、（ｂ）はｘ−ｚ面図である。

【図１４】エリアセンサ上に干渉縞像が結像した状態を
示す図である。

【図１５】回転面を走査するに伴い干渉縞像が参照面に
対して移動する状態を説明する図である。

【図１６】図１５に示す走査に伴い、干渉縞像が結像面
内で移動する状態を示す図である。

【符号の説明】

１光源６ａ参照面７ａ被検面９結像レンズ１０エリアセンサ１０′ ラインセンサ１１干渉縞像１２回転軸１５ビームスプリッタ１６，１８移動装置１７駆動装置３０縞カウント装置１７１増幅回路１７２演算回路１７３比較回路１７４位置ずれ量算出回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同一光源からの可干渉光を参照面と回転
面からなる被検面とに照射し、これら両面から反射され
る参照波と被検波とを重畳してセンサ上に干渉縞の像を
結像させ、被検面を回転面の創成に使用した回転軸に沿
って走査して連続的に前記干渉縞像を形成して回転面の
測定を行う回転面測定装置において、前記センサに照射される参照波と被検波の１部を反射さ
せる反射光学手段と、前記反射光学手段を移動させる移動手段と、前記反射光学手段によって反射された参照波と被検波に
よって結像される干渉縞を検出する複数のラインセンサ
と、前記複数のラインセンサを２分割し、２分割したライン
センサより出力される信号に基づいて前記移動手段を駆
動する駆動手段と、を備えたことを特徴とする回転面測
定装置。
【請求項２】干渉縞をカウントして被検面の光軸方向
の変位量を測定するためのラインセンサを前記複数のラ
インセンサの中央に設けたことを特徴とする請求項１記
載の回転面測定装置。
【請求項３】前記反射光学手段を移動させる移動手段
が、前記反射光学手段を前記センサに照射される光軸に
対して垂直または水平方向、または回転させるように移
動するようにしたことを特徴とする請求項１または２記
載の回転面測定装置。
【請求項４】前記反射光学手段は固定し、前記移動手
段が前記複数のラインセンサを移動させるようにしたこ
とを特徴とする請求項１または２記載の回転面測定装
置。
【請求項５】前記駆動手段が２分割されたラインセン
サより出力される信号の差が０になるよう前記移動手段
を駆動するようにしたことを特徴とする請求項１，２，
３または４記載の回転面測定装置。
【請求項６】前記２分割されたラインセンサより出力
される信号として平均強度を出力するようにしたことを
特徴とする請求項５記載の回転面測定装置。
【請求項７】前記２分割されたラインセンサより出力
される信号として最大強度と最低強度との差を出力する
ようにしたことを特徴とする請求項５記載の回転面測定
装置。
【請求項８】前記２分割されたラインセンサより出力
される信号として交流振幅量を出力するようにしたこと
を特徴とする請求項５記載の回転面測定装置。
【請求項９】前記ラインセンサをＣＣＤで構成したこ
とを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の回転
面測定装置。