CN106975983A - 一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法。该方法首先测量立式加工中心的线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差即几何误差，再测量立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差，两次测量过程中条件不变，最后对两次数据进行做差，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差。这样就避免了机床各组成部分的几何误差对热定位误差测量的影响，提高了测量结果的准确度。该方法能快速高效的完成线性轴热定位误差的在机测试要求，不仅避免了机床各组成部分的几何误差对热定位误差测量的影响，也避免位移传感器或标准件的使用以及装夹、找正、固定造成的偏差问题，提高了测量结果的准确性。

Description

一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法

技术领域

本发明涉及数控机床热定位误差测量领域，具体是一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法。

背景技术

机床热定位误差是指由于高速切削或快速进给造成机床主要部件产生不均匀的温度场，使得机床在热效应影响下发生热变形所引起的定位误差。随着数控机床向高速、高精密和大型复合化方向发展，机床运动轴的热定位误差对机床性能提升起关键作用。因此，如何准确、快速、高效地获得运动轴的热定位误差以提高机床的加工精度，具有重要意义。

目前，数控机床热定位误差测量方法主要有接触式测量和非接触式测量，接触式测量方法一般按照国际标准《机床检验通则第3部分：热效应的确定》(ISO 230-3：2001IDT)，通过在数控机床主轴处安装金属圆棒，在金属圆棒任意两截面径向位置处和端面位置处分别固定高精度位移传感器，用五个位移传感器来测量沿X、Y、Z轴线的线性热变形及绕X、Y轴线的角度热变形；还有在数控机床主轴处安装测头，构成在线检测系统，用测头碰触标准件来间接得到线性轴线的热定位误差；如申请号201610183975.1公开了一种数控机床全工作台热误差测量系统及其测量方法，该测量系统包括吸附在数控机床工作台台面上的定位板、定位板上均匀安装多个长方体标准件、数控机床的刀具位置处安装测头、信号转换器和计算机，信号转换器一端与数控系统的PMC模块I/O口相连，另一端与计算机双向通讯；用该装置的具体测量方法是先用数控机床的测头触碰数控机床工作台台面，测量数控机床工作台所在表面的Z向坐标；再用数控机床的测头触碰长方体标准件的三个表面测量初始坐标；数控机床按实验计划设定参数运行一定时间，然后再用在线检测系统测头触碰长方体标准件表面测量坐标，计算得到热误差。该方法成本低廉仅需一个测头和若干个长方体标准件即可实现对数控机床全工作台多点热误差的测量，但是忽略了标准件装夹、找正、固定造成的偏差。非接触式测量方法一般采用非接触式位移传感器或光学、视觉测量方法间接获得热定位误差，如申请号200910052299.4公开了一种磨床砂轮主轴热误差测量方法，尤其是一种砂轮主轴径向两个方向的热变形及倾角误差的测量方法，具体步骤为在X、Y方向沿Z轴分别安装两个非接触式位移传感器，其中第一、三传感器位于同一平面上，第二、四传感器位于同一平面上；确定上述任一传感器与砂轮主轴的相对位置；测量主轴的热变形量；修正砂轮主轴热变形与随机测量误差。该方法解决了砂轮主轴热变形的测量问题，但是该方法忽略了机床各组成部分几何定位误差(如机床各个部分的安装间隙误差和螺距误差等)和位移传感器或标准件装夹、找正、固定造成的偏差对测量结果的影响，而且该方法需要建立在准确确定传感器与砂轮主轴相对位置的基础上，这在实际测量过程中很难保证，并且所用的电容传感器或电涡流传感器数目较多、安装固定也比较困难；测量效率较低，不能满足数控加工过程中在机快速检测要求。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明拟解决的技术问题是，提供一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法。该方法能快速高效的完成线性轴热定位误差的在机测试要求，不仅避免了机床各组成部分的几何定位误差对热定位误差测量的影响，也避免位移传感器或标准件的使用以及装夹、找正、固定造成的偏差问题，减少辅助测量工时。

本发明解决所述技术问题的技术方案是，提供一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法，其特征在于该方法的具体步骤如下：

步骤一，测量立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差：

1、规划测量点：在线性轴上等距离规划N个测量点；

2、热定位误差测量装置的安装：在规划完测量点之后，进行热定位误差测量装置的安装及光路准直；线性轴分为X轴方向、Y轴方向和Z轴方向，针对不同方向的线性轴，热定位误差测量装置的安装方式不同：

X轴安装：将激光头安装在云台上，云台固定安装在支架上；支架固定于水平面上，位于立式加工中心的一侧；第二线性反射镜通过第一磁力基座安装在立式加工中心的X轴上，位于立式加工中心的另一侧；线性干涉镜通过第二磁力基座安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜位于激光头和第二线性反射镜之间；激光头、线性干涉镜的分光镜和第二线性反射镜三者的中心在同一直线上；

Y轴安装：将激光头安装在云台上，云台固定安装在支架上；支架固定于水平面上，位于立式加工中心的正前端；第二线性反射镜通过第一磁力基座安装在立式加工中心的Y轴上；线性干涉镜通过第二磁力基座安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜位于激光头和第二线性反射镜之间；激光头、线性干涉镜的分光镜和第二线性反射镜三者的中心在同一直线上；

Z轴安装：将激光头安装在云台上，云台固定安装在支架上；支架固定于水平面上，位于立式加工中心的正前端；第二线性反射镜通过第一磁力基座安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜通过第二磁力基座安装立式加工中心的XY轴水平面上；激光头和线性干涉镜的分光镜的入射光中心在同一条直线上，分光镜的出射光中心和第二线性反射镜中心在同一直线上，两直线相互垂直；

热定位误差测量装置安装完成后，对激光干涉仪进行光路准直；

3、测量立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差：开始测量，对各个测量点进行测量：对X轴进行测量时，第二线性反射镜沿X轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Y轴进行测量时，第二线性反射镜沿Y轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Z轴进行测量时，第二线性反射镜沿Z轴做直线运动，保持线性干涉镜和水平面轴固定不动；采用最小二乘法对各个测量点的测量数据进行计算分析，得到立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差E_si，各个测量点在初始时刻的定位误差计算公式为：E_si＝l_1i-x_1i；

其中：E_si为初始时刻各个测量点的定位误差，l_1i为初始时刻各个测量点的直接测量值；x_1i为初始时刻各个测量点的真实值；初始时刻是指立式加工中心加工开始前线性轴未产生热变形的时刻；

步骤二，测量立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差：

开始测量，测量条件与步骤一相同，对各个测量点进行测量：对X轴进行测量时，第二线性反射镜沿X轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Y轴进行测量时，第二线性反射镜沿Y轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Z轴进行测量时，第二线性反射镜沿Z轴做直线运动，保持线性干涉镜和水平面轴固定不动；采用最小二乘法对各个测量点的测量数据进行计算分析，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差E_i，各个测量点在任意时刻的定位误差计算公式为：E_i＝l_2i-x_2i；

其中：E_i为任意时刻各个测量点的定位误差，l_2i为任意时刻各个测量点的直接测量值；x_2i为任意时刻各个测量点的真实值；任意时刻是指立式加工中心线性轴加工运转进行中的任意时刻；

步骤三，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差：

立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差E_ti等于立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差E_i减去立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差E_si，其计算公式为：E_ti＝E_i-E_si，通过立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差得到立式加工中心线性轴在任意时刻的热定位误差。

与现有技术相比，本发明有益效果在于：

(1)定位误差由热定位误差和几何定位误差组成，在测量立式加工中心线性轴热定位误差过程中首先测量立式加工中心的线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差即几何定位误差，再测量立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差，两次测量过程中条件不变，最后对两次数据进行做差，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差。这样就避免了机床各组成部分的几何定位误差对热定位误差测量的影响，提高了测量结果的准确度。

(2)该测试方法采用激光干涉仪对立式加工中心线性轴进行在机定期测试线性轴的定位误差，从而计算得到运行时段内线性轴的热定位误差。该方法能快速高效的完成线性轴热定位误差的在机测试要求，不仅避免了机床各组成部分的几何定位误差对热定位误差测量的影响，也避免位移传感器或标准件的使用以及装夹、找正、固定造成的偏差问题，减少辅助测量工时，提高了测量结果的准确性，特别适合于机床运行一段时间后定期健康维护。

附图说明

图1为本发明用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法一种实施例中的激光干涉仪用于水平线性轴(X方向和Y方向)的结构示意图；

图2为本发明用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法一种实施例中的激光干涉仪用于垂直线性轴(Z方向)的结构示意图；

图3为本发明用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法一种实施例的热定位误差测量装置在立式加工中心X轴上的安装示意图；

图4为本发明用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法一种实施例的热定位误差测量装置在立式加工中心Y轴上的安装示意图；

图5为本发明用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法一种实施例的热定位误差测量装置在立式加工中心Z轴上的安装示意图；(图中：①、激光束；②、反射光束；③、发射光束；④、调制光束；⑤、测量光束；、⑥参考光束；1、激光头；2、第一线性反射镜；3、分光镜；4、第二线性反射镜；5、支架；6、云台；7、第一磁力基座；8、线性干涉镜；9、第二磁力基座)

具体实施方式

下面给出本发明的具体实施例。具体实施例仅用于进一步详细说明本发明，不限制本申请权利要求的保护范围。

本发明一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法使用的热定位误差测量装置包括激光干涉仪、支架5、云台6、第一磁力基座7、第二磁力基座9和安装有定位误差测量软件的计算机；所述激光干涉仪包括激光头1、线性干涉镜8和第二线性反射镜4；所述线性干涉镜8包括分光镜2和第一线性反射镜3；

激光干涉仪测量定位误差的原理如图1所示：由激光头1产生激光束①，当激光束达到线性干涉镜8中的分光镜3时被分为反射光束②和发射光束③，反射光束②在线性干涉镜8中的第一线性反射镜2成为参考光束⑥反射回激光头1，发射光束③经由第二线性反射镜4成为测量光束⑤返回激光头1。测量光束⑤和参考光束⑥在线性干涉镜8内汇合，线性干涉镜8对两个光束进行调制后直接把调制光束④传送到激光发射器中，从而使这两束光在探测器中产生干涉条纹。定位误差的测量必须具有一个光学元件相对于另一个光学元件间的相对运动。图1中线性干涉镜8静止不动，第二线性反射镜4沿着预定的方向运动。把线性干涉镜8到激光发射器的距离作为参考值，当第二线性反射镜4到激光发射器之间的距离发生变化时，激光发射器中条纹计数器的明条纹数值将会产生相应的变化。第二线性反射镜4到激光发射器之间的距离(d)等于条纹计数器中出现的明条纹数(n)乘以激光束的半个波长(λ)。根据光的叠加和干涉原理，凡光程差等于波长整数倍的位置，振动加强，产生明条纹；凡光程差等于半波长奇数倍的位置，振动减弱，产生暗条纹。

在实际运行和测试过程中，立式加工中心线性轴系统的定位误差由线性轴系统各组成部分的几何定位误差(如机床各个部分的安装误差)和由于线性轴温升热变形而引起的热定位误差两部分组成。为了在线性轴系统热定位误差测量中剔除机床本身几何定位误差的影响，首先需要对主轴系统几何定位误差进行评定。根据《ISO230-3机床热效应评定标准》，当主轴在行程内以较低的速度来回往复运动时，由于运动速度低，主轴系统各结合部摩擦发热不剧烈，由主轴热变形引起的热定位误差可以忽略不计，因而此时测取的主轴系统定位误差就为本身几何定位误差。

本发明提供了一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法，其特征在于该方法的具体步骤如下：

步骤一，测量立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差：

1、规划测量点：在线性轴上等距离规划N个测量点；

2、热定位误差测量装置的安装：在规划完测量点之后，进行热定位误差测量装置的安装及光路准直；线性轴分为X轴方向、Y轴方向和Z轴方向，针对不同方向的线性轴，热定位误差测量装置的安装方式不同：

X轴安装：将激光头1安装在云台6上，云台6固定安装在支架5上；支架5固定于水平面上，位于立式加工中心的一侧；第二线性反射镜4通过第一磁力基座7安装在立式加工中心的X轴上，位于立式加工中心的另一侧；线性干涉镜8通过第二磁力基座9安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜8位于激光头1和第二线性反射镜4之间；激光头1、线性干涉镜8的分光镜2和第二线性反射镜4三者的中心在同一直线上；

Y轴安装：将激光头1安装在云台6上，云台6固定安装在支架5上；支架5固定于水平面上，位于立式加工中心的正前端；第二线性反射镜4通过第一磁力基座7安装在立式加工中心的Y轴上；线性干涉镜8通过第二磁力基座9安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜8位于激光头1和第二线性反射镜4之间；激光头1、线性干涉镜8的分光镜2和第二线性反射镜4三者的中心在同一直线上；

Z轴安装：将激光头1安装在云台6上，云台6固定安装在支架5上；支架5固定于水平面上，位于立式加工中心的正前端；第二线性反射镜4通过第一磁力基座7安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜8通过第二磁力基座9安装立式加工中心的XY轴水平面上；激光头1和线性干涉镜8的分光镜2的入射光中心在同一条直线上，分光镜2的出射光中心和第二线性反射镜4中心在同一直线上，两直线相互垂直；

热定位误差测量装置安装完成后，需要对激光干涉仪进行光路准直，具体步骤如下：

(1)热定位误差测量装置安装完成后，目测调节激光头1、线性干涉镜8和第二线性反射镜4的位置，使得激光头1的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜8和第二线性反射镜4后都回到激光头1中；

(2)当第二线性反射镜4和线性干涉镜8距离最近时，视为近光点，在近光点对线性干涉镜8进行位置调节，使得激光头1的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜8和第二线性反射镜4后都回到激光头1中；然后对激光头1的位置进行微调，使得激光头1的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜8和第二线性反射镜4后都回到激光头1的探测器中；

(3)当第二线性反射镜4和线性干涉镜8距离最远时，视为远光点，在远光点对线性干涉镜8进行位置调节，使得激光头1的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜8和第二线性反射镜4后都回到激光头1中；然后对激光头1的位置进行微调，使得激光头1的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜8和第二线性反射镜4后都回到激光头1的探测器中；

(4)重复(2)和(3)过程，直到在全行程内，激光头1的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜8和第二线性反射镜4后都回到激光头1的探测器中。

3、测量立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差：将安装有定位误差测量软件的计算机与激光头1连接，完成对定位误差测量软件参数和立式加工中心的机床运行程序设置后，开始测量，对各个测量点进行测量：对X轴进行测量时，第二线性反射镜4沿X轴做直线运动，保持线性干涉镜8和Z轴固定不动；对Y轴进行测量时，第二线性反射镜4沿Y轴做直线运动，保持线性干涉镜8和Z轴固定不动；对Z轴进行测量时，第二线性反射镜4沿Z轴做直线运动，保持线性干涉镜8和水平面轴固定不动；在定位误差测量软件中采用最小二乘法对各个测量点的测量数据进行计算分析，得到立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差E_si(即几何定位误差)，各个测量点在初始时刻的定位误差计算公式为：E_si＝l_1i-x_1i；

其中：E_si为初始时刻各个测量点的定位误差，l_1i为初始时刻各个测量点的直接测量值；x_1i为初始时刻各个测量点的真实值；初始时刻是指立式加工中心加工开始前线性轴未产生热变形的时刻；

步骤二，测量立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差：

开始测量，测量的基准点、测量仪器的摆放位置等测量条件与步骤一相同，对各个测量点进行测量：对X轴进行测量时，第二线性反射镜4沿X轴做直线运动，保持线性干涉镜8和Z轴固定不动；对Y轴进行测量时，第二线性反射镜4沿Y轴做直线运动，保持线性干涉镜8和Z轴固定不动；对Z轴进行测量时，第二线性反射镜4沿Z轴做直线运动，保持线性干涉镜8和水平面轴固定不动；在定位误差测量软件采用最小二乘法对各个测量点的测量数据进行计算分析，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差E_i，各个测量点在任意时刻的定位误差计算公式为：E_i＝l_2i-x_2i；

其中：E_i为任意时刻各个测量点的定位误差，l_2i为任意时刻各个测量点的直接测量值；x_2i为任意时刻各个测量点的真实值；任意时刻是指立式加工中心线性轴加工运转进行中的任意时刻；

步骤三，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差：

立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差E_ti等于立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差E_i减去立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差E_si，其计算公式为：E_ti＝E_i-E_si，通过立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差得到立式加工中心线性轴在任意时刻的热定位误差。

本发明未述及之处适用于现有技术。

Claims (2)

1.一种用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法，其特征在于该方法的具体步骤如下：

步骤一，测量立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差：

1、规划测量点：在线性轴上等距离规划N个测量点；

2、热定位误差测量装置的安装：在规划完测量点之后，进行热定位误差测量装置的安装及光路准直；线性轴分为X轴方向、Y轴方向和Z轴方向，针对不同方向的线性轴，热定位误差测量装置的安装方式不同：

X轴安装：将激光头安装在云台上，云台固定安装在支架上；支架固定于水平面上，位于立式加工中心的一侧；第二线性反射镜通过第一磁力基座安装在立式加工中心的X轴上，位于立式加工中心的另一侧；线性干涉镜通过第二磁力基座安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜位于激光头和第二线性反射镜之间；激光头、线性干涉镜的分光镜和第二线性反射镜三者的中心在同一直线上；

Y轴安装：将激光头安装在云台上，云台固定安装在支架上；支架固定于水平面上，位于立式加工中心的正前端；第二线性反射镜通过第一磁力基座安装在立式加工中心的Y轴上；线性干涉镜通过第二磁力基座安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜位于激光头和第二线性反射镜之间；激光头、线性干涉镜的分光镜和第二线性反射镜三者的中心在同一直线上；

Z轴安装：将激光头安装在云台上，云台固定安装在支架上；支架固定于水平面上，位于立式加工中心的正前端；第二线性反射镜通过第一磁力基座安装在立式加工中心的Z轴上；线性干涉镜通过第二磁力基座安装立式加工中心的XY轴水平面上；激光头和线性干涉镜的分光镜的入射光中心在同一条直线上，分光镜的出射光中心和第二线性反射镜中心在同一直线上，两直线相互垂直；

热定位误差测量装置安装完成后，对激光干涉仪进行光路准直；

3、测量立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差：开始测量，对各个测量点进行测量：对X轴进行测量时，第二线性反射镜沿X轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Y轴进行测量时，第二线性反射镜沿Y轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Z轴进行测量时，第二线性反射镜沿Z轴做直线运动，保持线性干涉镜和水平面轴固定不动；采用最小二乘法对各个测量点的测量数据进行计算分析，得到立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差E_si，各个测量点在初始时刻的定位误差计算公式为：E_si＝l_1i-x_1i；

其中：E_si为初始时刻各个测量点的定位误差，l_1i为初始时刻各个测量点的直接测量值；x_1i为初始时刻各个测量点的真实值；初始时刻是指立式加工中心加工开始前线性轴未产生热变形的时刻；

步骤二，测量立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差：

开始测量，测量条件与步骤一相同，对各个测量点进行测量：对X轴进行测量时，第二线性反射镜沿X轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Y轴进行测量时，第二线性反射镜沿Y轴做直线运动，保持线性干涉镜和Z轴固定不动；对Z轴进行测量时，第二线性反射镜沿Z轴做直线运动，保持线性干涉镜和水平面轴固定不动；采用最小二乘法对各个测量点的测量数据进行计算分析，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差E_i，各个测量点在任意时刻的定位误差计算公式为：E_i＝l_2i-x_2i；

其中：E_i为任意时刻各个测量点的定位误差，l_2i为任意时刻各个测量点的直接测量值；x_2i为任意时刻各个测量点的真实值；任意时刻是指立式加工中心线性轴加工运转进行中的任意时刻；

步骤三，得到立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差：

立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差E_ti等于立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的定位误差E_i减去立式加工中心线性轴各个测量点在初始时刻的定位误差E_si，其计算公式为：E_ti＝E_i-E_si，通过立式加工中心线性轴各个测量点在任意时刻的热定位误差得到立式加工中心线性轴在任意时刻的热定位误差。

2.根据权利要求1所述的用于立式加工中心线性轴热定位误差的测试方法，其特征在于对激光干涉仪进行光路准直的具体步骤如下：

(1)热定位误差测量装置安装完成后，目测调节激光头、线性干涉镜和第二线性反射镜的位置，使得激光头的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜和第二线性反射镜后都回到激光头中；

(2)当第二线性反射镜和线性干涉镜距离最近时，对线性干涉镜进行位置调节，使得激光头的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜和第二线性反射镜后都回到激光头中；然后对激光头的位置进行微调，使得激光头的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜和第二线性反射镜后都回到激光头的探测器中；

(3)当第二线性反射镜和线性干涉镜距离最远时，对线性干涉镜进行位置调节，使得激光头的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜和第二线性反射镜后都回到激光头中；然后对激光头的位置进行微调，使得激光头的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜和第二线性反射镜后都回到激光头的探测器中；

(4)重复(2)和(3)过程，直到在全行程内，激光头的激光发射器发出的激光束经过线性干涉镜和第二线性反射镜后都回到激光头的探测器中。